KR100251272B1 - Carrier box transporting equipment - Google Patents

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KR100251272B1 KR1019970001836A KR19970001836A KR100251272B1 KR 100251272 B1 KR100251272 B1 KR 100251272B1 KR 1019970001836 A KR1019970001836 A KR 1019970001836A KR 19970001836 A KR19970001836 A KR 19970001836A KR 100251272 B1 KR100251272 B1 KR 100251272B1
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Abstract

PURPOSE: A carrier box transfer apparatus is provided to prevent the abrasion of a robot arm and the release of a carrier box by forming protrusion on attachments. CONSTITUTION: A wafer carrier is transferred by a transfer rail. A robot arm supporter is mounted to vertically move to one side of a body vertically mounted on the transfer rail. First robot arms(31) are hinged to the robot arm supporter, and the width between the arms(31) is controlled in accordance with the width of a flange. Second robot arms(32) are respectively hinged to the first robot arm and are extended to a bottom of the flange. Attachments(38) are respectively contacted with guide grooves formed on a bottom of the flange, lift the wafer carrier by the second robot arms, and have protrusions(36) for being inserted into the guide grooves.

Description

캐리어 박스 이송장치{Carrier box transporting equipment}Carrier box transporting equipment

본 발명은 캐리어 박스 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 라인에서 캐리어 박스를 운반하는 이송장치의 로봇암의 어태치먼트에 캐리어 박스의 가이드 홈에 대향되어 결합되도록 돌출부를 형성하여 캐리어 박스를 운반할 때, 캐리어 박스의 가이트 홈에 어태치먼트의 돌출부가 결합하여 캐리어 박스가 이탈되는 것을 방지할 수 있는 돌출부가 형성된 캐리어 박스 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier box conveying apparatus, and more particularly, to a carrier box of an apparatus for transporting a carrier box in a semiconductor manufacturing line, to form a protrusion to be coupled to the guide groove of the carrier box to transport the carrier box. When doing so, the present invention relates to a carrier box conveying apparatus in which a protrusion is formed to couple the protrusion of the attachment to the guide groove of the carrier box to prevent the carrier box from being separated.

일반적으로 반도체 제조 라인에서는 웨이퍼가 수납된 캐리어를 운반할 때는 사람에 의해서 캐리어를 캐리어 박스에 넣어 운반을 하거나, 캐리어가 들어있는 박스가 무거워 운반하는데 어려움이 따를 때에는 이송장치에 의해 캐리어 박스를 운반하기도 하며, 또는 공정의 자동화를 위하여 캐리어 박스를 이송장치에 의해서 운반하기도 한다.In general, a semiconductor manufacturing line carries a carrier in a carrier box by a person when carrying a carrier in which a wafer is stored, or a carrier box is carried by a transfer device when the box containing the carrier is heavy and difficult to transport. Alternatively, the carrier box may be transported by a transfer device for the automation of the process.

도 1A는 종래의 기술에 의한 캐리어 박스 이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 1B는 도 1A에 표시된 점선 부분의 로봇암을 확대하여 나타낸 사시도이다.Figure 1A is a perspective view schematically showing a carrier box transfer device according to the prior art, Figure 1B is an enlarged perspective view of the robot arm of the dotted line portion shown in Figure 1A.

도시된 바와 같이, 캐리어 박스 이송장치는 레일(40)을 따라 이동하는 사각형상의 이송부(20)와, 이송부(20) 상부면에서 소정높이까지 수직으로 설치된 직사각형상의 몸체(10)와, 몸체(10)의 세로축 일측면을 따라 상하로 움직일 수 있게 설치되어 있는 로봇암지지대(50)와, 로봇암지지대(50) 상부에 캐리어 박스를 움켜잡기 위한 로봇암(30)으로 구성되어 있다.As shown in the drawing, the carrier box conveying apparatus includes a rectangular conveying part 20 moving along the rail 40, a rectangular body 10 installed vertically up to a predetermined height from the upper surface of the conveying part 20, and the body 10. The robot arm support 50 is installed to be able to move up and down along one side of the vertical axis, and the robot arm 30 to grab the carrier box on the robot arm support 50.

