KR920704174A - 근접장에 배치된 물체에 의해 회절 또는 흡수된 광을 정밀 분광분석하는 방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

근접장에 배치된 물체에 의해 회절 또는 흡수된 광을 정밀 분광분석하는 방법

[도면의 간단한 설명]

제3도는 본 발명의 목적인 정밀한 분광분석의 제1실시예의 제1변형예를 사용하며 이른바 광섬유 광학 커플러 및 분광분석기를 포함하는 감쇠된 소실장 스캐닝 광학 현미경의 제1형태의 실시예에 대한 개략도이다.

제4도는 본 발명의 목적인 정밀한 분광분석섭의 제1실시예의 제2변형예를 사용하며, 이른바 2개의 광섬유 광학 커플러 및 분광분석기를 포함하는 안내된 근접장 스캐닝 광학 현미경의 제1형태의 실시예에 대한 개략도이다.

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (23)

1. 제1전자기 방사선에 의해 투과되어 또는 반사되어 발생된, 근접장(near field)에 배치된 투명 및/또는 반사 물체에 의해 회절 또는 흡수된 광을 정밀 분광분석 방법에 있어서, 그 정밀분광 분석은 상기 제1방사선과 동시에 상기 물체상으로 향하는 제2전자기 방사선 및/또는 상기 근접장상에서 수행되며, 상기 분석은 상기 물체와 상호작용되는 상기 근접장 또는 상기 제2전자기 방사선이 부분에 관계되는 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 근접장은 근접장 스캐닝 현미경 검사에 의해 상기 물체의 기하학적 프로파일 및/ 또는 광학적 프로파일을 설정하는데 사용되며, 정밀 분광분석 및 상기 현미경 검사가 동시에 수행되는 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
3. 제11항 또는 2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분광분석은 반사 또는 투과에 의해 하나의 근접장을 발생시키는 제1전자기 방사선에 관련되며, 상기 근접장은 연구용으로 제공된 물체의 광학적 근접장 스캐닝 현미경 검사를 수행하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 근접장은 소실장내의 광섬유의 단부와 같은 광학 프로브의 존재에 의해 투과되어 하나의 특정 지점에서 발생된 감쇠된 소질장(frustrated evanescent field)이며, 상기 소실장은 프리즘과 같은 투명체의 표면상에서의 제1전자기 방사선의 전체 내부반사로 부터 결과되며, 연구될 적어도 투명한 물체는 상기 표면상에 배치되는 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
5. 제3항에 있어서, 상기 근접장은 반사 표면상의 광섬유 형태의 도파관의 단부로부터 나오는 제1전자기 방사선의 반사에 의해 발생된 반사 안내된 근접장이며, 상기 방사 방사선은 상기 단부에 의해 포획되고 상기 도파관에 재전파되는 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
6. 제1항 또는 2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분광 분석은, 분석될 투명 및/또는 반사 물체상으로 향하는 복합 전자기 방사선과 동시에 반사 또는 투과에 의해 근접장을 발생시키는 제1전자기 방사선에 관계되며, 상기 근접장은 상기 물체의 광학 투과 반사 스캐닝 현미경 검사를 수행하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 정밀분광분석 방법.
7. 제6항에 있어서, 복합 전자기 방사선의 분석될 투명 및/또는 반사 물체상으로 향해짐으로써, 상기 복합방사선의 분광요소들은 근접장의 구조를 나타내지 않으며, 상기 근접장 스캐닝 광학 현미경은 상기 물체의 이미지를 제공할뿐아니라 근접센서로 사용되는 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
