KR920704173A - 근접장 반사 현미경 운용 방법 및 현미경 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

근접장 반사 현미경 운용 방법 및 현미경

[도면의 간단한 설명]

제1도는 본 발명의 바람직한 실시예를 따른 현미경의 개략도이다.

제2도는 검사될 표면에 대하여 본 발명에서 사용되는 도파관의 단부를 상세하게 도시한 것이며 특히 도파관내에서 반사된 파동의 커플링을 도시한다.

제3도는 검사될 표면과 상기 가이드의 출력면 사이의 거리와, 도파관내에 집적된 강도사이의 종속성을 도시하는 실험적인 곡선을 이론적인 곡선에 비교한 것을 도시한다.

제4도는 도파관으로서 사용된 광섬유 코어의 반경에 의존하는, 선택적인 실시예에서 사용된 전자기 파동의 침투 깊이의 실시예를 도시한다.

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (16)

1. 레이저에 의해 방사되는 것과 같이 필수적으로 응집된 전자기 파동이 방사되는 특정의 도파관과 같은 광학 프로브를 사용하며, 상기 드파관의 주 전파 모드와, 검사될 표면에 의해 반사되어 동일한 도파관에 의해 다시 안내되는 커플링 계수는 도파관의 단부가 상기 표면에 접근함에 따라 필수적으로 지수적인 증가를 나타내도록 도파관의 단부가 검사될 표면에 거리를 두어 근접되는 것을 특징으로 하는 근접장 주사용 반사 현미경 운용 방법.
2. 제1항에 있어서, 도파관의 실질적인 전파 모드와, 동일한 도파관에 의해 다시 안내된 반사 파동의 전기장전파 모드사이의 커플링 계수를 일정하게 유지하도록, 광학 프로브에서 사용된 도파관 단부의 수직 위치에 작용이 취해지는 것을 특징으로 하는 근접장 반사 현미경 운용 방법.
3. 제1항에 있어서, 광학 프로브로서 사용된 도파관의 단부는 검사될 표면위에 거의 일정한 높이에서 유지되며, 반면에 커플링 계수의 변환은 상기 도파관의 주전파 모드와 상기 표면에 의해 반사된 파동의 전기장 전파 모드 사이에서 측정되는 것을 특징으로 하는 근접장 반사 현기명 운용 방법.
4. 제2항에 있어서, 도파관으로서 선택적으로 단일모드인 광섬유를 사용하며, 광섬유의 단부에서 평탄면은 상기 섬유내 빛의 평균적인 전파 방향에 거의 수직으로 실현되며, 상기 표면에 의해 반사되어 상기 광섬유에 의해 다시 안내된 파동과 둥일한 섬유내에서 평탄한 출력면상에 반사된 파동 사이에 구성상의 간섭 현상이 발생되는 조건하에서, 이러한 표면에 거의 대각선이 방향을 따라서 평탄면이 검사될 표면위에 위치하며, 간섭 현상으로부터 야기된 전자기 파동의 강도를 일정하게 유지하도록 상기 평탄면의 수직 위치에 작용이 취해지며 안면에 상기 강도는 일정한 인터프린지 정현 변조를 나타내는 것으로 특징지워지는 근접장 반사 현미경 운용 방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 평탄면이 수직 위치에 대한 작용이 어트랜티브 모드에서 수행될 수 있는 조건하에서, 즉 검사될 표면에 의해 반사된 파동과 상기 평탄면에 의해 반사된 파동사이의 간섭 현상으로부터 야기된 전자기 파동의 강도는 상기 강도의 정현 변조를 하는 한회 주기만에 의한 하향 부분에서 제어되는 조건하에서, 도파관으로서 사용된 광섬유의 평탄한 출력 표면이 검사될 표면위에 위치하는 것을 특징으로 하는 근접장 반사현미경 운용 방법.
6. 제4항에 있어서, 상기 평탄면의 수직 위치상의 작용이 리펄시브(repulsive)모드에서 수행될 수 있는 조건하에서, 즉 검사될 표면에 의해 반사된 파동과 상기 평탄면에 의해 반사된 파동 사이의 간섭 현상으로부터 야기된 전자기 파동의 강도는 상기 강도의 정현 변조의 단일 주기만에 의한 하강 부분에서 제어되는 조건하에서, 도파관으로서 사용된 광섬유의 핑탄한 출력 표면이 검사될 표면위에 위치하는 것을 특징으로 하는 근접장 반사 현미경 운용 방법.
7. 제2항에 있어서, 광섬유내의 빛의 평균적인 전파 방향에 대하여 거의 수직인 평탄면이 광섬유의 단부에서 실현되고, 상기 평탄면에 의해 반사되어 다시 상기 광섬유에 의해 안내된 파동과, 상기 섬유에서 평탄 출력면상에 반사된 파동사이에 측정될만한 구성상의 간섭 현상이 발생될 수 없는 조건하에서 상기 표면과 충분한 강도를 이루는 방향을 따라서 상기 평탄면이 검사될 표면위에 위치되는 것으로 특정지워지며, 도파관으로서 선택적으로 단일모드(monomode)인 광섬유를 사용하는 근접장 반사 현미경 운용 방법.
