KR950012086A - 마이크로 메카니칼 광학 셔터 - Google Patents

마이크로 메카니칼 광학 셔터 Download PDF

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비. 샘프셀 제프리
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윌리엄 이. 힐러
텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드
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Abstract

비아(12)로부터 관선을 간헐적으로 차단하기 위해 회전하고 불연속이거나 연속 운동중의 어느 하나로 동작될 수 있는 다수의 작은 셔터(1O)을 갖는 마이크로광학 셔터 어레이(91,102), 오레이(92,102)는 집적회로 제조 기술을 사용하여 일괄 제조될 수 있다. 각 셔터에서, 비아(12)는 기판(11)을 통해 에치된다. 적어도 하나 이상의 개구를 갖는 회전자(13,43,53 및 63)은 비아(12)위에 제조되므로, 회전자(13,43,53 및 63)이 회전할때, 비아(12)를 통해 전송된 방사는 선택적으도 차단되거나 차단되지 않는다.

Description

마이크로 메카니칼 광학 셔터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 각각 광학 셔터의 단면도와 평면도,
제 2 도는 각각 광학 셔터의 단면도와 평면도,
제 9 도는 광학 셔터의 어레이를 사용하는 광학 상관기의 예시도.

Claims (19)

  1. 방사선이 통과되는 것을 간헐적으로 차단하기 위한 마이크로 광학 셔터의 어레이에 있어서, 각각이 셔터에 연관되고 상기 방사선이 통과하는 복수의 비아를 갖는 기판을 포함하고, 각 셔터가 상기 기판상에 제조된 회전자 터브와, 상기 기판에 평행한 평균에서 상기 회전자 허브 주위를 회전할 수 있게 상기 기판으로부터 위로 간격을 두어 제조된 회전자와, 전압이 회전자 토크를 제공하기 위해 인가될 수 있는 상기 회전자의 둘레 주위의 상기 기판위에 제조되는 고정자 극의 세트를 포함하며, 상기 회전자는 상기 회전자의 각 회전의 일 부분동안 상기 비아중의 적어도 하나와 정렬되는 적어도 하나의 개구를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학 셔터의 어레이.
  2. 제 2항에 있어서, 각 상기 회전자가 방사 스포크의 세트를 갖는 특징으로 하는 마이크로 광학 셔터의 어레이.
  3. 제 1 항에 있어서, 각 상기 회전자가 일반적으로 디스크형인 것을 특징으로 하는 마이크로 광학 셔터의 어레이.
  4. 제 1 항에 있어서, 각 상기 회전자가 둘레 주변에 다수의 톱니를 갖는 것을 특징으로 하는 어레이.
  5. 제 1 항에 있어서, 각 상기 회진자가 지름이 100미크론 정도인 것을 특징으로 하는 어레이,
  6. 제 1 항에 있어서, 각 상기 회전자가 상기 적어도 하나 이상의 개구위에 상기 광선의 파장을 변화시키기 위해 적어도 하나 이상의 필터를 갖는 것을 특징으로 하는 어레이.
  7. 제 1 항에 있어서, 각각의 상기 회전자가 하부측에 하나 또는 그 이상의 오목한 부분을 갖는 특징으로 하는 어레이.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 비아가 원통형이고 광섬유를 고정하기에 적합한 크기인 것을 특징으로 하는 어레이.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 비아가 큰 형인 것을 특징으로 하는 어레이.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 고정자 극에 인가된 상기 전압의 타이밍을 제어하기 위한 제어 유니드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이,
  11. 마이크로 광학 셔터의 어레이를 제조하는 방법에 있어서, 각각 상기 셔터중의 하나에 연관된 비아들을 기판을 통해 에칭하는 단계, 희생 물질로 상기 비아를 제우는 단계, 전압이 고정자에 인가될때 각 회전자가 회전자 허브 주위를 회전할 수 있고 상기 회전자의 한 회전동안 연관된 비아와 정렬될 수 있는 적어도 하나 이상의 개구를 갖도록, 상기 기판상에 애치가능한 물질의 층을 순차적으로 피착하고 상기 물질로부터 회전자, 회전자 허브 및 고정자를 에칭하는 단계. 및 상기 비아로부터 상기 회생 물질을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학 셔터의 어레이를 제조하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 개구위에 필터 물질을 피착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 기판이 설리콘이고 비아를 에칭하는 상기 단계가 상기 비아가 콘형이 되도록 방위 방향 에칭으로 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제11항에 있어서, 비아를 에칭하는 상기 단계를 상기 비아가 원통형이 되고 광섬유를 삽입하기에 적합한 지름을 갖도록 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제11항에 있어서, 비아를 에칭하는 상기 단계는 상기 회전자를 제조하는 상기 단계 다음인 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제15항에 있어서, 각 상기 회전자의 하부측상에 오목한 부분을 에칭하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 하나 또는 그 이상의 포착된 영상과 다중 기준 영상을 비교하기 위한 광학 상관 시스템에 있어서, 다수의 비아를 갖고 있는 기판상에 제조된 아이크로-광학 셔터의 어레이를 포함하며, 각각의 셔터는 상기 기판상에 제조된 회전자 허브, 상기 기판에 평향한 평면에서 상기 회전자 허브의 주위를 회전할 수 있게 상기 기판으로부터 위로 떨어지게 제조된 회전자와, 상기 회전자 둘레 주변의 상기 기판위에서 상기 회전자와 거의 동일 평면상에 제조되어 있으며 전압이 회전자 토크를 제공하기 위해 인가되는 고정자 극 세트를 포함하며, 상기 회전자는 상기 회전자의 각 회전의 일 부분동안 상기 비아중의 하나와 정렬도는 적어도 하나 이상의 개구를 갖고 있고, 대응하는 셔터가 개방될 때 각각이 비아를 통해 전송된 광선을 수신하는 랜즈들의 어레이, 각 영상이 상기 셔터중의 하나에 연관된 기준 영상의 어레이를 갖는 기준 필름, 상기 기준 필름으로 부터 기준 영상을 수신하고 푸리어 변환 영상웅로 상기 영상을 변환하기 위한 제 1 변환 렌즈, 포착된 영상의 퓨리어 변환의 공액 복소수를 나타내는 영상을 디스플레이하고 상기 기준 영상의 상기 푸리어 변환 영상을 반사하기 위한 반사 픽셀 소자의 어레이를 갖는 공간 광선 변조기. 상기 공간 광선 변조기에 의해 디스플레이된 영상과 상기 공간 광선 변조기에 의해 반사된 영상의 합성을 수신하고 합성된 영상을 푸리어 변환하기 위한 세2변환 렌즈, 및 상기 제2변환 렌즈에 의해 전송된 영상을 수신하기 위한 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 상관 시스템.
  18. 제17항에 있어서, 상기 비아가 광섬유를 삽입하기 위해 원통형으로 되는 것을 특징으로 하는 광학 상관 시스템.
  19. 제17항에 있어서, 상기 비아가 큰형이고 광원으로부터의 광선을 각각의 상기 셔터로 모으기 위한 촛점 렌즈의 어레이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 상관 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940027853A 1993-10-29 1994-10-28 마이크로 메카니칼 광학 셔터 KR950012086A (ko)

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