KR930010639B1 - Fe-soft magnet materials - Google Patents

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가부시끼가이샤 도시바
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Abstract

내용 없음.No content.

Description

Fe 기(基) 연자성 합금Fe base soft magnetic alloy

제1도는 본 발명의 합금과 비교예의 합금 열처리 온도의 변화에 따른 철손(core loss)의 변화를 나타내는 그래프.1 is a graph showing a change in core loss with a change in the alloy heat treatment temperature of the alloy of the present invention and the comparative example.

제2도는 합금내 Y량의 변화에 따른 급냉된 합금의 자기특성을 나타내는그래프.2 is a graph showing the magnetic properties of a quenched alloy according to the change in the amount of Y in the alloy.

제3도는 합금내 입자직경의 변화에 따른 투자율 및 철손의 변화를 나타내는 그래프이다.3 is a graph showing the change of permeability and iron loss according to the change of the particle diameter in the alloy.

본 발명은 Fe가 연자성 합금에 관한 것이다.The present invention relates to Fe soft alloys.

종래, 스위칭 레귤레이터(switching regulator)같은 고주파장치에는 퍼어말로이(permalloy) 또는 페라이트 같은 결정질 재료로 된 철심이 사용되었었다. 그러나, 퍼어말로이의 저항비가 낮아서, 고주파에서의 철손(core loss)이 커지게 된다. 또한, 고주파에서의 페라이트의 철손은 작을 지라도, 자속밀도가 기껏해야 5000G로 작다. 따라서, 높은 동작 자속밀도에서 사용하면, 페라이트가 포화에 근접하게 되어, 철손이 증대된다.Conventionally, iron cores made of crystalline materials such as permalloy or ferrite have been used in high frequency devices such as switching regulators. However, the resistance ratio of the Fermaloy is low, resulting in large core loss at high frequencies. In addition, although the iron loss of ferrite at high frequency is small, the magnetic flux density is as small as 5000 G at most. Therefore, when used at a high operating magnetic flux density, the ferrite is close to saturation, and iron loss is increased.

최근, 스위칭 레귤레이터에 사용되는 전원 트랜스포머, 평활초우크코일 및 컴먼 모드(common mode) 초우크코일 같은, 고주파에서 사용되는 트랜스포머의 크기를 줄이는 것이 바람직하게 되었다.Recently, it has become desirable to reduce the size of transformers used at high frequencies, such as power transformers, smooth choke coils and common mode choke coils used in switching regulators.

그러나, 크기를 줄이면, 동작 자속밀도가 증대되어, 페라이트 철손의 증대가 심각한 문제가 된다.However, if the size is reduced, the operating magnetic flux density is increased, and increasing the ferrite iron loss is a serious problem.

이러한 이유로 해서, 비정질 자성합금, 즉, 결정구조가 없는 합금이 높은 투자율, 낮은 보자력 같은 양호한 연자기특성으로 해서 최근 주목받고 있고 일부 사용되고 있다. 그러나, 비정질 자성합금은 Fe, Co, Ni 등을 기본으로 하여, 비정질화원소로서 메탈로이드(metalloid) (P, C, B, Si, Al 및 Ge등)를 함유한다. 그러나, 이들 비정질 자성합금들이 전부 고주파영역에서 낮은 철손을 갖는 것은 아니다.For this reason, amorphous magnetic alloys, i.e. alloys without crystal structures, have recently been attracting attention and are being used in part because of their good soft magnetic properties such as high permeability and low coercive force. However, the amorphous magnetic alloy contains metalloid (P, C, B, Si, Al, Ge, etc.) as an amorphous element based on Fe, Co, Ni, and the like. However, not all of these amorphous magnetic alloys have low iron loss in the high frequency region.

철을 기본으로 하는 비정질 합금을 싸고, 50-60Hz의 주파수영역에서 규소장의 1/4 정도의 극히 작은 철손을 가진다. 그러나, 이러한 것들은 10-50Hz의 고주파영역에서 극히 큰 철손을 가지므로 스위칭 레귤레이터에서와 같은 분야의 고주파영역에서 사용하기에는 극히 적합하지 않다.An iron-based amorphous alloy is wrapped and has an extremely small iron loss of about one quarter of the silicon field in the frequency range of 50-60 Hz. However, these have extremely large iron losses in the high frequency range of 10-50 Hz and are therefore not very suitable for use in the high frequency region of the field such as in switching regulators.

이러한 단점을 극복하기 위하여, Fe의 일부를 Nb, Mo, 또는 Cr 등의 비자성 금속으로 치환하여 자기변형(magnetostriction)을 낮추고, 찰손을 낮추며, 투자율을 높일려는 시도가 있었다. 그로나, 예로서 수지 모울딩시의 수지의 경화, 수축등으로 인한 자기 특성의 저하가 Co기 합금에 비해 크게되어, 고주파영역에서 사용할때 그러한 재료들로 만족할만한 전술한 특성들을 얻지 못한다.In order to overcome these disadvantages, an attempt has been made to replace a portion of Fe with a nonmagnetic metal such as Nb, Mo, or Cr to lower magnetostriction, lower scratches, and increase permeability. However, deterioration of the magnetic properties due to curing, shrinkage, etc. of the resin at the time of resin molding, for example, is greater than that of Co-based alloys, thereby failing to obtain the above-described characteristics satisfactory with such materials when used in the high frequency region.

