KR940002023Y1 - 현미경판의 자동 이송장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

현미경판의 자동 이송장치

제1도는 본 고안 장치를 나타낸 사시도.

제2도는 종래 장치의 요부를 나타낸 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 전후이송판 2 : 좌우이송판

1a, 1b : 랙 3, 4 : 피니언

5 : 변속장치 6 : 벨트

7, 8 : 풀리 9 : 모터

10 : 솔레노이드

본 고안은 웨이퍼(wafer)의 외관 검사를 실시하는 현미경판의 자동 이송장치에 관한 것이다.

종래에는 웨이퍼의 외관을 검사하는 현미경의 대물렌즈(도시는 생략함) 하방에 제2도에 도시한 바와 같이 전후이송판(1)과 좌우이송판(2)을 설치하고 각 판의 일측에는 랙(1a)(1b)을 형성함과 함께 랙(1a)(1b)에는 피니언(3)(4)이 맞물리도록 설치되어 있다.

따라서 사용자가 이송판상에 웨이퍼를 올려놓고 전후이송판(1)의 조절놉(16)을 회전시킨 후, 좌우이송판(2)을 이송시키기 위한 또다른 조절놉(17)을 적절하게 회전시켜 대물렌즈와 대안렌즈를 통해 외관을 식별하게 된다.

그러나 이러한 종래의 장치는 이송판상에 웨이퍼를 올려놓고 전후이송판(1)의 조절놉(16)을 회전시키면서 대물렌즈 중앙부분까지 이송시키는 시간이 지연되어 작업능률이 저하되었음은 물론 각 이송판의 조절놉을 손가락으로 회전시켜 조절하도록 되어 있어 반복작업에 따라 작업자가 쉽게 피로를 느깨게 되는 문제점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 별도의 능력을 이용하여 각 이송판을 자동으로 이송시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 형태에 따르면, 전후이송판과 좌우 이송판의 일측에 랙을 형성하고 각 랙에는 피니언의 맞물리도록 설치하여서 된 현미경에 있어서, 각 피니언의 하방에 변속장치와 벨트로 연결된 풀리를 설치하고 변속장치의 하방에는 솔레노이드에 의해 승강될 수 있도록 모터를 설치하여서 된 현미경판의 자동 이송장치 제공된다.

이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제1도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제1도는 본 고안 장치를 나타낸 사시도로서, 전후이송판(1)과 좌우이송판(2)의 일측에 랙(1a)(1b)이 형성되고 있고 각 랙(1a)(1b)에는 피니언(3)(4)이 맞물려 있으며 피니언은 변속장치(5)와 벨트(6)를 연결된 풀리(7)(8)를 회전시킴에 따라 각 이송판이 사방으로 이송될 수 있도록 되어 있다.

또한 변속장치(5)의 하방에는 변속장치에 내장된 기어를 회전시켜주기 위한 모터(9)와, 모터(9)를 승강시켜 기어를 변속시키는 솔레노이드(10)가 차례로 설치되어 있다.

그리고 모터(9)에는 모터의 속도를 조절하는 속도 조절장치(11)와, 모터(9)를 구동시키는 모터 드라이버(12)가 차례로 상호 연결되어 있고 솔레노이드(10)에는 솔레노이드(10)의 전원을 온오프시키기 위한 스위치(13)가 연결되어 있으며 이들은 키이보오드(14)의 버튼조작에 따라 마이콤(15)에 의해 동작되도록 되어 있다.

이때 키이보오드(15)에는 기능을 선택하기 위한 버튼이 다수개 설치된다.

이와같이 구성된 본 고안은 먼저 전후이송판(1)을 움직이기 위해 상키이(14a)를 누르면 마이콤(15)을 통해 스위치(13)에 전원을 인가시키게 되므로 솔레노이드(10)에도 전원이 인가되고, 이에따라 플레밍의 법칙에 따라 모터(9)가 상승되어 변속장치(5)내에 설치된 기어가 변속된다.

그후 전후이송판(1)을 전방으로 이송시키기 위해 키이보오드(14)의 전방이송키이(14b)를 누르면 마이콤(15)에 의해 모터드라이버(12)가 구동되므로 변속장치(5)를 통해 피니언(3)이 회전하여 전후이송판(1)을 전방으로 이송시키게 되는데, 이때 모터(9)의 회전수는 속도조절장치(11)에 의해 조절하여 사용하게 된다.

또한 이와는 반대로 후방이송키이(14c)를 누르면 모터(9)가 역회전을 하게되므로 전후이송판(1)이 후방으로 이송된다.

이와같이 모터(9)를 솔레노이드(10)에 의해 상승시켜 전후이송판(1)을 이송시키면서 위치를 조절한 후 좌우이송판(2)을 이송시키고자 할 경우에는 키이보오드(14)의 하키이(14d)를 누르면 스위치(13)의 전원이 차단되어 솔레노이드(10)에 전원공급이 중단되므로 모터(9)는 자중에 의해 하강하면서 변속장치(5)내에 내장된 기어를 변속시키게 된다.

따라서 키이보오드(14)내에 설치된 키이의 조작으로 좌우이송판(2)을 좌우로 적절히 이송시키면서 이송판상에 얹혀진 웨이퍼를 대물렌즈와 일치시킬 수 있게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안 장치는 피니언(3)(4)의 하방에 변속장치(5)와 벨트(6)로 연결된 풀리(7))8)를 설치하여 풀리(7))8)를 선택적으로 회전시키면서 대물렌즈를 통해 웨이퍼의 외관검사를 할 수 있게 되므로 기기의 자동화에 따른 작업능률을 향상시킬 수 있게 되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 전후이송판(1)과 좌우이송판(2)의 일측에 랙(1a)(1b)을 형성하고 각 랙에는 피니언(3)(4)이 맞물리도록 설치한 것에 있어서, 각 피니언(3)(4)의 하방에 변속장치(5)와 벨트(6)로 연결된 풀리(7)(8)를 설치하고 변속장치(5)의 하방에는 솔레노이드(10)에 의해 승강될 수 있도록 모터(8)를 설치하여서 됨을 특징으로 하는 현미경판의 자동 이송장치.