KR930003931B1

KR930003931B1 - Grinding device

Info

Publication number: KR930003931B1
Application number: KR1019880018198A
Authority: KR
Inventors: 마시끼 와따나베
Original assignee: 오림프스고오 가꾸고오교 가부시끼가이샤; 시다야마 도시오
Priority date: 1988-01-20
Filing date: 1988-12-31
Publication date: 1993-05-17
Also published as: KR890011676A

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Polishing device

제1 (a), (b), (c), (d)도는 본 발명에 관한 장치의 제1실시예를 표시이며, 제1(a)도는 측면도, 제2(b)도는 제1(a)도의 정면도, 제1(c)도는 제1(a)도의 설계 변경 부분을 표시한 측면도, 제1(d)도는 제1(a)도의 정면도.(A), (b), (c) and (d) show the first embodiment of the apparatus according to the present invention, the first (a) diagram is the side view, the second (b) diagram is the first (a) The front view of FIG. 1, (c) is a side view which shows the design change part of FIG. 1 (a), and FIG. 1 (d) is the front view of 1st (a).

제2도는 제1(a), (b)도의 작용 상태 설명도.FIG. 2 is an explanatory view of the working state of FIGS. 1 (a) and (b).

제3도는 제1실시예의 요부의 다른 설계 변경 부분을 표시한 측면도.3 is a side view showing another design modification part of the main part of the first embodiment.

제4 (a), (b), (c), (d)도는 본 발명에 관한 장치의 제2실시예를 표시한 측면도, 정면도 및 제4(a)도의 설계변경 부분을 표시한 측면도, 정면도.4 (a), (b), (c) and (d) are side views showing a second embodiment of the apparatus according to the present invention, a front view and a side view showing a design change portion of the fourth (a) view, Front view.

제5도는 본 발명에 관한 장치의 제3실시예를 표시한 측면도.5 is a side view showing a third embodiment of the device according to the present invention.

제6도, 제7도는 종래 기술의 설명도이다.6 and 7 are explanatory views of the prior art.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

25 : 상측 26 : 상명25: upper side 26: commercial name

28 : 하축 29 : 하명28: down axis 29: name

39 : 회동용 서브모우터 46 : 수평(직진)이동용 서브모우터39: Rotating sub motor 46: Horizontal (direct) moving sub motor

51 : 보올나사 52 : 서브모우터51: bowl screw 52: sub-motor

53 : 접동부 54 : 안내부재53: sliding part 54: guide member

55 : 지지부재 61 : 브래키트55 support member 61 bracket

62 : 지지구 상하동용 서브모우터62: sub-motor for support vertical movement

본 발명은 광학 소자등을 연마 가공하기 위한 연마 장치에 관한 것으로, 상세하게는 상명을 축회전으로 회전 가능토록 지지하는 상축과, 하명을 동축상에 지지함과 아울러 구동 장치를 사이에 두고 회전 구동 자재토록 구성한 하축을 구비하고, 상명과 하명과의 상호회전에 의한 상대적 미끄럼을 개재하여 피연마체를 연마 가공하도록 결성하여서된 연마장치에 관한 것이다. 종래에 상기 종류의 연마장치는 예를들어 제6도, 제7도에 표시한 바와 같이 구성되었다. 즉, 제6도, 제7도는, 실공소 43-13439호 공보에 공개된 렌즈연마기를 표시되어 있으며, 도면에 표시된 바와 같이 렌즈 연마기는 횡축 , 1, 에 의하여 지지된 요동틀 2에 그 횡축과 직교 관계로 상명 지지축 3을 승강 조절 자재토록 설치하고, 요동 구동원에 연결된 크랭크판 4에 배설된 조정 나사 5와 나사부로서 나합된 활자 6 또는 그 괘지나사 7과, 전기 횡축 1에 호상홈 8과 쾌지나사 9에 의해 착설 위치가 조절 가능토록 부설된 안내홈 10을 가진 요동 암 11과의 접동적 연결에 의해, 전기 횡축 1, 1의 축심을 중심으로 한 요동틀 2의 요동의 각도 진폭 및 그의 중심위치를 조절 가능케하고, 하명의 위쪽에 상명 지지축 12를 강하 자유 상태로 견설하여 상명하명 양지지축 12, 3을 권괘 전동기구를 개재시켜 강제 회전을 할 수 있도록 구성한 것이다. 또한 13으로 표시한 것은 상명, 14로 표시한 것은 하명, 15로 표시한 것은 피연마 렌즈재이다. 상기 구성의 렌즈 연마기에 의하면 상명 13, 하명 14를 각기의 지지축 12, 3에 장착하고, 피연마 렌즈재 15의 피연마면에 연마제를 주면서 상하의 지지축 12, 3을 회전시킨과 아울러 요동톨 2를 요동시키므로서 피연마 렌즈재 15를 연마가공할 수 있었다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing apparatus for polishing an optical element, and more particularly, an upper shaft for supporting an upper name so as to be rotatable in axial rotation, and a lower support on a coaxial axis, and a rotation device with a driving device interposed therebetween. The present invention relates to a polishing apparatus having a lower shaft configured so as to be freely formed, and formed so as to polish a to-be-polished object via a relative sliding caused by mutual rotation of the upper and lower names. Background Art [0002] Conventionally, a polishing apparatus of this kind has been constructed as shown in Figs. 6 and 7, for example. That is, FIGS. 6 and 7 show a lens polishing machine disclosed in Unexamined-Japanese-Patent No. 43-13439, and as shown in the figure, the lens polishing machine has a horizontal axis and a horizontal axis of the rocking frame 2 supported by the horizontal axis. An orthogonal support shaft 3 is installed to elevate and adjust, and the adjustment screw 5 disposed on the crank plate 4 connected to the swing drive source, the type 6 or its hanging screw 7 screwed together as the threaded portion, and the arc groove 8 on the electrical horizontal axis 1 The angular amplitude of the swing of the swing frame 2 about the shaft center of the electric transverse axes 1 and 1 by the slidable connection with the swing arm 11 with the guide groove 10 laid so that the position of the landing can be adjusted by the thumb screw 9. Its center position can be adjusted, and the upper and lower support shafts 12 are placed in a free-falling state on the upper part of the lower part, so that the upper and lower support shafts 12 and 3 can be forcedly rotated through the winding power mechanism. In addition, 13 is a top name, 14 is a bottom name, and 15 is a to-be-polished lens material. According to the lens polishing machine of the above structure, the upper and lower support shafts 12 and 3 are attached to the support shafts 12 and 3 respectively, and the upper and lower support shafts 12 and 3 are rotated while giving an abrasive to the surface to be polished of the lens element 15 to be polished. By polishing 2, the to-be-polished lens material 15 could be polished.