또한, Co기 비정질 합금들은 고주파영역에서 철손이 낮고, 각형비가 높으므로, 가포화 리액터(saturable reactor)같은 전자 장치용 자성부품들에 사용되었었다. 그러나, Co 기 합금의 단가가 비교적 높아서 그러한 재료를 만들기에는 비경제적이다.In addition, Co-based amorphous alloys have been used in magnetic parts for electronic devices such as saturable reactors because of low iron loss and high angular ratios in the high frequency region. However, the cost of Co-based alloys is relatively high, making it uneconomical to make such materials.

전술한 바와 같이, Fe기 비정질 합금은 싼 연자성 재료로 구성될지라도, 비교적 여러가지 문제가 생기며, 철손과 투자율면에서 Co기 비정질 합금보다 나쁘다. 한편, Co기 비정질 합금은 양호한 자기 특성을 가질지라도, 그러한 재료들의 높은 단가로 인해서 공업상 실질적이지 못하다.As described above, although the Fe-based amorphous alloy is composed of inexpensive soft magnetic material, relatively various problems occur and are worse than the Co-based amorphous alloy in terms of iron loss and permeability. On the other hand, Co-based amorphous alloys, although having good magnetic properties, are not practical in industry due to the high cost of such materials.

따라서, 전술한 문제점들을 고려하여, 본 발명의 목적은 고주파영역에서 포화자속밀도가 높고 연자기특성이 양호한 Fe 기 연자성합금을 제공하는데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a Fe-based soft magnetic alloy having a high saturation magnetic flux density and good soft magnetic properties in the high frequency region.

본 발명에 따라서, 다음 일반식과 같은 미세결정입자를 가진 Fe 기 연자성 합금을 제공한다 :According to the present invention, there is provided a Fe-based soft magnetic alloy having microcrystalline particles, such as the following general formula:

Fe100-a-b-c-dMaM'bYcNd Fe 100-abcd M a M ' b Y c N d

M : Cu, Ag, Au, Zn, Sn, Pb, Sb 및 Bi로 된 그룹으로부터 선택되는 적어도 한 원소.M: at least one element selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Zn, Sn, Pb, Sb and Bi.

M' : 주기율표 IVa, Va, VIa 족원소, Mn, Co, Ni 및 Al로 된 그룹으로부터 선택되는 적어도 한 원소M ': at least one element selected from the group consisting of periodic elements IVa, Va, VIa elements, Mn, Co, Ni and Al

Y : Si, P 및 B로 된 그룹으로부터 선택되는 적어도 한 원소Y: at least one element selected from the group consisting of Si, P and B

0.01≤a≤5 (at.%)0.01≤a≤5 (at.%)

0.1≤b≤100.1≤b≤10

15≤c≤2815≤c≤28

0∠d≤80∠d≤8

바람직한 구체적 실시예에 있어서, 합금내에서 미세결정입자는 면적비로 30% 이상 존재하는 것이 바람직하다.In a preferred specific embodiment, the microcrystalline particles in the alloy is preferably present in more than 30% by area ratio.

또한, 미세결정입자의 적어도 80%는 50Å-300Å의 결정입경을 가지는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that at least 80% of the microcrystalline particles have a grain size of 50 GPa-300 GPa.

면적비로 30% 존재되는 미세결정내의 80% 이상을 그 입자직경이 50Å-300Å이 되도록 한정하는 이유는 그 면적비로 30% 존재된 미세결정내의 80% 이상은 그 입자직경이 50Å-300Å 범위의 것을 사용함에 따라 우수한 자성합금을 얻을 수 있고 결정입자가 30% 미만일때는, 비정질상이 70% 이상이 되고, 이 비정질상이 증가하면, 철손과 자기변형이 커지며, 바람직스러운 자성합금이 되기 때문이다. 또한, 입자직경의 한정이유에 대해서는, 입자직경이 작아지면 작아질수록 자기특성은 좋아지지만, 50Å미만으로 제조하는 것이 곤란하고 또한, 50Å 미만으로 함에 따라 얻어지는 자기적 효과를 비교하면, 기대된 만큼의 자기적 특성의 개선을 도모할 수 없기 때문에, 이 범위로 정한 것이다. 또한 300Å를 넘는 입자직경의 미세결정이 포함되어 있으면, 전술한 바와 같이 여러가지 자기특성의 저하를 초래하게 된다.The reason for limiting 80% or more in the microcrystal present in 30% by area ratio to 50Å-300Å is that 80% or more in the microcrystal present in 30% by area ratio means that the particle diameter is in the range of 50Å-300Å. This is because, when used, an excellent magnetic alloy can be obtained, and when the crystal grains are less than 30%, the amorphous phase becomes 70% or more, and when the amorphous phase increases, iron loss and magnetostriction become large, and a desirable magnetic alloy is obtained. As for the reason for the limitation of the particle diameter, the smaller the particle diameter is, the better the magnetic properties are, but it is difficult to produce less than 50 μs, and as compared with the magnetic effect obtained by less than 50 μs, Since the magnetic properties of the film cannot be improved, the range is set in this range. In addition, when microcrystals having a particle diameter of more than 300 GPa are included, various magnetic properties are degraded as described above.

미세결정입자의 "면적비"란 예로서 분쇄연마된 시료를 광현미경으로 또는 현미경적 실험으로 측정된 합금면에서의 전체표면에 대한 미세입자가 차지하는 표면비를 의미한다.The “area area ratio” of the microcrystalline particles means, for example, the surface ratio occupied by the microparticles relative to the entire surface of the alloy surface measured by light microscopy or microscopic experiment.

