Claims (21)
거울면으로서 기능하는 피검사면(11)에 대향하여 설치되고, 이 피검사면(11)에 향하여 빛을 조사하는 광조사 수단(13), (50), (60)과 상기한 피검사면(11)에서 반사된 상기의 광조사 수단(13), (50), (60)의 상을 촬영하기 위한 촬영수단(14), (54)과, 이 촬영수단(14), (54)으로 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 피검사면(11)의 표면 결함부분을 검출하는 화상처리 수단(33)으로 구성된 표면결함 검사장치에 있어서, 상기한 광조사 수단(13), (50), (60)은, 상기 피검사면(11)에 향하여 소정의 변화모양을 갖는 빛을 조사하며, 상기한 촬영수단(14), (54)은, 상기의 광조사 수단(13), (50), (60)의 변화모양에 대응하는 수광화상(15)을 작성하고, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기 촬영수단(14), (54)로 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 이것이 변화모양과 크게 다른 곳을 식별하는 것에 의해, 피검사면(11)의 표면결함부분(12)을 검출하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.Light irradiation means 13, 50, 60 and the inspection surface 11 which are provided to face the inspection surface 11 functioning as a mirror surface and irradiate light toward the inspection surface 11. A light-receiving image formed by the photographing means 14, 54 and the photographing means 14, 54 for photographing the image of the light irradiation means 13, 50, 60 reflected by A surface defect inspection apparatus composed of image processing means (33) for detecting a surface defect portion of an inspection surface (11) based on (15), wherein the above-described light irradiation means (13), (50), (60) Is irradiated with light having a predetermined change pattern toward the inspection surface 11, and the photographing means 14 and 54 are the light irradiation means 13, 50 and 60 described above. The light-receiving image 15 corresponding to the shape of the change is created, and the image processing means 33 is based on the light-receiving image 15 formed by the photographing means 14 and 54. By identifying the different places, Surface defect inspection apparatus, characterized in that for detecting the surface defect portion 12 of the test surface 11.
제1항에 있어서, 상기한 광조사수단(13), (60)은, 상기의 피검사면(11)에 대하여 광도 분포에 강약이 부여되어 있는 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the light irradiation means (13) and (60) irradiate the light to which the intensity distribution is applied to the light inspection surface (11).
제2항에 있어서, 상기한 광조사수단(13)은, 상기의 피검사면(11)에 향하여 소정의 방향에 따라서 광도가 큰것에서 작은것으로 서서히 변화하도록 설정된 광도분포를 갖는 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.3. The light irradiation means (13) according to claim 2, characterized in that the light irradiation means (13) irradiates the light having a light intensity distribution set so as to gradually change from the large to the small in the predetermined direction toward the inspected surface (11). Surface defect inspection apparatus.
제3항에 있어서, 상기한 촬영수단(14)은, 상기 피검사면(11)에서 반사된 상기의 광조사수단(13)의 상을 촬영하여, 상기한 광조사수단(13)의 광도분포에 대응하는 수광화상(15)을 작성하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.4. The photographing means (14) according to claim 3, wherein the photographing means (14) photographs the image of the light irradiation means (13) reflected from the inspection target surface (11), and applies the light intensity distribution of the light irradiation means (13). Surface defect inspection apparatus, characterized in that for producing a corresponding light receiving image (15).
제4항에 있어서, 상기한 화상처리 수단(33)은, 상기 촬영수단(14)에서 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 광도분포의 변화상태가 주위와 크게 다른곳을 식별하는 것에 의해, 이 식별된 곳을 피검사면(11)의 표면결함부분(12)으로서 검출하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.5. The image processing means (33) according to claim 4, wherein the image processing means (33) identifies a place where the change state of the light intensity distribution is significantly different from the surroundings, based on the light receiving image (15) formed by the photographing means (14). The surface defect inspection apparatus characterized by detecting this identified place as the surface defect part (12) of the to-be-tested surface (11).
제5항에 있어서, 상기 화상처리 수단(33)은, 상기 표면결함부분(12)으로서 검출된 곳에서의 광도분포의 변화상태가, 주위의 광도분포의 변화 상태와 같은 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 볼록형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하고, 주위의 광도분포의 변화상태와 반대의 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 오목형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.6. The surface defect according to claim 5, wherein said image processing means (33) is a surface defect when the state of change in the light intensity distribution at the position detected as the surface defect portion (12) is the same as the state of change in the surrounding intensity distribution. A surface characterized by discriminating that the portion 12 is formed in a convex shape and discriminating that the surface defect portion 12 is formed in a concave shape when it is opposite to the change state of the surrounding light distribution. Fault inspection device.
제1항에 있어서, 상기한 촬영수단(14), (54)은, 상기의 피검사면(11)에서 반사된 광조사수단(13), (50), (60)의 상을, 그 수광화상(15)의 형성범위의 전면에 걸쳐 촬영하도록 설정된 시야를 갖은 카메라를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The photographing means (14) and (54) described above are characterized in that the image of the light irradiation means (13), (50), (60) reflected from the inspection target surface (11). A surface defect inspection apparatus, comprising: a camera having a field of view set to photograph over the entire surface of the formation range of (15).
제7항에 있어서, 상기한 촬영수단(14), (54)은, 상기의 수광화상(15)을 비디오 신호로 변환하는 비디오 신호발생수단을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.8. An apparatus as claimed in claim 7, wherein said photographing means (14) and (54) are provided with video signal generating means for converting said light-received image (15) into a video signal.
제8항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기한 비디오 신호 발생 수단에서 출력된 비디오 신호를 처리하며, 이 처리된 수치가 미리 설정된 수치를 넘는 시간과, 그 변화상태로부터, 피검사면(11)상에 존재하는 표면결함부분(12)의 위치와 그 오목, 볼록 상태를 식별하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The image processing means 33 according to claim 8, wherein the image processing means 33 processes the video signal output from the video signal generating means, and from the time when the processed numerical value exceeds a preset numerical value and the state of change thereof, Surface defect inspection apparatus characterized by identifying the position of the surface defect portion (12) present on the slope 11 and its concave, convex state.
제2항에 있어서, 상기 광주사수단(60)은, 강약이 교대로 변화하도록 규정된 광도분포로 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The surface defect inspection apparatus according to claim 2, wherein the optical scanning means (60) irradiates light with a light intensity distribution defined so that strength and weakness alternately.
제10항에 있어서, 상기한 촬영수단(14)은, 상기의 피검사면(11)에서 반사된 광조사수단(60)의 상을 촬영하여, 이 광조사수단(60)의 광도분포에 대응하는 명암이 있는 수광화상(15)을 작성하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The photographing means (14) according to claim 10, wherein the photographing means (14) captures an image of the light irradiation means (60) reflected from the inspection surface (11), and corresponds to the light intensity distribution of the light irradiation means (60). A surface defect inspection apparatus, characterized by creating a light-receiving image (15) having a contrast.
제11항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기 촬영수단(14)에서 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 이것의 밝은 부분 및 어두운 부분의 각각에 있어서 밝기가 주위와 크게 다른곳을 식별하는 것에의해, 이 식별된 곳을 피검사면(11)의 표면결함부부(12)으로 검출하는 것을 특징으로하는 표면결함 검사장치.12. The image processing means (33) according to claim 11, wherein the image processing means (33) differs greatly from the surroundings in the bright and dark portions thereof, based on the light receiving image (15) formed by the photographing means (14). The surface defect inspection apparatus characterized by detecting the location with the surface defect part (12) of the to-be-tested surface (11) by identifying a location.
제1항에 있어서, 상기한 광조사수단(50)은, 상기의 피검사면(11)에 향해서 소정의 방향에 따라 간파장에서 짧은 파장으로 파장이 서서히 변화하도록 설정된 파장부포를 갖은 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The light irradiation means (50) according to claim 1, wherein the light irradiating means (50) irradiates light having a wavelength buoy set to gradually change the wavelength from the liver wavelength to the short wavelength in the predetermined direction toward the inspection target surface (11). Surface defect inspection apparatus, characterized in that.