여기서, 로봇암(30)은 몸체(10)의 세로축을 따라 상하로 움직이는 사각형상의 로봇암지지대(50)의 상부면에 몸체(10)와 일직선으로 서로 소정간격 이격되어 대향되며, 몸체(10)를 중심으로 좌우로 움직일 수 있도록 힌지결합되어 있는 제 1 로봇암(31)들과, 제 1 로봇암(31)들의 일측 단부와 힌지결합되어 절곡되는 제 2 로봇암(32)들과, 제 2 로봇암(32)들의 일측 단부와 힌지결합되어 있는 직사각형상의 어태치먼트(33)들로 구성되어 있다. 이때, 어태치먼트(33)의 양측 단부는 캐리어 박스의 모서리 부분과 대향되게 굴곡부(34)가 형성되어 있으며, 어태치먼트(33)의 중심부분에 제 2 로봇암(32)들의 일측 단부가 힌지결합되어 있다.Here, the robot arm 30 is opposed to the upper surface of the rectangular robot arm support 50 moving up and down along the longitudinal axis of the body 10 in a predetermined distance from each other in a straight line to the body 10, the body 10 First robot arms 31 hinged so as to move left and right about the second robot, second robot arms 32 hinged to one end of the first robot arms 31 and bent; It consists of rectangular attachments 33 hinged to one end of the robot arms 32. At this time, both ends of the attachment 33 is formed with a bent portion 34 to face the corner portion of the carrier box, one end of the second robot arm 32 is hinged to the central portion of the attachment 33. .

이와 같이 구성된 캐리어 박스 이송장치의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the carrier box transfer device configured as described above are as follows.

먼저, 공정이 완료된 웨이퍼가 적층되어 있는 캐리어는 캐리어 박스(60)에 수납되어 다음 공정으로 이송되기 전에 박스를 모아두는 스토커(미도시)에 임시로 저장된다. 이어서 스토커에 저장된 캐리어 박스(60)를 다음 공정으로 이송하기 위해 이송장치는 박스가 놓여진 곳으로 이동하여 위치한다.First, the carriers on which the wafers having completed the process are stacked are temporarily stored in a stocker (not shown) that collects the boxes before they are stored in the carrier box 60 and transferred to the next process. The conveying device is then moved to and positioned where the box is placed to transport the carrier box 60 stored in the stocker to the next process.

이후에 로봇암(30)은 박스가 놓여진 위치와 대향되게 위치하며, 제 1 로봇암(31)들은 박스를 집을 수 있도록 서로 일정 간격 이격된 후, 박스가 놓여있는 방향으로 일정 각도로 기울어 움직이고, 제 2 로봇암(32)들은 캐리어 박스(60)의 가이드 홈(61)의 하부부분으로 굴곡되어 어태치먼트(33)를 위치시킨다.Afterwards, the robot arm 30 is positioned to face the position where the box is placed, and the first robot arms 31 are spaced apart from each other so as to pick up the box, and then tilted at a predetermined angle in the direction in which the box is placed. The second robot arms 32 are bent into the lower portion of the guide groove 61 of the carrier box 60 to position the attachment 33.

다음에 제 1 로봇암(31)들은 캐리어 박스(60)의 외부면을 어태치먼트(33)가 면해 집을 수 있도록 이격된 간격을 좁히면, 어태치먼트(33)의 굴곡부(34)는 박스의 모서리 부분과 대응되게 접하게 된다. 이어서 박스를 운반하기 위해 제 1 로봇 암(31)을 수직 방향으로 세운다.Next, when the first robot arms 31 narrow the spaced intervals such that the attachment 33 faces the outer surface of the carrier box 60, the bent portion 34 of the attachment 33 is formed at the corner of the box. You will encounter correspondingly. The first robot arm 31 is then erected in the vertical direction to carry the box.

여기서, 도 2는 상기와 같은 작용에 의해 로봇암의 어태치먼트와 캐리어 박스의 바른 결합상태를 나타낸 상태도이다.2 is a state diagram showing a state in which the attachment of the robot arm and the carrier box are properly coupled by the above-described action.

이후에는 이송장치의 이송부는 레일을 따라 다음 공정이 진행될 곳의 포트 위에 캐리어 박스를 내려놓는다.Thereafter, the conveying unit of the conveying apparatus lowers the carrier box on the port where the next process is to be performed along the rail.

그러나, 이송장비의 노화 및 작동불량으로 제 1,2 로봇암들이 기능을 다하지 못하여 도 3에 도시된 바와 같이, 어태치먼트의 굴곡부가 캐리어 박스의 모서리 부분에 정위치하지 못한 상태에서 움켜잡게 되고, 이 상태에서 이송장치가 이동하게 되는데, 이때, 어태치먼트의 잡는 상태가 불량하여 캐리어 박스가 이탈되거나, 제 1 로봇암과 제 2 로봇암의 힌지결합된 부분과, 제 2 로봇암과 어태치먼트가 힌지결합된 부분에 무리가 발생하여 보다 빨리 마모되는 등의 문제점이 있었다.However, as the first and second robot arms do not function due to aging and malfunction of the transfer equipment, as shown in FIG. 3, the bent portion of the attachment is caught in a state in which it is not positioned at the corner of the carrier box. In this state, the transfer device is moved, and in this case, the holding state of the attachment is poor and the carrier box is separated, or the hinged portion of the first robot arm and the second robot arm is hinged, and the second robot arm and the attachment are hinged. There was a problem such as wear occurs more quickly due to the portion.