본 발명 합금의 원하는 조성을 얻기 위해서는, 후술하는 바와 같이 한계내에서 그 조성의 균형을 유지해야 한다.In order to obtain the desired composition of the alloy of the present invention, it is necessary to maintain the balance of the composition within the limits as described later.

본 발명에 따른 합금은 다음식에 따라서 Fe : N : Cu, Ag, Au, Zn, Pb, Sb 및 Bi 중 적어도 하나 : 주기율표상의 IVa족, Va족 및 VIa족, Mn, Co, Ni 및 Al중 적어도 한 원소 : 및 Si, P 및 B중 적어도 하나를 포함한다.The alloy according to the present invention is at least one of Fe: N: Cu, Ag, Au, Zn, Pb, Sb and Bi: Group IVa, Va and VIa, Mn, Co, Ni and Al according to the following formula: At least one element: and at least one of Si, P, and B.

Fe100-a-b-c-dMaM'bYcNd Fe 100-abcd M a M ' b Y c N d

M : Cu, Ag, Au, Zn, Sn, Pb, Sb 및 Bi로 된 그룹으로부터 선택된 적어도 한 원소.M: at least one element selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Zn, Sn, Pb, Sb and Bi.

M' : 주기율표상의 IVa족, Va족, VIa족, Mn, Co, Ni 및 Al로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 적어도 한 원소M ': at least one element selected from the group consisting of Groups IVa, Va, VIa, Mn, Co, Ni and Al on the periodic table

Y : Si, P 및 B로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 적어도 한 원소Y: at least one element selected from the group consisting of Si, P and B

0.01≤a≤5 (at.%)0.01≤a≤5 (at.%)

0.1≤b≤100.1≤b≤10

15≤c≤2815≤c≤28

0<d≤80 <d≤8

신규한 합금의 바람직한 특성들을 얻기 위해서 본 발명 합금은 전술한 양의 구성 성분들을 포함하는 것이 중요하다.In order to obtain the desirable properties of the novel alloy, it is important that the alloy of the present invention comprises the constituents in the amounts described above.

"M"은 Cu, Ag, Au, Zn, Sn, Pb, Sb 및 Bi로 구성되는 그룹으로부터 선택된 적어도 한 원소이다.M is at least one element selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Zn, Sn, Pb, Sb and Bi.

이들 원소들은 내식성을 높이고, 결정입자가 거칠게 되는 것을 막고, 철손 및 투자율 같은 연자기 특성을 개선하는데 유효한 원소들이다. 그러나, 너무 작게 존재하면 첨가의 효과를 얻지 못한다.These elements are effective in improving corrosion resistance, preventing grains from coarsening, and improving soft magnetic properties such as iron loss and permeability. However, if it is too small, the effect of the addition is not obtained.

반면에 나무 많은 "M"이 존재하면, 자기특성의 저하를 초래한다. 따라서, 0.01 내지 5at. %의 범위가 적절하며, 바람직하기로는 그 양은 0.5 내지 3at.%이다.On the other hand, the presence of a large tree "M" causes a decrease in magnetic properties. Therefore, 0.01 to 5 at. The range of% is appropriate, preferably the amount is 0.5 to 3 at.%.

M의 범위를 상기와 같이 한정하는 이유를 구체적인 예를 들어, Cu가 첨가되어 있는 합금과 Cu가 첨가되어 있지 않은 합금에 관하여 비교한다.The reason for limiting the range of M as mentioned above is compared with respect to the alloy to which Cu is added and the alloy to which Cu is not added concretely, for example.

이 경우, Cu가 첨가되어 있는 합금(합금 1)으로서는, Fe72Cu2Nb3Si3B8N2를 선택하고, Cu가 첨가되어 있지 않은 합금(합금 2)으로서는, Fe75Nb3Si13B9를 선택한다. 이들 합금은, 각각 단일롤법에 따라 비정질화 하여, 가장 높은 투자율이 얻어지는 최적 열처리 조건하에서 열처리를 수행하여 얻었다. 이 얻어진 합금은 합금 1에서는 결정화온도이상에서 열처리되고, 주로 약 100Å의 미세결정으로 이루어지며, 한편, 합금 2는 결정화 온도 이하의 열처리조건이 최적이며 비정질상으로 주로 이루어진다. 이들 합금의 자기적 모든 특성은 다음의 표 1에 기술한 바와 같다.In this case, Fe 72 Cu 2 Nb 3 Si 3 B 8 N 2 is selected as the alloy (alloy 1) to which Cu is added, and Fe 75 Nb 3 Si 13 is selected as the alloy (alloy 2) to which Cu is not added. Select B 9 . These alloys were each obtained by performing annealing under an optimum heat treatment condition in which amorphous by the single roll method and the highest permeability is obtained. The obtained alloy is heat-treated at a crystallization temperature or higher in alloy 1, and mainly consists of microcrystals of about 100 kPa, while alloy 2 is mainly composed of an amorphous phase with an optimum heat treatment condition below the crystallization temperature. All magnetic properties of these alloys are as described in Table 1 below.

[표 1]TABLE 1

Figure kpo00001
Figure kpo00001

* 1…1N HCl 수용액중에서의 부식에 따른 초기값에 대한 24시간 경과후의 감량.* One… Reduction after 24 hours of initial value due to corrosion in 1N HCl aqueous solution.

* 2…10kHz, 0.2T* 2… 10 kHz, 0.2 T

* 3…1kHz, 2mOe* 3... 1 kHz, 2 mOe

이 표를 통해서도 분명한 바와 같이, M이 함유되어 있는 점에 따른 효과는, 내식성은 작고, 철손도 적으며 또한, 투자율은 한자리수 이상이나 큰 값을 얻을 수 있다.As is also apparent from this table, the effect of containing M is small in corrosion resistance and low in iron loss, and the permeability can be obtained by one or more orders of magnitude.