8. 제2항에 있어서, 광섬유내의 빛의 평균적인 진파방향파 충분한 각도를 만드는 평탄면이 광섬유의 단부에 실현되고, 검사될 표면에 의해 반사되어 다시 상기 광섬유에 의해 안내된 파동과, 동일한 섬유에서 평탄한 출력면상에 반사된 파동사이에서 측정가능한 구성상의 간섭 현상의 발생할 수 없는 조건하에서, 검사될 표면에 거의 대각선인 방향을 따라, 섬유가 검사된 표면위에 위치되는 것을 특정으로 하며, 도파관으로서 선택적으로 단일모드인 광섬유를 사용하는 근접장 반사 현미경 운용 방법.
9. 광학 프로브를 사용하며, 나노미터보다 작은 정확도로서 상기 프로브의 수직 및 측방 변위를 일으키는 종래의 수단을 포함하고, 상기의 광학 프로브는, 레이저에 의해 방사되는 것과 같은 필수적인 응집된 전자기 파동이 그안으로 방출되는 도파관이며, 상기 도파관의 주 전파 모드와 상기 표면에 의해 반사되어 상기 도파관에 의해 다시 안내된 파동의 전기장 전파 모드 사이의 커플링 계수가, 국한값이 상기 면에 접근하도록 거의 지수적인 증가를 나타내도록, 도파관의 단부는 검사될 표면으로 부터의 거리에 위치되는 것을 특징으로 하는 근접장 주사용 현미경.
10. 제9항에 있어서, 광학적 프로브로서 사용된 도파관은 양방향 광학 커플러(5)에 연결되며, 2개의 입력 트랜스미션 채널(6,7) 및 2개의 출력 트랜스미션 채널(8,9)을 지니고, 제1의 입력 트랜스미션 채널(6)은 레이져와 같이 필수적으로 응집된 전자기 파동을 발생시키는 소스(2)에 연결되며, 제2의 입력 트랜스미션 채널(7)은, 상기 제2의 입력 트랜스미션 채널(7)내의 전파 이후에, 반사된 전자기 파동의 강도 검지기(10)에 연결되고, 제1의 출력 트랜스미션 채널(8)은 상기 도파관에 연결되고, 제2의 출력 트랜스미션 채널(9)은 사용되지 않거나 또는 소스(2)에 의해 방사된 파동 강도의 기준 측정을 취하는데 사용되는 것 등을 특징으로 하는 근접장 현미경.
11. 제9항에 있어서, 검지기(10)는 피드백 시스템(15)에 의해, 상기 도파관의 단부 높이를 검사될 표면위로 수직 변위시키 종래의 수단에 연결시키는 것으로 특징지워지는 근접장 현미경.
12. 제9항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서, 광학 프로브로서 작용하는 도파관은 광학 커플러(5)의 출력 트탠스미션 채널로서 사용하는 광섬유(18)로 구성되는 것을 특징으로 하는 근접장 현미경.
13. 제12항에 있어서, 도파관으로서 작용하는 광섬유(18)의 단부(13)는, 상기 섬유(18)내의 빛의 평균적인 전파 방향에 거의 수직인 평탄면(19)의 형태로서 나타나는 것을 특징으로 하는 근접장 현미경.
14. 제12항 또는 13항의 어느 한 항에 있어서, 도파관으로서 작용하는 광섬유(18)는 코어(18a)를 나타내도록 단부(13)에서 연신되며, 이것의 직경은, 소스(2)에 방사된 전자기 파동의 파장, 커플러(5)의 트랜스미션 채널(6,7,8,9)을 구성하는 광섬유의 특성 및, 도파관으로서 작용하는 광섬유의 수치적인 개방에 의존항, 사용상의 주어진 조건하에서 상기 섬유(18)내 전자기 파동의 "가장 협소한"주 전파 모드에 해당되는 것을 특징으로 하는 근접장 현미경.
15. 제1항 내지 14항의 어느 한 항에 있어서, 도파관으로서 작용하는 광섬유(18)의 클래딩(18b)은 이후의 팁(tip)으로서 나타나는 상기 광섬유(18)의 단부(13)에서 얇으며, 섬유(18)의 출력면(19)은 부가적으로 평탄하고 상기 섬유(18)내 빛의 전파 방향에 대해 거의 수직인 것을 특징으로 하는 근접장 힌미경.
16. 제12항에 있어서, 도파관으로서 작용하는 광섬유(18)의 단부는, 상기 섬유(18)내 빛의 평균적인 전파방향과 충분한 각도를 만드는 평탄면(19)으로서 나타내는 것을 특징으로 하는 근접장 현미경.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.