따라서, 본 발명의 목적은 어태치먼트가 캐리어 박스를 올바르게 잡지 못한 상태에서 이송장치가 이동할 경우, 박스가 어태치먼트에서 이탈하거나, 제 1,2 로봇암들의 힌지결합된 부분과, 제 2 로봇암들과 어태치먼트가 힌지결합된 부분이 마모되는 것을 방지할 수 있도록 어태치먼트에 돌출부를 형성하여 함으로써 이송장치의 로봇암의 조기 마모와 캐리어 박스의 이탈을 방지할 수 있도록 한 캐리어 박스 이송장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention, when the transfer device moves while the attachment does not hold the carrier box correctly, the box is detached from the attachment, or the hinged portion of the first and second robot arms, and the second robot arms and attachments. Is to provide a carrier box transfer device to prevent the premature wear of the robot arm of the transfer device and the detachment of the carrier box by forming a protrusion on the attachment to prevent the hinged portion is worn.

도 1A는 종래의 기술에 의한 캐리어 박스 이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 1B는 로봇암을 나타낸 사시도.Figure 1A is a perspective view schematically showing a carrier box transfer device according to the prior art, Figure 1B is a perspective view showing a robot arm.

도 2는 로봇암의 어태치먼트와 캐리어 박스의 결합 상태의 사시도.2 is a perspective view of a coupling state of an attachment of a robot arm and a carrier box.

도 3은 로봇암의 어태치먼트와 캐리어 박스의 잘못된 결합 상태도.3 is an incorrect coupling state of an attachment of a robot arm and a carrier box.

도 4는 본 발명에 의한 캐리어 박스 이송장치의 로봇암을 나타낸 사시도.Figure 4 is a perspective view of the robot arm of the carrier box transfer apparatus according to the present invention.

도 5A는 로봇암의 어태치먼트와 캐리어 박스의 결합 상태의 사시도이며, 도 5B는 어태치먼트와 캐리어 박스의 결합 상태의 단면도.Fig. 5A is a perspective view of a coupling state of an attachment of a robot arm and a carrier box, and Fig. 5B is a sectional view of an attachment state of an attachment and a carrier box.

도 6은 로봇암의 어태치먼트와 캐리어 박스의 잘못된 결합 상태도.6 is an incorrect coupling state of an attachment of a robot arm and a carrier box.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 몸체 20 : 이송부 50 : 로봇암지지대10: body 20: transfer unit 50: robot arm support

30 : 로봇암 40 : 레일 34 : 굴곡부30: robot arm 40: rail 34: bend

33,38 : 어태치먼트 32 : 제 2 로봇암 31 : 제 1 로봇암33,38: attachment 32: second robot arm 31: first robot arm

60 : 박스 61 : 가이드 홈 36 : 돌출부60: box 61: guide groove 36: protrusion

이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 웨이퍼가 수납되고 측면에 하부를 향하는 가이드 홈이 형성된 플랜지가 돌출된 웨이퍼 캐리어를 이송하는 이송장치에 있어서, 웨이퍼 캐리어를 이송시키기 위한 이송 레일과, 이송 레일로부터 수직으로 설치되는 몸체와, 몸체의 일측면에 상하로 움직일 수 있게 설치되는 로봇암 지지대와, 로봇암 지지대에 힌지결합되며 플랜지의 폭에 대응하여 폭이 조절되는 제 1 로봇 암과, 제 1 로봇 암에 힌지 결합되며 웨이퍼 캐리어의 플랜지 하부까지 연장된 제 2 로봇 암과, 플랜지의 밑면에 형성된 가이드 홈과 접촉되며 제 2 로봇 암에 의하여 웨이퍼 캐리어를 수직 방향으로 리프트시키고, 표면에는 가이드 홈에 대응하여 결합될 수 있도록 소정 간격으로 돌출부가 형성된 어탯치먼트를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a conveying apparatus for conveying a wafer carrier in which a wafer is received and a flange with a guide groove facing downward is formed on a side thereof. A body that is installed vertically, a robot arm support that is installed to move up and down on one side of the body, a first robot arm that is hinged to the robot arm support and whose width is adjusted to correspond to the width of the flange, and a first robot A second robot arm hinged to the arm and extending to the bottom of the flange of the wafer carrier, and in contact with a guide groove formed on the underside of the flange and lifting the wafer carrier in a vertical direction by the second robot arm, corresponding to the guide groove on the surface. And attachments having protrusions formed at predetermined intervals to be coupled.

