JPH0323147A - Device equipped with one or more of supporting or guiding roller and this type of roller - Google Patents

Device equipped with one or more of supporting or guiding roller and this type of roller

Info

Publication number
JPH0323147A
JPH0323147A JP2139547A JP13954790A JPH0323147A JP H0323147 A JPH0323147 A JP H0323147A JP 2139547 A JP2139547 A JP 2139547A JP 13954790 A JP13954790 A JP 13954790A JP H0323147 A JPH0323147 A JP H0323147A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
roller
sleeve
substrate
top layer
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2139547A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ronald Ekkel
ロナルト・エツケル
Bernard Pierre Diebels
ベルナルト・ピエツレ・デイエベルス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Stork Screens BV
Original Assignee
Stork Screens BV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from NL8901349A external-priority patent/NL8901349A/en
Application filed by Stork Screens BV filed Critical Stork Screens BV
Publication of JPH0323147A publication Critical patent/JPH0323147A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H27/00Special constructions, e.g. surface features, of feed or guide rollers for webs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H20/00Advancing webs
    • B65H20/02Advancing webs by friction roller
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2404/00Parts for transporting or guiding the handled material
    • B65H2404/10Rollers
    • B65H2404/14Roller pairs
    • B65H2404/141Roller pairs with particular shape of cross profile
    • B65H2404/1414Roller pairs with particular shape of cross profile complementary relief
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2404/00Parts for transporting or guiding the handled material
    • B65H2404/10Rollers
    • B65H2404/18Rollers composed of several layers
    • B65H2404/181Rollers composed of several layers with cavities or projections at least at one layer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2404/00Parts for transporting or guiding the handled material
    • B65H2404/50Surface of the elements in contact with the forwarded or guided material
    • B65H2404/52Surface of the elements in contact with the forwarded or guided material other geometrical properties
    • B65H2404/521Reliefs

Landscapes

  • Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
  • Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
  • Advancing Webs (AREA)

Abstract

PURPOSE: To seal and make to remain specified quantity of gas between a substrate and a roller at the used carrying speed of the substrate and basically as it is by specifying surface structure of the roller to guide and/or to support the web substrate. CONSTITUTION: A surface structure positioned on a surface of a roller or a metal seamless sleeve 1 includes small balls 2 having caps 3, and these small balls 2 are arranged in triangular structure with equal intervals. Specified quantity of gas is sealed between a substrate making contact with this surface structure and the roller or this sleeve 1, and furthermore, it remains at used carrying speed of the substrate and basically as it is.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、可動ウエア形基板を処理するための装置にお
いてこの基板を案内及び/又は支えるために使用するロ
ーラに係る。前記ローラの基板と接触表面は表面構造を
備えており、その結果所定量のガスが表面構造と接触す
る基板とローラとの間に封入されており、構造は、前記
容積のガスが使用基板運搬速度でほぼ同じ量で残留する
ような形を与えられている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to rollers used to guide and/or support movable ware-type substrates in apparatus for processing such substrates. The substrate and contacting surface of said roller is provided with a surface structure so that a predetermined amount of gas is enclosed between the substrate and the roller in contact with the surface structure, the structure being such that said volume of gas is used to transport the substrate. It is given such a shape that it remains in approximately the same amount at the same speed.

この種のローラは一般に、ウエブ形媒体を処理する装置
内の支持又は案内ローラとして使用され、ここでは結合
処理はコーティング、プリンティング、コロナ放電処理
・、露光等の多数の作業を意味すると理解されてもよい
Rollers of this type are generally used as support or guide rollers in apparatus for processing web-shaped media, where bonding processing is understood to mean a number of operations such as coating, printing, corona discharge treatment, exposure, etc. Good too.

前記形式のローラはイギリス特許GB−A−第1 05
6 372号に紙ウエブ取扱機械のための案内ローラ装
置として開示されている。
A roller of the above type is covered by British patent GB-A-No. 105.
No. 6,372 discloses a guide roller device for a paper web handling machine.

限定数の表面構造が紹介されているが、そのすべてが移
動する紙ウlブと機械内の案内ローラとの間に空気クッ
ションが形成されるのを防止するために役立っている。
A limited number of surface structures are introduced, all of which serve to prevent the formation of air cushions between the moving paper web and the guide rollers within the machine.

前記公知案内ローラは、取扱機械が様々な目的を持ち及
び/又は様々な基板に適用しようとする場合に多数の異
なるローラが必要になるという欠点を有している。
Said known guide rollers have the disadvantage that a large number of different rollers are required if the handling machine has different purposes and/or is to be applied to different substrates.

発明の要約 本発明は前記欠点を表わさず、且つその表面構造の迅速
且つ容易な変化を可能ならしめる形式のローラを提供す
ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the invention is to provide a roller of a type which does not exhibit the above-mentioned disadvantages and which allows a rapid and easy change of its surface structure.

前記ローラは、基板と接触するその表面に金属のシーム
レススリーブを含んでおり、スリーブの表面に表面構造
が備えられていることを特徴とする。
The roller is characterized in that it includes a metal seamless sleeve on its surface that contacts the substrate, and that the surface of the sleeve is provided with a surface structure.

分離したシームレス金属スリーブで表面が形成されるロ
ーラを提供することによって、表面構造の迅速な変化が
後に詳しく説明する通り可能である。
By providing a roller whose surface is formed by separate seamless metal sleeves, rapid changes in surface structure are possible, as will be explained in more detail below.

便宜上この種のシームレス金属スリーブは15G及び5
00マイクロメートル、特に15G及び200ミクロメ
ートルの間の厚さを持つニッケルスリーブである。
For convenience, this kind of seamless metal sleeve is 15G and 5
00 micrometers, in particular a nickel sleeve with a thickness between 15G and 200 micrometers.

この種のニッケルスリーブは本出願人によって製造され
、好みの円周長さを備え且つ軸方向長さを備えていても
よい。
Nickel sleeves of this type are manufactured by the applicant and may have any desired circumferential length and axial length.

この種のスリーブの表面は、図で説明するように複数の
方法で適用される任意の表面構造を与えられてもよい。
The surface of such a sleeve may be provided with any surface structure applied in several ways as illustrated in the figures.

上記の形式のローラを用いれば、表面構造の急速な消耗
が例えば大きな粗さ又は高い充填材比率をもつ紙材料を
案内又は支持する時に観察されるかもしれない。
With rollers of the above type, rapid wear of the surface structure may be observed, for example when guiding or supporting paper materials with large roughness or high filler proportions.

この問題は本発明に従えば表面構造に高い耐摩耗性の頂
部層を提供することによって解決される。
This problem is solved according to the invention by providing the surface structure with a highly wear-resistant top layer.

特にこの種の頂部層は次のものから選択された耐摩耗材
料を含む。
In particular, this type of top layer comprises a wear-resistant material selected from:

チタニウム又はホウ素の窒化物のような窒化物 シリコン、ホウ素、タングステン及びチタニウムの炭化
物のような炭化物 ガラス及び石英。
Nitrides such as titanium or boron nitrides, silicon carbides, such as boron, tungsten and titanium carbides, glasses and quartz.

勿論他の多くの材料がこの点に関して指摘されてもよい
。上のシリーズでは窒化チタニウムが特に重要である。
Of course many other materials may be mentioned in this regard. Titanium nitride is particularly important in the above series.

