KR940015455A - 공통 개구식 다중 센서 포강시선 검사장치 - Google Patents

Abstract

포강시선 검사장치(10)은 제1및 제2센서(22,24)를 적절하게 정렬시키기 위하여 포강시선 검사 표적 신호를 발생하도록 내부 포강시선 검사 표적 발생기(28)를 사용한다. 비임 분할기(52)와 모서리 반사기(60)은 광학 부재들을 명확한 시야선을 제공하는 위치로 이동시키고 또 이 위치 밖으로 이동시킬 필요없이 센서(22,24)가 포강시선 검사 표적 신호 또는 표적 신호를 관찰할 수 있도록 광경로(100)을 따라 배열된다.

Description

공통 개구식 다중 센서 포강시선 검사장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 원리에 따른 여러 부품들의 관계를 도시한 공통 개구식 다중 센서 포강시선 검사 장치의 사시도, 제2도는 포강시선 검사 모드에서 작동하는 본 발명이 광학 부품들의 유기적인 관계를 도시하는 포강시선 검사 장치의 개략도, 제3도는 레이저 거리 탐지/지정 모드에서 작동하는 본 발명의 장치를 도시한 제2도와 유사한 개략도.

Claims (12)

1. 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치에 있어서, 표적 신호를 수신하기 위한 개구를 갖는 망원경 수단과, 표적 신호의 제1주파수 성분을 감지하여 이로 부터 화상을 발생시키는 제1센서 수단과, 표적 신호의 제2주파수 성분을 감지하여 이로부터 화상을 발생시키는 제2센서 수단과, 제1광 경로를 따라 포강시선 검사 표적 신호를 내부적으로 발생시키는 포강시선 검사 표적 발생 수단을 포함하며, 상기 제1및 제2센서 수단이 포강시선 검사 표적 신호와 정확하게 정렬된 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
2. 제1항에 있어서, 제1센서 수단이 표적 신호의 가시성 주파수 성분을 감지하고, 제2센서 수단이 표적 신호의 적외선 주파수 성분을 감지하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 장치가, 포강시선 검사 표적 신호를 역반사시키기 위해 포강시선 검사 표적 발생 수단의 반대편에 있는 제1광 경로의 단부에 배열된 모서리 반사기 수단과, 포강시선 검사 표적 신호를 제1광 경로를 따라 모서리 반사기 수단 쪽으로 전달하기 위해 그리고 모서리 반사기 수단에 의해 후방 표면으로 부터 역반사된 포강시선 검사 표적 신호를 제2광 경로를 따라 반사시키기 위해 포강 시선 검사 표적 발생 수단과 모서리 반사기 수단 사이에서 제1광 경로를 따라 삽입된 제1비임 분할기 수단과, 포강시선 검사 표적 신호의 제1주파수 성분을 제1센서 수단쪽으로 전달하기 위해 그리고 이로부터의 포강시선 검사 표적 신호의 제2주파수 성분을 제3광 경로를 따라 반사시키기 위해 제1비임 분할기 수단과 제1센서 수단 사이에서 제2광 경로를 따라 삽입된 제2비임 분할기 수단을 포함하며, 상기 제1센서 수단이 제1비임 분할기 수단의 반대편에서 제2광 경로를 따라 배열되고, 상기 제2센서 수단이 제2비임 분할기 수단의 반대편에서 제3광 경로를 따라 배열된 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
4. 제1항에 있어서, 포강시선 검사 표적 발생기 수단이, 백열 포강시선 검사 표적 신호를 발생시키는 동력원 전구 수단과, 이 동력원 전구 수단에 인접하게 위치하고 백열 포강시선 검사 표적 신호를 감쇠시키기에 충분한 크기인 작은 개구를 갖는 표적판 수단과, 포강시선 검사 표적 신호의 제1및 제2주파수 성분을 시준하기 위해 표적판 수단과 제1비임 분할기 사이에 삽입된 시준 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
5. 제1항에 있어서, 포강시선 검사 장치가 제1광 경로를 따라 전달된 신호를 증폭하기 위하여 포강시선 검사 표적 발생 수단과 망원경 수단 사이에 삽입된 예비 팽창기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
6. 제1항에 있어서, 포강시선 검사 장치가 신호를 제1또는 제2센서 수단 상에 충돌시키기 전에 차단하기 위한 센서 셔터 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
7. 제1항에 있어서, 포강시선 검사 장치가 망원경 수단을 통해 전달 또는 수신되는 신호를 차단하기 위한 포강시선 셔터 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
8. 제1항에 있어서, 포강시선 검사 장치가 망원경 수단을 통한 레이저 지정 신호를 전달하기 위한 레이저 동력원 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
9. 제8항에 있어서, 포강시선 검사 장치가 이로 부터의 레이저 지정 신호를 반사하기 위해 그리고 포강시선 검사 표적 신호를 동일한 광 경로를 따라 전달하기 위해 레이저 동력원 수단에 인접하게 배열된 제3비임 분할기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
10. 제8항에 있어서, 제1비임 분할기 수단이 이의 전방 표면으로부터 망원경 수단을 통해 제4광경로를 따라 레이저 지정 신호를 반사시키는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.
11. 제8항에 있어서, 포강시선 검사 장치가 망원경 수단을 통해 전달된 레이저 지정 신호와 망원경 수단에 의해 수신된 복귀 신호 사이의 시간 지연을 측정하기 위한 거리 탐지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사장치.
12. 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치에 있어서, 표적 신호를 수신하기 위한 개구를 갖는 망원경 수단과, 표적 신호의 가시성 주파수 성분을 감지하여 이로부터 가시성 화상을 발생시키는 제1센서 수단과, 표적 신호의 적외선 주파수 성분을 감지하여 이로 부터 가시성 화상을 발생시키는 제2센서 수단과, 망원경 수단을 통해 레이저 지정 신호를 전달하는 레이저 공급원 수단과, 제1광 경로를 따라 포강시선 검사 표적 신호를 내부적으로 발생시키기 위한 포강시선 검사 표적 발생 수단을 포함하며, 상기 제1및 제2센서 수단이 포강시선 검사 표적 신호와 정확하게 정렬된 것을 특징으로 하는 다중 센서 전자 광학식 포강시선 검사 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.