KR910005530A - 레이저광의 안정화 방법 및 장치 - Google Patents

레이저광의 안정화 방법 및 장치 Download PDF

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미쓰구 데라다
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다께바야시 쇼오고
미쓰이세끼유 가가꾸고오교오 가부시끼가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

레이저광의 안정화 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 양호한 실시예의 개략 설명도.
제2도는 본 발명의 다른 양호한 실시예의 개략 설명도.

Claims (9)

1이상의 광학소자를 구비한 레이저 장치로 부터의 출력 레이저광의 파장과 다른 파장의 프로우브 레이저강을 상기 광학소자에 도입하여 이 광학소자를 통과하거나 또는 반사된 프로우브 레이저 광의 변동을 해소하도록 광학소자를 조정하는 것이 특징인, 레이저 장치의 출력 레이저광 안정화 방법.
제1항에 있어서, 상기 레이저 장치 본체의 광학소자에 레이저 장치 본체의 출력 레이저 광과는 다른 파장의 프로우브 레이저 광을 도입하여, 레이저 장치 본체의 출력 레이저 광의 발진 파장 변동 및/또는 출력변동의 원인이 되는 광학소자의 변화분을, 상기 프로우브 레이저 광의 변화를 검출함으로써 검출하고, 상기 광학소자를 통과 또는 반사된 상기 프로우브 레이저광의 변화를 해소하기 위해서 상기 레이저 장치 본체의 광학소자를 고정함으로써, 레이저 장치 본체의 출력 레이저 광의 파장 및/또는 출력을 안정화 시키는 것이 특징인 레이저 광 안정화 방법.
제1항에 있어서, 상기 레이저 장치 본체의 상기 레이저 광이 협대역화 레이저 광인 것이 특징인 레이저 광 안정화 방법.
제1항에 있어서, 상기 광학소자가, 그래이팅, 에탈론, 복굴절 필터 또는 프리즘 중에서 선택된 협대역화 소자와, 공진기 광학계로서, 출력 커플러인 반투과 미러와 고율 반사기인 전반사 미러로 구성된 것이 특징인 레이저 광 안정화 방법.
1이상의 광학소자를 구비한 레이저 장치 본체, 이 레이저 장치 본체로부터의 레이저광과는 다른 파장의 프로우브 레이저 광을 발생하여 레이저 장치 본체의 광학소자로 도입하는 프로우브 레이저 장치, 상기 레이저 장치 본체의 광학소자를 통과 또는 반사된 프로우브 레이저 광을 검출하는 검출장치 및, 상기 광학소자를 통과 또는 반사된 프로우브 레이저 광의 변화를 해소 하도록 광학소자를 조정하는 제어장치로 구성된 것이 특징인 레이저 장치.
제5항에서, 상기 레이저 장치 본체로부터의 발생 및 출력되는 상기 레이저 광이 협대역화 레이저광인 것이 특징인 레이저 장치.
제5항에서, 상기 프로우브 레이저 광 장치가 연속 발진 레이저이고, 상기 프로우브 레이저 장치로부터의 프로우브 레이저광을 상기 광학소자로 도입하는 프로우브 광학계를 구비하고 있으며, 상기 검출장치는, 상기 레이저 장치 본체의 광학소자를 통과하거나 또는 반사된 프로우브 레이저 광을 검출하는 광학계와 이 광학계를 통과하거나 또는 반사된 프로우브 레이저 광을 검출하는 레이저 광 검출기를 구비하고 있는 것이 특징인 레이저 장치.
제5항에서, 상기 레이저 장치 본체의 상기 광학소자가, 그래이팅, 에탈론, 복굴절 필터 및 프리즘중에서 선택된 협대역하 소자와, 공진기 광학계로서, 출력 커플러인 반투과 미러와 고율 반사기인 전반사 미러로 구성돼 있고, 상기 광학소자가 2중 또는 다중 반사막 또는 반사방지막으로 코팅돼 있어서 레이저 장치 본체로부터 출력된 레이저광의 발진파장과 프로우브 레이저 광 파장의 2파장역에서 사용할 수 있는 것이 특징인 레이저 장치.
제5항에서, 상기 레이저 장치 본체의 상기 광학소자가, 그래이팅, 에탈론, 복굴절 필터 및 프리즘중에서 선택된 협대역화 소자와, 공진기 광학계로서, 출력 커플러인 반투과 미러와 고율 반사기인 전반사 미러로 구성돼 있고, 상기 제어장치가, 상기 그래이팅, 에탈론, 복굴절 필터, 프리즘, 출력 커펄러인 반투과 미러, 고율 반사기인 전반사 미러 및 기타 광학소자를 각각 또는 이들의 임의의 2이상 조합의 위치 및/또는 각도를 제어할 수 있도록 설계된 것이 특징인 레이저 장치.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900011920A 1989-08-04 1990-08-03 레이저광의 안정화 방법 및 장치 KR910005530A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100809273B1 (ko) * 2006-07-28 2008-03-03 삼성전기주식회사 동일한 광 방출 위치를 갖는 레이저 장치

