KR900007127A - Multi-variate conveying method and device - Google Patents

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KR900007127A KR1019890015085A KR890015085A KR900007127A KR 900007127 A KR900007127 A KR 900007127A KR 1019890015085 A KR1019890015085 A KR 1019890015085A KR 890015085 A KR890015085 A KR 890015085A KR 900007127 A KR900007127 A KR 900007127A
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사다오 시모가시로
다께마사 이와사끼
히로유끼 가와지
도요히데 하마다
미노루 이께다
히로시 기꾸찌
요시오 마쯔모또
히로또 나까모또
기요시 나까가와
다까오 가와나베
슈이찌 하나시마
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미다 가쓰시게
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Abstract

내용 없음No content

Description

다품종 반송방법 및 장치Multi-variate conveying method and device

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음Since this is an open matter, no full text was included.

제1도는 본 발명에 의한 다품종 반송장치의 1실시예를 도시한 전체 구성도.1 is an overall configuration diagram showing an embodiment of a multi-variate conveying apparatus according to the present invention.

제2도는 제1도에서의 웨이퍼 수수유니트의 구성도.2 is a block diagram of a wafer handing unit in FIG.

제3도는 제2도의 화살표 A의 사시도.3 is a perspective view of arrow A of FIG.

Claims (36)

여러종류의 워크를 처리하는 여러개의 처리수단, 상기 여러 종류의 워크를 반송하는 반송수단, 상기 반송수단과, 상기 처리수단사이에서 워크를 수수하는 이동탑재수단으로 구성되며, 상기 반송수단은 상기 여러개의 처리수단사이에서 다종류의 워크를 동시에 반송하고, 상기 이동탑재수단의 소정의 위치로 워크가 있을때에 상기 이동탑재수단이 상기 반송수단과의 사이에서 바라는 종류의 워크를 인식해서 수수하는 다품종 반송방법.And a plurality of processing means for processing various kinds of workpieces, a conveying means for conveying the various kinds of workpieces, the conveying means, and a mobile mounting means for receiving the workpieces between the processing means. Multiple types of workpieces are simultaneously transported between the processing means, and when the workpiece is located at a predetermined position of the mobile mounting means, the mobile mounting means recognizes and accepts the type of workpiece desired by the transfer means. Way. 다종류의 워크를 동시에 탑재해서 여러개의 처리수단사이를 주행하고, 상기 처리수단에 대응되어 마련한 워크의 이동탑재수단의 소정의 위치로 반송하는 반송수단, 상기 반송수단사이에서 바라는 종류의 워크를 인식해서 수수하는 이동탑재수단을 포함하는 다품종 반송장치.Recognizing the desired kind of work between the conveying means and the conveying means, which are equipped with various kinds of workpieces at the same time and travel between a plurality of processing means and convey them to a predetermined position of the moving mounting means of the work prepared corresponding to the processing means. Multi-type conveying device comprising a mobile mounting means for receiving. 여러종류의 워크를 처리하는 처리수단사이에서 워크를 반송하는 반송 시스템으로써, 이동원과 이동지를 나타낸 이동지시에 따라서 이동시킨 워크의 물리적 위치를 확인하는 트래킹수단, 임의의 탑재수단의 장소에서 바라는 워크를 이동탑재하고 있는 동안 정지하고, 다품종의 워크를 동시에 반송하는 반송수단, 상기 반송수단사이, 반송수단과 처리수단사이 및 처리수단사이에서 필요에 따라서 워크를 보관하고, 워크를 주고 받는 이동탑재수단을 포함하는 다품종 반송장치.A conveying system for conveying a workpiece between processing means for processing various kinds of workpieces, comprising: a tracking means for confirming the physical position of the workpiece moved according to a movement instruction indicating a moving source and a moving place, and a workpiece desired at a place of an arbitrary mounting means. A moving means, which stops while being mounted on a mobile station, stores a work as necessary and exchanges work between the conveying means for conveying a variety of workpieces at the same time, between the conveying means, between the conveying means and the processing means, and between the processing means. Multi-type conveying device including. 