KR930000152B1

KR930000152B1 - 칼라필터 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR930000152B1
Application number: KR1019900002608A
Authority: KR
Inventors: 박한수
Original assignee: 삼성전자 주식회사; 김광호
Priority date: 1990-02-28
Filing date: 1990-02-28
Publication date: 1993-01-09
Also published as: KR910015868A

Abstract

내용 없음.

Description

칼라필터 및 그 제조방법

제1도는 종래의 칼라필터의 수직단면도.

제2도는 본 발명에 따른 칼라필터의 수직단면도.

제3(a)-(c)도는 본 발명에 따른 칼라필터의 공정을 나타내는 수직단면도들.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

31 : 기판 32,33,34 : 제1, 제2 및 제 3 포토다이오드

35 : 도전막 37 : 절연막

39 : 편탄화층 41 : 제 1 염색층

43 : 제 1 중간층 45 : 제 2 염새층

47 : 제 2 중간층 49 : 제 3 염색층

51 : 보호막층 52,53,54 : 제1, 제2 및 제 3 렌즈

본 발명은 고체촬상소자에 사용되는 칼라필터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 수광면족을 크게하여 이미지센서의 감도를 향상시킬 수 있는 칼라필터 및 그 제조방법에 관한 것이다.

최근 촬영용전자관이나 전자관을 대 할 차세대의 촬상소자써 각광받고 있는 고체촬영상소자의 칼라화는광전변환영역의 상부에 칼라필터를 형성함으로써 행해지고 있다. 또한 액정표시소자(ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ ; 이하 ＬＣＤ라 칭함) 등 표시소자의 칼라화는 전광변환영역의 상부에 칼라필터를 형성함으로써 행해지고 있다.

칼라필터의 종류에는 카세인(Ｃａｓｅｉｎ) 또는 젤라틴(Ｇｅｌａｔｉｎ) 등의 유기물을 염색하는 유기필터와, 광학간섭을 이용하는 무기필터가 있다. 그러나 상기 필터중 유기필터가 가격이 저렴하여 무기필터보다 더 많이 이용되고 있다. 제 1 도는 종래의 전하 결합소자(ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ : 이하 ＣＣＤ이라 칭함)용 칼라필터의 단면도로서, 이 구조를 간단히 설명한다. 기판(1)의 표면이 요철(凹凸)구조로 이루어져 요(凹)부분의 표면에 포토다이오드어레이 (2)(3)(4)가 형성되어 있고, 철(凸)부분의 표면에 도전막(5) 및 절연막(7)이 형성된 ＣＣＤ가 있다. 상기 ＣＣＤ의 표면상에 폴리이미드(Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ) 등의 도포되어 평탄화층(9)과 중간층들(13)(17)의 표면상에 상기 포토더이오드어레이 (2)(3)(4)와 대응하여 염색층들 (11)(15)(19)이 형성되어 있다. 상기 염색층들(11) (15)(19)은 중크롬산이 함유된 카세인 또는 젤라틴 등의 유기물질로 이루어지며 마젠타( Ｍａｇｅｎｔａ), 시안(Ｃｙａｎ) 및 옐로우(Ｙｅｌｌｏｗ) 등의 물질로 염색되어 마젠타, 시안 및 옐로우색을 각각 분광한다. 또한 살술한 구조의 전 표면에 보호막층(21)이 형성되어 있으며, 이 보호막층(21)에 표면상에 상기 포토다이오드들(2)(3)(4)과 각각 대응하여 렌즈들 (22) (23 )(24)이 형성되어 있다. 상술한 구조를 실현하는 제조공정을 간단히 설명한다. 기판 (1)의 표면이 구조로 이루어져 요부분에 포토다이오드들(2)(3)(4)이 형성되어 있고, 철부분에 금속 도전막(5) 및 절연막(7)이 형성된 ＣＣＤ가 있다.