본 발명이 해결하고저 하는 과제는 설명하건데 상기 종래의 연마기에 있어서는, 하명 지지축 3의 축선상에 설정한 각도 진폭 요동 중심을 중심으로하여 하명 14를 각도 진폭 요동하는 가공 수단이므로, 상명 13을 상명 지지축 12하단에 고정한 상태로 가공할 경우에는 하명 지지축 3의 각도 진폭 요동 중심과 하명 14의 구심과를 일치시킨 상태로 가공할 필요성이 있으며, 그러기 위해서는, 하명 14의 곡율반경이 클 경우에는 하명 지지축 3상에 하명 14의 곡율 반경에 상단하는 길이 만큼의 공간부가 필요하게 되어, 현실적으로 모든 곡율 반경에 대응시키기에는 매우 곤란하였다. 또한, 상기 종래 구성에 있어서, 상면 13을 상명 지지축 12 하단에 고정하지 않고 상명 지지축 12에 대하여 경사시킬 수 있도록 유지구성을 하고, 하면 14의 구심과 요동축과의 불일치를 흡수할 수 있도록 구성하는 수단도 생각되는 것이나, 이 경우에는, (1) 상명지지축 12와 상명 14가 이루는 각도가 커지게 되고, (2) 가공 조건의 관리가 어려워지는 등의 문제점이 있었다.The problem to be solved by the present invention will be explained, but in the conventional grinding machine, it is a processing means for angular amplitude oscillation of the lower end 14 around the center of the angular amplitude oscillation set on the axis of the lower support axis 3. When machining in the state fixed to the lower end of the upper support shaft 12, it is necessary to process it with the center of the angular amplitude swing center of the lower support shaft 3 coinciding with the center of the lower support 14, and to do so, when the radius of curvature of the lower support 14 is large It is necessary to have as much space as the top of the radius of curvature of the nominal 14 on the nominal support shaft 3, and it is very difficult to practically correspond to all the radius of curvature. In addition, in the above-described conventional configuration, the upper surface 13 is held so that the upper surface 13 can be inclined with respect to the upper support shaft 12 without being fixed to the lower end of the upper support shaft 12, and the inconsistency between the center of the lower surface 14 and the oscillation shaft can be absorbed. Means for constructing are also conceivable, but in this case, (1) the angle between the support shaft 12 and the trademark 14 becomes large, and (2) there are problems such as difficulty in managing the processing conditions.