다품종의 워크를 동시에 반송하는 반송 시스템으로써 워크를 처리하는 처리수단, 상기 처리수단사이에서 워크의 진행순서 및 진행속도를 제어하는 보관수단, 상기 보관수단사이를 반송하는 반송수단, 상기 반송수단, 보관수단사이, 보관수단, 처리수단 사이의 이동탑재를 실행하는 이동탑재수단, 이동원과 이동지를 나타낸 이동지시에 따라서 이동시킨 워크의 물리적 위치를 확인하는 트래킹수단을 포함하는 다품종 반송장치.As a conveying system for conveying multiple kinds of workpieces at the same time, the processing means for processing the work, the storage means for controlling the progress and speed of the work between the processing means, the conveying means for conveying between the storage means, the conveying means, storage And a tracking means for checking the physical position of the workpiece moved between the means, the storage means and the moving means for carrying the moving means between the processing means and the moving instruction indicative of the moving source and the moving place. 다품종의 워크를 동시에 생산하는 생산 시스템으로써, 워크를 처리하는 처리수단에 여러종류의 워크를 투입하는 이동탑재수단, 상기 이동탑재수단에 여러종류의 워크를 다른 이동탑재수단에서 공급하는 반송수단에 의해 어떤 종류의 워크를 처리하는 것이 지시된 처리수단이 지시에 따라 다종류의 워크를 처리하는 다품종 반송방법.A production system for producing a variety of workpieces at the same time, comprising: a mobile mounting means for inputting several kinds of workpieces into a processing means for processing the workpieces; and a conveying means for supplying several kinds of workpieces to the mobile mounting means from other mobile mounting means. A multi-variate conveying method in which the processing means instructed to process a certain kind of work processes the various kinds of work according to the instruction. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 반송수단으로써 다종류의 워크를 그 종류와는 관계없이 탑재하고, 탑재하고 있는 워크의 종류를 기억하는 반송수단을 사용하는 다품종 반송장치.The multi-variate conveyance apparatus of Claim 2 which uses a conveyance means which mounts a various kind of workpiece as said conveyance means irrespective of the kind, and memorize | stores the kind of the workpiece mounted. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 반송수단으로써 워크를 탑재한 탑재수단이 폐루프의 궤도상을 주행하는 반송수단을 이용하는 다품종 반송장치.The multi-type conveyance apparatus of Claim 2 using the conveyance means which the mounting means which mounts the workpiece | work as said conveyance means runs on the track | orbit of a closed loop. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 반송수단으로써 천정에 마련된 격자형상의 궤도에 따라서 주행하는 워크의 탑재수단으로 구성된 반송수단을 이용하는 다품종 반송장치.The multi-type conveyance apparatus of Claim 2 using the conveyance means comprised by the mounting means of the workpiece | work which travels along the grid | lattice track | orbit provided in the ceiling as said conveyance means. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 반송수단으로써 필요에 따라서 특정한 궤도밖에서 반송작업을 하는 반송수단을 마련한 다품종 반송장치.The multi-variate conveying apparatus of Claim 2 provided with the conveying means which carries out a conveyance operation | work outside a specific track as needed as the said conveying means. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 반송수단에 워크를 보관하는 기능을 마련해서 워크의 진행순서 및 진행속도를 제어하는 다품종 반송장치.The multi-type conveyance apparatus of Claim 2 which provides the function of hold | maintaining a workpiece | work in the said conveying means, and controls the advancing order and advancing speed of a workpiece | work. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 반송수단에서 워크를 탑재하고 있는 탑재수단이 탑재하고 있는 워크에 의해 주행하는 궤도를 임의로 선택하는 반송수단을 이용하는 다품종 반송장치.The multi-variate conveyance apparatus of Claim 2 using conveyance means which arbitrarily selects the track | orbit which runs with the workpiece | work mounted by the mounting means which mounts the workpiece | work in the said conveyance means. 특허청구의 범위 제7항에 있어서, 워크를 탑재해서 폐루프의 궤도상을 주행하는 반송수단에서 워크를 보관하는 기능과 워크를 이동탑재하는 기능을 구비한 반송수단을 이용하는 다품종 반송장치.The multi-type conveyance apparatus of Claim 7 which uses the conveyance means with the function of hold | maintaining a workpiece | work and the function of carrying a workpiece | work in the conveyance means which mounts a workpiece | work and runs on the track | orbit of a closed loop. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 워크의 수수방법이 다른 처리수단을 구비한 생산 시스템에서 특정한 반송수단과 개개의 처리수단사이에서 워크를 주고받는 이동탑재수단을 사용한 다품종 반송장치.The multi-type conveyance apparatus of Claim 2 using the mobile mounting means which transfer a workpiece | work between a specific conveying means and individual processing means in the production system provided with the processing means in which the workpiece delivery method differs. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 모든처리수단에 마련된 이동탑재수단에서 워크를 보관하는 기능을 마련해서 워크의 진행순서 및 진행 속도를 제어하는 다품종 반송장치.The multi-type conveyance apparatus of Claim 2 which controls the progress of a workpiece | work and the speed | rate of a workpiece | work by providing the function of storing a workpiece | work in the mobile mounting means provided in all the processing means. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 반송수단에서 워크를 유지해서 청정한 분위기로 밀폐하고, 또한 이동탑재수단에서 워크가 접촉하는 공간에 대해서 청정한 분위기를 항상 공급하는 것에 의해 청정한 분위기를 최소로 제어하는 다품종 반송장치.The method according to claim 2, wherein the work is held in the conveying means and sealed in a clean atmosphere, and the clean atmosphere is controlled to a minimum by always supplying a clean atmosphere to the space in which the work is in contact with the moving means. Multi-variate conveying device. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 워크를 그 지그에 수납해서 반송하는 생산 시스템에서 이동탑재수단이 워크를 지그에 수납한채로 처리수단에 주고받는 다품종 반송장치.The multi-variate conveying apparatus of Claim 2 which a mobile mounting means transfers a workpiece to a processing means with the workpiece accommodated in a jig in the production system which accommodates and conveys a workpiece | work in the jig. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 이동탑재수단에서 여러개의 워크를 동시에 수수하는 다품종 반송장치.The multi-type conveyance apparatus of Claim 2 which receives several workpiece | work simultaneously at the said mobile mounting means. 특허청구의 범위 제3항에 있어서, 상기 트래킹수단에서 각각의 워크에 워크의 식별코드를 기재하고, 그 식별코드로 각각의 워크를 인식하는 다품종 반송장치.The multi-variate conveyance apparatus of Claim 3 which writes the identification code of a workpiece | work in each workpiece | work in the said tracking means, and recognizes each workpiece | work by the identification code. 특허청구의 범위 제3항에 있어서, 상기 트래킹수단에서 처리수단, 반송수단 및 수수수단에 의한 각각의 트래킹을 종합하는 것에 의해 워크의 트래킹을 실행하는 다품종 반송장치.The multi-variate product conveyance apparatus of Claim 3 which tracks a workpiece | work by combining each tracking by a processing means, a conveying means, and a receiving means in the said tracking means. 특허청구의 범위 제3항에 있어서, 상기 트래킹수단에서 워크가 통과하는 어떤 지점에서 워크가 그 지점을 통과한 것을 나타내는 식별코드를 워크에 기재하고, 그것을 식별하는 것에 의해 워크의 트래킹을 실행하는 다품종 반송장치.The product of claim 3, wherein the tracking means writes an identification code indicating that the workpiece has passed through the point at a point where the workpiece passes, and tracks the workpiece by identifying the workpiece. Conveying device. 여러종류의 웨이퍼를 처리하는 여러개의 처리장치, 웨이퍼를 탑재하고, 트랙형상의 반송레일에서 처리설비 사이를 반송하는 반송차, 상기 반송차와 상기 처리장치 사이에서 웨이퍼의 이동탑재를 실행하는 이동탑재장치, 웨이퍼를 1매씩 품종그룹, 공정마다 일시보관하는 보관선반, 웨이퍼의 웨이퍼넘버를 식별하는 식별장치를 가지며, 또한 상기 이동탑재장치와 보관선반 및 식별 장치를 각 처리장치에 대응해서 웨이퍼 수수를 위한 유니트 구성으로 한 다품종 반송장치.Several processing apparatuses for processing various types of wafers, a transfer vehicle on which wafers are mounted, and a transfer vehicle for transferring between processing equipments in a track-shaped conveyance rail, and a mobile mounting apparatus for carrying wafers between the conveying vehicle and the processing apparatus. Apparatus, a storage shelf for temporarily storing wafers one by one, a storage shelf for temporarily storing each process, and an identification device for identifying wafer numbers of wafers, and the mobile loading device, storage shelf, and identification device correspond to each processing device. Multi-variate conveying device with unit configuration. 