それは極めてきれいな薄黄色をもつ非常に固い耐摩耗性
の材料である。この材料は窒素を含む雰囲気中でのチタ
ニウムの反応スパッタリング又はTiNスパッタリング
のようなスパッタリング技術によって表面に極めて有効
に蒸着させてもよい。
It is a very hard, wear-resistant material with a very clean light yellow color. This material may be very effectively deposited onto the surface by sputtering techniques such as reactive sputtering of titanium in a nitrogen-containing atmosphere or TiN sputtering.

基板への損害をできる限り防止するため基板と接触する
ローラの表面構造の部分を丸味付けすることが都合がよ
い。
It is advantageous to round off the part of the surface structure of the roller that comes into contact with the substrate in order to prevent damage to the substrate as much as possible.

極めて大きな利点を持って、本発明ローラの表面構造は
、ニッケルーリン層又はクロミウム層のような高い耐摩
耗性を持つ頂部層を備えている。
With great advantage, the surface structure of the roller according to the invention comprises a top layer with high wear resistance, such as a nickel-phosphorus layer or a chromium layer.

表面構造は例えば、ローラの摩耗及び基板の損傷をでぎ
る限り防止するためのポリテトラフルオルエチレンコー
ティング層を備えていてもよい。
The surface structure may, for example, be provided with a polytetrafluoroethylene coating layer to prevent roller wear and damage to the substrate as far as possible.

好ましい1実施例では、ローラに内蔵されるスリーブは
、軸に取付けられた2端リング又はフランジ間の軸方向
ストレス下に取付けられている。
In one preferred embodiment, the sleeve contained in the roller is mounted under axial stress between two end rings or flanges mounted on the shaft.

この種のリングは重量が極度に低いことができるという
利点を持ち、その結果ローラは支持又は案内されるべき
基板に付随して回転するよう容易に出発するだろう。
A ring of this kind has the advantage that its weight can be extremely low, so that the roller will easily start rotating along with the substrate to be supported or guided.

上記の実施例では、連続スリーブの代りに例えば金属回
転スクリーンプリントステンシルのような穴を備えたス
リーブを用いてもよい。この種のステンシルは例えばニ
ッケルで構成され、250〜500メッシュ(一孔/イ
ンチ〉の細かさを持つ。
In the embodiments described above, the continuous sleeve may be replaced by a sleeve with holes, such as a metal rotating screen print stencil. This type of stencil is made of nickel, for example, and has a fineness of 250 to 500 mesh (one hole per inch).

但しこれより高い又は低い細かさも可能である。However, higher or lower fineness is also possible.

厚さは100〜250マイクロメートルの間を変化する
か又はそれ以上でもよい。もしこの種の穴あきスリーブ
が使用ざれれば、表面構造は、スリーブの穴の形式の構
造の上に重ね合された別に用意された構造を含む。幾つ
かの場合には、穴形式の構造そのものが、シート形基板
が常にスリーブの表面と接触したまま留まることを保証
するために十分であるだろう。
The thickness may vary between 100 and 250 micrometers or more. If a perforated sleeve of this kind is used, the surface structure comprises a separately provided structure superimposed on the hole-type structure of the sleeve. In some cases, the hole-type structure itself may be sufficient to ensure that the sheet-shaped substrate always remains in contact with the surface of the sleeve.

好ましい実施例では、例えば隔壁のラビリンスのような
手段が、所定の方法で穴あけされたスリーブの内側に軸
方向に延伸する圧力輪郭を講節することを可能にするた
めにスリーブの内側に存在する。このようなラピリンス
構成は任意には穴あスリ けM−1に付随して回転してもよい。圧力輪郭は過圧の
範囲内にあっても(できれば部分的に)低圧力範囲内に
あってもよい。穴あきスリーブの内側の圧力調整は塁板
の接触挙動をさらに確実なものとすることができ、その
結果、基板接触内に局部的に生じる不完全さも修正され
ることができる。
In a preferred embodiment, means, such as a labyrinth of a septum, are present on the inside of the sleeve in order to make it possible to articulate a pressure contour extending axially on the inside of the perforated sleeve in a predetermined manner. . Such a lapirin arrangement may optionally be rotated along with the drilling slit M-1. The pressure profile may lie within the overpressure range or (preferably partially) within the underpressure range. The pressure adjustment inside the perforated sleeve can further ensure the contact behavior of the base plate, so that locally occurring imperfections in the base plate contact can also be corrected.

シームレス金属スリーブが用いられる場合は、使用スリ
ーブに充分な剛性を与える方策が講じられるであろう。
If a seamless metal sleeve is used, measures will be taken to provide sufficient rigidity to the sleeve used.

一般的な一方策としては、2つの端而リング又は7ラン
ジ間に、穴あけされた又は穴あけされないスリーブを軸
方向圧力下で取付けるというものがある。この方法はこ
の種のスリーブ又はスク1ノーンに基本剛性を提供し、
これは案内ウエアの低い接触圧にとって充分であるだろ
う。もしスリーブにもっと高い圧力が必要であれば、こ
の場合穴を持たないスリーブで、硬化した発泡プラスチ
ック材料のような低密度材料又は空気のような加圧ガス
を内部に満たすことによって剛性を備えてもよい。
One common solution is to mount a perforated or unperforated sleeve under axial pressure between two end rings or seven flange. This method provides basic rigidity to this type of sleeve or scone,
This will be sufficient for the low contact pressure of the guide wear. If higher pressures are required in the sleeve, in this case a sleeve without holes can be made stiffer by filling it with a lower density material such as a hardened foamed plastic material or a pressurized gas such as air. Good too.

適正な発泡プラスチックの例としては、ボス・)7 @
 − (Voss Chemie)社のHHR■ポリウ
レタンのようなポリウレタンを挙げてもよい。この材料
はおよそ26K9/一密度を持つ半硬質発泡体である。
An example of a suitable foamed plastic is Boss・)7@
- Polyurethanes such as HHR■ polyurethane from Voss Chemie (Voss Chemie) may be mentioned. This material is a semi-rigid foam with a density of approximately 26K9/1.

また同社の口450■発泡体を用いてもよい。これは硬
化処理圧力が高い(5〜6 聯/!超過圧力)、密度4
SOK9/rdのポリウレタン発泡体である。スリーブ
に剛性を与えるための空気を用いる場合は1.3K9/
Jまでの超過圧力が用いられる。
Also, the company's Mouth 450 foam may be used. This has a high curing pressure (5~6 ren/! overpressure) and a density of 4
It is a SOK9/rd polyurethane foam. When using air to give rigidity to the sleeve, 1.3K9/
Overpressures up to J are used.