본 발명은, 상기 종래 기술의 문제점을 감안한 것으로서, 하명의 구심과 각도 진폭 요동축과를 일치시키지 않아도 희소곡율 반경부터 평면에 이르는 것까지 모든곡율 반경의 피연마체의 피연마면을 연마가공할 수 있도록 한 연마장치를 제공함을 목적으로 한 것이다. 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 연마 장치는 상명을 축회전으로 회전가능토록 유지하는 상축과 하명을 동축상에 유지함과 아울러 구동 장치를 개재하여 회전 구동 자재로 구성된 하축을 구비하고, 상면과 하명과의 상호 회전에 의한 상대적 미끄럼을 개재하여 피연마체를 연마가공하도록 구성하여서된 연마장치에 있어서 상축 또는 하축을 필요에 따라서 각도 진폭 요동시키는 기구와 상축 또는 하축을 양축 중심선을 포함한 평면내에 있어 상축 또는 하축을 직교하는 방향으로 직진이동시키는 기구를 장설하여 구성한 것이다. 상기 각 기구부에 있어서는 상축 및 하축의 각기의 중심선이 동일한 곡율 반경을 가진 상명 및 하명의 구심에서 항상 교차되도록 상축, 하축 상호의 강도 요동 및 직진 이동을 제어하도록 제어구성을 하는 것이 바람직한 일이다. 상기 구성의 연마장치에 있어서는 상축 또는 하축을 필요에 따라서 요동하는 각도 진폭 요동 기구와 상축 또는 하축의 직진 이동기구에 의해, 마치 상명 또는 하명의 구심을 중심으로 한 각도 진폭 요동에 의한 연마 가공과 같은 가공 또는 평면의 연마 가공이 가능하게 된다.The present invention has been made in view of the problems of the prior art, and it is possible to grind the to-be-polished surface of a to-be-cured object of all radii of curvature from the radius of curvature to the plane without having to coincide with the centripetal core and the angular amplitude oscillation axis. It is an object of the present invention to provide a polishing apparatus. In order to achieve the above object, the polishing apparatus of the present invention has an upper shaft and a lower shaft retaining the upper name so as to be rotatable in axial rotation, and a lower shaft composed of a rotational drive material through a driving device. In a polishing apparatus configured to polish a to-be-polished object via relative sliding by mutual rotation with the upper and lower shafts, the upper and lower shafts are in a plane including the center axis and the upper and lower shafts as needed. It is constructed by installing a mechanism to move straight in the direction perpendicular to the lower axis. In each of the mechanisms, it is desirable to control the upper and lower shafts so as to control the strength fluctuations and the linear movements of the upper and lower shafts so that the center lines of the upper and lower shafts always intersect at the centers of the upper and lower shafts having the same radius of curvature. In the polishing apparatus of the above constitution, the angular amplitude oscillation mechanism oscillating the upper axis or the lower axis as necessary, and the linear movement mechanism of the upper axis or the lower axis, is like polishing by angular amplitude oscillation around the center of the upper or lower axis. Machining or polishing of the plane becomes possible.

[실시예]EXAMPLE

이하, 첨부 도면에 의거하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail based on an accompanying drawing.

[제1실시예][First Embodiment]

제1도-제3도는 본 발명에 관한 연마 장치 20의 제1실시예를 표시한 것이며 제1(a)도는 연마장치 20의 측면도, 제1(b)도는 그 정면도, 제2도 및 제3도는 작용상태 설명도이다. 도면에 표시한 바와 같이 연마장치 20은 장치 본체 21과, 장치 본체 21에 장착된 상축부 22 및 하축부 23에 의해서 구성되었다. 상축부 22는 장치 본체 21에 고착된 지지구 24에 축방향 접동자재토록, 또한 회전 자재토록 유지된 상측 25와, 상측 25의 하단부에 장착된 상명 26(피연마 렌즈재를 유지한 상태를 표시함)에 의해서 구성되었다.1 to 3 show a first embodiment of the polishing apparatus 20 according to the present invention, in which FIG. 1 (a) is a side view of the polishing apparatus 20, and FIG. 1 (b) is a front view thereof, FIG. 2 and FIG. 3 is an explanatory view of the working state. As shown in the figure, the polishing apparatus 20 is constituted by the apparatus main body 21, and the upper shaft portion 22 and the lower shaft portion 23 mounted on the apparatus body 21. The upper shaft portion 22 shows the upper 25 held in the axial sliding material and the rotating material on the support 24 fixed to the apparatus main body 21, and the upper surface 26 mounted on the lower end of the upper 25, showing the state of retaining the abrasive lens material. It is composed by).

하축부 23은 하우징 27을 개재하여 회전 자재로 유지된 하축 28과 하축 28의 상단부에 고치한 하명 29등에 의해서 구성하였다. 하축 28의 하축부에는 풀리 30이 착설되었으며, 풀리 30은 벨트 31을 개재하여 구동장치 32축의 풀리 33과 연동토록 구성하였다. 하축 28의 하우징 27의 양측부(제1(b)도에 있어서의 좌우측부)에는 아암 34가 설치하였으며, 각 아암 34의 상부에는 수평의 회전축 35가 일체적으로, 또는 고착하여 장설되어 있다. 그리고, 각 아암 34의 회전축 35는 회동지지 베이스 36의 구멍 37에 감착하였고, 하축 28은 아암 34, 회동지지베이스 36을 개재하여 회동축 35을 중심으로 하여 회동(요동)자재토록 구성되어 있다. 일측의 회동축 35의 축끝에는 치차 38을 착설하였고, 이 치차 38은 회동용 서브 모우터 39측의 치차 40과 교합토록 구성하였다. 즉, 하축 28은 회동용 서브모우터 39를 개재하여 회동 중심 0을 중심으로하여 화살표 42방향으로 임의 각도 회동 구동 자재토록 구성하였다.The lower shaft part 23 was comprised by the lower shaft 28 hold | maintained by rotating material through the housing 27, and the lower part 29 fixed to the upper end of the lower shaft 28. A pulley 30 was installed in the lower shaft portion of the lower shaft 28, and the pulley 30 was configured to interlock with the pulley 33 of the 32-axis drive device via the belt 31. Arms 34 are provided on both side portions (left and right sides in the first (b) diagram) of the housing 27 of the lower shaft 28, and horizontal rotating shafts 35 are integrally fixed or mounted on the upper portions of the respective arms 34. And the rotation axis 35 of each arm 34 was attached to the hole 37 of the rotation support base 36, and the lower axis 28 is comprised by the rotation axis 35 through the arm 34 and the rotation support base 36, and is comprised so that it may rotate (sway). The gear 38 was installed at the shaft end of the rotational shaft 35 on one side, and the gear 38 was configured to occlude with the gear 40 on the 39 side of the rotating sub-motor. That is, the lower shaft 28 is configured to rotate at an arbitrary angle in the direction of the arrow 42 with the rotation center 0 as the center via the rotation submotor 39.