"M"은 결정입경을 균일화시키고, 자기변형과 자기이방성을 줄여서 연자기 특성을 개선하는데 유효한 원소이다."M" is an effective element to improve soft magnetic properties by uniformizing grain size and reducing magnetostriction and magnetic anisotropy.

또한, 온도변화에 대한 자기특성을 개선하는데 유효한 원소이다. 그러나, "M"의 양이 너무 적으면, 첨가의 효과를 얻을 수 없고, 반면에 너무 많으면, 포화자속밀도가 저하된다.It is also an effective element for improving magnetic properties against temperature changes. However, if the amount of "M" is too small, the effect of addition cannot be obtained. On the other hand, if too large, the saturation magnetic flux density decreases.

따라서, "M"의 양은 0.1 내지 10at. % 범위에서 선택되며, 바람직하기로는 그 양은 1-7at. %이고, 더욱 바람직하기로는 1.5-5at. %이다. "M"의 첨가하는 양을 한정하는 구체적인 이유를 Al을 예로 들어서 Al이 첨가되어 있는 합금(합금 3)으로서는 Fe71Cu2Nb3Si11Al2B6N2를 선택하고, Al이 첨가되어 있지 않은 합금으로서는 전술한 합금 2(Fe75Nb3Si13B9)를 이용하여 투자율, 철손, 자왜 및 자기이방성에너지에 관하여 비교 설명한다.Therefore, the amount of [M] is 0.1 to 10at. % Range, preferably the amount is 1-7at. %, More preferably 1.5-5 at. %to be. As a specific reason for limiting the amount of "M 첨가 added, Al is added as an alloy to which Al is added (alloy 3), and Fe 71 Cu 2 Nb 3 Si 11 Al 2 B 6 N 2 is selected, and Al is added. As the alloy that does not have, the permeability, iron loss, magnetostriction, and magnetic anisotropy energy will be described using the alloy 2 (Fe 75 Nb 3 Si 13 B 9 ) described above.

이 합금 3은 단일롤법에 따라 비정질화시키고 가장 높은 투자율을 얻을 수 있는 최적 열처리 조건하에서 열처리를 수행하여 얻는다. 이와 같이 얻어진 합금 3은 결정화 온도이상에서 열처리되는 것이고, 주로 약 100Å의 미세결정으로 이루어져 있다.This alloy 3 is obtained by performing annealing under optimum heat treatment conditions that can be amorphous by the single roll method and obtain the highest permeability. Alloy 3 thus obtained is heat-treated above the crystallization temperature, and mainly consists of microcrystals of about 100 GPa.

이들 합금의 자기적 모든 특성은, 다음의 표 2에 표시한 바와 같다.All magnetic properties of these alloys are as shown in Table 2 below.

[표 2]TABLE 2

Figure kpo00002
Figure kpo00002

상기 표에서 명백한 바와 같이 "M"이 함유되어 있는 것에 따른 효과는, 내식성은 작고, 철손도 적으며, 자기변형이 작고, 또한 투자율은 매우 큰 값을 얻을 수 있다.As apparent from the above table, the effect of containing [M] is small in corrosion resistance, low in iron loss, small in magnetostriction, and very high in permeability.

전술한 효과들에 덧붙여, M' 내에서의 여러가지 첨가원소들은 다음과 같은 각각의 효과들을 나타낸다 :In addition to the effects described above, the various additive elements in M 'exhibit respective effects as follows:

IVa족 원소의 경우, 최적자기특성을 얻기위한 열처리조건 범위의 확대 :In the case of group IVa elements, the range of heat treatment conditions to obtain optimum magnetic properties is expanded:

Va족 원소 및 Mn의 경우, 내 메짐성(embrittlement)의 향상 및 절단등과 같은 가공성의 향상 :In the case of group Va element and Mn, improvement of workability such as improvement of embrittlement and cutting:

VIa족 원소의 경우, 내식성의 향상 및 표면형상(surface shape)의 향상 :For group VIa elements, improved corrosion resistance and surface shape:

Al의 경우, 결정입자의 미세화 및 자기 이방성의 저감에 유효하며, 그에 따라 자기변형 및 연자기 특성의 개선등에 효과가 있다.In the case of Al, it is effective for miniaturization of crystal grains and reduction of magnetic anisotropy, which is effective in improving magnetostriction and soft magnetic properties.

"Y"는 제조시 합금을 비정질화시키고, 미세결정을 직접 석출하는데 유효한 원소이다. 그 양이 너무 적으면, 제조시 초급냉의 효과를 얻기 어렵고, 전술한, 상태를 얻지 못하고, 반대로, "Y"의 양이 너무 많으면, 포화자속밀도가 저하되고, 전술한 상태를 얻기 어렵게 되어 우수한 자기특성을 얻지 못하게 된다."Y" is an element effective in amorphizing the alloy during production and directly depositing microcrystals. If the amount is too small, the effect of supercooling at the time of manufacture is hard to be obtained, and the above-described state is not obtained. On the contrary, if the amount of YY is too large, the saturation magnetic flux density is lowered and the above state is difficult to be obtained. Excellent magnetic properties are not obtained.

따라서, 15-28at. %의 범위에서 그 양을 선택하며, 18-26at. %의 범위가 바람직하다.Thus, 15-28at. Select the amount in the range of 18-26at. The range of% is preferable.