別の好ましい実施例では、スリーブは軸手段をシリ 備えた支持神ンダによってクランプ式に支持されてもよ
い 上記ローラに関してはストーク・スクリーンズ(Sto
rk Screens)社のヨーロッパ特許第0. 1
60, 341号を参照されたい。前記特許明suiは
、簿壁シームレス円筒スクリーンが中空壁又は中実のロ
ーラの外周面に押込まれるというスクリーンローラ製造
法を開示している。支持シリンダの外周にスクリーンを
取付けるためには、スクリーンの穴を到じ、その後でス
クリーンの直径を例えば空気圧の助けを借りて一時的に
増加して、スクリーンを0−ラ外周に押込めるようにす
る。
In another preferred embodiment, the sleeve may be supported in a clamping manner by a support roller provided with shaft means.
rk Screens) European Patent No. 0. 1
See No. 60,341. The said patent discloses a screen roller manufacturing method in which a wall seamless cylindrical screen is pressed into the outer peripheral surface of a hollow wall or solid roller. To install the screen on the outer periphery of the support cylinder, the holes in the screen are drilled and the diameter of the screen is then temporarily increased, e.g. with the help of air pressure, so that the screen can be pushed onto the 0-ra outer periphery. do.

本発明ローラを製造するためには、ローラはシームレス
金属スリーブがクランプ式にその外周に押込まれる支持
シリンダによって形成されるが、前記特許に記載の方法
を用いてもよい。
In order to manufacture the roller according to the invention, the method described in the aforementioned patent may be used, although the roller is formed by a supporting cylinder onto which a seamless metal sleeve is pressed in a clamping manner.

別の形式の支持ローラはストーク・スクリーンズ社の未
公開ドイツ特許出願第88 00 781号に記載され
ているようないわゆる圧縮ストレッチローラである.,
前記文書では、支持ローラは、圧縮され得る連続コーテ
ィングをその表面にもつものとして開示されている。コ
ーティング周囲の小距離にわたってスリーブを押込み、
スリーブとコーティングとの間に例えばガスのような加
圧媒体を送り込むことによってコーティングが押圧され
、コーティングの周囲にスリーブ全体を押込むことがで
きる。特に壁厚の大きいスリーブの場合は、この圧縮ロ
ーラは本発明ローラを形或するのに充分であろう。
Another type of support roller is a so-called compression stretch roller as described in unpublished German Patent Application No. 88 00 781 of Stoke Screens. ,
In said document, a support roller is disclosed as having a continuous coating on its surface that can be compressed. Push the sleeve a short distance around the coating,
The coating can be compressed by passing a pressurized medium, such as a gas, between the sleeve and the coating, forcing the entire sleeve around the coating. Particularly in the case of sleeves with large wall thicknesses, this compression roller may be sufficient to form the roller of the invention.

本発明はまた、可動ウェブ形基板の案内及び/又は支持
に用いられるローラにも関り、基板処理装置においては
、基板と接触する前記ローラの表面には表面a造が備え
られ、その結果所定量のガスが表面構造に接触する基板
とローラとの間に封入され、構造は前記量のガスが基板
の使用運搬速度で事実上同じままで残り、ローラが中実
であるか又は厚壁金属口ーうであり、表面構造が高い耐
摩耗性の頂部層を備えていることを特徴とする。
The invention also relates to a roller used for guiding and/or supporting a movable web-shaped substrate, in a substrate processing apparatus the surface of said roller in contact with the substrate is provided with a surface a-structure, so that A quantity of gas is enclosed between the substrate and the roller in contact with the surface structure, and the structure is such that said quantity of gas remains virtually the same at the used conveying speed of the substrate and the roller is solid or thick-walled metal. The surface structure is characterized by a highly wear-resistant top layer.

摩耗材料の影響に対して発明ローラの表面構造を保護す
るために、耐摩耗性の高い頂部層をこの種の0−ラの表
面構造に備えることは極めて有利であることが証明され
た。
In order to protect the surface structure of the inventive roller against the effects of abrasive materials, it has proven to be extremely advantageous to provide the surface structure of such 0-La with a highly wear-resistant top layer.

この種の頂部層は次のような種々の材料を含むことがで
きる.l チタニウム及び窒化ホウ素の窒化物のような窒化物 シリコン、ホウ素、タングステン及びチタニ特に窒化チ
タニウムでは、硬度、耐摩耗性及び外観について様々な
特性を提供することが見出されている。
This type of top layer can include a variety of materials, such as: Nitrides such as nitrides of silicon, boron, tungsten and titanium, especially titanium nitride, have been found to offer varying properties in terms of hardness, wear resistance and appearance.

頂部層はまたニッケルーリン又はク0ミウム層のような
金属層を含んでいてもよい。
The top layer may also include a metal layer such as a nickel-phosphorous or chromium layer.

摩擦係数の極めて低いポリテトラフルオルエチレン層も
また好ましい。この点ではセラミック−ボリテトラフル
オルエチレン混合順を挙げてもよい。この層はプラズマ
プレー法によって好適に採用されてもよい。
Polytetrafluoroethylene layers with extremely low coefficients of friction are also preferred. In this respect, the ceramic-boritetrafluoroethylene mixing order may be mentioned. This layer may be suitably applied by plasma spraying.

本発明は最後に、1つ又はそれ以上の基板処理gL置、
基板移動装置及び1つ又はそれ以上の基板支持ローラを
含む可動ウェブ形基板処理装置にも係り、この種の装置
は本発明ローラについて上記の形状を持つ基板支持ロー
ラを特徴とする。
The invention finally provides one or more substrate processing steps,
The present invention also relates to a movable web-type substrate processing apparatus comprising a substrate moving device and one or more substrate support rollers, an apparatus of this type characterized by a substrate support roller having the shape described above for the roller of the invention.

可動ウェブ形基板処理装置は例えばウェブ形基板にコー
ティングをかけるための装置であってもよい。1例を挙
げれば、例えばポリエステル基板のようなウエア形基板
にエマルジョンをかけるための装置であってもよい。こ
の種のコーティングの均一性は大きな重要性を持つ。コ
ーティング装置での本発明基板支持又は案内ローラの構
造が、装置の運1部分に関して不利な作用が基板又は基
板に貼布されたコーティングに及ばないことを保証する
。便宜上この種の装置は例えば、ボリエステルウェプに
シームレスニッケルスクリーンープリント・ステンシル
助けをかりて均一なコーティングが適用される回転スク
リーンープリント装置である。上記装置の上記部品とは
別に、例えば層を乾燥工程にかけるための乾燥vt圏を
含んでいてもよい。
The movable web-type substrate processing apparatus may be, for example, an apparatus for applying coatings to web-type substrates. One example may be a device for applying an emulsion to a wear-shaped substrate, such as a polyester substrate. The uniformity of this type of coating is of great importance. The construction of the substrate support or guide rollers of the invention in a coating apparatus ensures that no adverse effects on the transport part of the apparatus are exerted on the substrate or on the coating applied to the substrate. Conveniently such equipment is, for example, a rotary screen-printing machine in which a uniform coating is applied to the polyester web with the aid of a seamless nickel screen-printing stencil. Apart from the above-mentioned parts of the device, it may also include, for example, a drying zone for subjecting the layer to a drying process.

図面の説明 次に添附図面を参照して本発明を説明する。Drawing description The present invention will now be described with reference to the accompanying drawings.

第1a図では、1はローラ又は金属シームレススリーブ
の本体の部分断面を表わし、2及び3はローラ又はスリ
ーブの表面に位置する表面構造を表わす。第1b図の部
分平面図からは表面構造がギャップ3をもつ小球2を含
み、これらの小球は等間隔の三角形構造に配列されてい
ることが分かる。
In FIG. 1a, 1 represents a partial cross-section of the body of the roller or metal seamless sleeve, and 2 and 3 represent the surface structures located on the surface of the roller or sleeve. It can be seen from the partial plan view of FIG. 1b that the surface structure comprises spherules 2 with gaps 3, which spherules are arranged in an equidistant triangular structure.

