Claims (17)
로울러의 기재와의 접촉면에 표면구조층(3,5,6,9)을 제공함으로써, 표면구조층(3,5,6,9)과 접촉되어 있는 기재와 로울러 사이에 예정량의 가스가 포함되며, 상기한 가스량이 사용된 기재 운반속도에서 본질적으로 똑같이 유지되도록 상기 구조층이 한 형태를 취하는, 이동되는 두루마리식 기재의 처리장치에서 그 기재의 유도 및/또는 지지에 사용하기 위한 로울러에 있어서, 상기 로울러가 기재와의 접촉면에 이음매없는 금속 슬리브를 포함하며, 상기 표면 구조층(3,5,6,9)이 슬리브(52)의 표면에 형성됨을 특징으로 하는 로울러.By providing the surface structure layers 3, 5, 6 and 9 on the contact surface of the roller with the substrate, a predetermined amount of gas is contained between the substrate and the roller in contact with the surface structure layers 3, 5, 6 and 9 In a roller for use in the guidance and / or support of a substrate in a moving rolled substrate processing apparatus, in which the structural layer takes one form such that the gas quantity is maintained essentially the same at the substrate transport rate used, And the roller comprises a seamless metal sleeve on the contact surface with the substrate, wherein the surface structure layer (3,5,6,9) is formed on the surface of the sleeve (52).
제1항에 있어서, 상기 슬리브(52)가 두께 150 내지 500㎛, 특히 150내지 250㎛의 이음매없는 닉켈 슬리브임을 특징으로 하는 로울러.2. The roller according to claim 1, characterized in that the sleeve (52) is a seamless nickle sleeve of thickness 150 to 500 [mu] m, in particular 150 to 250 [mu] m.
제1항에 또는2항에 있어서, 상기 표면구조층(3,5,6,9)에 고도의 내마모성을 갖는 상부층을 도포함을 특징으로 하는 로울러.The roller according to claim 1 or 2, characterized in that the surface structure layer (3,5,6,9) is coated with an upper layer having a high wear resistance.
제3항에 있어서, 상기 상부층이 티탄 또는 붕소의 질화물:규소, 붕소 텅스텐 및 티탄의 탄화물: 유리 및 석영중에서 선택된 내마모성 재료가 포함됨을 특징으로 하는 로울러.4. The roller of claim 3, wherein the top layer comprises a wear resistant material selected from nitrides of titanium or boron: carbides of silicon, tungsten boron and titanium: glass and quartz.
제3항에 있어서, 상기 상부층이 고도의 내마모성 및 경도를 갖는 금속층, 예를들면 닉켈-인 함유층 또는 크롬층임을 특징으로 하는 로울러.4. The roller of claim 3, wherein the top layer is a metal layer having a high wear resistance and hardness, such as a nickel-phosphorus containing layer or a chromium layer.
제3항에 있어서, 상기 상부층이 폴리테트라 플루오로 에틸렌층임을 특징으로 하는 로울러.4. The roller of claim 3 wherein said top layer is a polytetra fluoro ethylene layer.
제1항 내지 6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 슬리브(52)가 2개의 고정식 말단 링 또는 플랜지(50,51) 사이에 장착됨을 특징으로 하는 로울러.7. Roller according to one of the preceding claims, characterized in that the sleeve (52) is mounted between two stationary end rings or flanges (50, 51).
제7항에 있어서, 상기 슬리브(52)가 다공 슬리브임을 특징으로 하는 로울러.8. The roller according to claim 7, wherein the sleeve (52) is a porous sleeve.
제7항 또는 8항에 있어서 축방향으로 예정된 공기압 패턴을 형성하기 위해, 수단(57)이 상기 슬리브(52) 내부에 부착됨을 특징으로 하는 로울러.9. The roller according to claim 7 or 8, characterized in that means (57) are attached inside the sleeve (52) to form an axially predetermined pneumatic pattern.
제7항에 있어서, 상기 슬리브(52)의 내부에 저밀도 물질을 충진하여 강성을 부여함을 특징으로 하는 로울러.8. The roller according to claim 7, wherein the sleeve (52) is filled with a low density material to impart rigidity.
제10항에 있어서, 상기 슬리브(52)에 경화성 발포플라스틱 및 가압가스중에서 선택한 재료를 충진함을 특징으로 하는 로울러.11. The roller according to claim 10, wherein the sleeve (52) is filled with a material selected from curable foamed plastic and pressurized gas.
제1항 내지 6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 슬리브(30)이, 축수단(35,36,37)이 달린 지지실린더(32)에의해 클램프고정 방식으로 이동됨을 특징으로 하는 로울러.7. The roller as claimed in one of the preceding claims, characterized in that the sleeve (30) is moved in a clamping manner by a support cylinder (32) with shaft means (35, 36, 37).
로울러의 기재와의 접촉면에 표면구조층(3,5,6,9)을 형성하고, 그로인해 표면구조층(3,5,6,9)와 접촉되어 있는 기재와 로울러 사이에 예정량의 가스가 들어가, 상기 가스량이 사용된 기재운반 속도에서 본질적으로 같아지도록 상기 구조층이 한 형태를 취하는, 이동중의 두루마리식 기재의 처리장치에서 이동되는 그러한 기재의 유도 및 또는 지시에 사용하기 위한 로울러에 있어서, 상기 로울러가 육중한 또는 두꺼운 벽의 금속 로울러이며, 상기 표면구조층(3,5,6,9,)에 고도의 내마모성을 갖는 상부층이 형성됨을 특징으로 하는 로울러.Surface structure layers 3, 5, 6, and 9 are formed on the contact surface of the roller with the substrate, whereby a predetermined amount of gas is formed between the substrate and the roller in contact with the surface structure layers 3, 5, 6, and 9. In a roller for use in the guidance and / or directing of such a substrate, which is moved in a processing apparatus for a rolled substrate in motion, in which the structural layer takes one form such that the amount of gas is essentially the same at the substrate conveying speed used, The roller is a heavy or thick walled metal roller, the top layer having a high wear resistance on the surface structure layer (3,5,6,9,).
제13항에 있어서, 상기 상부층이 티탄 또는 붕송의 질화물:규소, 붕소, 텅스텐 및 티탄의 탄화물: 유리및 석영중에서 선택된 내마모성 물질임을 특징으로 하는 로울러.14. The roller of claim 13, wherein the top layer is a wear resistant material selected from titanium or of boron nitrides: silicon, boron, tungsten and titanium carbides: glass and quartz.
제13항에 있어서, 상기 상부층이 고도의 내마모성 및 경도를 갖는 금속층, 예를 들면 닉켈 - 인함유층 또는 그롬층임을 특징으로 하는 장치.14. An apparatus according to claim 13, wherein the top layer is a metal layer having a high wear resistance and hardness, for example a nickel-phosphorus-containing layer or a gromium layer.
제13항에 있어서, 상기 상부층이 폴리테트라 플루오로 에틸렌층임을 특징으로 하는 로울러.14. The roller of claim 13 wherein said top layer is a polytetra fluoro ethylene layer.
하나 이상의 기재처리 유닛, 기재이동 수단 및 하나이상의 기재 지지로울러를 포함하는, 이동중의 두루마리식 기재처리 장치에 있어서, 상기 기재 지지 로울러가 제1항 내지 16항중 어느 한 항에 기술된 형태를 취함을 특징으로 하는 장치.In a rollable substrate processing apparatus comprising at least one substrate processing unit, a substrate moving means and one or more substrate support rollers, the substrate support roller takes the form described in any one of claims 1 to 16. Characterized in that the device.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.