KR950002962B1 - 표면 탄성파 필터의 흡음재 도포방법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음.

Description

표면 탄성파 필터의 흡음재 도포방법
제1도는 종래 SAW 필터의 흡음재 인쇄방법을 설명하기 위한 도면으로서,
(a)는 인쇄장치의 개략 배치도,
(b)는 인쇄장치의 설명도,
제2도는 본 발명에 따른 흡음재 도포방법을 설명하기 위한 설명도이다.
이 발명은 표면 탄성파 필터(SAW filter)의 흡음재 도포방법에 관한 것이다.
전기기술에서, 탄성 음성파로 동작하는 표면 탄성파 필터는 최근에 텔레비젼 수상기에서 화상의 중간 주파수의 필터용 및 신호의 지연 등에 많이 이용되고 있다.
이러한 SAW 필터는 통상 수정 또는 LiTaO3, LiNbO3과 같은 압전(piezo-electric) 기판 상에 전기적인 입력신호를 기계적인 진동으로 변환하는 입력 변환기, 이 입력 변환기와 소정거리 이격된 빗살형태로 대립 형성되어 기계적인 진동을 다시 전기적인 신호로 변환하는 출력 변환기, 및 상기 압전기판의 양 끝단에 형성된 흡음재 등으로 구성된다.
이와 같은 구조를 갖는 SAW 필터의 동작원리를 입력 변환기에 인가된 전기적 신호가 기판의 압전현상에 의해 기계적 진동으로 변하고, 이러한 진동들이 일정한 파형을 형성하여 표면 탄성파를 발생하면, 다시 출력 변환기에 의해 기계적인 진동을 전기적 신호로 변환되게 하여 원하는 주파수 특성을 얻는 것이다.
여기서, 소정의 주파수 특성을 얻고자 하는 SAW 필터의 특성은 입력 변환기에서 출력 변환기에 도달되는 신호의 시간지연 및 진폭변조의 변화로 결정된다. 따라서, 입력 변환기에서 출력 변환기에 도달되는 신호의 시간지연이 설계값과 동일하게 나타나지 않을 경우에는 SAW 필터의 특성이 왜곡된다.
통상, "2차 효과"라고도 불리우는 상술한 SAW 필터의 왜곡현상에는 압전기판의 측면을 타고 전달되는 전자기 직달파(direct feedthrough), 표면 탄성파가 출력 변환기가 임피이던스와 매칭되지 않아 반사되는 TFT(triple transit echo)파, 압전기판의 양쪽 끝단에서 반사되는 반사파, 및 압전기판의 저면으로 전달되는 벌크파 등이 있다.
불필요한 2차효과를 게거하는 수단으로 하기의 방법들이 사용되고 있다. 상술한 전자기 직달파는 입력변환기와 출력변환기 사이에 접지를 형성하여 게거하고, 상술한 양 끝단 반사파는 압전기판의 양 끝단에 흡음재를 도포하여 흡수하며, 상기 벌크파는 압전기판의 저면을 거칠게 가공하여 벌크파가 난반사되도록 하고있다.
이때, 상술한 끝단 반사파를 게거하기 위해 압전기판의 단부에 흡음재를 형성하는 방법으로 통상 스위치(squeegee)를 이용한 스크린 인쇄방법을 사용하고 있다.
제1도는 종래 SAW 필터의 흡음재 인쇄방법을 설명하기 위한 도면으로서,(a)는 인쇄장치의 배치도이고, (b)는 인쇄장치의 설명도를 각각 도시한 것이다. 제1도에 도시한 바와 같이, 압전성 기핀으로 이루어진 웨이퍼(11)위에 인쇄하고자 하는 모양의 흡음재 패턴(13)이 새겨진 스크린 마스크(15)를 을려놓고 잉크(14)를 바른 다음, 고무막대(17)가 부착된 스퀴지(19)로 눌러 웨이퍼(11)위의 소정 위치에 반사파를 횹수하는 흡음재(13')를 형성한다.
그러나, 상술한 흡음재 인쇄방법은 다음과 같은 문제점을 안고 있다. 첫번째 문제점은 현재 흡음재 도포에 사용되고 있는 마켐(markem) 잉크의 가격이 비싸다는 것이다. 단가가 비싼 마켐 잉크(모델명, 7224White)를 굳이 사용하고 있는 까닭은, 흡음재 도포시 소정거리를 두고 근접해 있는 상술한 입·출력 변환기에 잉크가 번지는 것을 막기 위함이다. 따라서, 점도특성을 감안하여 상대적으로 비싼 마켐 잉크가 사용되고 있으며, 동일한 이유로 인하여 소정온도 이상에서의 베이킹(baking) 처리가 불가졀 하였다.