회동 지지베이스 36은 슬라이드 베이스 41을 개재하여 수평방향 즉, 화살표 43방향으로 슬라이드 자재토록 구성하였다. 회동 지지베이스 36에는 수평의 이송나사 44를 나착하였으며, 이 이송나사 44는 슬라이드 베이스 41에 착설된 지지부재 45에 착설한 서브모우터 46에 연동 연결하였다. 즉, 하축 28은 서브 모우터 46, 이송나사 44를 개재하여 상축 축선에 직교하는 수평방향(직진방향) 43에 이동 제어 자재토록 구성하였다.The pivot support base 36 was configured to slide in the horizontal direction, that is, the arrow 43 direction, via the slide base 41. A horizontal feed screw 44 was attached to the pivot support base 36. The feed screw 44 was connected to the sub-motor 46 installed on the support member 45 mounted on the slide base 41. That is, the lower shaft 28 is configured to control movement in the horizontal direction (straight direction) 43 orthogonal to the upper axis axis via the sub motor 46 and the feed screw 44.

상기 각 서브모우터 39, 46의 제어는 도면 표시를 생략한 수치 제어 장치를 개재하여 작동토록 설정하였으며, 따라서, 하측부 23의 화살표 42, 43방향의 작동 조작을 수치 제어로서 같이 작동시켜, 하축 28의 축선이 상축 25의 축선에 대하여 경사가 생겼을 경우에도, 하명 29의 구심 0, 이 항상 상측 25의 축선상에 위치하도록 이동 제어할 수 있도록 설정하였다.The control of each of the sub-motors 39 and 46 was set to operate via a numerical control device (not shown in the drawings). Therefore, the operation operation in the directions of arrows 42 and 43 in the lower part 23 is operated as numerical control, Even when the 28 axis was inclined with respect to the axis of the upper axis 25, it was set so that the movement control could be carried out so that the centroid 0 of the lower part 29 was always located on the axis of the upper side 25.

상기 구성의 연마장치 20에 있어서는 제2도에 표시한 바와 같이, 각도 θ까지의 범위로 하축부 23을 0점을 중심으로하여, 각도 진폭 진동을 시켜 연마 가공을 시행하는 것이나, 하축부 23을 0점을 중심으로 하여 요동시켰을 경우에는, 도면에 있어서 2점 쇄선으로 표시한 바와 같이 하명 29의 구심 0₁이 경사각도 θ에 응하여 화살표 43방향으로 이동한다. 이 이동량 e는, e=00₁sin θ로 표시된다. 하축부 23은 각도 θ만큼 화살표 42방향으로 회동됨과 동시에 화살표 43방향에 수치 제어장치를 개재하여 이동되어 하명 29의 구심 0₁이 상축 25의 축선상에 위치되도록 보정 제어된다. 이 경우, 보정 제어의 방향은 0점에 대한 0₁점의 위치에 의하여 결정된다.In the polishing apparatus 20 having the above-described configuration, as shown in FIG. 2, the lower shaft portion 23 is subjected to angular amplitude oscillation in the range up to an angle θ, and is subjected to angular amplitude vibration, In the case of oscillating around zero point, as indicated by the dashed-dotted line in the drawing, the centroid 0 ₁ of the lower limit 29 moves in the direction of arrow 43 in response to the inclination angle θ. This movement amount e is represented by e = 00 ₁ sin θ. The lower shaft portion 23 is rotated in the direction of the arrow 42 by an angle θ, and is also moved through the numerical control device in the direction of the arrow 43 so as to be corrected and controlled so that the centroid 0 ₁ of the lower limit 29 is positioned on the axis of the upper axis 25. In this case, the direction of the correction control is determined by the position of 0 ₁ point with respect to 0 point.

