KR890011017A - 슬라이싱 장치의 인고트 지지장치 - Google Patents

슬라이싱 장치의 인고트 지지장치 Download PDF

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KR890011017A
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마사오 에바시
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카루베 쇼자부로
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Abstract

내용 없음

Description

슬라이싱 장치의 인고트 지지장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 관한 슬라이싱 장치의 인고트 지지장치 개략을 나타내는 정면도.
제 2 도는 본 발명에 관한 제1실시예를 나타내는 도면으로서, 제1도의 Ⅱ-Ⅱ선에 연하는 단면도.
제 3 도는 본 발명에 관한 제2실시예를 나타내는 단면도.

Claims (8)

  1. 원주상 인고트를 원판상 웨이퍼로 절단하는, 회전하는 얇은 칼날과, 인고트의 축선과 직교하는 인고트 절단방향으로 이동하는 제1의 이동기구와, 인고트의 일단을 보지함과 동시에 인고트의 축선 방향으로 이동 자재하게 제1의 이동기구로 지지된 제2의 이동기구와, 제1의 이동기구에 설치된 얇은 칼날의 인고트 절입위치와 대략 대향하는 위치로 인고트를 당접지지는 인고트 지지장치와로 된 슬라이싱 장치.
  2. 인고트 지지장치는, 제1의 이동기구로 고착된 기대와, 이 기대로서 사각형을 형성하는 3개의 바로서 되고, 이 사각형은 인고트를 둘러싸도록 기대와 대향하는 주변의 바에 인고트 당접지지부가 형성된 청구범위 제1항의 슬라이싱 장치.
  3. 당접지지부가 형성된 바와 인접하는 일방의 바에는 신축기구가 설치됨과 동시에 당접지지부가 설치된 바는 기대와 인접하는 다른 방향의 바에 회동자재로 지지되고, 신축기구의 작동에 의해 인고트 당접지지부는 인고트의 얇은 칼날 접입위치와 대향하는 위치로 이접 가능한 청구범위 제2항의 슬라이싱 장치.
  4. 신축기구는 공기 또는 유압작동 실린더인 청구범위 제3항의 슬라이싱 장치.
  5. 인고트 지지장치는 인고트의 얇은 칼날절입위치와 대향하는 위치로 절곡하여 늘어난 암으로 구성되고, 암의 선단부에 인고트 당접지지부가 형성된 청구범위 제1항의 슬라이싱 장치.
  6. 암에 신축기구가 설치되고, 신축기구의 작동에 따라 인고트 당접지지부는 인고트의 얇은 접입위치와 대향하는 위치에 이접 가능한 청구범위 제5항의 슬라이싱 장치.
  7. 신축기구는 공기 또는 유압작동의 실린더인 청구범위 제6항의 슬라이싱 장치.
  8. 인고트 당접지지부에 압전소자를 설치하고, 압전소자의 출력변화로서 절삭저항의 변화를 감지하는 청구범위 제1항의 슬라이싱 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880016816A 1987-12-17 1988-12-17 슬라이싱 기계의 인고트 지지장치 KR930004293B1 (ko)

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