KR880007998A - 제품연부의 평탄도 편차를 측정하는 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

제품연부의 평탄도 편차를 측정하는 장치 및 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 이 발명에 따라 밀폐 연부의 평탄도 편차들을 측정하는 장치의 사시도이고, 장방형 텔레비젼 수상관편넬(funnel) 이 연부 측정을 위해 위치되어 있는 도면

제2도는 제1도의 제품 지지및 측정 테이블의 평면도

제3도는 제2도 제품 지지및 측정 테이블의 3-3선 부분 측단면도;

제5도는 제1도 측정 기구에 채용되는 광학계의 개략부분 단면도이고, 지지 테이블과 지지된 수상관 편넬과의 관계를 도시하는 도면 :

제8도는 제1도 측정 장치의 전기 시스템의 블록 다이어 그램;

Claims (71)

1. 균일한 빛의 광원 빛 검출기 상기 광원의 빛을 광학 축선을 따라 시준하는 수단 상기 광학 축선상에 중심을 두고 있어, 이격 요소들 사이로 통과되는 빛을 시준하는 상기 수단으로 부터 빛을 받는 제1렌즈 상기 제1렌즈의 뒤 촛점 평면에 있고, 상기 광학 축선상에 중심을 둔 구멍이있어, 상기 이격 요소들 사이로 통과되는 상기 광원의 빛의 각도 범위를 상기 광학 축선과 거의 평행한 광선들에 국한 시키는 펜스 상기 제1렌즈 상에 입사하여 상기 구멍에 의해 상기 검출기상으로 보내지는 빛을 집중시키는 제2렌즈 이격 요소들 사이로 통과되고 상기 검출기상에 입사하며 최대 및 강도의 적어도 절반 강도를 가지는 빛 화상의 치수를 감지하는 수단으로 구성되는 광학 축선을 가로지르는 이격 요소들의 간격을 측정하는 장치로서, 상기 검출기는 상기 제2렌즈로 부터 입사하는 화상부위들의 빛의 강도와 위치를 검출하고, 상기 구멍은, 상기 검출기상에 입사하고 경사 빛 강도 말단지역들 사이에 대략 균일한 최대 및 강도 지역을 가지는 화상을 발생시키도록 측정 방향에 따른 폭을 가지는 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 검출기는 광전 검출기이고, 상기 감지 수단은 전기 신호 감지 수단인 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 검출기는 동일 크기이고, 등간격진 광전지들의 선형 어레이 이고, 상기 감지 수단은 최대 입사광 강도의 적어도 절반의 입사광 강도를 상기 어레이 상에 나타내는 전기 신호를 발생시키는 광전지들의 수를 감지하는 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 균일한 빛의 광원은 상기 광학 축선을 포함하는 상기 이격 요소들 사이의 간격 측정 평면에 있는 직선의 좁은 대형(帶刑)인 장치.
5. 제4항에 있어서, 간격 측정 평면에 축선을 가지고, 빛 이상기 이격 요소들 사이로 통과되기 전에 상기 시준 수단에서 나오는 빛을 상기 간격 측정 평면에 직교하는 평면들에 분기시키는 제1원통형 렌즈와 ; 간격측정 평면에 축선을 가지고, 간격 측정 평면에 직교하는 평면들에 분기하여 상기 이격 요소들 사이로 통과되는 빛을 상기 제1렌즈에 대해 시준하는 제2원통형 렌즈로 구성되는 애너모픽(anamorphic)광학게를 포함하는 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 빛 검출기는 간격 측정과 일렬로 되고있고 상기 광학 축선과 수직한 광전지들의 선형 어레이이고, 간격 측정과 일치하는 축선을 가지고 상기 제2렌즈의 빛을 상기 광전지들의 선형 어레이상에 집중시키는 상기 광학 축선상의 원통형 렌즈를 포함하는 장치.
