KR930006273Y1 - Cassette fixing apparatus - Google Patents
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Abstract
내용 없음.No content.
Description
제1도는 일반적인 현상장치를 개략적으로 보인 측면도.1 is a side view schematically showing a general developing apparatus.
제2도는 종래 기판이 수납되는 카세트 위치고정장치의 사시도.2 is a perspective view of a cassette position fixing device in which a conventional substrate is accommodated.
제3도는 본 고안에 따른 기판이 수납되는 카세트 위치고정장치를 도시한 것으로,3 shows a cassette position fixing device in which a substrate is accommodated according to the present invention,
제3a도는 사시도이고,3a is a perspective view,
제3b도는 a도에 도시된 A-A'선 단면도이다.FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line AA 'of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 현상장치 4 : 로보트아암1: developing device 4: robot arm
11 : 테이블 11a : 가이드홈11: Table 11a: Guide groove
12 : 위치고정구 12a : (위치고정구 내측면의)인입부12: Position fixing sphere 12a: Entry portion (inside the position fixing sphere)
12b : (위치고정구 내측면의)돌출부 13 : 센서12b: projection part (inside the position lock) 13: sensor
14 : 액튜에이터 15 : 리드스크류14: actuator 15: lead screw
16 : 승하강부재 16a : 연결간16: lifting member 16a: between connections
본 고안은 기판이 수납되는 카세트의 위치고정장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 기판의 현상장치 및 에칭장치 등에 공급되는 카세트의 위치고정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a position fixing device for a cassette in which a substrate is accommodated, and more particularly, to a position fixing device for a cassette supplied to a developing device and an etching apparatus of a substrate.
통상적으로 반도체소자 및 평판표시소자등의 기판을 현상하기 위한 현상장치는 그 특성에 따라 다소의 차이는 있으나 제1도에 나타내 보인 바와 같이 현상액이 담긴 복수개의 현상수조(2)와 린스수조(3)가 순차적으로 배열 설치되어 있으며 그 상부에는 로보트아암(4) 또는 메니풀레이터가 설치되어 있다. 이와 같이 구성된 현상장치(1)로서 웨이퍼, 즉 기판(20)을 현상하기 위해서는 복수개의 기판(20)이 담겨 테이블(5)상에 위치된 카세트(6)를 상기 로보트아암(4)이 파지하여 상기 각 현상수조(2) 및 린스수조(3)에 순차적으로 담가 현상하여 왔다. 여기에서 상기 로보트 아암(4)이 테이블(5)상에 위치한 카세트(6)를 파지하기 위해서는 상기 카세트(6)가 항상 소정의 위치에 위치하여야 한다. 이를 위해 종래에는 제2도에 나타내 보인 바와 같이 테이블(5)상에 대략 ㄱ자형의 위치고정구(7)가 사각형으로 배열 설치되어 카세트(6)의 각 모서리부를 지지함으로써 카세트(6)의 위치를 한정하여 왔다. 이와 같이 테이블(5)의 위치고정구(7)는 테이블(5)상에 세트스크류(7a)로서 고정설치되어 있기 때문에 단일규격의 카세트(6)밖에 파지할 수가 없었다. 따라서, 카세트(6)의 규격이 바뀔때마다 상기 세트스크류(7a)를 풀어 위치고정구(7)를 테이블(5)로부터 분리한후 상용하고자 하는 카세트의 규격에 맞게 재배열 하여야 하는 문제점이 있었다.Generally, a developing apparatus for developing a substrate such as a semiconductor device and a flat panel display device has some differences depending on its characteristics, but as shown in FIG. 1, a plurality of developing tanks 2 and a rinse tank (3) containing a developing solution are shown in FIG. ) Are arranged in sequence, and the robot arm 4 or the manipulator is installed at the top thereof. In order to develop the wafer, that is, the substrate 20 as the developing device 1 configured as described above, the robot arm 4 grips the cassette 6 located on the table 5 containing a plurality of substrates 20. Submerged in each of the developing tank (2) and rinse tank (3) has been developed. The cassette 6 must always be located at a predetermined position in order for the robot arm 4 to grip the cassette 6 located on the table 5. To this end, as shown in FIG. 2, an approximately L-shaped position fixing tool 7 is arranged in a quadrangular shape on the table 5 so as to support each corner of the cassette 6 so as to position the cassette 6 therein. It has been limited. As described above, since the position fixing tool 7 of the table 5 is fixedly installed on the table 5 as a set screw 7a, only the cassette 6 of a single standard can be gripped. Therefore, whenever the size of the cassette 6 is changed, there is a problem in that the set screw 7a is released and the position fixing tool 7 is separated from the table 5 and rearranged to meet the specifications of the cassette to be used.
