SU1682769A1 - Устройство дл измерени отклонений от пр молинейности объекта - Google Patents
Устройство дл измерени отклонений от пр молинейности объекта Download PDFInfo
- Publication number
- SU1682769A1 SU1682769A1 SU894758334A SU4758334A SU1682769A1 SU 1682769 A1 SU1682769 A1 SU 1682769A1 SU 894758334 A SU894758334 A SU 894758334A SU 4758334 A SU4758334 A SU 4758334A SU 1682769 A1 SU1682769 A1 SU 1682769A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- light
- prism
- photodetector
- polarization
- light source
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может найти применение дл измерений отклонений от пр молинейности , плоскостности, соосности, а также дл центрировани объектов. Цель изобретени - повышение точности измерени за счет обеспечени линейности соотношени величины смещени энергетического центра падающего на фотоприемник пучка лучей от величины смещени уголкового отражател , т. е. от измер емой величины. Устройство содержит источник 1 света, например газовый лазер, установленный в корпусе 2 с помощью винтов 3, коллиматор 4 и смонтированный на кронштейне 5 оптический блок, содержащий двухлучевую пол ризационную призму Фостера (ППФ)6, линейный пол ризатор 7 и четвертьволновую пластину 8. ППФ 6 установлена так, что оптическа ось элементов призмы перпендикул рна направлению прохождени пучка света от источника 1 света и параллельна плоскости пол ризации этого пучка света. В этом же блоке размещен и позиционно-чув- ствительный фотоприемник 9, выходной сигнал которого подаетс на вход блока 10 индикации. Пучок света от источника 1 света , проход через коллиматор 4, преобразуетс из расход щегос в параллельный, затем падает на линейный пол ризатор 7, проходит через ППФ 6 и направл етс на уголковый отражатель 11, расположенный на контролируемом объекте 13. По смещению центра падающего на фотоприемник 9 пучка света, вызывающего пропорциональное изменение сигнала фотоприменика 9, поступающего на вход блока 10 индикации, суд т об отклонении от пр молинейности. 1 з. п. ф-лы. 1 ил. О 00 |ЧЭ VI Он ю
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть применено дл измерений отклонений от пр молинейности , плоскостности, соосности, а также дл центрировани объектов.
Цель изобретени - повышение точности измерени за счет обеспечени линейности соотношени величины смещени энергетического центра падающего на фотоприемник пучка лучей от величины смещени уголкового отражател , т. е. от измер емой величины.
На чертеже изображено устройство дл измерени отклонени от пр молинейности объекта, общий вид.
Устройство содержит источник 1 света, например газовый лазер, установленный в корпусе 2 с помощью котировочных винтов 3, коллиматор 4 и установленный на кронштейне 5 блок оптических элементов, включа- ющий двухлучевую пол ризационную призму 6 Фостера, линейный пол ризатор и четвертьволновую пластину 8. Призма 6 установлена таким образом, чтобы оптическа ось элементов призмы была перпендикул рна направлению прохождени пучка света от источника 1 света и параллельна плоскости пол ризации этого пучка света. Это условие достигаетс при сборке путем поворота источника 1 света в корпусе 2 до положени максимальной интенсивности прошедшего через призму 6 пучка света, после чего устанавливаетс линейный пол ризатор 7 также по условию максимальной интенсивности прошедшего пучка света. На выходном торце призмы 6 неподвижно закреплена четвертьволнова пластина 8. В этом же блоке установлен и позицион- ночувствительный фотоприемник 9, выходной сигнал которого, пропорциональный смещению падающего на фотоприемник 9 пучка света, подаетс на вход блока 10 индикации .
Проход щий от источника 1 света через оптический блок пучок света направл етс на уголковый отражатель 11, установленный в центрирующем корпусе 12 на контролируемом объекте 13.
Устройство работает следующим образом .
Источник 1 света излучает пучок света, который, проход через коллектор 4, преобразуетс из расход щегос в параллельный . В качестве коллиматора 4 могут быть применены афокальные оптические системы Кеплера или Галиле . Полученный параллельный пучок света падает на линейный пол ризатор 7, где дополнительно стабилизируетс положение плоскости пол ризации пучка света, проходит через
двухлучевую пол ризационную призму 6 Фостера и направл етс на уголковый отражатель 11, установленный на контролируемом объекте 13.
При совпадении вершины уголкового
отражател 11с центром падающего пучка света отраженный пучок лучей совпадает с пучком света, выход щим из оптического блока. При смещении вершины уголкового
0 отражател 11 от центра падающего пучка лучей на величину а отраженный пучок света сместитс от своего первоначального положени на величину 2а. Проход далее через четвертьволновую пластину 8 и пол ризаци5 онную призму 6, данный пучок света полностью отразитс от плоскости раздела элементов пол ризационной призмы 6, аза- от верхней зеркальной грани призмы 6 и попадает на фотоприемник 9. Так как по0 ложение оптического блока при измерении остаетс неподвижным, то и смещение центра падающего на фотоприемник 9 пучка света также будет равно удвоенному значению смещени контролируемого объекта 13
5 от своего номинального положени , что вызывает пропорциональное изменение сигнала фотоприемника 9, поступающего на вход блока 10 индикации.