7. 제4항에 있어서, 상기 직선의 좁은 대형을 발생시키는 수단은 광원, 상기 광원의 빛을 위한 집광 렌즈, 상기 집광렌즈의 촛점 거리에 있는 확산체와, 상기 확산체와 인접하여 있는 슬릿 구멍이 간격 측정 평면으로 뻗는 일렬의 확산 빛을 통과 시키도록 배향되어 있는 펜스로 구성되는 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 광원의 빛을 시준하는 수단은 상기 렌즈와 상기 이격요소들 사이의 광학 축선상에 중심을 둔 시준 렌즈인 장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 구멍은 광학 축선과 이격 요소들의 간격선에 의해 형성된 간격 측정 평면과 수직한 슬릿인 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 슬릿 폭은 조정 가능한 장치.
11. 제3항에 있어서, 상기 선형 어레이를 반복적으로 주사하기 위하여 상기 선형 어레이의 제1주사에서 최대입사광 강도 전기 신호 값을 확인하는 수단, 입사광의 절반 강도 전기 신호 레벨을 하부 제한 한계 신호 레벨로 세팅하는 수단과, 제2주사중 적어도 상기 한계 신호 레벨이 나타내지는 상기 어레이를 따라 길이를 확인하는 수단을 포함하는 장치.
12. 제11항에 있어서, 길이를 확인하는 상기 수단에 의해 확인된 상기 길이에 상응하는 전기 신호를 발생시키는 수단을 포함하는 장치.
13. 제11항에 있어서, 이격 요소들 간격에 대해 상기어레이에 따른 길이를 측량하는 수단을 포함하는 장치.
14. 제13항에 있어서, 상기 측량된 길이를 길이 단위들로 표시하는 수단을 포함하는 장치.
15. 제11항에 있어서, 길이를 확인하는 상기 수단은 적어도 상기 한계 신호 레벨이 나타내지는 신호들을 발생시키는 광전지들의 수를 계수하는 수단인 장치.
16. 제12항에 있어서, 길이 값 신호를 기억하는 전기 신호 기억수단과, 전기 신호를 발생시키는 상기 수단에 의해 발생된 신호와 상기 기억된 신호 값에 의해 나타내진 소정 값과 상기 화상의 상기 횡방향 치수와의 편차로서 상기 기억된 신호 사이의 차이를 확인하는 수단을 포함하는 장치.
17. 제12항에 있어서, 길이값 신호를 기억하는 신호 기억 수단 ; 상기 기억 수단을 소정 길이값 신호에 세트시키는 수단 길이에 상응하는 전기 신호를 발생시키기 위해 상기 수단에 의해 발생된 신호를 상기 기억 수단의 신호와 비교하는 수단 ; 상기 측정된 요소들 간격에 대한 분류 수단과 ; 길이에 상응하는 상기 전기 신호값과 상기 기억수단의 상기 값 사이의 소정 관계에 응답하여 상기 분류 수단을 작동시키는 수단을 포함하는 장치.
18. 제17항에 있어서, 길이 신호 값들을 기억하는 다수의 신호 기억수단 ; 개별 신호 기억 수단을 소정 길이 신호값들에 세트시키는 수동 수단 ; 길이에 상응하는 전기 신호를 발생시키기 위해 상기 수단에 의해 발생된 신호와 길이 신호를 상기 신호 기억수단에 세트된 상기 신호 값들과 비교하는 수단 ; 상기 측정된 별도의 요소들에 대한 다수의 분류 수단들과 길이에 상응하는 전기 신호를 발생시키는 상기 수단에서 나오는 상기 신호 값과 상기 다수의 신호 기억수단의 상기 소정 값들 사이의 소정 관계들에 응답하여 상기 다수의 소정 분류 수단들을 작동시키는 수단을 포함하는 장치.
19. 제1항에 있어서, 상기 별도의 요소들을 측정하는 다수의 측정 장소들과 현재 측정받고 있는 상기 장소를 확인하는 수단을 포함하는 장치.