8. 제6항에 있어서, 복합전자기 방사선이 분석될 투명 및/또는 반사 물체상으로 향함으로써 상기 복합 방사선의 분광 성분들이 근접 필드구조릍 나타내는 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
9. 제8항에 있어서, 분광 분석에 사용된 복합 근접장은 적어도 투명한 물체를 통해 투과되어 발생되는 복합감쇠된 소실장인 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
10. 제8항에 있어서, 분광분석에 사용된 복합 근접장은 적어도 반사 물체상으로 반사되어 발생되는 안내된 근접장인 것을 특징으로 하는 정밀 븐광분석 방법.
11. 제9항 또는 10항 중 어느 한 항에 있어서, 물체의 근접장 스캐닝 광학 광학 현미경 검사는 연구용으로 제공된 물체가 적어도 투명한가 또는 반사체인가의 여부에 따라, 투과에 의해 감소된 감쇠된 소실장에서 수행되거나, 반사에 의해 안내된 근접장에서 수행되는 것을 특징으로 하는 정밀 분광분석 방법.
12. 선행항 중 어느 한 항에 있어서, 연구용으로 제공된 물체의 정밀 분광분석은, 근접장 현미경 검사의 실행에 필요한 광섬유 형태의 도파관 근처에 배치되며 그 도파관내에 전파될 수 없는 전자기 방사선 부분을 분석할 수 있는 적어도 하나의 보조 마이크로프로브(microproke)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 정밀분광분석 방법.
13. 상기 항 중 하나에 따른 정밀 분광분석 방법을 사용하는 것을 특징으로 근접장 스캐닝 광학 현미경.
14. 제13항에 있어서, 적어도 하나의 통상적인 감쇠된 소실장 스캐닝 투과 광학 현미경으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 근접장 스캐닝 광학 현미경.
15. 제13항에 있어서, 적어도 하나의 통상적인 안내된 근접장 스캐닝 반사 광학 현미경으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 근접장 스캐닝 광학 현미경.
16. 제14항에 있어서, 한편으로는 분석될 물체(3)가 배치되는 투명체(1)의 표면 하측상으로 전자기 방사선을 방출시키는 광원(4) 및 다른 한편으로는, -투명팀(6)을 형성하도록 세이핑된 광섬유 단부(7)로 이루어진 입력 전송 채널, -컴퓨터(10), 피이드백 디바이드(11), 및 투명팁(6)을 투명 물체(3)로부터 일정거리에 유지시키도록 제어한 압전관과 같은 나노메트릭 수직 배치 수단에 자체 연결된 광검출기(8)에 연결되는 제1의 출력전송 채널(13a), 및 -광학 디바이스(16)에 의해 "레이만 분광계"로 앝려진 형태의 분광분석기(4)에 연결되는 제2출력 전송 채널(13b)을 제공하는 광섬유의 광학 커플러(13)를 포함하는 감쇠될 소실장 스캐닝 광학 현미경.
17. 제14항에 있어서, 한편으로는 분석될 물체(3)가 배치되는 투명체(1)의 표면 하측상으로 제1전자기 방사선을 방출시키는 광원(4) 빛 다른 한편으로는, 광학디바이스(18)에 의해 제1전자기 방사선에 광학적으로 혼합되는 복합 전자기 방사선을 방출하는 광원(17)을 포함하며,-투명팁(6)을 형성하도록 세이핑된 광섬유 단부(7)로 이루어진 입력 전송 채널,-컴퓨터(10), 피이드백 디바이드(11), 및 투명팁(6)을 무명 물체(3)로 부터 일정거리에 유지시키도록 제어하는 압전관(12) 같은 나노메트릭 수직 배치 수단에 연결된 광검출기(8)에 연결되는 제1출력 전송 채널(13a), 및 -광학 디바이스(16)에 의해 분광분석기(14)에 연결되는 제2의 출력 전송채널(13b)를 제공하는 광섬유의 광학 커플러(13)간 더 포함하는 감쇠된 소실장 스캐닝 광학 현미경.