두번째 문제점은 스크린 마스크와 웨이퍼가 접촉한 상태에서 얼라인(aIign) 공정이 이루어지기 때문에 매 웨이퍼마다 일일이 얼라인을 해야되는 번거로움과 얼라인 공정시간이 길어진다는 것이다.
세번째는 인쇄되는 잉크의 두께를 정확히 조절할 수 없기 때문에 SAW 필터의 진폭특성이 저하되는 문제가 발생하고 있다.
따라서, 본 발명은 상술한 여러 문제점들을 해결하기 위한 방안으로서, SAW 필터 제조의 원가절하 및 수율향상에 기여할 수 있는 분무식 흡음재 도포방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 SAW 필터의 반사파를 제거하기 위한 흡음재 도포방법에 있어서, 웨이퍼 상부와 소정간격을 두고 이격된 스크린 마스크를 통하여 에폭시를 분무시켜서 소정 형상의 흡음재 패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다.
이하, 제2도를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
제2도는 본 발명의 흡음재 도포방법을 설명하기 위한 설명도이다. 먼저, 웨이퍼 위에 분무되는 에폭시의 번짐 방지를 위하여 핫-플레이트(20)위에 압전기판으로 이루어진 웨이퍼(21)를 올려 놓은 후, 상기 웨이퍼(21)의 상부에 소정 형상의 흡음재 패턴이 새겨진 스크린 마스크(25)를 소정 간격을 두고 이격되게 설치한다.
다음 공정으로, 상기 스크린 마스크(25) 위에서 노즐을 사용하여 에폭시를 분무시키면 스크린 마스크(25)의 흡음재 패턴을 관통한 에폭시가 웨이퍼(21)위에 도포되어 소정 형상의 흡음재(23)가 형성된다.
이때, 상기 스크린 마스크를 통하여 분무되는 에폭시는 종래 스퀴지 인쇄방법에 사용되던 값비싼 마켐 잉크 대용으로 온도 특성 및 점도 특성에 관계없이 페인트 종류, 예컨데 도장용 메인트 또는 루버 실리큰 등을 다양하게 사용할 수 있다.
또한, 종래 스퀴지 방법에 비해 인쇄되는 흡음재(23)의 두께를 정확히 조절할 수 있다. 따라서, SAW필터의 반사파를 흡수하는데 용이하며, 필터의 리플(ripple)특성 또한 개선된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 분무식 흡음재 도포방법은 SAW 필터의 제조에 이용될 경우, 종래의 스퀴지 인쇄방법에 비해 제조 원가 및 수율이 향상되는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 번짐 방지를 위해 웨이퍼를 핫-플레이트에 을려 놓는 단계, 상기 웨이퍼의 상부에 소정 형상의 흡음재 패턴이 새겨진 스크린 마스크를 소정 간격을 두고 이격되도록 설치하는 단계, 및 상기 스크린 마스크 위에서 에폭시를 분무시켜 웨이퍼 상부에 흡음재를 도포하는 단계로 이루어진 표면 탄성파 필터의 흡음재 도포방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 스크린 마스크 위에서 분무되는 에폭시가 도장용 페인트 또는 루버(rubber)실리콘으로 된 것을 특징으로 하는 흡음재 도포방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2010050732A2 (ko) * 2008-10-30 2010-05-06 주식회사 씽크코트 알루미늄 튜브 및 그 제조방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2010050732A2 (ko) * 2008-10-30 2010-05-06 주식회사 씽크코트 알루미늄 튜브 및 그 제조방법
WO2010050732A3 (ko) * 2008-10-30 2010-07-29 주식회사 씽크코트 알루미늄 튜브 및 그 제조방법

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