20. 제19항에 있어서, 상기 검출기, 상기 시준수단, 상기 제1, 제2렌즈들과 상기 펜스의 서에 대한 조합체와 상기 이격요소들을 이동시키는 수단 ; 상기 이격 요소들과 상기 조합체가 측정받는 측정 장소에 위치될때, 상기 검출기가 상기 이격 요소들의 간격에 따른 최대 및 강도를 감지 할 수 있게 하는 수단 ; 상기 이격 요소들과 상기 조합체가 측정받는 측정 장소에 위치될때, 적어도 최대 빛 강도의 절반인 상기 검출기상에 입사하는 화상의 길이를 확인하는 수단과 상기 이격 요소들과 상기 조합체가 측정받는 측정 장소에 위치될때, 상기 길이 확인수단을 가동시키는 수단을 포함하는 장치.
21. 제20항에 있어서, 상기 검출기는 선주사 카메라이고, 상기 선주사 카메라에는 화소들의 선형 어레이 상기 선형 어레이를 따라 연장하는 상기 화상 ; 상기 각 화소상의 입사광 강도에 비례하는 신호를 감지하기 위해 상기 화소들을 주사하는 수단 ; 상기 측정 장소의 상기 화상이 측정될때, 상기 화소 신호들을 허가하는 수단 ; 최대 입사광 강도에 비례하는 신호 진폭을 설정하도록 허가될 때 상기 화소들의 제1선주사에 응답하는 수단과 최대 입사광 강도의 적어도 절반인 입사광 강도에 해당하는 그러한 화소들을 구성하는 신호 길이를 설정하기 위해 상기 제1선주사 후에 상기 화소들의 선주사에 응답하는 수단 ; 이 있는 장치.
22. 제21항에 있어서, 최대 입사광 강도에 비례하는 신호 진폭을 위한 샘플 및 호울드 회로와 상기 최대 입사광 강도의 절반을 나타내는 ; 화소 신호에 비례하는 신호를 설정하기 위해 상기 샘플 및 호울드 회로에 응답하는 한계 신호 발생기를 포함하는 장치.
23. 제20항에 있어서, 각 측정 장소마다 길이를 확인하기 위해 상기 수단에 의해 확인된 화상 길이를 기억하는 기억 수단과 ; 각 측정 장소마다 상기 기억된 화상 길이와 관련있는 측정 장소를 확인하기 위해 상기 수단에서 나오는 측정 장소 확인을 기억하는 기억수단 ;을 포함하는 장치.
24. 제1항에 있어서, 상기 시준 렌즈와 상기 제1렌즈 사이의 광학 축선의 일측상에 제품의 연부 부위를 지지하는 수단 ; 기준 연부가 있는 빛 마스크 부와 상기 장착 수단에, 그리고 상기 시준 렌즈와 상기 제1렌즈 사이의 상기 일측과 반대편의 광학 축선의 측부상에 소정 고정 관계로 상기 기준 연부가 있는 상기 마스크를 위치 시키는 수단 ;을 포함하고, 상기 제품의 상기 연부와 상기 기준 연부는 상기 이격 요소들이고 상기 화상의 치수를 형성하는 장치.
25. 제24항에 있어서, 제품의 연부 부위를 지지하는 상기수단에 따라 상기 이격 요소들의 간격을 측정하는 다수의 측정 장소들과 현재 측정받는 장소를 확인하는 수단을 포함하는 장치.
26. 제25항에 있어서, 상기지지 수단과 상기 시준 수단과 상기 제1렌즈 사이의 광학 축선 사이에 상대운동을 가하여 상기 측정 장소들을 상기 광학 축선과 정합시키는 수단을 포함하는 장치.
27. 제25항에 있어서, 현재 측정받는 장소를 확인하는 상기수단은 계수 수단 상기 수단에 결합되어 있어 상대운동을 가하고 가해진 운동의 각 증분마다 상기 계수 수단에 펄스를 발생시키는 펄스 발생기 ; 측정 장소와 광학 축선과의 정합에 반응하여 상기 장소에 대한 상기 계수를 보유하는 제1기억 수단과 ; 상기 제1기억 수단과 관련있고 상기 장소에 대해 측정된 치수를 보유하는 제2기억 수단 ;을 포함하는 장치.
28. 제26항에 있어서, 상기 운동 부과수단은 상대회전 운동을 부과하는 장치.
29. 제24항에 있어서, 상기 광원과 상기 시준 렌즈는 고정되고, 상기 지지 수단은 회전가능한 장치.