특허청구의 범위 제21항에 있어서, 상기 웨이퍼수수를 위한 유니트는 다른 처리장치 사이에서 통일된 공통 인터페이스 유니트로써 구성되는 다품종 반송장치.23. The multi-variate conveying apparatus of claim 21, wherein the unit for wafer passing is configured as a common interface unit united between different processing apparatuses. 특허청구의 범위 제21항에 있어서, 상기 웨이퍼 수수를 위한 유니트는 상기 반송차와 상기 처리장치 사이에서 웨이퍼를 주고받을때에 웨이퍼에 접한 분위기를 다른 분위기와 분리하여 높은 청정도를 유지하도록 구성된 다품종 반송장치.22. The multi-variate conveyance of claim 21, wherein the unit for wafer delivery is configured to maintain high cleanliness by separating the atmosphere in contact with the wafer from other atmospheres when the wafer is exchanged between the transport vehicle and the processing apparatus. Device. 특허청구의 범위 제21항에 있어서, 상기 보관선반에 대응해서 품종별의 공정순서와 처리조건을 기억하는 수단, 여러개의 보관선반을 접속하는 통신 네트워트, 각 처리장치의 기동상태와 목록량 및 처리가 종료한 웨이퍼수와 다음 공정의 상태를 상기 기억수단과 통신 네트워크에 의해 파악하고, 각 보관선반에서 처리해야할 웨이퍼를 결정하는 제어를 실행하는 제어수단을 포함하는 다품종 반송장치.23. The scope of claim 21, further comprising: means for storing process sequences and processing conditions for each variety in correspondence with the storage shelf, a communication network for connecting several storage shelves, starting states and inventory amounts and processing of each processing apparatus. And control means for determining the number of wafers completed and the state of the next process by the storage means and the communication network, and performing control for determining the wafer to be processed in each storage shelf. 특허청구의 범위 제21항에 있어서, 상기 이동탑재장치는 상기 반송차와 보관선반사이에서 웨이퍼를 이동탑재하는 수단과 상기 보관선반과 처리장치사이에서 웨이퍼를 이동탑재하는 수단을 갖는 다품종 반송장치.22. The multi-type conveyance apparatus of claim 21, wherein the mobile mounting apparatus has a means for moving the wafer between the transport vehicle and the storage shelf and a means for moving the wafer between the storage shelf and the processing apparatus. 웨이퍼를 투입하고, 투입된 웨이퍼를 반송차에 의해서 최초의 공정에 대응한 처리장치의 곳까지 반송해서 보관선반에 일시 보관하고, 웨이퍼의 처리장치에서의 투입 요구에 따라 처리장치에 투입해서 처리하고, 처리종료 후 품종등의 데이타를 가진 웨이퍼 넘버를 식별장치에서 식별해서 보관선반에 일시 보관하고, 그후 반송차에 의해서 반송하여 일련의 처리가 종료하였는가를 체크하고, 종료하지 않은 경우는 다음의 공정으로 반송하고, 일련의 처리가 종료할때까지 반복해서 종료하면 반출하는 다품종 반송방법.The wafer is introduced, the wafer is transported to the place of the processing apparatus corresponding to the first process by the transport vehicle, and temporarily stored in the storage shelf, and put into the processing apparatus according to the demand of the wafer processing apparatus, and processed. After completion of processing, the wafer number with data such as varieties is identified by the identification device and temporarily stored in the storage shelf, and then transported by the transport vehicle to check whether a series of processing is completed. A multi-variate conveying method for returning items and returning them after repeated processing until a series of processing ends. 어떤 반도체 제조장치에서 다른 반도체 제조방치로1매 또는 여려개의 웨이퍼를 반송할때에 웨이퍼를 유지하기 위한 기구를 갖는 웨이퍼 유지장치, 상기 웨이퍼 유지장치를 카세트 수수장치에서 받아 1개 또는여러개의 카세트를 반송해서 목적으로 한 카세트 수수장치로 넘겨주는 기능을 갖는 반송차, 상기 반송차에서 넘겨받은 상기 웨이퍼 유지장치를 받아서 상기 유지장치에 수납되어 있는 웨이퍼를 크린박스내에서 인출하거나 크린박스내에서 상기 유지장치에 웨이퍼를 수납할 수 있는 상태로 하고, 또 상기 반송차에 반송용의 카세트를 넘겨주는 카세트 수수장치, 상기 유지장치와웨이퍼 보관선반사이에서 웨이퍼를 이동탑재하는 제1의 웨이퍼 이동탑재장치, 반도체 제조장치마다 마련되어 웨이퍼를 1매씩 보관하여 보관할 장소를 기억하고,또한 임의의 보관선반에서 인출시키는 웨이퍼 보관선반, 각각의 반도체 제조장치의 카세트 진잔위치와 그방향에 대응해서 웨이퍼를 웨이퍼 보관선반과 반도체 제조장치사이에서 이동탑재하는 반도체 제조장치별의 제 2 의 웨이퍼 이동탑재장치, 상기 반송차와 반도체 제조장치사이에서 웨이퍼를 주고받을때에 웨이퍼에 접하는 분위기를 다른 분위기와 분리하고 높은 청정도를 유지하기 위하여 웨이퍼를 주고 받는 것에 관한 장치를 반송차가 웨이퍼를 주고받을 수 있는 기구를 구비한 간막이로 분위기를 차단하고, 상면에 송풍용의 팬과 먼지제거용의 필터를 구비한 