급냉된 합금의 자기특성이 그 합금에 함유된 Y량에 따라 어떤 형태로 변화하는가는 그 합금에 있어서 X선 회절(CuKa)의 결과에 따라, bccFe의 최강 피이크(110)면의 회절에너지강도를 비교함에 따라 명확히 밝혀진다.The change in magnetic properties of the quenched alloy depending on the amount of Y contained in the alloy depends on the diffraction energy intensity of the strongest peak 110 of bccFe as a result of X-ray diffraction (CuKa). It becomes clear by comparison.

예를 들면 Fe91.5-cCu3.5Nb3(Si0.55B0.45)cN2의합금을 예로 들어, Y(Si, B)의 양을 각각 바꾸어 측정하면, 다음의 제2도에 표시한 바와 같은 곡선을 얻게 됩니다.For example, an alloy of Fe 91.5-c Cu 3.5 Nb 3 (Si 0.55 B 0.45 ) cN 2 , for example, may be measured by varying the amounts of Y (Si, B), as shown in FIG. You get

이 제2도에서는 C=10의 측정강도를 Io로 하여 각각 Y양의 값에서의 측정강도 I와 비교하여 I/Io로 표시하고 있다. 이 제2도로부터 명백히 알 수 있는 바와 같이 Y량의 C값이 15 내지 28의 범위이면, 그 합금조성에 비정질화가 가능하다는 것을 확인할 수 있다. 또한, 이 제2도에서는, Y양의 C값의 변화량에 대하여, 가장 높은 투자율을 얻을 수 있는 최적처리조건으로 열처리한때의 투자율(1kHz)을 표시하고, 정질화하고 있는 Y량의 C값이 15 내지 28의 범위에서는 높은 투자율을 얻을 수 있다는 것을 알 수 있다.In FIG. 2, the measured intensity of C = 10 is denoted by Io, and is expressed as I / Io compared with the measured intensity I at the value of Y amount, respectively. As can be clearly seen from FIG. 2, if the C value of the Y amount is in the range of 15 to 28, it can be confirmed that amorphousness is possible in the alloy composition. In addition, in FIG. 2, the permeability (1 kHz) when the heat treatment is performed under the optimum processing conditions for obtaining the highest permeability with respect to the change amount of the C value of the Y amount, and the C value of the amount of Y being quantified is It can be seen that a high permeability can be obtained in the range of 15 to 28.

특히, Si/B 또는 Si/P의 비율은 1이상인 것이 바람직하다.In particular, it is preferable that the ratio of Si / B or Si / P is one or more.

상기와 같이 Si/B 또는 Si/P의 비율을 1이상으로 한정하는 구체적인 이유를 다음에 표시한 네가지 종류의 합금(합금 4-7)을 가지고 비교해 본다. 이 네가지 종류의 합금은 단일롤법에 따라 비정질하 시킨후, 가장 높은 투자율을 얻을 수 있는 최적열처리 조건하에서 열처리를 수행하였다. 이 네가지 종류의 예에서는, 어느 것이나 결정화온도 이상에서의 열처리이고, 약 100Å의 미세결정으로 이루어져 있다. 이 네가지 종류의 합금에 관하여, 그 자기적 특성을 다음의 표 3에 나타낸다.As mentioned above, the specific reason for limiting the ratio of Si / B or Si / P to one or more is compared with four types of alloys (alloys 4-7) shown next. The four kinds of alloys were amorphous by the single roll method, and then heat treated under optimum heat treatment conditions to obtain the highest permeability. In these four kinds of examples, all of them are heat treatment at or above the crystallization temperature, and are composed of about 100 GPa of microcrystals. For these four kinds of alloys, their magnetic properties are shown in Table 3 below.

[표 3]TABLE 3

Figure kpo00003
Figure kpo00003

상기 표 3으로부터 Si/B 또는 Si/P의 비율이 1이상인 합금 4 및 합금 6이 Si/B 또는 Si/P의 비율이 1이하인 합금 5 및 합금 7보다도 철손이 적고, 또한 투자율도 매우 큰 것을 알 수 있다.From Table 3, the alloy 4 and the alloy 6 having a Si / B or Si / P ratio of 1 or more have less iron loss than the alloys 5 and 7 having a Si / B or Si / P ratio of 1 or less, and the magnetic permeability is very large. Able to know.

N은 열처리조건의 범위를 넓혀서 최적 자기특성을 얻는데 유효하기 때문에 포함된다.N is included because it is effective for obtaining the optimum magnetic properties by widening the range of heat treatment conditions.

그러나, N의 양이 너무 많으면, 미세결정을 얻기 어려우므로, 그 양을 8at.% 이하로 한다.However, if the amount of N is too large, it is difficult to obtain microcrystals, so the amount is made 8 at% or less.

그 양은 6at.% 이하인 것이 바람직하고, 4at.% 이하인 것은 더욱 바람직하다.It is preferable that the quantity is 6 at% or less, and it is more preferable that it is 4 at% or less.

본원 발명에 질소를 첨가하는 이유는 이러한 종류의 우수한 지성합금을 제조하기 위한 열처리공정에 있어서 열처리 온도 범위를 넓히기 위한 것이며 결정의 미세화에 직접적으로 기여하는 것은 아니다.The reason for adding nitrogen to the present invention is to widen the heat treatment temperature range in the heat treatment process for producing this kind of excellent oily alloy, and does not directly contribute to the refinement of the crystal.

