KR940009957A - 높은 보자력을 갖는 코발트/파라디움 광자기 다층박막 및 그 제조방법 - Google Patents

높은 보자력을 갖는 코발트/파라디움 광자기 다층박막 및 그 제조방법 Download PDF

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KR940009957A
KR940009957A KR1019920018620A KR920018620A KR940009957A KR 940009957 A KR940009957 A KR 940009957A KR 1019920018620 A KR1019920018620 A KR 1019920018620A KR 920018620 A KR920018620 A KR 920018620A KR 940009957 A KR940009957 A KR 940009957A
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강정수
이영백
김상국
정재인
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정명식
포항종합제철 주식회사
백덕현
재단법인산업과학기술연구소
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Abstract

본 발명은 광자기기록매체로서 사용되는 코발트/파라디움 광자기 다층박막 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 중착율을 조절하여 단락적계면을 형성하고 그리고/또는 Co/Pd층의 최종 Co층과 기판사이에 Pd 완충층을 증착시키므로서 수직자가 이력고선의 완전한 각형성 및/또는 우수한 보자력을 Co/Pd 광자기 다층박막 및 그 제조방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.
본 발명은 두께가 각각 2-3Å과 6-10Å인 Co/Pd 단위이층이 기판상에 10회이상 반복되어 구성되는 Co/Pd 광자기다층박막에 있어서, 상기 다수의 Co/Pd 단위이층중 최소단위 이층의 Co층과 기판사이에 두께가 100Å이상인 파라디움(Pd)층이 증착되어 있는 높은 보자력을 갖는 Co/Pd 광자기다층박막 및 그 제조방법을 요지로 한다.

Description

높은 보자력을 갖는 코발트/파라디움 광자기 다층박막 및 그 제조방법.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 Co/Pd 광자기 다층박막을 제조하기 위한 진공 증착기의 일례를 나타내는 개략도,
제2도는 본 발명에 따라 제조된 Co/Pd 광자기 다층박막의 층상형태를 나타내는 개략도,
제3도는 본 발명에 따라 제조된 Co/Pd 다층박막에 대한 X-선 회절 분석도.

Claims (4)

  1. 진공증착법을 이용하여 두께가 각각 2-3Å과 6-10Å인 Co/Pd 단위이층이 기판상에 10회이상 반복되도록 기판상에 증착시켜 Co/Pd 다층박막을 제조하는 방법에 있어서, 상기 Co/Pd 단위이층을 증착하기 앞서, 최초단위이층의 Co층과 기판사이에 두께가 100Å 이상이 되도록 파라디움(Pd)층을 증착시키는 것을 특징으로 하는 높은 보자력을 갖는 Co/Pd 광자기 다층박막의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 파라디움층 및 Co/Pd 단위이층중의 Co층과 Pd층이 각각 0.1-0.3Å/초의 증착율로 증착되는 것을 특징으로 하는 높은 보자력을 갖는 Co/Pd 광자기 다층박막의 제조방법.
  3. 두께가 각각 2-3Å과 6-10Å인 Co/Pd 단위이층이 기판상에 10회 이상 반복되어 구성되는 Co/Pd 광자기 다층박막에 있어서, 상기 다수의 Co/Pd 단위이층중 최초단위 이층의 Co층과 기판 사이에 두께가 100Å 이상인 파라디움(Pd)층이 증착되어 있는 것을 특징으로 하는 높은 보자력을 갖는 Co/Pd 광자기 다층박막.
  4. 제3항에 있어서, 다층박막이 3.000e 이상의 보자력 및 수직자가 이력곡선의 완전한 각형성을 갖는 것을 특징으로 하는 높은 보자력을 갖는 Co/Pd 광자기 다층박막.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920018620A 1992-10-09 1992-10-09 높은 보자력을 갖는 코발트/파라디움 광자기 다층박막 및 그 제조방법 KR940009957A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150110680A (ko) * 2013-01-28 2015-10-02 디아소린 에스.피.에이. 1,25-디히드록시비타민 d 및 관련 항체를 탐지하는 방법 및 키트

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