크린박스, 웨이퍼에 기재된 식별코드를 리드하는 리드장치, 상기 웨이퍼 보관선반에 품종별의 공정흐름과 처리조건을 기억시키고, 모든 웨이퍼 보관선반을 정보 네트 워크로 접속하여 상기 장치의 가동상태와 목록량 및 처리가 종료한 웨이퍼수, 또 다음에 웨이퍼를 처리하는 반도체 제조장치의 가동상태와 목록량에 따라 상기 보관선반에서 처리하는 웨이퍼를 결정하는 제어장치를 포함하는 다품종 반송 시스템.A wafer holding device having a mechanism for holding a wafer when transferring one or several wafers from one semiconductor manufacturing device to another semiconductor manufacturing device, wherein the wafer holding device is received by a cassette receiver and one or more cassettes are received. A transport vehicle having a function of conveying and handing over to the intended cassette receiver, the wafer holding device received from the transporting vehicle, and the wafers stored in the holding device are taken out in a clean box or held in the clean box. A cassette receiving and receiving device for placing a wafer in the apparatus and handing a cassette for conveyance to the carrier, a first wafer moving-mounting apparatus for moving the wafer between the holding device and the wafer storage shelf; It is provided for each semiconductor manufacturing apparatus and memorizes a place to store and store one wafer. Wafer storage shelf to be pulled out from the storage shelf, and the second wafer moving equipment for each semiconductor manufacturing apparatus in which the wafer is moved between the wafer storage shelf and the semiconductor manufacturing apparatus in correspondence with the position of cassette cassette remaining in each semiconductor manufacturing apparatus and its direction. Apparatus, a mechanism in which a carriage can exchange wafers for transferring wafers in order to separate the atmosphere in contact with the wafer from other atmospheres and maintain high cleanness when exchanging wafers between the carrier and the semiconductor manufacturing apparatus. A clean box is provided with a barrier to prevent the atmosphere, and a clean box having a fan for blowing air and a filter for removing dust on the upper surface thereof, a lead device for reading the identification code described on the wafer, and a process flow for each variety in the wafer storage shelf. The processing conditions are stored, and all wafer storage shelves are connected to the information network. Multi-variate conveying system including a control device for determining wafers to be processed in the storage lathe according to the operation status and inventory amount of the teeth, the number of wafers for which the processing is completed, and the operation status and inventory amount of the semiconductor manufacturing apparatus for processing wafers next time. . 여러종류의 워크를 처리하는 수단, 여러종류의 워크를 반송하는 반송수단, 상기 반송수단과 처리수단사이에서 워크를 수수하는 이동탑재 수단을 포함하는 다품종 반송시스템으로써, 상기 처리수단 사이에서 다종류의 워크를 반송하고, 상기 처리수단 사이의 탑재균형의 흡수와 상기 처리수단의 처리속도에 따라서 공급하는 워크를 보관하고, 필요에 따라 처리순서를 전환하는 공정을 포함하고, 상기 이동탑재 수단이 상기 처리수단의 규격화된 공통워크 수수기구를 가지며, 상기 반송수단에서 바라는 종류의 워크를 식별해서 수수하는 다품종 반송방법.A multi-type conveying system comprising means for processing various kinds of workpieces, conveying means for conveying various kinds of workpieces, and mobile mounting means for receiving the workpieces between the conveying means and the processing means, wherein And conveying the work, storing the work to be supplied in accordance with the absorption of the load balance between the processing means and the processing speed of the processing means, and switching the processing order as necessary, wherein the mobile mounting means performs the processing. A method for conveying a variety of varieties, having a standardized common workpiece receiving mechanism of means, wherein the workpiece of the type desired by said conveying means is identified and received. 