KR930006335A - 유체회전장치 - Google Patents
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- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
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Abstract
본 발명은, 반도체제조설비의 진공챔버등의 배기에 사용되는 유체회전장치에 있어서, 고성능 또한 대배기량을 가짐과 동시에, 장기에 걸쳐 신뢰성이 높은 유체회전장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 그 구성은, 케이싱(1) 내에서 모우터에 의해서 구동되고, 서로 맞물리도록 설치된 암수 한쌍의 유체이송홈을 가진 로우터(2a), (2b)와, 이들의 로우터(2a), (2b)를 지지하는 베어링부와, 이들의 로우터의 동기회전을 행하기 위한 동기제어부로부터 구성되고, 로우터(2a), (2b)의 흡입쪽 단면부(14a), (14b)에 대해서 반대쪽의 단면부에 접하는 공간을 로우터배기쪽 내부공간(11a), (11b), 상기 유체이송홈(6a), (6b)와 상기 케이싱(1)에서 형성되는 공간을 유체이송공간(10a), (10b)로했을때, 상기 배기쪽 내부공간(11a), (11b)와 상기 유체이송공간(10a), (10b)를 연락하는 상기 로우터(2a), (2b)혹은 상기 케이싱(1)에 형성된 유통로(18a), (18b)를 가지므로서, 장기에 걸쳐서 신뢰성을 확보할 수 있는 고성능 또한 대배기량을 가지게 되는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명을 투원로우터형의 나사홈진공펌프에 적용한 경우의 단면도이고,
제2도는 제1도의 상부면도이고,
제3도는 제1도의 일부화상표방향으로본 도면을 포함한 단면도이다.
Claims (2)
- 흡입구멍 및 배출구멍을 구비한 고정부인 케이싱과, 이 케이싱내에서 모우터에 의해서 구동되고, 서로 맞물리도록 설치된 암수한쌍의 유체이송홈을 가진 로우터와, 이들 로우터를 지지하는 베어링부와, 이들 모우터의 동기 회전을 행하기 위한 동기 제어부로 구성되는 용적형의 유체회전장치에 있어서, 상기 로우터의 흡입쪽 단면부에 대해서 반대쪽의 단면부에 접하는 공간을 로우터 배기쪽 내부공간, 상기 유체이송홈과 상기 케이싱으로 형성되는 공간을 유체이송공간으로 하였을때, 상기 배기쪽 내부공간과 상기 유체이송공간을 연락하는 상기 로우터 혹은 상기 케이싱에 설치된 유통로와 상기 재기쪽 내부공간으로의 유체의 유입을 방지하는 상기 로우터와 상기 케이싱 사이에 형성된 시일부를 가진 유체회전장치.
- 흡입구멍 및 배출구멍을 구비한 고정부인 케이싱와, 이 케이싱내에서 로우터에 의해서 구동되고, 유체이송홈을 가진 단일 로우터와, 이 로우터를 지지하는 베어링부로 구성되는 유체회전장치에 있어서, 상기 로우터의 흡입쪽 단면부에 대해서 반대쪽의 단면부에 접하는 공간을 로우터 배기쪽 내부공간, 상기 유제이송홈과 상기 케이싱에서 형성되는 공간을 유체이송공간으로 하였을때, 상기 배기쪽 내부공간과 상기 유체 이송공간을 연락하는 상기 로우터 혹은 상기 케이싱에 형성된 유통로와, 상기 배기쪽 내부공간으로의 유체의 유입을 방지하는 상기 로우터와 상기 케이싱간에 형성된 시일부를 가진 유체회전장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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