상기 ＣＣＤ상에 폴리이미드 등의 투명한 물질로 평탄화층(9)을 형성하며, 이 평탄화층(9) 상부에 카세인 또는 젤라탄으로 이루어지며 염색물질로 염색된 염색층 (11)을 상기 포토다이오드(2)와 대응하도록 형성한다. 상기 염색층(11)이 마젠타, 시안 또는 옐로우 등의 색광들중 어느 하나를 분광하기 위하여 염색물질로 각각 마젠타, 시안 또는 엘로우 등의 무질중 어느 하나로 염색되어 형성된다. 그 후 전술한 구조의 전표면 폴링미드를 도포하여 중간층(13)을 형성한다. 계속해서 전술한 바와 동일한 방법으로 염색층들(15)(19)과 중간층(17)을 형성한다. 상기 중간층들(13)(17)은 염색층들(15)(19)을 형성할 때 이미 형성된 염색층들의 혼색을 방지한다. 그 다음 전술한 구조의 전표면에 폴리이미드를 도포하여 보호막층(51)을 형성한다. 상기 보호막층(51)상에 아크릴(Ａｃｒｉｌ)계의 물질을 도포한 후 사진 공정에 의해 상기 포토다이오드들 (2)(3)(4)과 대응하도록 패턴들을 형성한다. 그 다음 상기 패턴들을 소정온도로 열 처리하여 구경(Ｗ₁)이 요부분의 폭정도가 되는 렌즈들(22)(23)(24)을 형성한다.

상술한 구조의 칼라필터에서 렌즈들의 구경(Ｗ₁)을 요부분의 폭 정도의 크기로 형성하면 수광면적이 작으므로 낮은 조도(Ｉｌｌｕｍｉｎａｎｃｅ)일 때 입사광을 포토다이오드들이 감지하기 어려웠다.

또한 렌즈들을 이웃하는 렌즈들과 서로 접촉될 정도로 렌즈들의 구경(Ｗ₂)이 최대가 되도록 형성하면 이렌즈들의 수광면적이 최대가 되어 입사되는 빛의 양이 최대가 되나 빛의 촛점거리(Ｆｏｃａｌｌｅｎｇｔｈｔ)가 길어진다. 따라서 입사되는 빛이 요부분에 형성되어 있는 각각의 포토다이오드에 모두 집속되지 않고 철부분에 난반사가 일어나는데 상기 초점거리를 줄이기 위해서 렌즈들의 두께(ｔ)를 두껍게 형성하여야 하는 제조공정상의 문제점이 있었다.

따라서 본 발명의 첫번째 목적은 수광면적을 크게하기 위하여 렌즈의 크기를 크게하고 빛의 초점거리를 줄여 많은 임사광이 이미지센서에 집속되게 하여 감도를 향상시킬 수 있는 칼라필터를 제공함에 있다.

본 발명의 두번째 목적은 상술한 칼라필터의 제조방법을 제공함에 있다.

상기와 같은 첫번째 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 복수의 포토다이오드들이 매트릭스형상으로 배치된 반도체기판의 상부에 적층된 복수의 투명한 층들과, 상기 투명한 층들 사이에 상기 포토다이오드들과 대응하도록 형성된 복수의 염색층들과, 상기 투명한층들 중 최상층의 표면에 상기 포토다이오드들과 대응하도록 형성된 복수의 렌즈들을 구비한 전 결합소자용 칼라필터에 있어서, 상기 복수의 렌즈들이 상기 포토다이오드들보다 크게 형성되며, 상기 복수의 투명한 층들의 굴절률이 최상층에서 최하층으로 점차 작아지게 됨을 특징으로 한다.

또한 본 발명의 두번째 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 복수의 포토다이오드들이 매트릭스형상으로 배치된 반도체기판의 상부에 최하층의 형성하는 공정과, 상기 최하층의 투명한층 상부에 상기 포토다이오드들과 대응하는 적어도 두 개의 서로 다른 염색층들과 이 염색층들의 적어도 두 개의 서로 다른 염색층들과 이 염색층들의 상부에 적어도 두 개의 투명한층들을 형성하는 공정과, 상기 투명한층들중 최상층의 표면에 상기 포토다이오드들과 복수의 렌즈들을 형성하는 공정을 구비한 전하결합소자용 칼리필터의 제조방법에 있어서 ; 상기 투명한 최하층에서 최상층으로 점차 굴절률이 커지도록 하며, 상기 렌즈들을 상기 포토다이오드들 보다 크게 형성하는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

제2도는 본 발명에 따른 칼라필터가 ＣＣＤ에 적용되어 수직으로 절단된 단면도이다. 그러나 본 발명에 따른 칼라필터가 다른 고체촬상소자에 적용될 수 있음을 알아야한다.