본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판이 장착된 카세트의 형상 및 규격 관계없이 그 위치를 고정할 수 있어 설비의 가동효율을 향상시킬 수 있는 기판이 수납되는 카세트의 위치고정장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, the position fixing device of the cassette is accommodated the substrate that can be fixed to the position irrespective of the shape and size of the cassette on which the substrate is mounted to improve the operation efficiency of the equipment The purpose is to provide.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 테이블과, 상기 테이블상에 대각방향으로 형성된 각 가이드홈을 따라 슬라이딩 가능하게 설치된 위치고정구와, 액튜에이터에 의해 회전되는 리드스크류에 의해 승하강되며 복수개의 연결간에 의해 상기 각 위치고정구의 하부와 볼죠인트된 승하강부재를 구비하여 된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is moved up and down by a plurality of connections between a table, a positioning fixture slidably installed along each guide groove formed in a diagonal direction on the table, and a lead screw rotated by an actuator. It is characterized in that it is provided with a lifting member is ball-joined with the lower portion of each position fixing tool.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 한 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
제2도 및 제3도에는 본 고안에 따른 기판이 수납되는 카세트 위치고정장치(10)가 도시되어 있는바, 이는 테이블(11)상에 대각방향으로 소정길이의 가이드홈(11a)이 형성되고 상기 각 가이드홈(11a)에는 슬라이딩 가능하게 위치 고정구(12)가 설치되며, 상기 테이블(11)의 중앙에는 카세트(6)의 장착여부를 감지하는 센서(13)가 설치된다.2 and 3 shows a cassette position fixing device 10 in which a substrate is accommodated according to the present invention, which is formed with a guide groove 11a of a predetermined length in a diagonal direction on the table 11. Position guides 12 are slidably installed in the guide grooves 11a, and a sensor 13 is installed at the center of the table 11 to detect whether the cassette 6 is mounted.
여기에서 상기 위치고정구(12)의 내측면에는 소정의 곡률로 인입 및 돌출되는 인입부(12a)와 돌출부(12b)가 연속적으로 형성되어 있다. 그리고 상기 테이블(11)의 하부에는 유압 또는 공압으로 작용하는 액튜에이터(14)의 회전력에 의해 회전되는 리드스크류(15)가 설치되고 상기 리드스크류(15)에는 승하강부재(16)가 결합되어 상기 각 위치고정구(12)의 하부와 연결간(16a)에 의해 연결되어 있다. 이때에 상기 승하강부재(16) 및 위치고정구(12)와 연결간(16a)의 접속은 볼죠인트함이 바람직하다. 그리고 상기 액튜에이터(14)의 포트는 도면에는 도시되어 있지 않으나 제어장치에 의해 동작하여 작동유체의 공급을 단속하는 솔레노이드밸브와 연결되어 있다.Here, the inlet 12a and the protrusion 12b which are introduced and protruded with a predetermined curvature are continuously formed on the inner surface of the position fixing tool 12. In addition, a lower side of the table 11 is provided with a lead screw 15 that is rotated by the rotational force of the actuator 14 acting hydraulically or pneumatically, and the elevating member 16 is coupled to the lead screw 15 to the It is connected by the lower end of each position fixing tool 12 and the connection 16a. At this time, the connection between the elevating member 16 and the position fixing tool 12 and the connection (16a) is preferably ball joint. The port of the actuator 14 is connected to a solenoid valve that is not shown in the figure but operates by a control device to control the supply of the working fluid.
상기와 같이 구성된 본 고안에 따른 기판이 수납된 카세트 위치고정장치의 작용을 제1도 및 제3도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to FIGS. 1 and 3, the operation of the cassette position fixing device in which the substrate is accommodated according to the present invention configured as described above is as follows.