Отсутствие отражени при прохожде0 нии через плоскость разреза элементов пол ризационной призмы 6 пучка лучей, идущих со стороны источника 1 света и наоборот , полное их отражение от этой плоскости при прохождении пучка света от
5 уголкового отражател 11 объ сн етс свойствами самой пол ризационной призмы 6, а именно тем, что в первом случае показатель преломлени прозрачного сло разреза пол ризационной призмы 6 Фостера больше
0 показател преломлени падающего на него пучка света, имеющего плоскость пол ризации , параллельную оптической оси элементов призмы 6, а во втором случае, после поворота плоскости пол ризации
5 проход щего пучка лучей на 90° с помощью двойного прохождени им четвертьволновой пластины 8, показатель преломлени его становитс меньше показател преломлени прозрачного сло разреза призмы 6 и
Claims (2)
- 0 ,пучок света испытывает полное отражение. Формула изобретени 1. Устройство дл измерени отклонений от пр молинейности объекта, содержащее источник линейно пол ризованного5 света, уголковый отражатель, предназначенный дл установки на контролируемом объекте, четвертьволновую пластину и фотоприемник , отличающеес тем,что, с целью повышени точности измерени , оно снабжено двухлучевой пол ризацией5 1682769бный призмой Фостера, неподвижно уста-ника линейно пол ризованного света и пановленной по ходу светового пучка за источ-раллельна плоскости пол ризации этогоником линейно пол ризованного света,пучка.четвертьволновой пластиной, установлен-
- 2.Устройствопоп.1, отличающа - ной на торце призмы, обращенном куголко-5 с тем, что оно снабжено линейным пол - вому отражателю таким образом, чторизатором, установленным на торце приз- оптическа ось призмы перпендикул рнамы, обращенным к источнику линейно направлению прохождени пучка от источ-пол ризованного света.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894758334A SU1682769A1 (ru) | 1989-11-09 | 1989-11-09 | Устройство дл измерени отклонений от пр молинейности объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894758334A SU1682769A1 (ru) | 1989-11-09 | 1989-11-09 | Устройство дл измерени отклонений от пр молинейности объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1682769A1 true SU1682769A1 (ru) | 1991-10-07 |
Family
ID=21479206
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894758334A SU1682769A1 (ru) | 1989-11-09 | 1989-11-09 | Устройство дл измерени отклонений от пр молинейности объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1682769A1 (ru) |
-
1989
- 1989-11-09 SU SU894758334A patent/SU1682769A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент US № 3871771, кл.СО В 11/30, 1975. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5187543A (en) | Differential displacement measuring interferometer | |
US4784490A (en) | High thermal stability plane mirror interferometer | |
US4330212A (en) | Triaxis laser alignment system and method | |
US3584959A (en) | Shaft position encoders | |
KR910005530A (ko) | 레이저광의 안정화 방법 및 장치 | |
US5418611A (en) | Multi-degree-of-freedom geometric error measurement system | |
US5220397A (en) | Method and apparatus for angle measurement based on the internal reflection effect | |
US4171910A (en) | Retroreflectance measurement system | |
CA1207550A (en) | Apparatus and method for measuring refractive index of liquids | |
SU1682769A1 (ru) | Устройство дл измерени отклонений от пр молинейности объекта | |
US4932780A (en) | Interferometer | |
SU1727105A1 (ru) | Автоколлимационное устройство | |
US3635563A (en) | Apparatus for detecting small rotations | |
US3748026A (en) | Reflector for distance measurement | |
JP2560471B2 (ja) | 安全機構を有したエンコーダー | |
SU1695145A1 (ru) | Эллипсометр | |
JP2592254B2 (ja) | 変位量及び変位速度の測定装置 | |
US3369446A (en) | Reflectance accessory | |
JPH0238808A (ja) | 光センサ | |
CN109470661B (zh) | 基于m-z干涉结构的古斯汉森位移型spr传感器 | |
SU1422208A1 (ru) | Автоколлимационное углоизмерительное устройство | |
US3592549A (en) | Intensity-measuring apparatus using polarization interferometry | |
RU1774233C (ru) | Способ определени линейных перемещений объектов с плоской зеркально-отражающей поверхностью | |
SU1587331A1 (ru) | Устройство дл измерени шероховатости поверхности | |
SU1282202A1 (ru) | Устройство дл измерени двулучепреломлени отражательных носителей информации |