KR890013370A - 가스 베어링부 및 그것이 제공된 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

가스 베어링부 및 그것이 제공된 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 공기베어링부(air bearing)를 갖는 공기베어링의 횡단면도이다.

제2도는 본 발명에 따른 공기베어링부의 원추면의 중심부분에 대하여 크게 확대한 도면이다.

제3도는 측정에 의거하여 베어링의 강도를 도시한 도면이다.

Claims (11)

1. 운반체(1)에 상대적으로 가스베어링(7)을 형성하도록 상기 운반체에 마주하여 배치될 수 있는 가스베어링부의 리세스된 작업면으로 통해져 있는 가스공급수단(8,4)를 구비한 가스베어링부(2)에 있어서, 상기 작업면의 조도가 10ru 이하임을 특징으로 하는 가스베어링부.
2. 제1항에 있어서, 상기 작업면의 조도가 4ru 이하임을 특징으로 하는 가스베어링부.
3. 제1항 또는 제2항중 어느 한 항에 있어서, 상기 작업면의 조도가 대략 2ru임을 특징으로 하는 가스베어링부.
4. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 작업면(6)이 반드시 원추형의 리세스 형태로 되어 있고, 상기 원추형 리세스의 끝이 상기 작업면의 중심에 반드시 위치함을 특징으로 하는 가스베어링부.
5. 제1항 내지 제4항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 가스공급수단은 적어도, 그리고 가급적이면 버트가 없고 상기 원추형 리세스에 통함을 특징으로 하는 가스베어링부.
6. 제1항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 상기 원추형 리세스의 깊이는 8-12㎛임을 특징으로 하는 가스베어링부.
7. 제6항에 있어서, 상기 원추형 리세스의 깊이는 대략 10㎛임을 특징으로 하는 가스베어링부.
8. 제1항 내지 제7항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스공급 수단의 배출구(5)는 스파킹(sparking)방식에 의하여 형성됨을 특징으로 하는 가스베어링부.
9. 제1항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스베어링부는 경금속, 바람직하게는 알루미늄 또는 그의 합금으로 제조됨을 특징으로 하는 가스베어링부.
10. 제1항 내지 제9항중에 있어서, 상기 가스베어링부는 표면강도의 향상을 위하여 소정의 후처리(post-treatment)가 행하여짐을 특징으로 하는 가스베어링부.
11. 가스베어링부(2)의 상대적인 운동을 허용케하는 하나의 가스베어링부(7)을 형성하기 위하여 소정의 운반체(1)와 마주하여 배치된 가스베어링부(2)의 표면으로 통하게끔 된 가스공급수단(4,8)을 갖는 하나의 가스베어링부(2)를 구비한 장치에 있어서, 상기 장치의 청구범위 제1항 내지 10항에 따른 하나의 가스베어링부를 구비함을 특징으로 하는 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.