먼저 기판(20)을 현상하기 위해서는 복수개의 기판을 카세트(6)에 장착하고 이를 제1도에 도시된 바와 같이 현상장치(1)의 일측테이블(11)상에 메니풀레이터(도시되어 있지 않음)로서 위치시키게 되면 상기 센서(13)가 카세트(6)의 안착여부를 감지하여 그 신호를 상기 제어장치로 보낸다. 상기 센서(13)에 의해 카세트(6)의 안착여부가 확인되면 상기 제어장치는 솔레노이드밸브를 열어 작동 유체를 상기 액튜에이터(14)에 공급하여 상기 리드스크류(15)를 회전시킨다. 이와 같이 하면 상기 리드스크류(15)에 장착된 승하강부재(16)가 하강하게 되고 이에 연결된 연결간(16a)에 의해 상기 위치고정구(12)가 테이블(11)상의 가이드홈(11a)을 따라 이동하게 되어 카세트(6)의 위치를 한정하게 된다. 이때에 상기 카세트(6)와 접촉되는 위치 고정구(12)의 내측면은 소정의 곡률로 인입 및 인출된 돌출부(12a) 및 인입부(12b)가 연속적으로 형성되어 있으므로 카세트(6)의 형태에 관계없이 용이하게 위치 고정할 수 있게 된다. 이 상태에서 상기 현상장치(1)의 로보트아암(4)이 상기 카세트(6)를 파지하여 각 현상수조(2) 및 린스수조(3)에 담가 현상하게 된다.First, in order to develop the substrate 20, a plurality of substrates are mounted on the cassette 6, and a manipulator (not shown) is placed on one side table 11 of the developing apparatus 1 as shown in FIG. When positioned as), the sensor 13 detects whether the cassette 6 is seated and sends a signal to the control device. When the mounting of the cassette 6 is confirmed by the sensor 13, the control device opens the solenoid valve to supply the working fluid to the actuator 14 to rotate the lead screw 15. In this way, the elevating member 16 mounted on the lead screw 15 is lowered, and the position fixing tool 12 is guided along the guide groove 11a on the table 11 by the connecting rod 16a connected thereto. It is moved to define the position of the cassette 6. At this time, the inner surface of the position holder 12 which is in contact with the cassette 6 is formed in the form of the cassette 6 because the protrusions 12a and the inlet portions 12b drawn in and out at a predetermined curvature are continuously formed. Regardless, the position can be easily fixed. In this state, the robot arm 4 of the developing apparatus 1 grasps the cassette 6 and soaks and develops it in each of the developing tank 2 and the rinse tank 3.
상기 테이블(11)상에 위치한 카세트(6)가 상기 로보트 아암(4)에 의해 이동하게 되면 상기 제어수단은 상기 센서(13)에 의해 카세트(6)의 이동여부를 확인하고 상기 솔레노이드밸브로부터 액튜에이트(14)의 포트에 공급되는 유체의 공급방향을 바꾸어 상기 리드스크류(15)를 역회전시켜 이와 결합된 승하강부재(16)를 상승시킴으로써 상기 테이블(11)상의 각 위치고정구(12)가 확개되도록 한다.When the cassette 6 located on the table 11 is moved by the robot arm 4, the control means checks whether the cassette 6 is moved by the sensor 13 and actuates from the solenoid valve. By changing the supply direction of the fluid supplied to the port of the eight 14, the lead screw 15 is rotated in reverse to raise the elevating member 16 coupled thereto so that each position fixing tool 12 on the table 11 To expand.
상기의 같은 동작의 방법으로 기판이 장착된 카세트(6)를 항상 소정의 위치에 위치시킬 수 있게 된다.In the same manner as described above, the cassette 6 on which the substrate is mounted can be always positioned at a predetermined position.
이와 같이 본 고안 기판이 장착된 카세트 위치고정 장치는 카세트의 형상 및 크기에 관계없이 항상 테이블상의 소정의 위치에 위치시킬 수 있어 현상장치의 가동효율을 향상시킬 수 있으며 나아가서는 생산원가의 절감 및 생산성의 향상을 도모할 수 있는 이점이 있다.As such, the cassette position fixing device equipped with the present invention substrate can be positioned at a predetermined position on the table at all times regardless of the shape and size of the cassette, thereby improving the operating efficiency of the developing apparatus and further reducing the production cost and productivity. There is an advantage that can be improved.
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