KR930017131A - 트랩(Trap) - Google Patents

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KR930017131A
KR930017131A KR1019920000808A KR920000808A KR930017131A KR 930017131 A KR930017131 A KR 930017131A KR 1019920000808 A KR1019920000808 A KR 1019920000808A KR 920000808 A KR920000808 A KR 920000808A KR 930017131 A KR930017131 A KR 930017131A
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KR
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chamber
opening
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KR1019920000808A
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김역환
박경신
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

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Abstract

본 발명은 트랩을 개시한다.
본 발명은 양측면에 제1, 2결합관이 형성된 진공챔버와 상기 진공챔버내부에 상기 진공챔버의 내부공간부를 제1결합관측으로부터 분할하되 인접하는 내부공간부와 연통되는 개구부를 갖도록 설치되는 복수개의 판상의 매쉬필터를 구비하여 된 것에 특징이 있으며 이는 종래 두두라미필터에 비하여 필터링효과를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Description

트랩(Trap)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 본 발명에 따른 트랩을 도시한 것으로서, (a)도는 일부절제 사시도이고, (b)도는 입단면도이다.

Claims (3)

  1. 양측면에 제 1, 2 결합관(21a) (21b)이 형성된 진공챔버(21)와 상기 진공챔버(21) 내부에 상기 진공챔버(21)의 내부공간부(21c)를 제 1 결합관(21a)측으로부터 분할하되 인접하는 내부공간부(21c)와 연통되는 개구부(23)를 갖도록 설치되는복수개의 판상 매쉬필터(22)를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 트랩.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 개구부(23)가 적어도 일측의 매쉬필터(22)의 가장자리와 챔버(21)의 내측면사이에 형성된 것을특징으로 하는 트랩.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항중 적어도 어느 한 항에 있어서, 상기 각 매쉬필터(22)와 챔버(21)의 내측면사이에 형성된 개구부(23)가 인접하는 매쉬필터(22)에 의해 형성되는 개구부(23)와 엊갈리게 위치되는 것을 특징으로 하는 트랩.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019920000808A 1992-01-21 1992-01-21 트랩(Trap) KR940009573B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100834492B1 (ko) * 2007-08-21 2008-06-02 주식회사 엠아이 반도체 반응 부산물 트랩장치

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