제2도를 참조하여 본 발명에 따른 칼라필터의 구조를 설명한다. 기판(31)의 표면이 요철구조로 이루어져 요부분의 표면에 제1, 제2 및 제 3 포토다이오드들 (32) (3 3)(34)이 형성되어 있고, 철부분의 표면에 도전막(35) 및 절연막(37)이 형성된 ＣＣＤ가 있다. 상기 ＣＣＤ의 표면상에 평면상에 평탄화층(39), 제1 및 제2중간층들 (4 3)(47)과 보호막층(51)이 적층된다. 상기 평탄화층(39), 제1 및 제2중간층들 (43) (47)과 보호막층(51)은각각의 두께가 400∼700ｍｍ일 때 입사광의 90% 이상을 투과하고 150℃∼200℃ 사이에서 물질특성이 변하지 않는 물질로 형성되어야 한다. 또한 상기 평탄화층(39)과 제1 및 제2중간층들(43)(47)의 표면상에 상기 제1, 제2 및 제3 포토다이오드들(32)(33)(34)과 대응되도록 제1, 제2 및 제3 염색층들(41)(45)(49)이 형성된다. 상기 제1, 제2 및 제3 염색층들(41)(45)(49)은 중크롬산이 함유된 카세트인 또는 젤라틴 등의 유기물질로 이루어지며 마젠타, 시안 및 옐로우 등의 물질로 염색되어 입사광을 마첸타, 시안 옐로우 등의 색광으로 분광한다. 또한 상기 보호막층 (51)의 표면상에 상기 제1, 제2 및 제3 포토다이오드들(32)(33)(34)과 각각 대응되도록 제1, 제2 및 제3 렌즈들(52)(53)(54)이 형성된다. 렌즈들(52)(53)(54)은 아크릴로 이루어져 소정두께(ｔ)를 갖으며 구경(Ｗ₂)이 상기 요홈의 폭(Ｗ₁)보다 크게 형성된다. 이때 수광면적을 최대로 하기위해서는 상기 렌즈들(52)(53)(54)의 구경(Ｗ₂)을 최대가 되도록하여 이웃하는 렌즈들끼리 서로 접촉될정도가 되도록 한다.

상술한 칼라필터는 상기 평탄화층(39), 제1 제2중간층들(43)(45)과 보호막층 (51)의 굴절률을 변화시켜 상기 수광면적이 최대로 증가된 렌즈들(52)(53)(54)을 입사되는 광의 초점거리가 짧아지도록 광의방향(Ｐａｔｈ)를 변화시켜 철부분의 절연막 (37)에 의해 난반사되는 것이 없이 요부분에 형성된 포토다이오드들 (32) (33)(34)에만 집속되도록 한다. 즉 상기 평탄화층(39), 제1 및 제2중간층들 (43)(47)과 보호막층 (51)의 굴절률을 각각 Ｎ₁,Ｎ₂,Ｎ₃및 Ｎ4라 하면 상기 입사되는 광의 초점거리를 짧게하기 위해서는 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄가 되어햐한다. 상기 평탄화층(39), 제1 및 제2중간층들(43)(47)과 보호막층(51)들의 굴절률이 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄가 되기 위해서는, 첫번째로 상기 층들(39)(43)(47)(51)을 동일한 물질로 형성하되 형성시 온도를 변환시켜 서로 다른 굴절률을 갖도록 한다.

즉, 상기 첫번째는 상기 층들(39)(43)(47)(51)에 있어서 평탄화층(39)은 ＰＧＭＡ(ＰｏｌｙｃｉｄｙｌＭｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ) 등의 물질로, 제1 및 제2중간층들(43)(47)을 아크릴계 등의 물질로, 보호막층(51)은 폴리스티렌(Ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ) 등의 물질로 이루어진다. 상기 제1 및 제2 중간층들(43)(47)을 이루는 아크릴계 등의 물질에서 제 1 중간층(43)을 형성하는 물질보다 제 2 중간층(47)을 형성하는 굴절률이 더 커야 한다.