본 실시예에 있어서는 이와 같은 보정 제어를 연속하는 각도 진폭 진동을 동시에 시행하여, 상명 26과 하명 29가 균등하게 접면하는 데 필요한 제어 분해능으로 제어시키므로서, 마치 하명 구심 0₁을 중심으로 한 각도 진폭 진동에 의한 연마 가공과 동일한 가공을 가능하게 한 것이다.To enforce this angular amplitude vibrations continuously, such correction control in the present embodiment at the same time, the top-26 and Ha Myoung 29 standing because the control to the required control resolution to evenly contact face, the angle amplitude as if around the Ha Myoung centripetal 0 ₁ The same processing as that of the polishing by vibration is enabled.

또한, 하축부 23을 경사 각도 θ에 응하여 화살표 43방향에 직진 이동시켰을 경우에 하명구 0₁은 00₁-00₁cos θ=00₁(1-cosθ)만큼 상측 25의 축선 방향에 이동시키게 되는데, 이는 상축 25가 축선 방향으로 이동하므로 해서 흡수되는 것이므로, 가공상 아무런 지장이 없다. 상축 25가 지지구 24내를 축선 방향으로 이동할때, 상축 25과 지지구 24과의 사이에 접동 저항이 존재하는 경우에는, 상면(피연마렌즈재) 26과 하명 29과의 사이에 가공압 바랙이 생기게 되므로서, 상명 26을 균일하게 가공할 수 없게 된다. 이 경우는 제1(c), (d)도에 표시한 바와 같이, 장치 본체 21과 지지구 24를 별개로하여, 장치 본체 21에 고정시킨 브래커트 61에 고착한 서브모우터 62를 개재시켜서, 표시하지 않은 수치 제어장치에 의해서 지지구 24를 상축 25의 축선방향으로 이동제어 자재토록 구성한다. 그리고, 하명 구심 0₁의 00₁(1-cosθ)의 변화에 의한 상축 25의 축선 방향의 이동에 대하여 지지구 24를 서브모우터 62를 개재하여 하축 28의 각도 진폭 요동 42 및 직진 이동 43을 동시 작동시켜 이동제어토록 한다. 이에 의해서 지지구 24와 상축 25와의 사이에 상대적 접동 저항이 생기는 일은 없으며, 상명 26과 하명 29과의 사이의 가공압도 균일하게 되어, 안정된 품질의 가공품을 얻을 수 있게 된다.In addition, when the lower shaft portion 23 is moved straight in the direction of the arrow 43 in response to the inclination angle θ, the lower hole 0 ₁ is moved in the axial direction of the upper 25 by 00 ₁ -00 ₁ cos θ = 00 ₁ (1-cosθ). This is because the upper shaft 25 is absorbed by moving in the axial direction, so there is no problem in processing. When the upper shaft 25 moves in the support 24 in the axial direction, when there is a sliding resistance between the upper shaft 25 and the support 24, the working pressure barack is formed between the upper surface (polishing lens material) 26 and the lower surface 29. As a result, the trade name 26 cannot be processed uniformly. In this case, as shown in Figs. 1 (c) and (d), the apparatus main body 21 and the support 24 are separated separately, and the sub-motor 62 fixed to the bracket 61 fixed to the apparatus main body 21 is interposed. By means of a numerical control device not shown, the support 24 is configured to control movement in the axial direction of the upper axis 25. Then, the angular amplitude fluctuations 42 and the straight movements 43 of the lower axis 28 are moved to the support shaft 24 through the sub-motor 62 with respect to the movement in the axial direction of the upper axis 25 due to the change of 00 ₁ (1-cosθ) of the lower center centroid 0 ₁ . Simultaneous operation allows movement control. As a result, the relative sliding resistance does not occur between the support 24 and the upper shaft 25, and the working pressure between the upper and lower blades 26 and 29 is also uniform, resulting in a stable product.