이하 본 발명에 의한 이송장치의 로봇암 구조를 첨부된 도면 도 4,5를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the robot arm structure of the transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4는 본 발명에 의한 로봇암의 어태치먼트를 나타낸 사시도이다. 종래와 동일한 부분에는 동일한 부호를 부여한다.4 is a perspective view showing the attachment of the robot arm according to the present invention. The same code | symbol is attached | subjected to the same part as before.

도 4에 도시된 바와 같이, 종래의 어태치먼트(33)에 형성되어 있는 굴곡부(34) 대신에 본 발명에서는 가이드 홈에 대향되는 어태치먼트(33) 상부면에 가이드 홈에 대응되게 사각형상의 돌출부(36)가 형성되어 있는 것을 제외하면 종래와 동일하다.As shown in FIG. 4, instead of the curved portion 34 formed in the conventional attachment 33, in the present invention, a rectangular protrusion 36 corresponding to the guide groove is formed on the upper surface of the attachment 33 facing the guide groove. The same as in the prior art except that is formed.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 캐리어 박스 이송장치의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the carrier box transfer apparatus according to the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 공정이 완료된 웨이퍼가 적층되어 있는 캐리어는 캐리어 운반용 박스에 수납되어 다음 공정으로 이송되기 전에 박스를 모아두는 스토커(미도시)에 임시로 저장된다. 이어서 스토커에 저장된 캐리어 운반용 박스를 다음 공정으로 이송하기 위해 이송장치는 캐리어 박스가 놓여진 곳으로 이동하여 위치한다.First, the carrier on which the process-processed wafers are stacked is temporarily stored in a stocker (not shown) that collects the boxes before they are stored in a carrier transport box and transferred to the next process. The conveying device is then moved to and positioned where the carrier box is placed to transport the carrier transport box stored in the stocker to the next process.

이후에 로봇암(30)은 박스가 놓여진 위치와 대향되게 위치하며, 제 1 로봇암(31)들은 박스를 집을 수 있도록 서로 일정 간격 이격된 후 박스가 놓여있는 방향으로 일정 각도로 기울어 움직이고, 제 2 로봇암(32)들은 박스의 가이드 홈(61)의 하부부분으로 굴곡되어 어태치먼트(38)를 위치시킨다.Thereafter, the robot arm 30 is positioned to face the position where the box is placed, and the first robot arms 31 are spaced apart from each other so as to pick up the box, and then tilted at a predetermined angle in the direction in which the box is placed. The two robot arms 32 are bent into the lower portion of the guide groove 61 of the box to position the attachment 38.

다음에 제 1 로봇암들은 박스의 외부면을 어태치먼트(38)가 면해 집을 수 있도록 이격된 간격을 좁히면, 어태치먼트(38)의 돌출부(36)는 캐리어 박스(60)의 가이드 홈(61)과 대응되게 위치하며, 이어서 제 2 로봇암(32)은 박스 가이드 홈(61) 방향으로 약간 위로 움직여 박스 가이드 홈(61)과 어태치먼트(38)의 돌출부(36)와 결합하도록 한다.Next, when the first robot arms narrow the spaced intervals such that the attachment 38 faces the outer surface of the box, the protrusions 36 of the attachment 38 are formed with the guide groove 61 of the carrier box 60. Correspondingly positioned, the second robot arm 32 then moves up slightly in the direction of the box guide groove 61 to engage the box guide groove 61 and the protrusion 36 of the attachment 38.

여기서, 도 5A는 상기와 같은 작용에 의한 로봇암의 어태치먼트와 캐리어 박스의 바른 결합상태를 나타낸 상태도이며, 도 5B는 어태치먼트와 캐리어 박스의 결합 상태의 단면도를 나타낸다.5A is a state diagram showing a state in which the attachment and the carrier box of the robot arm are properly engaged by the above-described action, and FIG. 5B shows a cross-sectional view of the engagement state of the attachment and the carrier box.

이후에 이송장치의 이송부는 레일을 따라 다음 공정이 진행될 곳의 포트 위에 박스를 내려놓는다.The conveying part of the conveying device is then put down the box on the port where the next process will proceed along the rail.