본 발명에 따른 Fe 기 연자성 합금은 다음 방법으로 얻을 수 있다 : 액체 급냉법으로 비정질 합금의 얇은 스트립을 얻은 후, 전술한 비정질 합금의 결정화 온도보다 50℃ 낮은 온도로부터 120℃ 높은 온도 바람직하기로는 결정화온도보다 30℃ 낮은 온도로부터 100℃ 높은 온도까지의 온도에서 1분-10시간, 바람직하기로는 10분-5시간동안 열처리를 행하여 원하는 미세결정을 석출한다.The Fe-based soft magnetic alloy according to the present invention can be obtained by the following method: After obtaining a thin strip of amorphous alloy by the liquid quenching method, the temperature is 50 ° C lower than the crystallization temperature of the above-mentioned amorphous alloy, preferably 120 ° C higher. The desired microcrystals are precipitated by heat treatment at a temperature from 30 ° C lower than the crystallization temperature to 100 ° C higher for 1 minute-10 hours, preferably 10 minutes-5 hours.

본원 발명의 합금을 제조하는 것에 관하여, 소정의 열처리온도범위와, 열처리 시간을 한정하는 이유는, 그 열처리온도가 지나치게 높아지기도 하고, 또는 그 열처리시간이 너무 길어지면, FeB2등의 연자성특성을 저해하는 요인이 되는 상이 석출하기 때문에 결정화 온도에 대하여 소정의 폭을 지닌 값을 제한하는 것이다.In manufacturing the alloy of the present invention, the reason for limiting the predetermined heat treatment temperature range and heat treatment time is that the soft magnetic properties such as FeB 2 if the heat treatment temperature is too high or the heat treatment time is too long. Since the phase which becomes a factor which inhibits the precipitation precipitates, the value which has a predetermined | prescribed width | variety with respect to crystallization temperature is restrict | limited.

또한, 액체급냉법으로 급냉속도를 제어하며 미세결정을 직접석출할 수도 있다.In addition, the liquid quenching method can be used to control the quenching rate and directly deposit the microcrystals.

본 발명의 합금내의 미셀결정입자가 너무 작으면, 즉, 너무 많은 비정질상이 있으면, 철손이 크게 되고, 투자율이 저하되고, 자기 변형이 커지게 되고, 수지 모울딩으로 인한 자기특성의 저하가 증대된다.If the micelle crystal grains in the alloy of the present invention are too small, that is, if there are too many amorphous phases, the iron loss becomes large, the magnetic permeability decreases, the magnetostriction increases, and the deterioration of the magnetic properties due to resin molding increases. .

합금내의 미셀결정입자는 면적비로 적어도 30%이상 존재하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하기로는 적어도 40% 이상, 보다 더욱 바람직하기로는 50%이상 존재하는 것이 좋다.The micelle crystal grains in the alloy are preferably present in an area ratio of at least 30%, more preferably at least 40%, even more preferably 50% or more.

게다가, 미세결정입자의 크기가 너무 작으면, 자기특성의 최대개선을 이루지 못하게 되고, 반대로 너무 크면, 자기특성의 저하가 발생된다.In addition, if the size of the microcrystalline particles is too small, the maximum improvement of the magnetic properties will not be achieved, and if too large, the magnetic properties will be deteriorated.

따라서, 적어도 80%의 미세결정 입자가 결정입경 50-300Å의 결정으로 구성되는 것이 바람직하다.Therefore, it is preferable that at least 80% of the microcrystalline particles consist of crystals having a crystal grain size of 50-300 mm 3.

상기와 같이 미세결정 입자직경의 면적비와 미세결정입자 크기를 한정하는 이유는 철손과 투자율 등의 연자기 특성이 미세결정 입자 크기에 의존하기 때문이다. 구체적인 예를 들면, 합금 Fe76-XCu1NbXSi13B6N2의 Nb의 함유량(X)량을 바꿈에 따라 연자기특성인 1kHz에서의 유전율(μ1KHz) 및 철손이 변화하기 때문에, 어떤 형태로 미세결정입자의 입자직경에 의존하는가를 제3도에 나타내어 설명한다.The reason for limiting the area ratio of the microcrystalline particle diameter and the microcrystalline particle size as described above is that the soft magnetic properties such as iron loss and permeability depend on the microcrystalline particle size. For example, the dielectric constant (μ 1 KHz ) and iron loss at 1 kHz, which are soft magnetic properties, change as the amount of Nb content (X) of the alloy Fe 76-X Cu 1 Nb X Si 13 B 6 N 2 is changed. Fig. 3 shows how the shape depends on the particle diameter of the microcrystalline particles.

[표 4]TABLE 4

Figure kpo00004
Figure kpo00004

이들 표로부터 명백히 알 수 있는 바와 같이 결정입자의 미세화에 따라 자기 특성이 개선된다. 또한, 자기 왜곡에 대해서는, 미세화만에 기인하여 저감하는 것이 아니라, 석출한 bcc-Fe 고용체가 그 요인이 되고 있다. 예를 들면, 제1도에서 사용한 실시에에 관하여 급냉상태의 시료와 520℃에서 열처리한 시료를 스트레인 게이지를 이용하여 측정하면, 각각, 2.1ppm과 1.2ppm이 됨에 따라, 자기 변형이 저감됨을 확인할 수 있다.As apparent from these tables, the magnetic properties are improved as the crystal grains become finer. In addition, the magnetic distortion is not reduced due to miniaturization alone, but the precipitated bcc-Fe solid solution is a factor. For example, when the quenched sample and the sample heat-treated at 520 ° C. were measured using a strain gauge, the magnetic strain was reduced by 2.1 ppm and 1.2 ppm, respectively. Can be.