18. 제14항에 있어서, (a) 분석된 물체(3)가 놓여지는 투명체(1)의 표면 하부측상으로 제1전자기 방사선을 방출시키는 광원(4),(b) -투명팁(6)을 형성하도록 세이핑된 광섬유(7)단부로 이루어진 입력 전송 채널, 및 -컴퓨터(10), 피이드백 디바이스(11), 및 투명팁(6)을 투명 물체(3)로부터 일정거리에 유지시키도록 제어하는 압전관(12)과 같은 나노메트력 수직 배치수단에 자체 연결된 광검출기(8)에 연결되는 제1의 출력전송 채널(13a)을 제공하는 제1의 광섬유 광학 커플러, (c) -상기 광학 커플러(13)의 제2출력 채널(13b)에 연결되는 입력 전송 채널(21a) 및, 분광 분석기(14)에 연결되는 제1출력 전송 채널(21c)을 제공하는 제2광섬유 광학 커플러(21) 및, (d) 상기 광학 커플러(21)의 제2출력 전송 채널(21b)에 복합 전자기 방사선을 방출시키는 광원(20)을 포함하는 것을 특징으로 하는 감쇠된 소실장 스캐닝 광학 현미경.
19. 제15항에 있어서, (a) 적어도 하나의 입력 전송채널(121a) 및 제2출력 전송채널(212c)을 제공하는 제1광섬유 광학 커플러(121)로 부터 나오는 제1출력 전송채널(121b)에 전자기 방사선을 방출시키는 광원(104), (b) 제2출력 전송 채널(113a) 및 작은 코더(c)를 갖는 광학 프로브(106)를 형성하도록 만발되는 광섬유 단부(7)로 이루어진 적어도 하나의 입력 전송 채널을 제공하며, 제1광학 커플러(121)의 입력 전송 채널(121a)로부터 나오는 제1출력 전송 채널(113b)에 의해 연결되는 제2광섬유 광학 커플러(113), (c) 컴퓨터(10), 피드백 디바이스(11), 및 지지체(101)의 표면(102)상에 배치되는 적어도 투명한 물체(103)로부터 일정거리에 상기 광학 프로브(106)를 유지시키도록 저어하는 압전관(12)과 같은 나노메드릭 수직 배치 수단에 연결되며, 상기 제2전송 채널(113a)에 광학적으로 커플되는 광검출기(8) 및, (d) 제1광학 커플러(121)로부터 나오는 제2출력 전송채널(121c)에 연결되는 분광 분석기(14)를 포함하는 것을 특징으로 하는 안내된 근접장 스캐닝 반사 광학 현미경.
20. 제19항에 있어서, 제3광섬유 광학 커플러(23)가 제1광학 커플러(121)의 입력 전송 채널(121a)과 제2광학 커플러(113)의 출력 전송 채널(113B) 사이에 삽입됨으로써, 한편으로는 상기 제1광학 커플러(23)의 전송채널(23a)사이에 광학 커플러(113)의 상기 전송 채널(113b)에 연결되며, 다른 한편으로는 상기 광학 커플러(23)의 제1출력 전송채널(23b)이 광학 커플러(121)의 상기 전송채널(121a)에 연결되며, 부가적으로 상기 광학 커플러(23)의 제2전송채널(23c)은 상기 제2전송채널(23c)에 복합 전자기 방사선을 방출시기는 제2광원(20)에 연결되는 것을 특징으로 하는 안내된 근접장 스캐닝 반사 광학 현미경.
21. 제19항에 있어서, 한편으로 지지체(1)는 프리즘과 같은 투명체(101)로 대체되며, 분석될 투명 및 반사물체(3,103)가 상기 투명체(1)의 표면(2,102)상에 배치되며, 다른 한편으로 광원(17)은 상기 표면의 (2,102)의 상부에 복합 소실장을 발생시키도록, 상기 표면의 하부측상으로 복합 전자기 방사선을 방출시키는 것을 특징으로 하는 안내된 근접상 스캐닝 반사 광학 현미경.
22. 제14항 또는 15항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 보조 마이크로프로브가 필요할에 따라 형광성 광섬유(7)를 포함하며, 상기 마이크로 프로브는 상기 광섬유(7)내에 전파될 수 없는 전자기 방사선은 포획하게 되는 것을 특징으로 하는 근접장 스캐닝 광학 -현미경.
23. 제13항 내지 22항 중 어느 한 항에 따른 근접장 현미경을 포함하는, 투명 및/또는 반사 물체의 현미경 검사 및/또는 분광검사를 위한 광학적 근접장 기구.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.