KR920001615A - 저압수은 증기램프용 필터 - Google Patents

저압수은 증기램프용 필터 Download PDF

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KR920001615A
KR920001615A KR1019910010271A KR910010271A KR920001615A KR 920001615 A KR920001615 A KR 920001615A KR 1019910010271 A KR1019910010271 A KR 1019910010271A KR 910010271 A KR910010271 A KR 910010271A KR 920001615 A KR920001615 A KR 920001615A
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KR
South Korea
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lamp
filter
gas
ozone
mercury vapor
Prior art date
Application number
KR1019910010271A
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English (en)
Inventor
가쯔야 오꾸무라
가쥬오 기노시따
Original Assignee
원본미기재
가부시기가이샤 에바라 세이사꾸쇼
가부시기가이샤 토시바
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Publication date
Application filed by 원본미기재, 가부시기가이샤 에바라 세이사꾸쇼, 가부시기가이샤 토시바 filed Critical 원본미기재
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/38—Devices for influencing the colour or wavelength of the light
    • H01J61/40—Devices for influencing the colour or wavelength of the light by light filters; by coloured coatings in or on the envelope

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  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

저압수은 증기램프용 필터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 가스 필터의 실시예를 나타낸 횡단면도이고,
제2도는 제1의 A-A'선 종단면도이고,
제3도는 본 발명에 따른 가스 필터의 또다른 실시예를 나타내는 평면도이다.

Claims (10)

  1. 저압수은 램프수단으로부터 방출하는 선택된 파장의 광을 흡수하는 필터에 있어서, 필터가 저압수은 램프수단과 피조사물 사이에 오존함유 가스층을 제공하는 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 필터.
  2. 제1항에 있어서, 램프수단이 파장 185㎚및 254㎚의 방출선을 가지고, 가스층 제공수단이 185㎚의 광은 통과시키는 반면 254㎚의 광은 흡수시키는 필터.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 램프수단이 하나의 단일 수은 증기램프로 이루어지며, 이 단일 수은 증기 램프는 투명석영 유리용기로 에워싸이고, 가스층 제공수단은 램프와 오존함유 가스로 충전된 용기사이에 한정된 공극으로 이루어지는 필터.
  4. 제3항에 있어서, 단일 수은 증기램프가 막대형 램프인 필터.
  5. 제3항에 있어서, 용기가 공그에 오존함유 가스를 도입하는 가스입구 및 가스출구를 포함하는 필터.
  6. 제1항에 있어서, 램프 수단이 연속배치된 다수의 수은 증기램프로 이루어지고, 적합한 두께의 공극이 양 석영판 사이에 주변부 스페이서를 삽입하여 2개의 대향투명 석영판을 설치함으로써 형성되고, 가스층 제공수단이 오존함유 가스로 충전된 상기 공극으로 이루어진 필터.
  7. 제6항에 있어서, 수은 증기램프가 U형 램프인 필터.
  8. 제6항에 있어서, 스페이서가 공극내에 오존함유 가스를 도입하는 가스입구 및 가스출구를 포함하는 필터.
  9. 연속배치된 다수의 수은 증기램프; 램프는 양 석영판 사이에 주변부 스페이서를 삽입하여 2개의 대향투명석영판을 설치함으로써 형성된 적합한 두께의 첫번째 공극으로 이루어진 상기 램프로부터 방출하는 선택된 파장의 광을 흡수하는 필터; 상기 첫번째 공극에 오존함유 가스를 도입시키는 가스입구 및 가스출고, 양 석영판 사이에 두번째 공극을 형성하는 상기 수은 증기램프로부터 멀리 떨어진, 상기 2개의 석영판중 한 석영판 외측에 설치된 박스형 용기로 이루어지고, 상기 박스형 용기는 각각 산소 또는 공기와 같은 원료가스를 도입하고 상기 공극의 안 및 밖으로 반응가스를 배출시키는 입구 및 출구를 포함하는 오존 제조장치.
  10. 제9항에 있어서, 저압수은 램프가 V형 램프인 오존 제조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019910010271A 1990-06-28 1991-06-21 저압수은 증기램프용 필터 KR920001615A (ko)

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JP90-168511 1990-06-28
JP2168511A JPH0458202A (ja) 1990-06-28 1990-06-28 低圧水銀ランプ用ガスフィルター

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KR920001615A true KR920001615A (ko) 1992-01-30

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ID=15869404

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KR1019910010271A KR920001615A (ko) 1990-06-28 1991-06-21 저압수은 증기램프용 필터

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR792615A (fr) * 1934-08-28 1936-01-07 Philips Nv Dispositif comportant une source de lumière ultra-violette et un filtre
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EP0464703A3 (en) 1992-10-28
EP0464703A2 (en) 1992-01-08
JPH0458202A (ja) 1992-02-25

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