KR910002029A

KR910002029A - 박막 제조용 스퍼터링 방법

Info

Publication number: KR910002029A
Application number: KR1019890007998A
Authority: KR
Inventors: 미노루 이노우에
Original assignee: 야마모돈 다꾸마; 후지쓰 가부시끼가이샤
Priority date: 1988-06-10
Filing date: 1989-06-10
Publication date: 1991-01-31
Also published as: DE68913077D1; DE68913077T2; EP0345487B1; US5049251A; EP0345487A1; JPH01312851A; KR930001501B1; JPH0577329B2

Abstract

내용 없음

Description

박막 제조용 스퍼터링 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제 1도는 스퍼터링 장치의 전형적인 구성도,

제 2도는 본 발명의 첫 번째 실시예에 대한 스퍼터링 챔버내 가스압력의 변화와 주입가스의 유속을 설명하는 타이밍도,

제 3도는 본 발명에 대한 바람직한 가스 흐름을 실현하기 위한 가스 흐름라인 시스템.

Claims

스퍼터링 챔버에서 발생되는 글로우 방전에 대한 물체위의 재료를 스퍼터링하는 방법에 있어서, 상기 물체 위의 스퍼터되는 재료로 구성되는 타켓을 가지는 스퍼터링 챔버에 물체를 설치하고, 스퍼터링 챔버를 베기시키는 단계(a)와 ; 상기 스퍼터링 챔버에서 가스를 주입하고, 상기 스퍼터링 챔버내의 압력을 첫 번째 압력범위P1으로 증가시키고 상기 글로우 방전을 개시하고, 상기 첫 번째 압력 범위 P1에서, 글로우 방전이 개시될 수 있고 유지될 수 있는 단계(b)와 ; 주입가스의 유속을 감소시키고, 상기 스퍼터링 챔버내의 압력을 두 번째 압력범위 P2로 감소시키고, 상기 두 번째 압력P2에서, 글로우 방전이 개시될 수 없으나 일단 글로우 방전이 상기 첫 번째 압력범위에서 개시되면 제한된 시간동안 유지될 수 없고 그런다음 압력이 상기 두 번째 압력범위로 감소되는 단계(c)와 ; 주입가스의 유속을 증가시키고, 스퍼터링 챔버내의 압력이 첫 번째 압력보다 낮은 압력레벨인 소정의 두 번째 압력으로 감소될 때 글로우 방전을 보강하기 위해 소정의 첫 번째 압력으로 스퍼터링 챔버내의 압력을 증가시키는 단계(d)와 ; 주입가스의 유속의 변화를 반복하고, 상기 첫 번째 압력과 상기 두 번째 압력사이에서 감소시키고 증가시키기 위해 스퍼터링 내의 압력을 변화시키는 단계(e)들로 이루어지는 스퍼터링 방법.
제1항에 있어서,상기 단계(b)에서, 가스가 첫 번째 시간주기 T1동안 일정하게 유지되는 첫 번째 유속 F1으로 주입되고, 상기 첫 번째 시간 주기 T1내에서, 상기 스퍼터링 챔버내의 압력이 상기 첫 번째 압력범위로 증가되고, 글로우 방전이 시작되고, 처리가 단계(c)로 변환되고; 상기 단계(d)에서, 가스 유속이 상기 첫 번째 시간주기 T1보다 긴 두 번째 시간주기 T2동안 일정하게 유지되는 유속 F2로 감소되고, 상기 두 번째 주기 T2동안에, 상기 스퍼터링 챔버내의 압력이 상기 소정의 두 번째 압력으로 감소되고, 처리가 단계 d)로 변환되고 ; 상기 단계 d)에서, 가스 유속이 상기 첫 번째 시간주기 동안에 상기 첫 번째 유속_F1으로 증가되고, 상기 스퍼터링 챔버내의 압력이 상기 첫 번째 압력범위_P1으로 증가되고, 글로우 방전이 보강되고; 상기 단계(e)에서, 상기 단계들(c) 및 (d)가 스퍼터링 처리 동안에 반복되는 스퍼터링 방법.
제2항에 있어서,상기 두 번째 압력이 상기 두 번째 압력범위내에 있고, 상기 두 번째 압력에서, 글로우 방전이 바로 두드러지게 되는 스퍼터링 방법.
제2항에 있어서,상기 두 번째 유속 F2가 상기 스퍼터링 챔버를 배기시키기 위한 배기속도의 1/10보다 적고, 상기 두 번째 시간주기 T2가 상기 첫 번째 시간주기T1보다 10배정도 많은 스퍼터링 방법.
제1항에 있어서,상기 단계(b)에서, 상기 주입가스가 점차적으로 증가되는 유속으로 상기 스퍼터링 챔버에 주입되고, 전기 방전이 개시될 때, 단계가 단계(c)로 변환되고 ; 상기 단계(c)에서, 상기 주입가스의 유속이 점차적으로 감소되고, 상기 스퍼터링 챔버내의 압력이 두 번째 압력범위 P2로 감소되고, 스퍼터링 챔버내의 가스압력이 소정의 두 번째 압력으로 감소될 때, 단계가 (d)로 변환되고 ; 상기 단계(d)에서, 주입가스의 압속이 점차적으로 증가되고, 스퍼터링 챔버내의 압력이 소정의 첫 번째 압력으로 증가되고, 글로우 방전이 보강될 때, 단계가 단계(e)로 변환되고; 상기 단계 (e)에서 상기 단계들(c)와 (d)가 스퍼터링처리 동안에 반복되는 스퍼터링 방법.
제5항에 있어서,상기 두 번째 압력이 상기 두 번째 압력범위내이고, 상기 두 번째 압력에서 글로우방전이 바로 두드러지게 되는 스퍼터링 방법.
제5항에 있어서,상기 단계(c)에 대한 지속시간이 상기 단계(d)에 대한 지속 시간보다 짧은 스퍼터링 방법.
제5항에 있어서, 상기 첫 번째 압력이 상기 두 번째 압력보다 높고, 첫 번째 압력과 두 번째 압력 모두가 상기 두 번째 압력내인 스퍼터링 방법.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.