본 발명의 Fe 기 연자성 합금은 고주파에서의 연자기 특성이 우수하다. 예로서, 자기헤드, 박막헤드, 대전력용 트랜스포머를 포함하는 고주파 트랜스포머, 가포화 리액터 커먼 모드 초우크 코일, 노말모드 초우크 코일, 고전압 펄스 노이즈 필터 및 레이저 전원에 사용되는 자기스위치등과 같은, 고주파에서 사용되는 자심같은 자성부품용 및 전원센서, 방위센서 및 보안센서 등과 같은 각종 센서용의 자성재료용 합금으로서 우수한 특성을 나타낸다.Fe-based soft magnetic alloy of the present invention is excellent in soft magnetic properties at high frequencies. Examples include magnetic heads, thin film heads, high frequency transformers with high power transformers, saturable reactor common mode choke coils, normal mode choke coils, high voltage pulse noise filters and magnetic switches used in laser power supplies, It is an alloy for magnetic materials for magnetic parts such as magnetic cores used at high frequencies and for various sensors such as power sensors, orientation sensors and security sensors, and shows excellent characteristics.

[실시예]EXAMPLE

Fe74Cu2Mo2Si11B9N2을 함유하는 합금으로부터 단일 로울법(single roll method)으로 두께 15㎛의 비정질합금의 얇은 스트립을 얻었다.A thin strip of amorphous alloy having a thickness of 15 μm was obtained from the alloy containing Fe 74 Cu 2 Mo 2 Si 11 B 9 N 2 by a single roll method.

다음으로 이 비정질 합금을 감아서 외경 18mm, 내경 12mm, 높이 4.5mm의 토로이달형 자심을 성형한 후, 약 55℃에서 약 90분동안 열처리했다.Next, the amorphous alloy was wound to form a toroidal magnetic core having an outer diameter of 18 mm, an inner diameter of 12 mm, and a height of 4.5 mm, and then heat-treated at about 55 ° C. for about 90 minutes.

이 합금의 결정화 온도는 승온 속도 10℃/min에서 575℃였다(10℃/min의 승온속도로 측정).The crystallization temperature of this alloy was 575 degreeC at the temperature increase rate of 10 degree-C / min (measured by the temperature increase rate of 10 degree-C / min).

얻어진 자심내의 합금 전체면적에 대해 약 85% 범위의 미세결정입자가 존재하고, 그중에서 50-300Å의 미세결정입자는 약 90%였다.Microcrystalline particles in the range of about 85% were present with respect to the total area of the alloy in the obtained magnetic core, among which 50-300 microns of the microcrystalline particles were about 90%.

또한, 비교를 위해서, 열처리를 약 450℃에서 약 40분동안 행하여 자심을 제조했다.In addition, for comparison, a heat treatment was performed at about 450 ° C. for about 40 minutes to prepare a magnetic core.

얻어진 자심을 TEM으로 관찰한 결과, 이 자심내에서 미세결정입자가 석출되지 않았다.As a result of observing the magnetic core obtained by TEM, microcrystalline particles did not precipitate in this magnetic core.

미세결정입자가 존재하는 본 발명에 따른 자심들로 된 5개의 시료들과, 미세결정입자가 존재하지 않은 자심들로 된 5개의 비교 시료들을 비교해서, 100kHz, 2kG에서의 열처리후의 철손과 에폭시 코팅후의 철손, 자기변형, 1kHz, 2mOe에서의 투자율 및 포화자속밀도를 측정하여, 그 평균치를 표 5에 나타낸다.Comparing five samples of magnetic cores according to the present invention with microcrystalline particles and five comparative samples of magnetic cores without microcrystalline particles, iron loss after heat treatment at 100 kHz and 2 kG and epoxy coating Later iron loss, magnetostriction, permeability and saturation magnetic flux density at 1 kHz and 2 mOe were measured, and the average is shown in Table 5.

[표 5]TABLE 5

Figure kpo00005
Figure kpo00005

표 5로부터 명백하듯이, 동일조성의 비정질의 얇은 스트립을 포함하는 자심의 철손과 비교해서, 본 발명의 합금은 미세결정입자를 가지며, 수지 모울딩후의 철손이 낮으며, 투자율이 높고, 자기변형이 낮으며, 고주파에서의 연기자특성의 우수함을 보여준다.As is apparent from Table 5, the alloy of the present invention has fine crystal grains, low iron loss after resin molding, high permeability, and magnetostriction, as compared with iron cores containing amorphous thin strips of the same composition. It is low and shows excellent performance of the smoker at high frequency.

전술한 합금조성으로 된 자심의 철손을 U함수계를 이용하여 100kHz, 2kG의 측정조건에서 다양한 열처리온도를 사용하여 측정하여, 그 결과를 제1도에 도시한다.The iron loss of the magnetic core of the alloy composition described above was measured using various heat treatment temperatures at 100 kHz and 2 kG using a U-function meter, and the results are shown in FIG.

비교를 위하여 N을 포함하지 않고 Fe74Cu2Mo3S9B12로 된, 동일방법으로 제조된 자심으로 동일한 측정으로 실행하여, 그 결과를 제1도에 도시한다.For comparison, the same measurement was carried out with a magnetic core manufactured by the same method of Fe 74 Cu 2 Mo 3 S 9 B 12 without containing N, and the result is shown in FIG.

N을 넣음으로서, 본 발명의 합금은 철손이 저하되는 열처리 온도범위가 확대되는 것이 명백하였다.By adding N, it was evident that the alloy of the present invention expanded the heat treatment temperature range in which iron loss was reduced.

