KR910016116A - 레이저묘화장치 - Google Patents

레이저묘화장치 Download PDF

Info

Publication number
KR910016116A
KR910016116A KR1019910002199A KR910002199A KR910016116A KR 910016116 A KR910016116 A KR 910016116A KR 1019910002199 A KR1019910002199 A KR 1019910002199A KR 910002199 A KR910002199 A KR 910002199A KR 910016116 A KR910016116 A KR 910016116A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
laser
optical system
laser beams
drawing apparatus
deflector
Prior art date
Application number
KR1019910002199A
Other languages
English (en)
Inventor
사꾸야 다마다
Original Assignee
오가 노리오
소니 가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 오가 노리오, 소니 가부시기가이샤 filed Critical 오가 노리오
Publication of KR910016116A publication Critical patent/KR910016116A/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70383Direct write, i.e. pattern is written directly without the use of a mask by one or multiple beams
    • G03F7/704Scanned exposure beam, e.g. raster-, rotary- and vector scanning
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/113Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/12Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using the sheet-feed movement or the medium-advance or the drum-rotation movement as the slow scanning component, e.g. arrangements for the main-scanning
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/12Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using the sheet-feed movement or the medium-advance or the drum-rotation movement as the slow scanning component, e.g. arrangements for the main-scanning
    • H04N1/126Arrangements for the main scanning
    • H04N1/1275Arrangements for the main scanning using a solid-state deflector, e.g. an acousto-optic deflector or a semiconductor waveguide device
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/203Simultaneous scanning of two or more separate pictures, e.g. two sides of the same sheet
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/203Simultaneous scanning of two or more separate pictures, e.g. two sides of the same sheet
    • H04N1/2036Simultaneous scanning of two or more separate pictures, e.g. two sides of the same sheet of a plurality of pictures corresponding to a single side of a plurality of media
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/46Colour picture communication systems
    • H04N1/50Picture reproducers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2201/00Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
    • H04N2201/04Scanning arrangements
    • H04N2201/0402Arrangements not specific to a particular one of the scanning methods covered by groups H04N1/04 - H04N1/207
    • H04N2201/0404Scanning transparent media, e.g. photographic film

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
  • Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

레이저묘화장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 제 1 실시예에 관한 레이저묘화장치를 도시한 구성도, 제 2 도는 제 1 실시예에 관한 프로젝터를 도시한 요부의 구성도, 제 3 도는 제 1 실시예의 변형예를 도시한 요부의 구성도.

Claims (16)