제13항에 있어서, 상기한 촬영수단(14)은, 상기의 피검사면(11)에서 반사된 상기 광조사수단(50)의 상을 촬영하여, 이 광조사수단(50)의 파장분포에 대응하는 파장부포를 갖는 수광화상(15)을 작성하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The photographing means (14) according to claim 13, wherein the photographing means (14) captures an image of the light irradiation means (50) reflected from the inspection surface (11), and corresponds to the wavelength distribution of the light irradiation means (50). A surface defect inspection apparatus, characterized in that a light-receiving image (15) having a wavelength buoy is prepared.
제14항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기의 촬영수단(54)에서 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 파장분포의 변화상태가 주위와 크게 다른 곳을 식별하는 것에 의해, 이 식별된 곳을 피검사면(11)의 표면결함부분(12)으로서 검출하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.15. The image processing means (33) according to claim 14, wherein the image processing means (33) identifies where the change state of the wavelength distribution differs greatly from the surroundings based on the light-receiving image (15) formed by the photographing means (54). And detecting the identified portion as the surface defect portion (12) of the inspection surface (11).
제15항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기의 표면결함부분(12)으로서 검출된곳에 있어서의 파장분포의 변화상태가, 주위의 파장분포의 변화상태와 같은 경우에는 이 표면결함부분(12)이 볼록형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하고, 주위의 파장분포의 변화상태와 반대의 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 오목형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.16. The image processing means (33) according to claim 15, wherein the image processing means (33) has the surface when the change state of the wavelength distribution at the position detected as the surface defect portion (12) is the same as the change state of the surrounding wavelength distribution. The defect portion 12 is determined to be formed in a convex shape, and when it is opposite to the change state of the surrounding wavelength distribution, the surface defect part 12 is determined to be formed in a concave shape. Surface defect inspection device.
제13항에 있어서, 상기한 광조사수단(50은, 이것을부터 조사되는 빛의 파장을, 가사광영역에 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The surface defect inspection apparatus according to claim 13, wherein the light irradiation means (50) sets the wavelength of the light irradiated therefrom in the house light region.
제1항에 있어서, 상기한 광조사수단(50)은, 상기의 피검사면(11)에 향해여 소정의 방향에 따라 색이 미리 정해진 순서로 변화하는 색모양을 갖은 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.The method according to claim 1, wherein the light irradiating means 50 irradiates the light having a color pattern in which the color changes in a predetermined order in a predetermined direction toward the inspection target surface 11. Surface defect inspection device.
제18항에 있어서, 상기한 촬영수단(54)은, 상기의 피검사면(11)에서 반사된 상기 광조사수단(50)의 상을 촬영하여, 이 광조사수단(50)의 색모양에 대응하는 색모양을 갖은 수광화상(15)을 작성하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.19. The photographing means (54) according to claim 18, wherein the photographing means (54) photographs an image of the light irradiation means (50) reflected from the inspection surface (11), and corresponds to the color shape of the light irradiation means (50). Surface defect inspection apparatus, characterized in that to create a light-receiving image (15) having a color.
제19항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기의 촬영수단(54)에서 형성된 수광화상(50)에 기초하여, 이것의 색모양의 변화상태가, 주위와는 크게 다른 곳을 식별하는 것에 의해, 이 식별된 곳을, 피검사면(11)의 표면결함부분(12)으로서 검출하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.20. The image processing means (33) according to claim 19, wherein the image processing means (33) is based on the light-receiving image (50) formed by the photographing means (54). The surface defect inspection apparatus characterized by detecting this identified place as the surface defect part (12) of the to-be-tested surface (11).
제20항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기의 표면결함부분(12)으로서 검출된 곳에 있어서의 색모양의 변화상태가, 주위의 색모양의 변화상태와 같은 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 볼록형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하고, 주위의 색모양의 변화상태와 반대의 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 오목형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.21. The image processing means 33 according to claim 20, wherein the image processing means 33 includes the case where the color change state at the position detected as the surface defect portion 12 is the same as the change state of the surrounding color shape. It is discriminated that the surface defect part 12 is formed in convex shape, and when it is opposite to the change state of the surrounding color shape, it is discriminated that this surface defect part 12 is formed in concave shape. Surface defect inspection device.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.