이와 같이 로봇암의 어태치먼트에 형성된 돌출부가 캐리어 박스의 가이드 홈에 결합됨으로 해서 도 6에 도시된 바와 같이, 돌출부와 가이드 홈이 서로 대향되게 완전히 결합되지 않고 소정부분만 결합된 상태에서 이송장치가 이동하더라도 캐리어 박스는 어태치먼트에서 이탈하지 않으며, 제 1,2 로봇암의 힌지된 부분과 제 2 로봇암과 어태치먼트의 힌지결합된 부분에 영향을 받지않게 된다.As shown in FIG. 6, the protrusion formed in the attachment of the robot arm is coupled to the guide groove of the carrier box, so that the transfer apparatus moves in a state in which only a predetermined portion is coupled without the protrusion and the guide groove completely opposed to each other. Even if the carrier box is not detached from the attachment, it is not affected by the hinged portion of the first and second robot arms and the hinged portion of the attachment.

한편 어태치먼트에 형성된 돌출부는 일정간격 이격된 상태에서 연속으로 형성될 수도 있고, 어태치먼트 보다 약간 길게 형성될 수 있다.On the other hand, the protrusions formed on the attachment may be continuously formed at a predetermined interval, or may be formed slightly longer than the attachment.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 어태치먼트에 돌출부를 형성하여 로봇암의 노화나 힌지된 부분의 마모로 인해 로봇암이 정확한 작동이 되지 않아, 도 6과 같이 잘못 결합된 상태에서 이송장치가 이동하더라도, 캐리어 박스의 가이드 홈에 결합된 돌출부에 의해 박스가 어태치먼트에서 이탈하는 것을 방지하며, 제 1,2의 로봇암들의 힌지결합된 부분과 제 2 로봇암과 어태치먼트의 힌지결합된 부분에 영향이 미치지 않아 마모되는 것을 방지할 수 있어 이송장치의 빠른 노화와 웨이퍼의 피해를 막을 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention forms a protrusion on the attachment so that the robot arm does not operate correctly due to aging of the robot arm or abrasion of the hinged part, even if the transfer device moves in an incorrectly coupled state as shown in FIG. 6, The protrusion coupled to the guide groove of the carrier box prevents the box from being detached from the attachment, and does not affect the hinged portion of the first and second robot arms and the hinged portion of the second robot arm and the attachment. Wear can be prevented to prevent the rapid aging of the transfer device and damage to the wafer.

Claims (2)

웨이퍼가 수납되고 측면으로부터 돌출된 플랜지의 밑면에 가이드 홈이 형성된 웨이퍼 캐리어를 이송하는 이송장치에 있어서,In the transfer apparatus for transferring the wafer carrier is a wafer groove is formed and the guide groove is formed on the bottom surface of the flange protruding from the side, 상기 웨이퍼 캐리어를 이송시키기 위한 이송 레일과;A transfer rail for transferring the wafer carrier; 상기 이송 레일로부터 수직으로 설치되는 몸체와;A body installed vertically from the transfer rail; 상기 몸체의 일측면에 상하로 움직일 수 있게 설치되는 로봇암 지지대와;Robot arm support is installed to move up and down on one side of the body; 상기 로봇암 지지대에 힌지결합되며 상기 플랜지의 폭에 대응하여 폭이 조절되는 제 1 로봇 암과;A first robot arm hinged to the robot arm support and whose width is adjusted to correspond to the width of the flange; 상기 제 1 로봇 암에 힌지 결합되며 상기 웨이퍼 캐리어의 상기 플랜지 하부까지 연장된 제 2 로봇 암과;A second robot arm hinged to the first robot arm and extending down to the flange of the wafer carrier; 상기 플랜지의 밑면에 형성된 가이드 홈과 접촉되며 상기 제 2 로봇 암에 의하여 상기 웨이퍼 캐리어를 수직 방향으로 리프트시키고, 표면에는 상기 가이드 홈에 대응하여 결합될 수 있도록 소정 간격으로 돌출부가 형성된 어탯치먼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 박스 이송장치.An attachment with protrusions formed at predetermined intervals in contact with a guide groove formed on the bottom surface of the flange to lift the wafer carrier in a vertical direction by the second robot arm, and to be coupled to the guide groove on a surface thereof. Carrier box transfer apparatus comprising a. 제 1 항에 있어서, 상기 돌출부는 상기 어태치먼트 보다 길게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 캐리어 박스 이송장치.The carrier box transport apparatus of claim 1, wherein the protrusion is formed longer than the attachment.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04144150A (en) * 1990-10-05 1992-05-18 Oki Electric Ind Co Ltd Cassette handling device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04144150A (en) * 1990-10-05 1992-05-18 Oki Electric Ind Co Ltd Cassette handling device

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