워크를 포함하는 다종류의 반송지그가 동시에 탑재될 때 처리수단 사이에서 주행하여 상기 처리수단에 대응해서 마련된 워크 이동 탑재수단으로 상기 다종류의 반송 지그를 반송하는 반송수단, 상기 반송수단에 대해서 바라는 종류의 워크를 식별해서 상기 반송지그를 수수하는 이동탑재 수단을 포함하는 다품종 반송장치.Carrying means for traveling between processing means and conveying said conveying jig of various types to the workpiece movement mounting means provided corresponding to the said processing means, when the various kinds of conveying jig containing a workpiece | work are simultaneously mounted, a kind desired for the conveying means A multi-variate conveying apparatus comprising a mobile mounting means for receiving the conveying jig by identifying the workpiece of the workpiece. 여러종류의 워크를 처리하는 처리수단 사이에서 워크를 포함하는 지그를 반송하는 반송시스템으로써, 다종류의 워크 또는 반송지그의 반송, 처리수단사이의 탑재균형의 흡수와 필요에 따라서 순서를 전환하는 처리속도를 조정하는 보관, 처리수단의 규결화된 공통워크 수수기구와 바라는 종류의 워크의 인식을 동시에 실행하는 반송수단으로 품종을 반송하는 다품종 반송장치.As a conveying system for conveying a jig including a work among processing means for processing a plurality of work pieces, conveying a variety of work or conveying jig, the absorption of the load balance between the processing means and the processing speed for switching the order as necessary Multi-variate conveying device for conveying varieties to the conveying means for simultaneously performing the recognition of the desired type of workpiece and the normalized common work receiving mechanism of the storage, processing means to adjust the. 여러 워크를 동시에 반송하는 반송시스템으로써, 워크의 진행순서 및 진행속도를 제어해서 보관수단사이에서 반송하는 반송수단에 의해 반송을 실행하는 전처리 및 후처리용 보관수단, 상기 반송수단과 상기 보관수단 사이 및 상기 보관 수단과 상기 처리수단 사이에서 이동탑재하는 이동탑재수단, 이동탑재원과 이동탑재지를 나타내는 이동지시에 따라서 이동원 워크의 물리적인 위치를 식별하는 트래킹 수단을 포함하여 다품종을 반송하는 다품종 반송방법.A conveying system for conveying several workpieces at the same time, the preprocessing and post-processing storage means for carrying out conveyance by the conveying means which conveys the conveying means between conveying means by controlling the advancing order and advancing speed of a workpiece | work, between the conveying means and the said storing means. And moving means for moving between the storage means and the processing means, and tracking means for identifying the physical position of the moving source workpiece according to the moving instruction indicating the moving source and the moving site. . 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 반송수단으로써 반송속도에 동기해서 다종류의 워크를 이동탑재하는 반송수단을 포함하는 다품종 반송장치.The multi-type conveyance apparatus of Claim 1 containing the conveyance means which carries a various kind of workpiece | work in synchronization with a conveyance speed as said conveyance means. 특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 반송수단으로써 탑재된 워크를 갖는 탑재수단이 액체로 이루어진 폐루프궤도상을 주행하는 반송수단을 포함하는 다품종 반송장치.The multi-variate conveyance apparatus of Claim 1 in which the mounting means which has the workpiece mounted as the said conveying means includes the conveying means which travels on the closed loop track | orbit image which consists of liquids. 특허청구의 범위 제31항에 있어서, 반송시스템이 각 워크용 단일 모드에서 반송동작을 실행하는 다품종 반송방법.32. A method according to claim 31, wherein the conveying system performs a conveying operation in a single mode for each work. 특허청구의 범위 제31항에 있어서, 반송시스템이 드러난 워크의 반송동작을 실행하는 다품종 반송방법.32. A method according to claim 31, wherein a conveying operation of a workpiece having a conveying system is executed. 특허청구의 범위 제2항에 있어서, 반송수단이 순회 및 양지향성으로 워크의 진행순서 및 진행속도를 제어하기 위해서 마련되는 다품종 반송장치.The multi-variate conveying apparatus of Claim 2 provided with a conveying means for controlling the advancing order and advancing speed of a workpiece by circulation and bidirectionality. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.
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