図示のような規則的構造は必要条件でないことが指摘さ
れる。ローラ又はスリーブの表面は例えば研摩、砂吹き
、ビード吹き又はショットビーニングによって粗さが与
えられてもよく、この場合山一谷高さは便宜的に12.
5マイクロメートルまでのRaの植を持つであろう。ニ
ッケルスリーブのような電気デボジョンによって得られ
る金属スリーブ又は普通の滑らかさのローラは、Ra≦
0.2マイクロメートルの山一谷高さを持つであろう。
It is pointed out that a regular structure as shown is not a requirement. The surface of the roller or sleeve may be roughened, for example by grinding, sand blasting, bead blasting or shot beaning, in which case the peak-to-valley height is conveniently 12.
It will have Ra inoculations up to 5 micrometers. Metal sleeves obtained by electrodeposition such as nickel sleeves or rollers of normal smoothness have Ra≦
It will have a peak-to-valley height of 0.2 micrometers.

第2a図は、空I15がエッチングによって0 −ラ本
体又はスリーブ胴4内に形成されたことを表す。溝5の
幅と深さ及び形状は適用に応じて選ばれることができる
FIG. 2a shows that a cavity I15 has been formed in the O-Lar body or sleeve body 4 by etching. The width, depth and shape of the groove 5 can be selected depending on the application.

第3図は、ローラ本体又はスリーブ胴7が任意に配列さ
れた小球構造6を備えており、この種の小球が接合によ
ってローラ又はスリーブの表面に結合されることを示す
。指摘すべきことは、この種の実施例では、較正工程が
表面構造層の形成に続いて付加的に実行されなければな
らず、こうしてローラは真作勤を獲得する。較正工程は
すべての球体成分がローラ又はスリーブの表面上で同じ
1つの高さを持つことを保証するためにも役立つ。
FIG. 3 shows that the roller body or sleeve body 7 is provided with an arbitrarily arranged spherule structure 6, such spherules being bonded to the surface of the roller or sleeve by bonding. It should be pointed out that in this type of embodiment a calibration step has to be carried out additionally following the formation of the surface structure layer, so that the roller obtains true performance. The calibration step also serves to ensure that all spherical components have the same single height above the surface of the roller or sleeve.

第3b図は第3a図の状況を平面図で表わしており、第
2a図に対する第2b図の場合と同様である。
FIG. 3b represents the situation in FIG. 3a in plan view, and is similar to FIG. 2b in relation to FIG. 2a.

第4a図では、9はローラ又はスリーブの表面の溝を表
わし、8は溝間の高さ部を表わす。第4b図から、ロー
ラの長さ方向に溝がらせん状に延伸していることが明ら
かである。この場合ローラの軸方向は第4b図に示す矢
印方向に延伸するとする。付随的に、上記の総ての図に
おいて、ローラ又はスリーブの輪方向は第4b図の矢印
の方向に一致すると仮定される。第4C図は満9間の材
料8の先端は光沢酸洗い、ラッチング、エッチング等々
の付加作業工程によって丸味付けされることを説明する
In Figure 4a, 9 represents the grooves in the surface of the roller or sleeve and 8 represents the height between the grooves. From FIG. 4b it is clear that the grooves run helically along the length of the roller. In this case, it is assumed that the axial direction of the roller extends in the direction of the arrow shown in FIG. 4b. Incidentally, in all the above figures it is assumed that the ring direction of the roller or sleeve corresponds to the direction of the arrow in figure 4b. FIG. 4C illustrates that the leading edge of the material 8 is rounded by additional operational steps such as bright pickling, latching, etching, etc.

第5図は表面構造がフライス削によってローラ又はスリ
ーブの表面を加工することによって得られ、その結果凹
部10がチャネル10′を用いて相互に結合されて得ら
れ、こうして凹部門の相互ガス移動が保証されることを
表わす。凹部の上記の機械加工法とは別に、凹部の形成
は勿論電子ビームエングレービング又はレーザビームエ
ングレービングを用いて実行されてもよい。
FIG. 5 shows that the surface structure is obtained by machining the surface of the roller or sleeve by milling, so that the recesses 10 are interconnected by means of channels 10', so that the reciprocal gas movement of the recessed sections is achieved. Indicates that it is guaranteed. Apart from the above-described machining method of the recesses, the formation of the recesses may of course also be carried out using electron beam engraving or laser beam engraving.

第6図及び第7図は、構造がローラの中心にそって相互
に鏡像として形戒されるというローラ又はスリーブの表
面構造の極めて好ましい実施例を表わす。第6図では、
溝形状13は中心の右側上の部分11内にあり、形状1
3はローラを正しい方向に回転するとき、ガス運搬は図
の右側へ行われるようにらせん状に配列されている。ロ
ーラ中心の左側の部分12では、溝形状は反対に向き付
けされており、その結果ガス運搬は左へ生じることがで
きる。
Figures 6 and 7 represent highly preferred embodiments of the surface structure of a roller or sleeve in which the structures are mirror images of each other along the center of the roller. In Figure 6,
Groove shape 13 is in the upper right part 11 of the center and is
3 is helically arranged so that when the rollers are rotated in the correct direction, gas transport is to the right in the figure. In the part 12 to the left of the roller center, the groove shapes are oriented in the opposite direction, so that gas transport can occur to the left.

第7図では同じ状況が、重なり合った反対ねじが用いら
れることがでぎ、その結果、例えば溝内の移動抵抗は溝
の1つについて左から右へ、他の溝については右から左
へ減少する。
In Figure 7, the same situation can be seen with overlapping counter-threads, so that, for example, the movement resistance in the grooves decreases from left to right for one of the grooves and from right to left for the other grooves. do.

このような鏡像配列の例は、もしガスの制御された設定
圧力から出発して、基板の移動の間その位置決め精度を
向上させるための要求があれば極めて有利であることが
分かる。ローラの中心から出発した対称形の空気移動の
結果、ローラに関して基板の改良された位置決め精度が
得られる。この場合、基板シート上での平滑化の側面効
果もまた観察され、これは特定材料及び薄いシート厚に
ついては極めて望ましい。この種の形状を形成するため
、ホトレジスト形状を用いるエッチング技術を用いるこ
とが有利であり、さらに特別技術を用い溝深さを変化さ
せることも可能である。勿論この場合、上記ビーム加工
技術を溝形状を形成するための電子又はレーザ光を用い
て代替しもてよい。
The example of such a mirror arrangement proves to be extremely advantageous if there is a requirement to improve the positioning accuracy of the substrate during its movement starting from a controlled set pressure of the gas. Symmetrical air movement starting from the center of the roller results in improved positioning accuracy of the substrate with respect to the roller. In this case, a lateral effect of smoothing on the substrate sheet is also observed, which is highly desirable for certain materials and thin sheet thicknesses. To produce this type of shape, it is advantageous to use etching techniques using photoresist shapes, and it is also possible to vary the groove depth using special techniques. Of course, in this case, the beam processing technique described above may be replaced by electron or laser light for forming the groove shape.

