KR940020295A - 자기 헤드의 연자성 박막구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 포화 지속밀도와 투자율등의 연자기 특성을 향상시키는것에 관한 것으로, Fe-M-N 합금(M:Cr,Ti,Zr,Ta,Hf,Al,Nb등에서 1총 이상) 또는 Fe-Al-Si 합금과 같은 연자성 박막과 중간층으로 Fe10N2박막이 교대로 반복하여 적층된 구조로 이루어진 자기 헤드의 연자성 박막 구조로 이루어지고, 이와같은 구조를 제조함에 있어서는 sputtering법으로 Fe-M-N 합금 또는 Fe-Al-Si 합금 박막을 제조하는 단계와, 상기 박막층위에 Fe 박막을 성막후 N(질소) 이온을 주입시켜 Fe16N2상이 되도록 하는 단계와, 상기 단계를 교대로 반복하여 적층시킨 후 열처리하는 단계로 이루어진 연자성 박막의 제조 방법에 관한 기술임.

Description

자기 헤드의 연자성 박막구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 Fe10N2의 결정 구조도, 제2도는 Fe박막의 가열, 냉각에 따른 상(phase) 및 고포화 지속밀도의 변화를 나타낸 그래프, 제3도는 본 발명의 적층 박막 구조도, 제4도는 열처리 온도에 따른 고포화 지속밀도를 나타낸 그래프.

Claims (3)

  1. Fe-M-N 합금(M:Cr,Ti,Zr,Ta,Hf,Al,Nb등에서 1총 이상) 또는 Fe-Al-Si 합금과 같은 연자성 박막과 중간층으로 Fe10N2박막이 교대로 반복하여 적층된 구조로 이루어짐을 특징으로 하는 자기 헤드의 연자성 박막 구조.
  2. 스퍼터링(sputtering)법에 의해 Fe-Al-Si합금(M:Cr,Ti,Zr,Ta,Hf,Al,Nb등에서 1종이상) 또는 Fe-Al-Si 합금 박막을 제조하는 단계와, 상기 박막층위에 Fe박막을 성막후 N(질소) 이온을 주입(implantation)시켜 Fe16N2상(phase)이 되도록 하는 단계와, 상기 단계를 교대로 반복하여 적층시킨후 열처리하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 자기헤드의 연자성 적층 박막 구조의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 열처리 온도가 250~350℃임을 특징으로 하는 자기헤드의 연자성 적층 박막 구조의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100279786B1 (ko) * 1996-04-12 2001-03-02 가나이 쓰도무 연자성 박막과 그것을 사용한 자기헤드 및 자기기록장치
KR100430671B1 (ko) * 2001-09-08 2004-05-10 한국전기연구원 자기소자용 ＦｅＴａＮ계 연자성 박막의 제조방법

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