  1. n 종류의 패턴정보신호에 의해서 변조된 동일파장의 n개의 평행한 레이저빔을 발생하는 레이저빔발생수단과, 상기 레이저빔발생수단으로 출사한 상기 n개의 레이저 빔의 배열피치를 축소하고, 또한 빔의 단면형상을 변형하는 제 1 의 광학계와, 상기 제1의 광학계로부터 출사한 상기 n개의 레이저빔을 수평방향으로 편향하는 하나의 음향광학편항기와 상기음향광학편향기로부터 출사한 상기 n개의 레이저빔의 배열피치를 확대하고, 또한 빔의 단면형상을 변형하는 제 2 의 광학계와, 상기 제2의 광학계로부터 출사한 상기 n개의 레이저빔을 서로 수직편향수단의 요동각 이상의 각도를 이루어 수직편향수단에 입사시키기 위한 반사수단과, 상기 n개의 레이저빔을 수직방향으로 편향하는 하나의 수직편향수단을 가지며, 상기 수직편향수단으로부터 출사한 n개의 레이저빔으로 다른 n개의 기록매체에 묘화를 행하는 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 의 광학계는 복수의 실린더리컬 렌즈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 의 광학계는 복수의 프리즘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저빔발생수단과 상기 제1의 광학계의 사이에 상기 n개의 레이저빔의 각각을 평행광으로 하는 광학계를 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저빔발생수단과 상기 제1의 광학계의 사이에 상기 n개의 레이저빔의 편광면을 변환하는 수단을 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 음향광학편향기의 앞 또는 뒤에 상기 음향광학편향기의 실린더컬 렌즈 효과를 보정하는 광학계를 가진 것을 특징으로 하는레이저묘화장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 음향광학편향기의 상기 반사수단의 사이에 상기 n개의 레이저빔의 각배율(角倍率)을 확대하고, 또한 빔의 단면형상을 변형하는 광학계를 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 수직편향수단과 상기 기록매체의 사이에 상기 기록매체상에 상기 n개의 레이저빔의 각각을 결상시키기 위한 광학계를 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  9. 제 1 항의 레이저묘화장치를 가진 표시장치에 있어서, 상기 기록매체가 라이트벌브로서, 이 라이트벌브에 묘화된 화상에 의거하여 컬러화상을 표시하는 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  10. n 종류의 패턴정보신호에 의해서 변조된 동일과정의 n개의 레이저빔을 소정의 각도를 이루어 발생하는 레이저빔 발생수단과, 상기 레이저빔발생수단으로부터 출사한 상기 n개의 레이저빔의 수평방향으로 편향하는 하나의 음향광학편향기와 상기 음향광학편향기로부터 출시한 상기 n개의 레이저빔을 서로 수직편향수단의 요동각 이상의 각도를 이루어 수직편향수단에 입사시키고, 또한 빔의 단면형상을 변형하는 광학계와, 상기 광학계로부터 출사한 상기n개의 레이저빔을 수직방향으로 편향하는 수직편향수단을 가지며, 상기 수직편향수단으로부터 출사한 n개의 레이저빔으로 다른 n개의 기록매체에 묘화를 행하는 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 레이저빔발생수단과 상기 음향광학편향기와의 사이에 상기 n개의 레이저빔의 각각을 평행광으로 하는 광학계를 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 레이저빔발생수단과 상기 음향광학편향기와의 사이에 상기 n개의 레이저빔의 편광면으로 변환하는 수단을 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 음향광학편향기의 앞 또는 뒤에 상기 음향광학편향기의 실린더리컬 렌즈 효과를 보정하는 광학계를 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  14. 제 10 항에 있어서, 상기 음향광학편향기와 상기 수직편향수단의 사이에 상기 n개의 레이저빔의 각배율을 확대하고, 또한 빔의 단면형상을 변형하는 광학계를 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  15. 제 10 항에 있어서, 상기 수직편향수단과 상기 기록매체의 사이에 상기 n개의 레이저빔의 각각을 상기 기록매체상에 결상시키기 위한 광학계를 가진 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
  16. 제 10 항의 레이저묘화장치를 가진 표시장치에 있어서, 상기 기록매체가 라이트벌브로서, 이 라이트벌브에 묘화된 화상에 의거하여 컬러화상을 표시하는 것을 특징으로 하는 레이저묘화장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910002199A 1990-02-28 1991-02-09 레이저묘화장치 KR910016116A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP90-47426 1990-02-28
JP2047426A JP2940055B2 (ja) 1990-02-28 1990-02-28 レーザ描画装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR910016116A true KR910016116A (ko) 1991-09-30

Family

ID=12774832

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019910002199A KR910016116A (ko) 1990-02-28 1991-02-09 레이저묘화장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5170181A (ko)
EP (1) EP0444665B1 (ko)
JP (1) JP2940055B2 (ko)
KR (1) KR910016116A (ko)
DE (1) DE69112237T2 (ko)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5543825A (en) * 1993-11-17 1996-08-06 Xerox Corporation High efficiency multispot facet tracked raster output scanning system
US5608444A (en) * 1994-06-10 1997-03-04 Minnesota Mining And Manufacturing Company Image scanning/recording apparatus and method
KR960039944A (ko) * 1995-04-26 1996-11-25 윌리엄 이. 힐러 공간 광 변조기용 조명 광학 시스템
GB2312115B (en) * 1996-04-09 2000-03-22 Icg Ltd An imaging arrangement for an image writing apparatus
US6020937A (en) * 1997-05-12 2000-02-01 Sony Corporation High resolution digital projection TV with dynamically adjustable resolution utilizing a system of rotating mirrors
US6067127A (en) * 1997-07-08 2000-05-23 Sony Corporation Method and apparatus for reducing the rotation rate of mirrors in a high resolution digital projection display
US6091461A (en) * 1997-08-14 2000-07-18 Sony Corporation Electronically self-aligning high resolution projection display with rotating mirrors and piezoelectric transducers
JP3990008B2 (ja) * 1997-10-20 2007-10-10 コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 マルチビーム走査装置
SE516347C2 (sv) 1999-11-17 2001-12-17 Micronic Laser Systems Ab Laserskanningssystem och metod för mikrolitografisk skrivning
RU2000105121A (ru) * 2000-03-02 2002-01-20 Самсунг Эс-Ди-Ай Ко. Лазерный электронно-лучевой прибор и способ его работы
JP4761261B2 (ja) * 2001-02-02 2011-08-31 学校法人東京電機大学 液晶マトリックス投影露光装置
US7474286B2 (en) 2005-04-01 2009-01-06 Spudnik, Inc. Laser displays using UV-excitable phosphors emitting visible colored light
US7994702B2 (en) * 2005-04-27 2011-08-09 Prysm, Inc. Scanning beams displays based on light-emitting screens having phosphors
US8000005B2 (en) * 2006-03-31 2011-08-16 Prysm, Inc. Multilayered fluorescent screens for scanning beam display systems
US8089425B2 (en) 2006-03-03 2012-01-03 Prysm, Inc. Optical designs for scanning beam display systems using fluorescent screens
CN101375234B (zh) * 2005-10-25 2011-11-02 Prysm公司 用于扫描采用荧光屏的光束显示系统的光学设计
US8451195B2 (en) 2006-02-15 2013-05-28 Prysm, Inc. Servo-assisted scanning beam display systems using fluorescent screens
KR100785050B1 (ko) * 2006-04-21 2007-12-12 에이치비전자주식회사 레이저 디스플레이 장치
US8013506B2 (en) 2006-12-12 2011-09-06 Prysm, Inc. Organic compounds for adjusting phosphor chromaticity
RU2442197C2 (ru) * 2007-05-17 2012-02-10 Призм, Инк. Многослойные экраны со светоизлучающими полосками для систем отображения со сканирующим лучом
US8556430B2 (en) 2007-06-27 2013-10-15 Prysm, Inc. Servo feedback control based on designated scanning servo beam in scanning beam display systems with light-emitting screens
JP5751328B2 (ja) * 2011-06-29 2015-07-22 株式会社ニコン 構造化照明光学系および構造化照明顕微鏡装置
CN103149691B (zh) * 2013-02-28 2015-11-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 双谱段柱面镜激光扩束系统