第8図は外周溝20のあるローラ19の表面構造を表わ
す。この場合ローラ端部の方向への空気の移動は生じな
い。しかし溝を適性に寸法ダ決めすれば基板と溝20間
の材料との連続的接触を保証することができる。
FIG. 8 shows the surface structure of the roller 19 with the outer circumferential groove 20. In this case no air movement occurs in the direction of the roller ends. However, proper dimensioning of the grooves can ensure continuous contact between the substrate and the material between the grooves 20.

第9図は表面21に軸方向延伸満22が備えられた状況
を表わす。
FIG. 9 represents the situation in which the surface 21 is provided with an axial extension 22.

実際はこの状況はあまり理想的ではなく、幾つかの溝寸
法については、基板シートの振動が生じる。
In practice this situation is less than ideal and for some groove sizes vibrations of the substrate sheet occur.

第10図及び第11図は、表面構造が電気メッキ技術の
助けを借りてローラ又はスリーブ上に得られることを表
わしている。第10図はローラ本体又はスリーブ胴部2
3を示し、25は、ここで24で示してある位置に以前
位置にしていたホトレジスl−Im域間に成長した電気
メッキ金属デポジットを示す。
10 and 11 illustrate that the surface structure can be obtained on the roller or sleeve with the help of electroplating techniques. Figure 10 shows the roller body or sleeve body 2.
3, and 25 indicates the electroplated metal deposit grown between the photoresist l-Im areas previously located at the location shown here at 24.

第11図では、電気メッキデポジット27はローラ本体
又はスリーブ胸部26上にオーバハング28と共に形成
され、このオーバハングは29で示す位置に位置してい
たホトレジスト領域上に広がる。
In FIG. 11, an electroplated deposit 27 is formed on the roller body or sleeve chest 26 with an overhang 28 extending over the photoresist area located at 29. In FIG.

ローラ又はスリーブの表面の空気流の調整は上方成長/
゛オーバハング比の選択によって適性に勘案されること
ができる。
Adjustment of the air flow on the surface of the roller or sleeve allows upward growth/
This can be appropriately taken into account by selecting the overhang ratio.

第12図は、スリーブ30がどのようにして、上記ヨー
ロッパ特許出願第0.160,341号に記載の通りに
0−ラ32の表面の周囲に取付けられるかを示している
。この場合ローラは厚壁の中空口ーうであって、シリン
ダの両端にクランプ式に押込まれたディスク形部材37
を持つ支持軸35及び36を備えている。円板形部材3
7はシリンダの内側のカラーに看座している。シリンダ
32の端部の1つは多数の径方向開口38を備えており
、開口はシリンダの外周に口を開き、左側円板形部材3
7内に備えられた軸方向チャネル40につながっている
。各々のチャネル40はめくら端部材又は封止プラグ3
9を持つ、チャネル40の他端は支持シリンダ32の内
側スペース33と連絡している。シリンダの右側の円板
形部材37は少なくとも1個の軸方向チャネル34を持
ち、これは一方ではスペース33と連絡し、他方では結
合ニップル41と結合している。ニツプル41は図示し
ないホースを介して、これもまた図示しない普通は圧縮
空気の供給源と結合されることができる。
FIG. 12 shows how the sleeve 30 is attached around the surface of the O-La 32 as described in the aforementioned European Patent Application No. 0.160,341. In this case the rollers are thick-walled, hollow-bore disc-shaped members 37 which are clamped into the ends of the cylinder.
Support shafts 35 and 36 are provided. Disc shaped member 3
7 is seated on the collar inside the cylinder. One of the ends of the cylinder 32 is provided with a number of radial openings 38 which open into the outer periphery of the cylinder and which open into the left disc-shaped member 3.
It connects to an axial channel 40 provided within 7. Each channel 40 has a blind end member or sealing plug 3
9, the other end of the channel 40 communicates with the inner space 33 of the support cylinder 32. The right-hand disk-shaped member 37 of the cylinder has at least one axial channel 34, which communicates with the space 33 on the one hand and with a coupling nipple 41 on the other hand. The nipple 41 can be connected via a hose (not shown) to a source of compressed air, which is also not shown.

ローラ32上にスリーブ30を取付けるため、シリンダ
32の一番外側の断面は面取りされ、その結果スリーブ
30は開口38まで面取り部分上まで押込まれることか
できる。こうして加圧媒体は結合41及びチャネル34
を介してスペース33に送り込まれ、スリーブ30が弾
性的に引き延ばされ、その結果、支シワ 持神ンダ32の上にさらに押込まれることができるよう
になっている。この結合では、加圧媒体はスリーブ30
をある程度膨張させる機能と、同時に支持シリンダ上に
スリーブを押込むときの潤滑剤の役割との2重の機能を
持つ。
To mount the sleeve 30 on the roller 32, the outermost section of the cylinder 32 is chamfered so that the sleeve 30 can be pushed over the chamfer to the opening 38. The pressurized medium is thus transferred to the coupling 41 and the channel 34.
into the space 33 , the sleeve 30 is elastically stretched so that it can be pushed further onto the support wrinkle holder 32 . In this connection, the pressurized medium is transferred to the sleeve 30
It has the dual function of expanding the sleeve to some extent and at the same time acting as a lubricant when pushing the sleeve onto the support cylinder.

押込み作業が完了すると、加圧媒体の供給源への結合が
破れ、この媒体が外へ洩れ出し、その後スリーブ30は
クランプ式に支持シリンダ32上に位置する。第12図
では、支持シリンダ32の表面上の破線、シリンダの外
側がこの種のシリンダの表面に理想的な耐摩耗性を供給
するためのクロムメッキの薄いカバーで覆われているこ
とを示し、その結果、繰返し使用が可能となる。本発明
ローラ又はスリーブについては一般に高度の耐摩耗性が
目的とされ、一方ではポリテトラフルオルエチレンのよ
うな低m擦係数の耐摩耗性材料を用いることによって達
成できることが指摘され、他方では耐摩耗性材料は高硬
度で用いられることもできる。
When the pushing operation is completed, the connection to the source of pressurized medium is broken and this medium leaks out, after which the sleeve 30 is placed in a clamping manner on the support cylinder 32. In FIG. 12, the dashed line on the surface of the support cylinder 32 indicates that the outside of the cylinder is covered with a thin cover of chrome plating to provide ideal wear resistance for the surface of this type of cylinder; As a result, repeated use becomes possible. For the rollers or sleeves of the invention, a high degree of abrasion resistance is generally aimed, and it has been pointed out that this can be achieved on the one hand by using abrasion resistant materials with a low coefficient of friction, such as polytetrafluoroethylene, and on the other hand, Abradable materials can also be used with high hardness.

イオン注入法、CVD法(化学気相蒸@)及びPVD法
(物理気相蒸看)もまた、ローラ又はスリーブの表面に
耐摩耗性を与えるために用いられてもよい。
Ion implantation, CVD (Chemical Vapor Deposition) and PVD (Physical Vapor Deposition) methods may also be used to impart wear resistance to the surface of the roller or sleeve.

