KR920001642A - 기판의 물빼기 건조장치 - Google Patents

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KR920001642A
KR920001642A KR1019910009697A KR910009697A KR920001642A KR 920001642 A KR920001642 A KR 920001642A KR 1019910009697 A KR1019910009697 A KR 1019910009697A KR 910009697 A KR910009697 A KR 910009697A KR 920001642 A KR920001642 A KR 920001642A
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washing tank
washing
washing water
tank
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키요토 사토우
타께오 타까하시
타쓰오 야마모토
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나까오 다께시
후지덴끼 가부시끼가이샤
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
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Abstract

내용 없음

Description

기판의 물빼기 건조장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명에 따른 실시예의 전체 구성을 도시한 개략도.
제 2도 및 제 3도는 각각 제 1도에 도시된 가동홀더의 상세한 구조를 보여주는 정면도 및 측면도.

Claims (1)

  1. 세경조내에 가득채워진 세정수중의 기판을 집어넣어서 세정한 후, 이 기판의 표면에 부착되어있는 물방울을 물빼기한 후에 세정조로부터 끌어내기 위한 기판의 물빼기 건조장치에 있어서, 세정조내의 가득채워진 세정수를 상기 세정조의 저면부로 부터 서서히 배수시키기 위한 배수밸브와, 상기 세정조의 상기 저면부에 설치되어 있으며 상기 세정조내로 반입된 기판을 기립자세로 유지시키는 고정홀더와, 상기 세정조의 윗쪽으로 접근하여서 상기 고정홀더에 의해 유지되고 있는 기판을 파지하여 끌어내는 기판인상용 가동홀더로 구성되어 있으며, 기판의 세정후에 상기 배수밸브를 통하여 상기 세정조내의 세정수를 서서히 배수시키는 동시에, 상기 고정홀더가 상기 세정수의 수면아래로 잠겨있는 상태에서 수면상으로 노출된 기판부분을 상기 가동홀더로 파지하여서, 상기 기판을 완만한 속도로 수면상으로 들어올려서 끌어내는 것을 특징으로 하는 기판의 물빼기 건조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910009697A 1990-06-11 1991-06-11 기판의 물빼기 건조장치 KR930011433B1 (ko)

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