KR920022365A - 고정밀 비임블랭커 및 그 구성 방법 - Google Patents

고정밀 비임블랭커 및 그 구성 방법 Download PDF

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KR920022365A
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게스레이 마르크
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토마스 할로란
에텍 시스템즈 인코퍼레이티드
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    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H—ELECTRICITY
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Abstract

내용 없음.

Description

고정밀 비임블랭커 및 그 구성 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 렌즈여기가 블랭커 미드갭에 대하여 변화하는 경우의 일반적인 작용을 도시한 도면,
제6도는 각종 드리프트 길이 ZD에 대한 블랭커 유도비임모선 X*(Z0) 감광도를 도시한 도면.

Claims (7)

  1. 소정의 비임 전압을 위해서 2개의 블랭커 플레이트를 갖는 2중굴절 비임블랭커를 구성하는 방법에 있어서, (a) 블랭커전압을 선택하는 스텝, (b) 플레이트 각각에 의해 결정되는 플레이트 길이, 2개의 플레이트를 분리하는 거리 및 갭을 갖는 블랭커의 1세트의 기하 파라메터를 결정하는 스텝, (c) 블랭커의 전자드리프트 길이의 값을 선택하는 스텝, (d) 1세트의 탄도방정식에서 전자 드리프트길이의 값을 대체하는 것에 의해 결과비임지터를 결정하는 스텝, (e) 결과 비임지터가 허용될 수 없으면 1세트의 탄도 방정식에서 전자드리프트 길이의 새로운 값으로 대체하는 스텝, (f) 결과 비임지터가 최소화 될때까지 스텝(d) 및 (e)를 반복하는 스텝, (g) 스텝 (a), (b), (f)에 따라 딜레이 라인길이를 결정하는 스텝, (h) 딜레이 라인길이 및 기하파라메터를 사용하므로서 프로토형 블랭커를 구성하는 스텝, (i) 프로토형 블랭커에 의해 모서리 전계효과를 결정하는 스텝, (j) 모서리전계효과에 따라 실효 블랭커 플레이트길이를 결정하는 스텝, (k) 블랭커에 대한 식으로부터 최적 딜레이 라인길이를 결정하는 스텝, (l) 스텝 (a), (b), (k)에 따라 블랭커를 구성하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 2중굴절 비임블랭커의 구성방법.
  2. 제1항에 있어서, 2개의 블랭커 플레이트 앞뒤에 있는 2개의 얼라인먼트 플레이트를 위치 조정하는 스텝을 더 포함하며, 2개의 얼라인먼트 플레이트 각각이 개구를 한정하는 것을 특징으로 하는 2중굴절 비임블랭커의 구성방법.
  3. 제2항에 있어서, 개구 각각이 최대오프 축 비임위치를 한계선으로 하는 것을 특징으로 하는 2중굴절 비임블랭커의 구성방법.
  4. 제2항에 있어서, 얼라인먼트 개구가 블랭커축에 대한 비임스톱의 집속성을 특정화하는 것을 특징으로하는 2중굴절 비임 블랭커의 구성방법.
  5. 소정의 비임전압을 갖는 전하 입자비임을 굴절시키도록 소정의 블랭커 전압을 갖는 2중 굴절 비임블랭커에 있어서, 비임을 굴절시키기 위해 나란하게 배치되고 공간을 두고 떨어져 있는 2개의 도전형 플레이트를 가지고, 도전형 플레이트가 플레이트길이, 중간에 플레이트를 분리하는 간격 및 딜레이 라인길이를 가지는 전자계 수단을 포함하며, 상기 딜레이 라인길이는 비임에서 지터를 최소화하는 비임의 전자 드리프트 길이로 작용하는 것을 특징으로하는 2중굴절 비임블랭커.
  6. 제5항에 있어서, 딜레이 라인 길이가 모서리 전계 효과의 작용으로서 더욱 최적화되는 것을 특징으로하는 2중굴절 비임 블랭커.
  7. 제6항에 있어서, 도전형 플레이트중의 하나에 설치된 개구를 갖는 제1의 얼라인먼트 플레이트, 및 비임의 최대 이동량을 규정하기 위해 다른 도전형 플레이트에 설치된 개구를 갖는 제2의 얼라인먼트 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2중굴절 비임블랭커.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920009458A 1991-05-29 1992-05-29 고정밀 비임블랭커 및 그 구성방법 KR100194125B1 (ko)

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