이상과 같이 본 실시예에 의하면, 하축부 23을 0점을 중심으로 하여 요동시켰을 경우에도, 항상 마치 하명 구심 0₁을 중심으로한 각도 진폭 진동에 의한 연마 가공과 동일한 가공을 실시할 수 있으므로, 하축 28의 각도 진폭 요동의 회동 중심 0과 하명 구심 0₁을 일치시키지 않아도, 상축 중심선과 상명중심선을 동축에 유지시키면서 구심 요동 가공을 실시시할수 있게 된다. 또한, 상명 26과 하명 29의 곡율반경이 상이한 조합으로 변경하는 경우에도 각도진폭 요동 0의 범위, 하측 28의 회동 중심 0과 하명 구심 0, 간의 거리, 하명 29의 구면의 凹凸의 구별, 요동 속도를 수치제어장치에 입력시키므로서, 쉽게 가공조건을 설정할 수 있다. 즉, 예를들면, θ는 최소각 θ₁=10(deg), 최대각 θx=25(deg), 하측 회동 중심 0과 하명 구심 0₁간의 거리 00₁=10,000(nn), 하명 凸면은 +부합, 요동 속도 W=0.5(rad/sec)처럼 가공조건을 입력시키면 된다. 하축 28의 각도 진폭 요동의 회동중심 0과 하명구심 0₁과를 일치시키지 않아도 희소 곡율 반경부터 평면에 이르기까지의 모든곡율 반경(모든형상)의 피연마 면을 연마가공할 수 입는 매우 큰 효과를 얻을 수 있음과 아울러, 연마장치의 유용활용화를 도모할 수 있다. 또한, 상기 효과를 걷우는 연마장치를 간단히, 또한 대형화 시키지 않고 실현시킬 수 있으며, 또한장치의 사용 편리성, 신뢰성, 내구성을 향상시키게 되는 것이다. 또한, 상기 실시예 있어서는, 상면 26이 凹면, 하면 29이 凸면이 예를 표시하였으나, 이와 역으로 된 경우 즉, 상면 26이 凸면, 하면 29가 凹면의 경우에도 적용시킬 수 있음은 물론이며, 이 구성예의 요부를 제3도에 표시하였다. 또한, 제3도에 있어서의 각 구성부와 그 작용 및 효과는 제1도의 경우와 동일하므로, 동일한 구성부에는 동일부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.As described above, according to the present embodiment, even when the lower shaft portion 23 is swung around the 0 point, the same processing as the polishing process by the angular amplitude vibration centered on the lower center centroid 0 ₁ can always be performed. Even if the center of rotation of the angular amplitude swing of the lower axis 28 and the lower center of gravity 0 ₁ do not coincide, the centrifugal swing machining can be carried out while keeping the center of the upper axis and the center of the upper axis coaxial. In addition, even when the radius of curvature of the upper and lower sides 26 and 29 is changed to a different combination, the range of the angular amplitude oscillation oscillation 0, the rotation center 0 on the lower side 28 and the lower center of gravity 0, the distinction of 의 of the sphere of the lower side 29, the swing speed By inputting into the numerical controller, the machining conditions can be easily set. That is, for example, θ is the minimum angle θ ₁ = 10 (deg), the maximum angle θx = 25 (deg), the distance between the lower rotating center 0 and Ha Myoung centripetal _{_{0 1 00 1 = 10,000 (nn}} ), Ha Myoung凸surface You can enter the machining conditions as + matching, rocking speed W = 0.5 (rad / sec). Even if the center of rotation of the angular amplitude fluctuation of the lower axis 28 does not coincide with the lower center of gravity 0 ₁ , it is possible to grind the surface to be polished with a radius of curvature (all shapes) from the rare radius to the plane. In addition, it is possible to obtain useful utilization of the polishing apparatus. In addition, it is possible to realize the polishing apparatus that takes advantage of the above effect simply and without increasing the size, and to improve the usability, reliability and durability of the apparatus. In addition, in the above embodiment, the upper face 26 is the front face, the lower face 29 is the front face, but the reverse direction, that is, if the upper face 26 is the rear face, the lower face 29 is also applicable to the case Of course, the main part of this structural example is shown in FIG. In addition, since each component in FIG. 3 and its operation | movement and effect are the same as that of FIG. 1, the same code | symbol is attached | subjected to the same component, and the description is abbreviate | omitted.

[제2실시예]Second Embodiment

제4(a), (b)도는 본 발명에 관한 연마 장치 20의 제2실시예를 표시함.4 (a) and 4 (b) show a second embodiment of the polishing apparatus 20 according to the present invention.

본 실시예는 제1실시예에 있어서의 화살표 42방향의 각도 진폭 요동 조작을 하축부 23로서 시행하며, 화살표 43방향의 직선이동 조작을 상축부 22로서 시행하도록 구성한 것이다. 즉, 상축 25의 지지구 24를 장치 본체 21에 대하여 화살표 43방향으로 이동자재토록 구성하고, 이 지지구 24의 하부에 장설한 가동 조작부 50과 나합하는 보울 나사 51을 가진 서브 모우터 52를 개재하여 지지구 24를 화살표 43방향으로 이동제어 자재토록 구성한 것이다. 53으로 표시한 것은 접동부이다. 지지구 24의 이동은 제1실시예와 동일하게 하축부 23의 각도 진폭 요동에 있어서의 하명 구심 0의 이동에 동시 작동을 시켜 상축 25의 축심이 0₁점을 항상 통하도록 이동 제어할 수 있도록 설정하였다. 또한, 상축부 22를 화살표 43방향으로 이동시키는 구성이므로 제1실시예와 달리 하축부 23은 소정의 경사각도 θ의 범위로 각도 진폭 진동을 시키는 구성으로 족한다. 기타의 구성은 제1실시예와 동일하므로 제1도에 표시한 구성부와 동일한 구성부에는 동일부호를 붙여서 그 설명을 생략하였다.In this embodiment, the angular amplitude swing operation in the direction of the arrow 42 in the first embodiment is performed as the lower axis portion 23, and the linear movement operation in the direction of the arrow 43 is performed as the upper axis portion 22. In other words, the support 24 of the upper shaft 25 is configured to move in the direction of the arrow 43 with respect to the apparatus main body 21, and is interposed between the sub-Motor 52 having the bowl screw 51 which is screwed with the movable operation unit 50 installed in the lower portion of the support 24. The support 24 is constructed to control movement in the direction of arrow 43. Marked 53 is the sliding part. As in the first embodiment, the movement of the support 24 is simultaneously operated in the movement of the lower center of gravity in the angular amplitude fluctuation of the lower shaft 23 so that the movement of the shaft of the upper shaft 25 can always pass through 0 ₁ point. Set. In addition, since the upper shaft portion 22 is moved in the direction of the arrow 43, unlike the first embodiment, the lower shaft portion 23 is sufficient to have the angular amplitude vibration in the range of the predetermined inclination angle θ. Since other configurations are the same as those in the first embodiment, the same reference numerals are given to the same components as those shown in FIG. 1, and description thereof is omitted.

본 실시예의 구성에 있어서 연마 가공을 시행할 경우에 먼저 상축 25를 하강시켜 상면 26과 하명 29를 접면시키고, 하축 28 및/또는 상축 25를 회전시키면서 하축부 23을 0점을 중심으로하여 경사 각도 θ의 범위내에서 각도 진폭진동을 시켜 시행한다. 이 경우 상축 25가 하축부 23의 경사각도에 응하여, 화살표 43방향으로 이동 제어되어 하명 구심 0₁의 수평 방향으로의 이동으로 동시작동시켜 상축 25의 축심이 0₁점을 항상 통하도록 제어되므로 제1실시예와 동일한 작용으로 마치 하명구심 0₁을 중심으로한 각도 진폭 요동에 의한 연마 가공과 동일한 가공이 가능하게 되는 것이다. 또한 본 실시예에 있어서도, 상축 25는 제1실시예의 경우와 동일하게 00₁(1-cosθ)만의 상하 방향으로의 변이가 수반되나 가공상의 지장은 없고, 제1실시예와 동일하게 연마 가공을 시행할 수 있게 된다. 또한, 상축 25와 지지구 24와의 사이에 접동 저항이 생기는 경우에는 제4(c), (d)도에 표시한 바와 같이 지지구 24를 상축 25를 안내하는 안내부재 54와 이 안내 부재 54를 지지하는 지지부재 55로 분할하고, 지지부재 55에 브래키트 61을 고정시킴과 아울러 서브모우터 62로 안내부재 54를 이동제어자재토록 하는 것이 좋다. 본 실시예에 의하면 제1실시예의 효과에 더하여, 연마장치 20에 있어서의 구동부를 상축부 22와 하축부 22에 있어서의 구동부를 상축부 22와 하축부 22에 분할되며, 장치의 구성상, 기능성상 유리하게 되는 이점이 있다.In the configuration of the present embodiment, when the polishing process is performed, the upper axis 25 is lowered first to contact the upper surface 26 and the lower axis 29, and the lower axis 23 is rotated about the 0 point while the lower axis 28 and / or the upper axis 25 are rotated. It is carried out with angular amplitude vibration within the range of θ. In this case, the upper shaft 25 is in response to the inclination angle of the lower shaft 23 also, the control movement in the arrow 43 direction Ha Myoung centripetal 0 is operated simultaneously with the movement of the horizontal direction of the ₁ is controlled to always through the zero _point axis of the upper shaft 25, the By the same operation as in the first embodiment, the same processing as that of the polishing by angular amplitude fluctuations centered on the lower core 0 ₁ can be performed. Also in this embodiment, the upper shaft 25 is accompanied with a shift in the vertical direction of only 00 ₁ (1-cosθ) as in the case of the first embodiment, but there is no processing problem, and polishing processing is performed in the same manner as in the first embodiment. It can be implemented. In the case where sliding resistance is generated between the upper shaft 25 and the support 24, the guide member 54 and the guide member 54 for guiding the upper shaft 25 with the support 24 as shown in Figs. 4 (c) and (d), The supporting member 55 is divided into supporting members 55, the bracket 61 is fixed to the supporting member 55, and the guide member 54 is controlled by the sub-motor 62. According to the present embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the driving unit in the polishing apparatus 20 is divided into the upper shaft portion 22 and the lower shaft portion 22 in the upper shaft portion 22 and the lower shaft portion 22. There is an advantage to be advantageous.

[제3실시예]Third Embodiment

제5도는 본 발명에 관한 연마 장치 20의 제3실시예를 표시함.5 shows a third embodiment of a polishing apparatus 20 according to the present invention.

본 실시예는 평면을 연마 가공하는 경우의 예를 표시한 것으로, 도면에 표시한 바와 같이 하축부 23을 서브모우터 46로서 수평방향으로 직진 이동 제어할 수 있는 구성으로 되어 있다. 서브모우터 46에 의한 이동기구는 제1(a)도로서 표시한 것과 동일하므로 그 설명을 생략한다. 본 실시예에 있어서는, 각도 진폭 접동의 기구는 사용하지 않아도 된다.This embodiment shows an example in the case of grinding a plane, and as shown in the figure, the lower shaft portion 23 is configured as a sub-motor 46 so that the linear movement can be controlled in the horizontal direction. Since the moving mechanism by the sub-motor 46 is the same as that shown in FIG. 1 (a), the description thereof is omitted. In this embodiment, the mechanism of the angular amplitude sliding does not have to be used.