본 발명의 합금으로서, 원하는 합금조성으로 미세결정입자를 가지면서, 고주파영역에서의 포화자속밀도가 높은, 우수한 연자기특성을 가진 Fe 기 연자성합금을 제공하며, 열처리온도범위를 넓혀서 원하는 Fe 기 연자성재료를 용이하게 제조할 수 있다.As the alloy of the present invention, there is provided a Fe-based soft magnetic alloy having excellent soft magnetic properties, having fine crystal grains in a desired alloy composition and having a high saturation magnetic flux density in a high frequency region, and extending the heat treatment temperature range to provide a desired Fe group. The soft magnetic material can be easily produced.

본 발명은 전술한 설명과 실시예로서 한정되는 것은 아니다.The present invention is not limited to the above description and examples.

본 발명의 본질을 벗어나지 않고 전술한 구체적 실시예들과 변형을 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 실시할 수 있음은 물론이다.It is a matter of course that those skilled in the art may make the specific embodiments and modifications described above without departing from the spirit of the invention.

Claims (17)

미세결정입자를 가지며, 이들 미세결정입자중, 50Å 내지 300Å 범위임 미세결정입자가 합금내에 면적비로 적어도 30% 존재하며, 일반식Has microcrystalline particles, and among these microcrystalline particles, 50 microns to 300 microns, microcrystalline particles are present in the alloy at least 30% by area ratio Fe100-a-b-c-dMaM'bYcNd Fe 100-abcd M a M ' b Y c N d 로 나타내지는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.Fe-based soft magnetic alloy, characterized in that. (M은 Cu, Ag, Au, Zn, Sn, Pb, Sb 및 Bi로 된 그룹으로부터 선택되는 적어도 한 원소이고, M'은 주기율표상의 IVa, Va, 및 VIa 족원소, Mn, Co, Ni 및 Al로 된 그룹으로부터 선택되는 적어도 한 원소이며, Y는 Si, P 및 B로 된 그룹으로부터 선택되는 적어도 한 원소(M is at least one element selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Zn, Sn, Pb, Sb and Bi, and M 'is a group of elements IVa, Va, and VIa on the periodic table, Mn, Co, Ni and Al At least one element selected from the group consisting of Y and at least one element selected from the group consisting of Si, P and B 0.01≤a≤5 (at. %)0.01≤a≤5 (at.%) 0.1≤b≤100.1≤b≤10 15≤c≤2815≤c≤28 0<d≤80 <d≤8 이다.)to be.) 제1항에 있어서, 적어도 미세결정입자의 80%가 50Å-300Å의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 Fe기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy according to claim 1, wherein at least 80% of the microcrystalline particles are in the range of 50 kPa-300 kPa. 제1항에 있어서, "M"은 0.01-5at.%의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy of claim 1, wherein "M" is present in the range of 0.01-5 at.%. 제1항에 있어서, "M"은 0.5-3at.%의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy of claim 1, wherein "M" is present in the range of 0.5-3 at.%. 제1항에 있어서, "M"은 0.1-10at.%의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy of claim 1, wherein "M" is present in the range of 0.1-10 at.%. 제1항에 있어서, "M"은 1-7at.%의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy of claim 1, wherein "M" is in the range of 1-7 at.%. 제1항에 있어서, "M"은 1.5-5at.%의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy of claim 1, wherein "M" is present in the range of 1.5-5 at.%. 제1항에 있어서, "Y"의 양은 15-28at.%의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy of claim 1, wherein the amount of YY is in the range of 15-28 at.%. 제1항에 있어서, "Y"의 양은 18-26at.%의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy of claim 1, wherein the amount of YY is in the range of 18-26 at.%. 제1항에 있어서, Si/B의 비 또는 Si/P의 비가 1이상인 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy according to claim 1, wherein the ratio of Si / B or the ratio of Si / P is at least one. 제1항에 있어서, 질소의 양이 8at.% 이하인 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy according to claim 1, wherein the amount of nitrogen is 8 at% or less. 제1항에 있어서, 질소의 양이 6at.% 이하인 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy according to claim 1, wherein the amount of nitrogen is 6 at% or less. 제1항에 있어서, 질소의 양이 4at.% 이하인 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy according to claim 1, wherein the amount of nitrogen is 4 at% or less. 제1항에 따른 Fe 기 연자성 합금을 합금의 결정화 온도에 대하여 결정화 온도보다 50℃ 낮은 온도부터 120℃ 높은 온도까지의 온도에서 1분-10시간동안 열처리하여 미세결정입자를 석출하는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금의 제조방법.Comprising the Fe-based soft magnetic alloy according to claim 1 to heat the crystallization temperature of the alloy at a temperature of 50 ℃ lower than the crystallization temperature from 120 ℃ high temperature for 1 minute-10 hours to precipitate microcrystalline particles Fe-based soft magnetic alloy manufacturing method characterized in that. 제14항에 있어서, 합금은 10분-5시간 동안 열처리하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금의 제조방법.15. The method of claim 14, wherein the alloy is heat treated for 10 minutes-5 hours. 제1항에 있어서, 상기 미세입자의 40%가 50Å-300Å의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy according to claim 1, wherein 40% of the fine particles are present in the range of 50 kPa-300 kPa. 제1항에 있어서, 상기 미세입자의 50%가 50Å-300Å의 범위로 존재하는 것을 특징으로 하는 Fe 기 연자성 합금.The Fe-based soft magnetic alloy of claim 1, wherein 50% of the fine particles are present in the range of 50 kPa-300 kPa.
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