KR950012152A - 감광성 수지 조성물 - Google Patents

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KR950012152A
KR950012152A KR1019940006485A KR19940006485A KR950012152A KR 950012152 A KR950012152 A KR 950012152A KR 1019940006485 A KR1019940006485 A KR 1019940006485A KR 19940006485 A KR19940006485 A KR 19940006485A KR 950012152 A KR950012152 A KR 950012152A
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KR
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conjugated diene
aromatic vinyl
polymer
mol
hydrogenated
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KR1019940006485A
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카쯔오 고시무라
다까요시 다나베
호쯔미 사또
노보루 오시마
다까시 니시오까
요시하루 하시구찌
Original Assignee
마쯔모또 에이이찌
니혼 고오세이 고무 가부시끼가이샤
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
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Abstract

본 발명은 수현상 시의 평윤이 적어서 강도 저하나 치수 변화가 적고 우수한 특성 발란스를 갖는 신규의 수현상성 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 감광성 수지 조성물은 (1) 카르복실기 함유 디엔계 중합체, (2) 공액 디엔으로 이루어진 반복 단위 중 이중 결합의 적어도 80%가 수소 첨가된 수소 첨가 공액 디엔계 중합체, (3) 광중합성 불포화 단량체, (4) 아미노기 함유 화합물, 및 (5)광중합 개시제를 함유하는 것을 특징으로 한다.

Description

감광 수지 조성물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (3)

  1. (1) ①4O 내지 95몰%의 공액 디엔으로 이루어진 반복 단위, ② 0.1 내지 2O몰%의 α, β-에틸렌계 불포화 카르복실산으로 이루어진 반복 단위, ③ 0.1 내지 1O몰%의 1분자 중에 2개 이상의 불포화성 기를 갖는 화합물로 이루어진 반복 단위, ④ 0 내지 4O몰%의 방향족 비닐, (메타)아크릴산 알킬에스테르 및 아크릴로 니트릴 중에서 선택된 1종 이상의 단량체로 이루어진 반복 단위로 된 카르복실기 함유 디엔계 가교성 공중합체, (2) 방향족 비닐-공액 디엔 공중합체 또는 공액 디엔 중합체 중에서 선택되고 이 중합체 중의 공액 디엔으로 이루어진 중합체 성분의 8O몰% 이상이 수소 첨가되어 있는 수평균 분자량이 50,00O 내지 600,00O인 수소 첨가 디엔계 블록 중합체, (3) 광중합성 불포화 화합물, (4) 아미노기 함유 화합물, 및 (5) 광중합 개시제를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
  2. 제1항에 있어서, 상기 (2) 수소 첨가 디엔계 블록 공중합체가 연질 단편 Y와 경질 단편 X-Z로 이루어지고, Y는 공액 디엔 중합체 또는 3O중량% 이하의 방향족 비닐을 공중합한 공액 디엔계 공중합체로 된 단편으로서, 이 단편은 공액 디엔의 중합 부분의 미세 구조의 비닐 결합이 3O 내지 9O몰%이며, 이 수소 첨가 디엔계 중합체 중의 4O 내지 95중량%를 구성하며, X는 방향족 비닐 중합체 또는 45중량% 이상의 방향족 비닐을 공중합한 방향족 비닐 공액 디엔 공중합체로 된 단편이고, Z는 공액 디엔 중합체 또는 45중량% 미만의 방향족 비낼을 공중합한 공액 디엔-방향족 비닐 공중합체로 된 단편으로서, 이 단편의 공액 디엔의 중합 부분의 미세 구조의 비닐 결합이 2O몰% 이하인 것이며, 이 수소 첨가 디엔계 블록 공중합체는 Y이 일단 또는 양단에 X 및 Y중에서 선택된 동일 또는 상이한 단편을 결합시킨 블록 공중합체이고, 이 엘라스토머 중의 공액 디엔으로 된 중합체 성분의 80몰% 이상이 수소 첨가되어 결합 방향족 비닐 함량이 O 또는 4O중량% 이하인 것이 특징인 감광성 수지 조성물.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 (2) 수소 첨가 디엔계 볼록 공중합체가 X-Y-X형 블록 중합세로서, Y는 10 내지 3O중량%의 방향족 비닐을 공중합한 공액 디엔-방향폭 비닐 랜덤 공중합체로 된 단편으로서, 공액 디엔의 중합 부분의 미세 구조의 비닐 결합이 35 내지 85몰%이며, 중합체 중의 5O 내지 95중량%를 구성하며, X는 방향족 비닐 중합체로 된 단편 또는 45중량% 이상의 방향족 비닐을 함유한 공액 디엔-방향족 비닐 공중항체로 된 단편이고, 이 블록 중합체 중의 공액 디엔으로 된 중합체 성분의 90% 이상이 수소 첨가된 것이 특징인 감광성 수지 조성물.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940006485A 1993-10-01 1994-03-30 감광성 수지 조성물 KR950012152A (ko)

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JPH10254127A (ja) * 1997-03-13 1998-09-25 Jsr Corp 水現像性感光性樹脂組成物
WO2002090407A1 (fr) * 1999-11-05 2002-11-14 Chemipro Kasei Kaisha,Limited Composition de resine pouvant etre retire avec de l'eau neutre et procede de traitement au moyen d'une telle composition

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