KR930018294A - 강도 관계식에 의한 공간 파두 평가 방법 및 장치 - Google Patents

강도 관계식에 의한 공간 파두 평가 방법 및 장치 Download PDF

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KR930018294A KR1019930001673A KR930001673A KR930018294A KR 930018294 A KR930018294 A KR 930018294A KR 1019930001673 A KR1019930001673 A KR 1019930001673A KR 930001673 A KR930001673 A KR 930001673A KR 930018294 A KR930018294 A KR 930018294A
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티. 시버트 에드워드
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완다 케이. 덴슨-로우
휴우즈 에어크라프트 캄파니
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Abstract

제1(조리개) 평면(P1)에서의 파두 및 제1평면으로부터 제2(영상) 평면(P2)로 전파되는 파두의 위상차를 결정하기 위한 방법 및 이 방법을 실현하기 위한 장치가 개시되어 있다. 이 방법은 제1평면에서의 파두의 강도를 제공하는 단계, 제2평면에서의 파두의 강도를 측정하는 단계, 및 제공된 제1평면에서의 파두의 강도와 측정된 제2평면에서의 파두의 강도를 사용하는 전달 함수에 따라 제1평면에서의 파두의 위상차를 결정하는 단계를 포함한다. 광 전달 함수를 기술하는 단일 표현식이 미지의 개구 위상 및 알려진 양만을 포함하도록 전개되어 나타난다. 다항식 전개 기술 또는 샘플링 기술에 의해 실현되는 이 표현식에 대한 해는 개구에서의 위상을 산출하고 개구에서의 강도와 함께 개구 파두를 정하도록 나타난다.

Description

강도 관계식에 의한 공간 파두 평가 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 시어링 간섭도에 대한 OTF(광전달 함수)의 관계를 도시하는 단면, 제4도는 영상 및 조리개 평면의 공지의 감도로부터 조리개의 위상 프로필을 구하기 위한 본 발명의 다항식 전개 기술의 단계를 예시하는 플로우차트, 제5도는 2차원 개구에 대한 조리개의 위상프로필을 구하기 위한 1차원 방법의 적용을 예시하는 도면, 제8도는 본 발명의 SWEBIR기술을 사용하는 폐 루프 변형가능한 미러 제어 시스템을 예시하는 블럭도.

Claims (15)

  1. 제1평면으로부터 제2평면으로 전파하는 제1평면에서의 파두의 위상 프로필을 결정하기 위한 방법에 있어서, 제1평면에서의 파두의 강도를 제공하는 단계, 제2평면에서의 파두의 강도를 측정하는 단계, 및 제1평면에서의 제공된 파두의 강도 및 제2평면에서의 측정된 파두의 강도를 사용하는 전달 함수에 따라 제1평면에서의 파두의 위상 프로필을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 파두의 강도를 제공하는 단계는 제1평면에서 파두의 강도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 제1평면에서 측정된 강도의 역 퓨리에 변환을 취함으로써 전달 함수를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 파두의 강도를 제공하는 단계는 파두를 수용하는 장치의 개구에서 파두의 강도를 결정하는 단계를 포함하고, 제2평면에서의 파두의 강도를 측정하는 상기 단계는 장치의 영상 평면에서 파두의 강도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 결정 단계는 전달 함수의 N-1도 함수를 계산하는 단계, 우수 수차에 대한 (N-1)2 1차식을 구하는 단계, 기수 계수에 대한 (N-1)2 2차식을 구하는 단계, 및 위상 프로필을 결정하기 위해 상기 식들의 해를 구하는 단계에 의해, N-1수차 계산에 대한 다항식 전개를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 결정 단계는 제2평면에서 N 포인트의 강도를 샘플링 하는 단계를 포함하되, 상기 샘플 강도로 부터, 우수 수차에 대한 (N-1)/2 식을 구하는 단계, 기수 계수에 대한(N-1)/2식을 구하는 단계, 기수 수차에 대한 표시의 모호성을 해결하기 위해 (N/2)-1식을 구하는 단계, 및 위상 프로필을 결정하기 위해 상기 식들의 해를 구하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 측정 단계는 다수의 포인트에서 파두를 측정하기 위해 파두 강도 검출기를 동작시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 측정단계는 나이키스트 비율을 초과하거나 동일한 비율로 파두를 측정하기 위해 파두 강도 검출기를 동작시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 조리개 평면으로부터 영상 평면으로 전파하는 조리개 평면에서의 파두의 위상 맵을 결정하기 위한 장치에 있어서, 영상 평면에서의 파두의 강도를 측정하기 위한 제1수단, 및 상기 측정 수단의 츨력에 결합된 입력을 가지며 조리개 평면에서의 파두의 알려지거나 또는 측정된 강도 및 영상 평면에서의 파두의 측정된 강도를 사용하는 전달 함수에 따라 조리개 평면에서의 파두의 위상차를 결정하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 측정된 강도를 제공하기 위한 상기 결정 수단에 결합된 출력을 가지며, 조리개 평면에서의 파두의 강도를 측정하기 위한 제2측정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 결정 수단은 영상 평면에서 측정된 강도를 역 퓨리에 변환함으로써 얻어지는 결정된 광 전달 함수에 따라 동작하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 결정 수단은 N-1수차 계수에 대하여 다항식 전개를 수행하기 위한 데이타 프로세서 수단을 포함하되, 전달 함수의 N-1도함수를 계산하기 위한 수단, 기수 수차에 대한 (N-1)/2 1차식을 구하기 위한 수단, 우수계수에 대한 (N-1)/2 2차식을 구하기 위한 수단, 및 위상 맵을 결정하기 위해 상기 식들의 해를 구하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제9항에 있어서, 상기 결정 수단이 영상 평면에서의 N포인트에서 측정 강도를 샘플링하기 위한 데이타프로세스 수단을 포함하되, 기수 수차에 대한 (N-1) 2식을 구하기 위한 수단, 우수 수차에 대한 (N-1)/2식을 구하기 위한 수단, 우수 수차에 대해 표시의 모호성을 해결하기 위해 (N/2)-1식을 구하기 위한 수단, 및 위상 맵을 결정하기 위해 상기 식들의 해를 구하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제9항에 있어서, 상기 측정 수단이 다수의 포인트에서 파두를 측정하기 위한 파두 강도 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제9항에 있어서, 상기 측정 수단이 나이키스트 비율을 초과하거나 동일한 비율로 파두를 측정하는 파두 강도 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930001673A 1992-02-07 1993-02-06 강도 관계식에 의한 공간 파두 평가 방법 및 장치 KR930018294A (ko)

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