上記技術を用いて付看される材料は様々であり得る。例
えば; チタニウム及びホウ素の窒化物のような窒化物 シリコン、ホウ素、タングステン及びチタニウムの炭化
物のような炭化物 石英及びガラスなどである。
The materials affixed using the above techniques can vary. For example; silicon nitrides such as titanium and boron nitrides, carbides such as boron, tungsten and titanium carbides, quartz and glass.

上記材料の中では、特に窒化チタニウムが有効である。Among the above materials, titanium nitride is particularly effective.

前記材料はスパッタリング技術によって、表面1造をも
つスリーブの表面に付着されてもよい。窒化チタニウム
はそのターゲットから直接にスバッタされても、雰囲気
を形成する窒素ガス内のチタニウムのターゲットからチ
タニウムの反応スパッタリングによって形成されてもよ
い。
The material may be applied to the surface of the sleeve with surface features by sputtering techniques. Titanium nitride may be sputtered directly from the target or may be formed by reactive sputtering of titanium from a titanium target in a nitrogen gas atmosphere.

高硬度の他の層はさらに、例えばクロミウム層又はニッ
ケルーリン層のような無電界メッキによって又は電解メ
ッキによってデポジットされてもよい。硬度については
、500゜ヴイッカースを超4一 える硬度が良好な結果を与えであろう。
Other layers of high hardness may also be deposited by electroless plating or by electrolytic plating, such as chromium layers or nickel-phosphorus layers. As for hardness, a hardness greater than 4 degrees above 500° Vickers will give good results.

第13図は、本発明ローラが端面リング間で受取られた
スリーブ52を含む状況を表わしており、このスリーブ
は閉止スリーブか又は付加表面構造を備えた穴付きのス
リーブであってもよい。端面リングはこの場合、例えば
回転スクリーンプリント機で用いられているようなステ
ンシル端面リング50である。リングの端面53, 5
4は例えばバヨネット結合の装置のステンシルヘッドで
受取られるように構成される。リングは機械内でスリー
ブ52に軸方向ストレスを及ぼすことでできる。しかし
こ卆 れは必ずしも必要ではな。端面リング50及び51はま
た共通軸上に取付けられた端面リングに代替されてもよ
い。必要があればリングは軸から離れた所からの軸方向
抑圧を得ることができる。
FIG. 13 depicts the situation in which the roller of the invention includes a sleeve 52 received between the end rings, which sleeve may be a closure sleeve or a perforated sleeve with additional surface features. The end ring is in this case a stencil end ring 50, such as is used in rotary screen printing machines, for example. Ring end face 53, 5
4 is configured to be received by a stencil head of a device with a bayonet connection, for example. The ring is formed by axially stressing the sleeve 52 in a machine. However, this is not necessarily necessary. End rings 50 and 51 may also be replaced by end rings mounted on a common axis. If necessary, the ring can provide axial compression from a distance from the axis.

上記の通り、スリーブ52内には低密度材料、例えばプ
ラスチック材料特に硬化した発泡プラスチック、あるい
は加圧ガスをローラの剛性を向上させるため充填されて
もよい。
As mentioned above, the sleeve 52 may be filled with a low density material, such as a plastic material, particularly a hardened foamed plastic, or a pressurized gas to increase the stiffness of the roller.

第14図は、スリーブ52が回転スクリーンプリントス
テンシルのような穴あきスリーブである状況を表わして
いる。この場合軸56はラビリンス57を支え、スリー
ブの長さ全体に予め定められた空気圧輪郭を達或する。
FIG. 14 depicts the situation where sleeve 52 is a perforated sleeve such as a rotating screen print stencil. In this case the shaft 56 supports a labyrinth 57 and achieves a predetermined pneumatic contour over the length of the sleeve.

ラビリンス隔壁部分のスペースを変え、ガス供給及び/
又は除去開口を適性に配列することによって超過圧及び
/又は低圧部分を含む適性な軸方向輪郭が設定される。
Changing the space of the labyrinth partition wall, gas supply and/or
Alternatively, by suitably arranging the removal openings, a suitable axial profile including overpressure and/or underpressure sections is established.

低圧はウエア運搬速度が高くウエア張力が低い場合に好
ましく、ある程度の超過圧はウエブ速度が低く、ウエア
張力が高い場合に有効である。
Lower pressures are preferred at high wear transport speeds and low wear tensions, while some overpressures are useful at low web speeds and high wear tensions.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図〜第4図はローラの表面構造の多数のあり得べき
形態を表す概略的な部分断面図及び平面図、第5図はロ
ーラの表面構造の特殊な形状の構成部分を表す説明図、
第6図及び第7図はローラの端部へのガス除去に役立つ
表面構造の特殊形態出金属によって得られる表面構造を
表す説明図、第12図は支持シリンダの表面の周りに円
筒形金属シームレススリーブを取付ける原理図、第13
図及び第14図は支持されていないスリーブを用いた実
施例の説明図である。 3,S,6.9・・・・・・表面構造、3o・・・・・
・スリーブ、32・・・・・・支持シリンダ、35,3
6.37・・・・・・車軸手段、50.51・・・・・
・フランジ、52・・・・・・金属シームレススリーブ
。 ミニミ7−.j0 ミ=■て・41
Figures 1 to 4 are schematic partial sectional views and plan views showing many possible forms of the surface structure of the roller, and Figure 5 is an explanatory diagram showing constituent parts of the special shape of the surface structure of the roller. ,
Figures 6 and 7 are illustrations representing the surface structure obtained by specially formed metal with a surface structure that helps gas removal to the end of the roller, and Figure 12 shows a cylindrical metal seamless pattern around the surface of the support cylinder. Principle diagram for installing the sleeve, No. 13
Figures 1 and 14 are illustrations of an embodiment using an unsupported sleeve. 3, S, 6.9...Surface structure, 3o...
・Sleeve, 32... Support cylinder, 35, 3
6.37...Axle means, 50.51...
・Flange, 52...Metal seamless sleeve. Minimi 7-. j0 Mi=■te・41

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基板処理装置において、可動ウェブ形基板の案内
及び/又は支持に使用するローラであつて、基板と接触
する前記ローラの表面が表面構造を備えており、その結
果所定量のガスが表面構造に接触する基板とローラとの
間に封入されており、構造は前記容量のガスが基板の使
用運搬速度に基本的に同じままで残るような形を与えら
れており、ローラが、基板と接触するその表面に金属の
シームレススリーブを含んでおり、スリーブの表面に表
面構造が備えられていることを特徴とするローラ。
(1) In a substrate processing apparatus, a roller used for guiding and/or supporting a movable web-type substrate, the surface of the roller that comes into contact with the substrate is provided with a surface structure, so that a predetermined amount of gas is applied to the surface. enclosed between the substrate and the roller in contact with the structure, the structure being shaped such that said volume of gas remains essentially the same at the used conveying speed of the substrate; A roller characterized in that its contacting surface comprises a seamless sleeve of metal, the surface of the sleeve being provided with a surface structure.
(2)スリーブが、150〜500マイクロメートル、
特に150〜250マイクロメートルの厚さを持つシー
ムレスニッケルスリーブであることを特徴とする請求項
1に記載のローラ。
(2) The sleeve is 150 to 500 micrometers,
Roller according to claim 1, characterized in that it is a seamless nickel sleeve, in particular with a thickness of 150 to 250 micrometers.
(3)表面構造が耐摩耗性の高い頂部層を備えているこ
とを特徴とする請求項1又は2に記載のローラ。
(3) The roller according to claim 1 or 2, characterized in that the surface structure includes a top layer with high wear resistance.
(4)頂部層が以下のもの、即ち −チタン又はホウ素の窒化物のような窒化物−シリコン
、ホウ素、タングステン及びチタンの炭化物のような炭
化物 −ガラス及び石英 から選ばれた耐摩耗性材料を含んでいることを特徴とす
る請求項3に記載のローラ。
(4) The top layer is made of a wear-resistant material selected from: - nitrides such as nitrides of titanium or boron - carbides such as carbides of silicon, boron, tungsten and titanium - glass and quartz. 4. A roller according to claim 3, further comprising a roller.
(5)頂部層が、ニッケル−リン層又はクロム層のよう
な耐摩耗性と硬度の高い金属層を含んでいることを特徴
とする請求項3に記載のローラ。
5. The roller of claim 3, wherein the top layer includes a highly wear-resistant and hard metal layer, such as a nickel-phosphorous layer or a chromium layer.
(6)頂部層がポリテトラフルオルエチレンの層を含む
ことを特徴とする請求項3に記載のローラ。
6. The roller of claim 3, wherein the top layer includes a layer of polytetrafluoroethylene.
(7)スリーブが2つの固定端面リング又はフランジ間
に取付けられていることを特徴とする請求項1から6の
いずれか一項に記載のローラ。
(7) A roller according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the sleeve is attached between two fixed end rings or flanges.
(8)スリーブが穴を備えたスリーブであることを特徴
とする請求項7に記載のローラ。
(8) The roller according to claim 7, wherein the sleeve is a sleeve provided with holes.
(9)所定の空気圧形式を軸方向に設定するための手段
がスリーブ内に設けられていることを特徴とする請求項
7又は8に記載のローラ。
(9) A roller according to claim 7 or 8, characterized in that means are provided in the sleeve for axially setting a predetermined pneumatic type.
(10)ローラが、スリーブの内側に低密度の材料を満
たすことによつて剛性を与えられていることを特徴とす
る請求項7に記載のローラ。
10. The roller of claim 7, wherein the roller is stiffened by filling the inside of the sleeve with a low density material.
(11)スリーブが、硬化した発泡プラスチック及び加
圧ガスから選ばれた材料で充填されていることを特徴と
する請求項10に記載のローラ。
11. The roller of claim 10, wherein the sleeve is filled with a material selected from cured foamed plastic and pressurized gas.
(12)スリーブが、軸手段を備えた支持シリンダによ
つてクランプ式に支持されていることを特徴とする請求
項1から6のいずれか一項に記載のローラ。
(12) A roller according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the sleeve is supported in a clamping manner by a support cylinder provided with shaft means.
(13)基板処理装置において、可動ウェブ形基板の案
内及び/又は支持に使用するローラであつて、基板と接
触する前記ローラの表面が表面構造を備えており、その
結果所定量のガスが表面構造に接触する基板とローラと
の間に封入されており、構造は前記容量のガスが基板の
使用運搬速度で基本的に同じままで残るような形を与え
られており、ローラが中実又は厚壁の金属ローラであり
、さらに表面構造が耐摩耗性の高い頂部層を備えている
ことを特徴とするローラ。
(13) A roller used for guiding and/or supporting a movable web-shaped substrate in a substrate processing apparatus, wherein the surface of the roller that comes into contact with the substrate is provided with a surface structure, so that a predetermined amount of gas is applied to the surface. enclosed between the substrate and the roller in contact with the structure, the structure being shaped such that said volume of gas remains essentially the same at the used transport speed of the substrate, and the roller being solid or A thick-walled metal roller characterized in that the surface structure further comprises a top layer with high wear resistance.
(14)頂部層が以下のもの、即ち −チタン又はホウ素の窒化物のような窒化物−シリコン
、ホウ素、タングステン及びチタニウムの炭化物のよう
な炭化物 −ガラス及び石英 から選ばれた耐摩耗性材料を含むことを特徴とする請求
項13に記載のローラ。
(14) The top layer is made of a wear-resistant material selected from: - nitrides such as titanium or boron nitrides - carbides such as silicon, boron, tungsten and titanium carbides - glass and quartz. 14. A roller according to claim 13, characterized in that it comprises a roller.
(15)頂部層が、ニッケル−リン層又はクロム層のよ
うな耐摩耗性と硬度の高い金属の層を含むことを特徴と
する請求項13に記載のローラ。
15. The roller of claim 13, wherein the top layer includes a layer of a highly wear-resistant and hard metal, such as a nickel-phosphorous layer or a chromium layer.
(16)頂部層がポリテトラフルオルエチレンの層を含
むことを特徴とする請求項13に記載のローラ。
16. The roller of claim 13, wherein the top layer includes a layer of polytetrafluoroethylene.
(17)可動ウェブ形基板を処理するための装置であっ
て、1つ又はそれ以上の基板処理装置、基板移動手段及
び1つ又はそれ以上の基板支持ローラを含んでおり、基
板支持ローラが請求項1から16のいずれか一項に記載
の形状を持っていることを特徴とする装置。
(17) An apparatus for processing a movable web-shaped substrate, comprising one or more substrate processing devices, a substrate moving means, and one or more substrate support rollers, the substrate support rollers being 17. A device having the shape according to any one of items 1 to 16.
JP2139547A 1989-05-29 1990-05-29 Device equipped with one or more of supporting or guiding roller and this type of roller Pending JPH0323147A (en)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8901349A NL8901349A (en) 1989-05-29 1989-05-29 Web guide roller - has surface structure providing pockets for air cushion prevention in exchangeable seamless metal sleeve
NL8901349 1989-05-29
NL9000870 1990-04-12
NL9000870A NL9000870A (en) 1989-05-29 1990-04-12 SUPPORT OR GUIDE ROLLERS AND APPARATUS EQUIPPED WITH ONE OR MORE OF SUCH ROLLERS.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0323147A true JPH0323147A (en) 1991-01-31

Family

ID=26646534

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2139547A Pending JPH0323147A (en) 1989-05-29 1990-05-29 Device equipped with one or more of supporting or guiding roller and this type of roller

Country Status (11)