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5130998A (en) * 1990-02-21 1992-07-14 Mitsubiski Denki Kaubshiki Kaisha Laser device with oscillation wavelength control
US5315614A (en) * 1993-05-03 1994-05-24 The Spectranetics Corporation Apparatus and method for soft focusing energy into an optical fiber array
US5434877A (en) * 1994-01-27 1995-07-18 At&T Corp. Synchronized etalon filters
US6175579B1 (en) 1998-10-27 2001-01-16 Precision Light L.L.C. Apparatus and method for laser frequency control
US6272157B1 (en) 1999-01-11 2001-08-07 Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp. Apparatus and method for calibrating a wavelength stabilized laser
US6301280B1 (en) 1999-01-11 2001-10-09 Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp. Apparatus and method for forming a laser control signal, and a laser including the apparatus
US6243403B1 (en) 1999-01-11 2001-06-05 Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp Method and apparatus for integrated optical wavelength stabilization
US6449077B1 (en) 1999-03-09 2002-09-10 Agere Systems Guardian Corp. Method and apparatus for electrically switching a wavelength control system
DE10018778A1 (de) * 2000-04-15 2001-10-18 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Selbstkalibrierung eines diodengepumpten Festkörperlasers, insbesondere eines durchstimmbaren, diodengepumpten Festkörperlasers
US6560269B1 (en) * 2000-07-26 2003-05-06 Komatsu, Ltd. Fluorine laser device
US6549548B2 (en) * 2000-10-25 2003-04-15 Axsun Technologies, Inc. Interferometric filter wavelength meter and controller
US20030072336A1 (en) * 2001-09-13 2003-04-17 Spectra-Physics Lasers, Inc. Miniaturized internal laser stabilizing apparatus with inline output for fiber optic applications
GB2385459B (en) * 2001-10-30 2005-06-15 Laser Quantum Ltd Laser Cavity
US20040202223A1 (en) * 2003-04-08 2004-10-14 Eric Crosson External cavity laser having improved single mode operation
US7003005B1 (en) * 2003-04-03 2006-02-21 Ming Lai Simplified laser oscillator-amplifier system
JP2007019361A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Mitsutoyo Corp 周波数安定化レーザ
JP4865886B2 (ja) 2010-06-07 2012-02-01 三菱製鋼株式会社 スライドユニット機構
CN111880319A (zh) * 2020-08-18 2020-11-03 董述萍 一种带有原子陷波滤波器的汤姆逊散射诊断系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3437955A (en) * 1964-12-29 1969-04-08 Bell Telephone Labor Inc Phase locked laser oscillator
GB8602017D0 (en) * 1986-01-28 1986-03-05 British Telecomm Reducing fluctuations in radiation beam characteristic
DE3891284T1 (de) * 1987-07-17 1990-04-26 Komatsu Mfg Co Ltd Laserwellenlaengen-regelvorrichtung
KR910006307B1 (ko) * 1987-09-26 1991-08-19 미쓰비시덴기 가부시기가이샤 레이저 파장의 안정화 방법 및 파장 안정화 장치
US4823354A (en) * 1987-12-15 1989-04-18 Lumonics Inc. Excimer lasers
DE3744323C2 (de) * 1987-12-28 1999-03-11 Lambda Physik Forschung Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren der Frequenz eines Laserstrahles

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100809273B1 (ko) * 2006-07-28 2008-03-03 삼성전기주식회사 동일한 광 방출 위치를 갖는 레이저 장치

Also Published As

Publication number Publication date
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US5084884A (en) 1992-01-28
EP0411635A2 (en) 1991-02-06

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