다시말해 Ｎ₂〈Ｎ₃가 되어야한다. 또한 상기 두 번째에서 동일한 물질로 상기 층들(39)(43)(47)(51)이 형성되는 경우에서는 상기 각 층들(39)(43)(47)(51)의 굴절은 층들(39)(43)(47)의 형성시 소프트베이크(ｓｏｆｔｂａｋｅ) 온도와 반비례한다. 다시말해 상기 평탄화층(39), 제1 및 제2중간층들(43)(47)과 보호막층(51)과 보호막층(51)을 형성할 때 각각의 소프트베이크 온도를 Ｔ₁,Ｔ₂,Ｔ₃및 Ｔ₄라 하면 Ｔ₁〈Ｔ₂〈Ｔ₃〈Ｔ₄일 때 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄가 된다. 상기에서 각 층들(39)(43) (47) (51)이 폴리이미드로 형성되면 상기 소프트베이크 온도들(Ｔ₁)(Ｔ₂)(Ｔ₃)(Ｔ₄)은 150∼ 2 00℃ 사이가 되어야한다.

제3(a)∼(c)도는 본 발명을 실현하기 위한 제조공정을 나타내는 수직 단면도들이다.

제3(a)도를 참조하면 실리콘기판(31)의 표면이 요철구조로 이루어져 요부분의 표면에 포토다이오드어레이(32)(33)(34)가, 철부분에는 Ａｌ 등의 금속으로 이루어진 배선용 도전막(35)과 ＳｉＯ₂등의 이루어진 절연막(37)이 형성된 ＣＣＤ가 있다. 상기 ＣＣＤ가 표면상에 철부분을 기준으로 하여 3000Å 정도로 굴절률이Ｎ₁인 ＰＧＭＡ를 도포하여 평탄화층(39)를 형성한다. 그 다음 사이 평탄화층(39)의 표면상에 중크롬산이 혼합된 카세인 또는 젤라틴을 4000∼10000Å 정도 두께로 도포한 후 사진공정에 의해 상기 제 1포토다이오드(32)와 대응하도록 염색층패턴을 형성한다. 계속하여 전술한 구조의 전표면에 염료로 염색하면 상기 염색층 패턴이 염색되어 제 1 염색층(41)이 된다. 또한 상기 염료는 상기 평탄화층(39)과 반응하지 않으므로, 이 평탄화층(39)상의 염료는 탈이온수에 제거한다. 상기 제 1 염색층(41) 이 입사광에 마젠타, 시안 또는 옐로우 등의 색광들 중 어느 하나를 분광하기 위하여 염료로 각각 마젠타, 시안 또는 옐로우 등의 물질중 어느 하나로 염색되어 형성된다. 즉, 상기 제 1 염색층(41)이 마젠타 색의 광을 분광하기 위해서는 염료로 마젠타를 사용한다.

제3(b)도를 참조하면, 상기 평탄화층(39)과 제 1 염색층(41)의 상부에 굴절률이 Ｎ₂인 아크릴계 물질을 1㎛정도의 두께로 도포하여 제 1 중간층(43)을 형성한다. 이때 상기 제 1 중간층(43)의 굴절률(Ｎ₂)은 평탄화층(39)의 굴저률(Ｎ₁)보다 커야 한다. 그 다음 상기 제 1 중간층(43)의 표면상에 상기 제 2 포토다이오드(33)와 대응하도록 상기 제2염색층(45)를 형성한다. 상기 제 2 염색층(45)를 형성한다. 상기 제 2 염색층(45)은 상기 제 1 염색층(41)과 동일한 물질과 동일한 방법에 의해 형성되며, 입사광야에서 시안 또는 옐로우드의 색광들중 어느 하나를 분공하기 위해서 시안 또는 옐로우 등의 물질중 어느 하나로 염색된다. 즉, 제2염색층(45)이 입사광에서 시안색의 광을 분광하기 위해서는 염료로 시안을 사용한다. 계속해서 상기 제 1 중간층(43)과 제 2 염색층(45)상에 굴절률이 Ｎ₃인 아크릴계 물질을 1㎛ 정도의 두께로 도포하여 제 2 중간층 (47)을 형성한다.

상기에서 제1 및 제2 중간층(43)(47)을 형성하는 아크릴계 물질들은 굴절률이 Ｎ₂〈Ｎ₃이어야 한다. 그 다음 상기 제 2 중간층(47)의 표면상에 상기 제 3 포토다이오드(33)과 대응하도록 제 3 염색층(49)을 형성한다.

상기 제 3 염색층(49)은 상기 제1 및 제2 염색층과 동일한 물질로 동일한 방법에 의해 형성한다. 상기 제3 염색층(49)이 입사광에서 옐로우색의 광을 분광하게 하기 위해서는 염료로 옐로우를 사용한다. 그 다음 상기 제3 염색층(49)과 제2중간층(47)의 표면상에 굴절률이 Ｎ₄인 폴리스티레인을 1㎛ 정도 두께로 도포하여 보호막층(51)을 형성한다. 이때 상기 보호막층(51)의 굴절률(Ｎ₄)은 제 2중간층(47)의 굴절률(Ｎ₃)보다 커야한다. 즉, 평탄화층(39), 제1 및 제2 중간층(43)(47)과 보호막층(51)의 굴절률들(Ｎ₁)(Ｎ₂)(Ｎ₃)(Ｎ₄)은 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄이 된다.

제3(c)도를 참조하면, 상기 보호막층(51)의 상부에 상기 포토다이오드들 (32) (33)(34)과 대응하도록 렌즈들(52)(53)(54)을 형성한다. 상기 렌즈들(52)(53) (54)은 아크릴로 이루어져 소정두께(ｔ)를 갖으며 구경(Ｗ₂)은 요홈의 폭보다 크게 형성한다. 상기 렌즈들(52)(53)(54)의 구경(Ｗ)을 최대가 되도록 하여 이웃하는 렌즈끼리 서로 접촉될 정도가 되도록한다.

상술한 방법으로 형성된 칼라필터는 두께가 ｔ이고 구경이 Ｗ₂로 수광면적이 넓어진 렌즈들(52)(53)(54)을 통해 들어오는 빛의 초점거리를 짧게하기 위하여 상기 평탄화층(39), 제1 및 제2중간층(43)(47)과 보호막층(51)을 굴절률들(Ｎ₁)(Ｎ₂)(Ｎ₃)(Ｎ₄)이 서로 다른 물질들을 형성한다. 즉, 상기 각층들(39)(43)(47)(51)을 각각의 굴절률들(Ｎ₁)(Ｎ₂)(Ｎ₃)(Ｎ₄)이 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄가 되도록 형성하면 상기 렌즈들 (52) (53)(54)을 통한 빛은 포토다이오드들(32)(33)(34)에 모두 집속되도록 진행방향이 변화되므로 감도가 향상된다.

또한, 상기 제2 도를 실현하기 위한 다른 실시예로 상기 평탄화층(39), 제1 및 제2중간층(43)(47)과 보호막층(51)을 동일한 물질로 형성할 수도 있다. 즉, 소프트베이크 온도와 굴절률의 값은 반비례하므로서 상기 각 층들(39)(43)(47)(51)의 소프트베이크 온도들(Ｔ₁)(Ｔ₂)(Ｔ₃)(Ｔ₄)을 Ｔ₁〉Ｔ₂〉Ｔ₃〉Ｔ₄가 되도록하면 이 층들 (39) (43)(47)(51)의 각각의 굴절률들(Ｎ₁)(Ｎ₂)(Ｎ₃)(Ｎ₄)이 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄가 된다 상기에서 상기 평탄화층(39), 제1 및 제 2 중간층(43)(47)과 보호막층(51)을 모두 폴리이미드로 형성할 때 상기 소프트베이크온도들(Ｔ₁)(Ｔ₂)(Ｔ₃)(Ｔ₄)은 150∼℃ 사이가 되어야 한다.

상술한 바와 같이 수평면적을 넓히기 위해 렌즈들의 구경을 크게하여도 입사광을 초점거리를 줄이기 우한 상기 렌즈들의 두께를 두껍데 형성하는 어려움없이 임사광의 진행방향을 변화시켜 난반사가 일어나지 않고 입사광 모두가 포토다이오드들에 집속되도록 하므로 감소가 향상된다. 즉, 상기 난반사는 평탄화층, 제1 및 제2중간층과 보호막층의 굴절을 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄가 되도록 하면 요부분의 폭정도의 구경의 구경 (Ｗ1)을 갖는 종래의 렌즈들과 비교하여

정도 향상된다.

따라서 본 발명은 수광면적을 넓게할 때 난반사를 제거하고 입사광의 진행방향을 제어하여 보다 많은 광을 집속시키므로 감도를 향상시킬 수 있으며, 또한 제조공정이 용이해지는 잇점이 있다.

Claims

복수의 포토다이오드들(32,33,34)이 매트릭스형상으로 배치된 반도체기판 (31)의 상부에 편탄화층(39), 제 1 중간층(43), 제 2 중간층(47) 및 보호층(51)으로 적층된 복수의 투명한 층들과, 상기 투명한 층들(39,43,47,51) 사이에서 상기 포토다이오드들(32,33,34)과 대응하도록 형성된 복수의 염색층들(41,45,49)과, 상기 보호층 (51)의 표면에 상기 포토다이오드들(32,33,34)과 대응하도록 형성된 복수의 렌즈 (52, 53, 54)를 구비한 전하 결합소자용 칼라필터에 있어서, 상기 복수의 렌즈들 (52,53,54)이 상기 포토다이오드들(32,33,34)보다 크게 형성되며, 상기 복수의 투명한 층들(39,43, 47, 51)의 굴절율(Ｎ₁,Ｎ₂,Ｎ₃,Ｎ₄)이 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄으로 됨을 특징으로 하는 칼라필터.
제 1 항에 있어서, 상기 평탄화층은 굴절율이 Ｎ₁인 ＰＧＭＡ로 구성하고, 상기 제1중간층은 굴절율이 Ｎ₂인 아크릴례수지로 구성하고, 상기 제2중간층은 굴절율이 Ｎ₃인 아크릴게수지로 구성하면, 상기 보호층은 굴절율이 Ｎ₄인 폴리스티수지로 구성한 것을 특징으로 하는 칼라필터.
제 1 항에 있어서, 상기 투명한 층들(39,43,47,51)은 모두 폴리이미드를 구성하고 상기 각 층들의 소결 온도를 Ｔ₁〉Ｔ₂〉Ｔ₃〉Ｔ₄로 하여 이에 따라 굴절율이 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄로 됨을 특징으로 하는 칼라필터.
제3항에 있어서, 상기 소결온도(Ｔ₁∼Ｔ₂)가 150℃∼200℃이내 임을 특징으로 하는 칼라필터.
복수의 포토다이오드들(32,33,34)이 매트릭스 형상으로 배치된 반도체기판 (31)의 상부에 굴절율이 Ｎ₁이고 투명한 평탄화층(39)을 형성하고 공정과, 상기 평탄화층(39) 상부에 상기 포토다이오드(32)들과 대응하는 염색층(41)을 형성하고 굴절율이 Ｎ₁보다 큰 Ｎ₂이고 투명한 제1중간층(43)을 형성하는 공정과, 상기 제 1 중간층 (43)의 상부에 상기 포토다이오드(33)에 대응하는 염색층(45)을 형성하고 굴절율이 Ｎ₂보다 큰 Ｎ₃이고 투명한 제 2 중간층(47)을 형성하는 공정과, 상기 제 2 중간층(47) 상부에 상기 포토다이오드(34)에 대응하는 염색층(49)을 형성하고 굴절율이 Ｎ₃보다 큰 Ｎ₄이고 투명한 보호층(51)을 형성하는 공정과, 상기 보호층(51)의 표면에 상기 포토다이오드(32,33,34)에 대응하고 포토다이오드보다 큰 면적 사이즈를 가지는 렌즈를 형성하여서 된 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
제 5 항에 있어서, 상기 평탄화층은 ＰＧＭＡ, 상기 제1 및 제2 중간층을 아크릴계수지, 상기 보호층은 폴리스티렌수지로 각각 형성한 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
제5 항에 있어서, 상기 평탄화층, 제 1 및 제 2 중간층 및 보호층은 모두 폴리이미드계수지로 형성하되 각 층의 소결온도를 Ｔ₁〉Ｔ₂〉Ｔ₃〉Ｔ₄로 하여 각층의 굴절율을 Ｎ₁〈Ｎ₂〈Ｎ₃〈Ｎ₄로 하는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
제 7 항에 있어서, 상기 소결온도는 150℃∼200℃이내 임을 특징으로 칼라필터의 제조방법.