또한 본 실시예에서는 하축부 23을 이동하는 예를 표시하였으나, 상축부 22축을 이동시키는 구성이라도 좋다. 기타의 구성은 제1실시예와 동일하므로 동일한 부재에는 동일부호를 붙여서 그 설명을 생략한다.In addition, although the example which moves the lower shaft part 23 is shown in this embodiment, the structure which moves the upper shaft part 22 axis may be sufficient. Since other configurations are the same as those in the first embodiment, the same members will be denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

본 실시예에 있어서는, 상면 26을 하명 29에 접면시켜 하축 28 및/또는 상축 25를 회전시키면서 하축부 23 또는 상축부 22를 가공에 필요한 이동량 만큼 직선 왕복시키므로서, 평면의 연마가공을 시행할 수 있는 것이다.In this embodiment, the upper surface 26 is contacted with the lower surface 29, and the lower shaft portion 28 and / or the upper shaft portion 25 is rotated while the lower shaft portion 23 or the upper shaft portion 22 is linearly reciprocated by the amount of movement necessary for processing, so that the polishing of the plane can be performed. It is.

또한 상기 각 실시예외에, 상명 26, 하명 29가 구명이고, 하면구심 0₁이 하축 각도 진폭 요동의 회동중심 0과 일치하도록 배치한 경우에는, 하축 28의 각도 진폭 요동만으로 연마 가공이 가능하게 된다. 또한 제1-제3실시예의 구성을 상하역으로하여 전도시켜 구성하여도 동일한 기능을 얻게 되는 것이다. 또한 상기 각 실시예에 있어서는 광학 소자의 연마의 예로 설명하는 바, 광학 소자로 한정되는 것은 아니고 세라믹, 금속, 플라스틱의 구면 축수면등의 연마 가공에도 적용시킬 수 있다.In addition to each of the above embodiments, when the top names 26 and 29 are life preservers, and the lower center centroid 0 ₁ is arranged so as to coincide with the rotation center 0 of the bottom axis angular amplitude fluctuations, polishing processing is possible only by the angular amplitude fluctuations of the bottom axis 28. . In addition, the same function can be obtained even if the configuration of the first to third embodiments is conducted upside down. In each of the embodiments described above, as an example of the polishing of the optical element, the invention is not limited to the optical element, and can be applied to polishing processing such as spherical bearing surfaces of ceramics, metals, and plastics.

본 발명의 효과에 있어서는 상축 또는 하축의 각도 진폭 요동 기구와 상축 또는 하축의 직진 이동기구에 의해서 마치 상명 또는 하명의 구심을 중심으로한 각도 진폭 요동에 의한 연마 가공과 동일한 가공이 가능하게 된다. 또한, 각도 진폭 요동기구를 작동시키지 않고, 직진 이동기구만을 조작하므로서 평면의 연마 가공이 가능해진다.In the effect of the present invention, the same processing as that of the polishing by the angular amplitude fluctuations centered on the center of the upper or lower axis can be achieved by the angular amplitude oscillation mechanism on the upper or lower axis and the linear movement mechanism on the upper or lower axis. Further, the polishing of the plane can be performed by operating only the straight moving mechanism without operating the angular amplitude swing mechanism.

이상의 결과, 희소곡율 반경을 가진 구면부터 평면에 이르는 모든 형상의 피연마면을 연마 가공할 수 있다.As a result, the to-be-polished surface of all shapes ranging from a spherical surface having a rare curvature radius to a plane can be polished.

Claims

It maintains the upper shaft and the lower shaft on the coaxial shaft to keep the upper shaft rotatable, and has a lower shaft composed of rotating driving materials through a driving device, and through the relative sliding by mutual improvement between the upper shell and the lower blade. A polishing apparatus configured to polish a horse body, comprising: a mechanism for oscillating an angular amplitude of an upper axis or a lower axis as needed, and a mechanism for moving the upper axis or the lower axis in a direction perpendicular to the upper or lower axis in a plane including both axis centerlines. Polishing device, characterized in that configured to equip.

The polishing apparatus according to claim 1, wherein the center line of each of the upper and lower shafts is controlled so as to control angular fluctuations and forward movement of the upper and lower shafts so that the center lines of the upper and lower shafts always intersect the upper and lower centers of the same curvature radius.

The upper and lower shafts, which hold the upper head as the rotating material or the rotating driving material, are kept on the coaxial shaft, and the lower shaft composed of the rotating driving material is installed through the driving device. A grinding polishing apparatus having a structure capable of grinding and polishing a metal, comprising: a mechanism for rotating an electric upper shaft or an electric lower shaft in an axial rotation perpendicular to the axis line, and an electric upper shaft in a plane including the center axis of the electric upper shaft or the electric lower shaft Or a mechanism for moving straight in a direction orthogonal to the axis of the electric lower axis, a mechanism for tracking the movement of the upper and lower axes of the electric shaft, and a mechanism for moving the holder straight in the axial direction, and the electric angle shaft and the holder. Grinding and polishing device characterized in that the configuration.