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1523033A (en) * 1976-03-03 1978-08-31 Crosfield Electronics Ltd Image reproducing systems
JPS54126542A (en) * 1978-03-24 1979-10-01 Ricoh Co Ltd Color image recorder
US4561717A (en) * 1980-05-16 1985-12-31 Hitachi, Ltd. Optical system for information processing
JPS5895361A (ja) * 1981-12-01 1983-06-06 Canon Inc カラー画像形成装置
JPS59172724A (ja) * 1983-03-22 1984-09-29 Canon Inc マーク検出装置
US4662727A (en) * 1983-08-01 1987-05-05 Hughes Aircraft Company Two-axis optical inertial system using a gyro rotor as a stable reference
US4617578A (en) * 1984-02-15 1986-10-14 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Multi-beam zoom and focusing lens scan pitch-adjusting recorder
US4686542A (en) * 1986-04-03 1987-08-11 Xerox Corporation High speed, high resolution raster output scanner

Also Published As

Publication number Publication date
JPH03250618A (ja) 1991-11-08
DE69112237T2 (de) 1996-01-25
JP2940055B2 (ja) 1999-08-25
EP0444665A3 (en) 1992-07-01
US5170181A (en) 1992-12-08
DE69112237D1 (de) 1995-09-28
EP0444665B1 (en) 1995-08-23
EP0444665A2 (en) 1991-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR910016116A (ko) 레이저묘화장치
EP0435523A2 (en) Helmet display
US20060007362A1 (en) Apparatus for and method of scaling a scanning angle and image projection apparatus incorporating the same
KR970003290B1 (ko) 장면 투사기
KR100294426B1 (ko) 비디오영상디스프레이장치및방법,그리고그비디오영상디스프레이장치를제조하기위한방법
EP0929978A1 (en) Flat-panel display
JPS6221304B2 (ko)
JPS62237862A (ja) レ−ザ−光走査装置
US4378562A (en) Light beam scanning device
US3877777A (en) Beam expander subsystem for film scanner
US3669522A (en) Reflective relay optical system for two-axis deflection
JP2000180759A (ja) 投射装置
KR100379733B1 (ko) 두개의이미지를정렬하기위한광학가이드,광학시스템,및방법
US5191466A (en) High resolution two-directional optical scanner
JPS6032019A (ja) レ−ザ光を用いる記録装置
US3575485A (en) Holographic magnifier
US3882273A (en) Optical beam scanning system
US6023374A (en) Compacted beam path expander, a method for expanding beam path and a large-area laser projection display system having a small compacted optical system
US4156555A (en) Apparatus and method for providing unblurred images with a continuously scanned light beam
Deter et al. High-resolution scanning laser projection display with diode-pumped solid state lasers
US20060023285A1 (en) Pixel differential polygon scanning projector
JP3041949B2 (ja) レーザ画像表示装置
RU2030842C1 (ru) Устройство для воспроизведения на экране изображения
JPH04252580A (ja) レーザー画像表示装置
KR100464300B1 (ko) 영상투사장치

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid