KR940009573B1 - 트랩(Trap) - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

트랩(Trap)

제 1 도는 일반적인 진공흡입장치를 개략적으로 도시한 개념도.

제 2 도는 종래 트랩을 발췌하여 도시한 분리사시도.

제 3 도는 본 발명에 따른 트랩을 도시한 것으로서, (a)도는 일부절제 사시도이고, (b)도는 입단면도이다.

본 발명은 트랩에 관한 것으로서, 특히 각종 반도체 장비의 진공흡입장치에 사용되는 카트리지형 파우더 트랩에 관한 것이다.

통상적으로 각종 산업기계, 특히 반도체 제조장비에 사용되는 진공흡입장치는 제 1 도에 나타내 보인 바와같이 반도체 제조장비의 반응조(2)와 진공펌프(3)를 연결하는 연결관(4)과, 상기 연결관(4)에 설치된 트랩(10) 및 게이트 밸브(Gate Valve ; 6)와 상기 게이트밸브(6)의 양측 연결관(4)과 연통되도록 설치되며 밸브(7)가 설치된 분기관 (8)을 구비하여 구성된다. 여기에서 상기 트랩(10)은 제 2 도에 나타내 보인 바와같이 제 1 결합관(11a)과 연결되는 캡(11)과 제 2 결합관(13a)이 연결되어 상기 캡(1)과 결합되는 원통형의 몸체(13)내부에 두루마리형 매쉬필터(mash filter) (12)가 설치되어 된 것이다.

상기와 같이 진공흡입장치(1)의 연결관(4)에 설치된 트랩(10)은 상기 진공펌프(3)가 작동함에 따라 상기 반응조(2)의 발생한 가스가 상기 진공펌프(3)에 의해 흡입되게 되는데 이때에 상기 반응조(2)에서 발생한 파우더(powder)는 상기 트랩(10)의 매쉬필터(12)에 의해 필터링되게 된다. 그런데, 상기 트랩 (10)의 매쉬필터(12)는 두루마리형으로 이루어져 있으므로 필터링작용이 연결관(4)과 결합된 제 1 결합관(11a)측 즉 가스유입구측에서 주로 이루어지게 되므로 매쉬필터를 장시간 사용할 수 없었다. 이를 더욱 상세하게 설명하면 상기 반응조(2)로부터 발생한 파우더는 상기 트랩(10)을 통과하면서 매쉬필터(12)의 입구측에서 집중적으로 필터링되게 되므로 입구측이 막히게 되면 매쉬필터(12)의 필터링효과가 급격히 저하되게 되며 나아가서는 진공펌프(3)의 펌핑능력이 저하되어 반응조(2)에서 이루어지는 반도체 제조공정의 불량이 발생하게 되는 것이다. 따라서 상기 매쉬필터의 사용기간이 짧아 자주 교체하여 주어야 한다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 필터링 효과를 장기간 지속되도록 하여 매쉬필터의 교체 및 세정에 따른 작업공수를 대폭 저감시킬 수 있으며 나아가서는 이를 채용한 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 트랩을 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 양측면에 제 1, 2 결합관이 형성된 진공챔버와 상기 진공챔버내부에 상기 진공챔버의 내부공간부를 제 1 결합관측으로부터 분할하되 인접하는 내부공간부와 연통되는 개구부를 갖도록 설치되는 복수개의 판상의 매쉬필터를 구비하여 된 것을 그 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 트랩 (trap) (20)은 제 1 도에 나타내 보인 진공흡입장치의 진공펌프(3)와 연결관(4)에 의해 연결된 것으로 제 3 도에 나타내 보인 바와같이 진공챔버(21)의 상호 대향되는 면 양측에 제 1, 2 결합관(21a) (21b)이 각각 형성되고 상기 챔버(21)의 내부에는 복수개의 판상 매쉬필터(22)가 상호 소정간격 이격되어 챔버(21)의 내부공간부(21c)를 분할하게 되는데, 상기 매쉬필터(22)의 적어도 일측가장자리(22a)와 이와 대응되는 챔버 내측면사이에는 소정크기의 개구부(23)가 형성된다. 여기에서 상기 개구부(23)는 상기 매쉬필터(22)을 상기 챔버(21)의 내부공간부(21c)의 수직폭보다 작게 형성함으로써 형성되게 함이 바람직하며 상기 개구부(23)는 인접하는 매쉬필터(22)에 의해 형성된 개구부(23)와 상호 엊갈리게 형성함이 바람직하다. 미설명부호 24는 챔버의 커버이다.

이와같이 구성된 본 발명에 따른 트랩의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저 상기 진공흡입장치(1)의 진공펌프(13)가 작동하게 됨에 따라 트랩(20)은 챔버(21)내부에 복수개의 매쉬필터(22)가 소정간격 이격되도록 설치되어 있으므로 반응조(2)로부터 가스에 편승되어 흡입되는 이물의 필터링효과를 종래에 비하여 향상시킬 수 있다. 즉, 상기 연결관(4)으로부터 유입되는 가스는 챔버 (21)의 첫 번째 매쉬필터(22)에 의해 필터링되게 되고, 여기에서 필터링되지 못한 이물은 상기 개구부(23)를 통하여 인접하는 매쉬필터(22)에 의해 필터링되게 된다. 따라서 종래의 두루마리필터와 같이 그 입구측이 막혀 급격히 필터링 효과가 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 특히 상기 개구부(23)는 인접하는 개구부와 그 위치가 엊갈리게 형성되어 있으므로 유입되는 가스가 이를 통과하게 되는 손실수두가 커 상기 매쉬필터(22)에 의한 필터링효과를 향상시킬 수 있게 된다.

이와같이 본 발명 트랩은 복수개의 판상 매쉬필터를 사용함으로써 필터링효과를 향상시킬 수 있으며 필터의 세정주기를 연장하여 이를 채용한 설비의 가동효율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (3)

1. 양측면에 제 1, 2 결합관(21a) (21b)이 형성된 진공챔버(21)와 상기 진공챔버(21) 내부에 상기 진공챔버(21)의 내부공간부(21c)를 제 1 결합관(21a)측으로부터 분할하되 인접하는 내부공간부(21c)와 연통되는 개구부(23)를 갖도록 설치되는 복수개의 판상 매쉬필터(22)를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 트랩.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 개구부(23)가 적어도 일측의 매쉬필터(22)의 가장자리와 챔버(21)의 내측면사이에 형성된 것을 특징으로 하는 트랩.
3. 제 1 항 또는 제 2 항중 적어도 어느 한 항에 있어서, 상기 각 매쉬필터(22)와 챔버(21)의 내측면사이에 형성된 개구부(23)가 인접하는 매쉬필터(22)에 의해 형성되는 개구부(23)와 엊갈리게 위치되는 것을 특징으로 하는 트랩.