Country Link
EP (1) EP0401886B1 (en)
JP (1) JPH0323147A (en)
KR (1) KR900017886A (en)
AR (1) AR245076A1 (en)
AU (1) AU636888B2 (en)
BR (1) BR9002523A (en)
CA (1) CA2017142A1 (en)
DE (1) DE69003454T2 (en)
FI (1) FI902403A0 (en)
NL (1) NL9000870A (en)
NO (1) NO902277L (en)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69131515T2 (en) * 1990-04-17 2000-04-13 Canon K.K., Tokio/Tokyo Guide part and device for its use
US5229813A (en) * 1991-08-30 1993-07-20 Xerox Corporation Composite backup roller assembly
DE69222269T2 (en) * 1991-12-04 1998-02-12 Canon Kk Guide and device using it
JP3301449B2 (en) * 1992-12-14 2002-07-15 日本たばこ産業株式会社 Rod material hopper device
JPH06179555A (en) * 1992-12-14 1994-06-28 Japan Tobacco Inc Traveling direction changing device of strip-shaped material
US5520601A (en) * 1995-03-13 1996-05-28 Eastman Kodak Company Ceramic rollers for conveyance of photographic films and paper polymeric webs
US6447179B1 (en) 1997-03-24 2002-09-10 Fuji Photo Film Co., Ltd. Conveying roller for photosensitive material and method of producing the same
EP0867393B8 (en) * 1997-03-24 2003-08-20 Fuji Photo Film Co., Ltd. Conveying roller for photosensitive material and method of producing the same
DE19940607A1 (en) * 1999-08-27 2001-04-05 Kuesters Eduard Maschf Process for producing a thin-walled tube and device suitable therefor
JP4811869B2 (en) * 2005-12-08 2011-11-09 シンジーテック株式会社 Anti-squealing roll
DE202009012298U1 (en) * 2009-09-11 2009-11-19 Voith Patent Gmbh guide roll
DE102010000211A1 (en) * 2010-01-26 2011-07-28 Atotech Deutschland GmbH, 90537 Device for transporting plate-shaped substrates in a system for chemical and / or electrochemical treatment
KR20140107256A (en) * 2011-12-27 2014-09-04 도레이 카부시키가이샤 Manufacturing device and manufacturing method for microporous plastic film roll
DE202016009195U1 (en) 2016-02-15 2023-12-04 Ahauser Gummiwalzen Lammers Gmbh & Co. Kg Composite roller with cavity
DE102016102567B4 (en) * 2016-02-15 2024-05-16 Ahauser Gummiwalzen Lammers Gmbh & Co. Kg Composite roller and use of the composite roller
CN113881914A (en) * 2021-09-28 2022-01-04 德清创智科技股份有限公司 Coating process of high-friction transition guide roller
DE102022118390A1 (en) 2022-07-22 2024-01-25 Manroland Goss Web Systems Gmbh Additively manufactured guide roller

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4894633A (en) * 1972-03-16 1973-12-05
JPS60359B2 (en) * 1975-05-23 1985-01-07 三井化学株式会社 Method for manufacturing titanium composite
JPS6042537A (en) * 1984-07-02 1985-03-06 Hitachi Ltd Control circuit of air conditioner
JPS62285839A (en) * 1986-06-02 1987-12-11 Japan Gore Tex Inc Resilient roll with good release property
JPS63119217A (en) * 1987-07-11 1988-05-23 株式会社村田製作所 Automatic manufacturing system of chip electronic parts assembly
JPS63252845A (en) * 1987-04-08 1988-10-19 Hitachi Ltd Antistatic roller and manufacture thereof
JPS6356149B2 (en) * 1983-07-27 1988-11-07 Canon Kk

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1394684A (en) * 1920-09-22 1921-10-25 Matsuo Kenji Glass roll
US3405884A (en) * 1964-02-03 1968-10-15 Beloit Corp Boundary layer eliminator
FR1412270A (en) * 1964-02-03 1965-09-24 Beloit Eastern Corp boundary layer eliminator
US3942230A (en) * 1974-03-05 1976-03-09 Plasma Coatings, Inc. Composite metallic roll with release surface and method of making same
NL178443C (en) * 1975-12-02 1986-03-17 Brugman Machinefabriek Bv GUIDE ROLLER.
DE2916505A1 (en) * 1979-04-24 1980-10-30 Heidelberger Druckmasch Ag ARCHING FILM AS A LIFT FOR COUNTERPRESSURE CYLINDERS
DE3023246A1 (en) * 1979-07-02 1981-01-08 Polygraph Leipzig Printing press guide cylinder sleeve - has homogeneous layers of different materials bonded together to form outer layer
DE3302843C2 (en) * 1983-01-28 1985-08-08 Walter Wetzel GmbH, 7889 Grenzach-Wyhlen Guide or deflection roller for foils
CH669584A5 (en) * 1986-07-21 1989-03-31 Grapha Holding Ag

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4894633A (en) * 1972-03-16 1973-12-05
JPS60359B2 (en) * 1975-05-23 1985-01-07 三井化学株式会社 Method for manufacturing titanium composite
JPS6356149B2 (en) * 1983-07-27 1988-11-07 Canon Kk
JPS6042537A (en) * 1984-07-02 1985-03-06 Hitachi Ltd Control circuit of air conditioner
JPS62285839A (en) * 1986-06-02 1987-12-11 Japan Gore Tex Inc Resilient roll with good release property
JPS63252845A (en) * 1987-04-08 1988-10-19 Hitachi Ltd Antistatic roller and manufacture thereof
JPS63119217A (en) * 1987-07-11 1988-05-23 株式会社村田製作所 Automatic manufacturing system of chip electronic parts assembly

Also Published As

Publication number Publication date
AR245076A1 (en) 1993-12-30
CA2017142A1 (en) 1990-11-29
KR900017886A (en) 1990-12-20
EP0401886B1 (en) 1993-09-22
FI902403A0 (en) 1990-05-14
DE69003454T2 (en) 1994-04-14
NL9000870A (en) 1990-12-17
NO902277D0 (en) 1990-05-23
EP0401886A1 (en) 1990-12-12
NO902277L (en) 1990-11-30
BR9002523A (en) 1991-08-13
DE69003454D1 (en) 1993-10-28
AU5591090A (en) 1990-11-29
AU636888B2 (en) 1993-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0323147A (en) Device equipped with one or more of supporting or guiding roller and this type of roller
US4566938A (en) Transfer roll with ceramic-fluorocarbon coating containing cylindrical ink holes with round, beveled entrances
JP3133694B2 (en) Sleeve for liquid transfer roll
US5282419A (en) Ink roller
US4914796A (en) Process for manufacturing nickel coated shot blasted web conveying roller
US5245923A (en) Printing press with movable printing blanket
US4793041A (en) Transfer roll with ceramic-fluorocarbon coating containing cylindrical ink holes with round, beveled entrances
US5133125A (en) Method for the manufacture of a roller, and roller thus obtained
TW298574B (en)
EP0376127B1 (en) Drilled unported vacuum drum with a porous sleeve
FI66445C (en) BELAGD VALS FOER FRAMSTAELLNING AV PAPPER
EP0160341B1 (en) Method and apparatus for the manufacture of a screen roller
EP0180620B1 (en) Rotary screen printing apparatus
AU2008338303A1 (en) Apparatus and method for grinding work rollers
US4977656A (en) Nickel coated shot blasted web conveying roller
EP1515185B1 (en) Manufacturing method of roller of film or tape handling machine
US5400630A (en) Method for producing regenerated cylinder, method for producing regenerated electrophotography photosensitive drum employing the method, and bulging apparatus for the methods
GB2072715A (en) Open-end spinning device
US5188030A (en) Inking roller for a lithographic printing machine
JP2004141708A (en) Coating apparatus for outer peripheral surface of columnar structure and coating method of outer peripheral surface of columnar structure
US6742453B1 (en) Printing sleeves and methods for producing same
US20030165631A1 (en) Coating apparatus and coated-paper manufacturing method
JP2018008387A (en) Blanket for offset printing and offset printing device
NL8901349A (en) Web guide roller - has surface structure providing pockets for air cushion prevention in exchangeable seamless metal sleeve
US20040144304A1 (en) Rod for coating machine and method for producing the same