30. 제29항에 있어서, 상기 지지수단은 회전 테이블이고, 상기 테이블에는 제품의 연부부위를 지지하는 면 ; 트인 중앙 부위 ; 상기 테이블의 트인 중앙 부위에 상기 광원을 장착하는 수단 ; 상기 트인 중앙부위에서부터 상기 측정 장소들을 형성하는 테이블의 지지면들로 뻗어 있는 다수의 부채끝 홈들 광학 축선과 상기 광원의 균일 강도의 빛을 상기 지지면을 따라 상기 홈들을 통하여 보내는 수단 ; 상기 테이블을 상기 지지면과 수직한 회전 축선을 중심으로 회전시켜 상기 홈들을 상기 시준 수단과 상기 제1렌즈 사이의 광학 축선을 통과시키는 수단 ; 이 있고, 상기 테이블에 상기 마스크가 고정되어 있어 상기 기준 연부가 상기 홈의 저부 부위의 상기 화상을 차단하여 상기 화상의 횡방향 치수가 상기 기준 연부와 상기 홈들을 채우는 제품의 연부 사이에 형성되는 장치.
31. 제30항에 있어서, 상기 지지면은 평면이고, 상기 마스크 기준 연부는 대략 상기 지지면과 평행한 평면에 있는 장치.
32. 제30항에 있어서, 빛을 시준하는 상기 수단에서 나오는 빛을 상기 제품과 상기 마스크와의 간격 측정방향과 수직한 평면들로 분기하는 한편, 빛이 상기 제품과 상기 마스크와의 간격 측정 방향과 평행한 평면들로 시준되는 것을 유지하여서 상기 홈들이 광학 축선을 통과할 때 균일 강도의 빛으로 채워지게 하는 수단과 ; 상기 제품과 상기 마스크와의 간격 측정 방향과 수직한 평면들에 있고, 상기 제1렌즈로 가기에 앞서 상기 이격된 제품과 마스크 사이로 통과되는 빛을 재 시준하는 한편, 상기 이격된 제품과 마스크 사이로 통과되는 빛을 상기 제품과 상기 마스크와의 간격 측정 방향과 평행한 평면들에 시준하는 것을 유지하는 수단 ; 으로 구성되는 애너 모픽 시스템을 포함하는 장치.
33. 제32항에 있어서, 빛을 분기하는 상기 수단은 광학 축선과, 상기 제품과 상기 마스크와의 간격 측정 방향에 의해 형성된 평면에 축선을 가지는 원통형 렌즈이고, 빛을 재시준하는 상기 수단은 측정 평면에 축선을 가지는 원통형 렌즈인 장치.
34. 제30항에 있어서, 상기 광원은 슬릿이 있는 판을 포함하고, 그 슬릿은 상기 제품과 상기 마스크와의 간격 측정 방향과 광학 축선에 의해 형성된 평면상에 중심을 두고 있는 상기 광원과 빛을 시준하는 상기 수단사이에 위치되어 있어, 측정 평면에 종방향 축선을 가지는 빛 대형이 상기 슬릿에 의해 통과되는 장치.
35. 제34항에 있어서, 상기 광원, 판과 시준 수단은 상기 테이블의 상기 회전 축선과 일치하는 상기 광학축선상에 정렬되어 있고, 상기 광학 축선과 측정 평면을 상기 홈들에 의해 통과되는 상기 지지면안으로 회전시키는 수단을 포함하는 장치.
36. 제30항에 있어서, 상기 테이블이 회전됨에 따라, 축선을 통과하는 상기 홈을 확인하는 홈 검출기를 포함하는 장치.
37. 제31항에 있어서, 상기 테이블 면 평면과 수직한 평면들을 가지고 상기 테이블 면 평면과 평행하게 발산되는 균일빛 강도의 직선의 좁은 대형을 상기 테이블의 트인 중앙 부위로부터 제공하는 수단을 포함하는 장치.
38. 제37항에 있어서, 균일 빛 강도의 직선 대형을 제공하는 수단은 빛을 회전시키는 편향기이고, 상기 광원은 빛 대형을 통과시키는 슬릿이 있는 판; 상기 슬릿에서 나오는 빛을 위한 시준 수단과;상기 시준 수단과 상기 시준수단으로부터 촛점 거리에 있는 상기 편향기 사이에 있어, 상기 테이블 윗면 평면과 평행한 광학 평면들의 부채꼴 홈을 따라 상기 편향기에서 분기하는 상기 대형의 수렴 화상을 형성하는 원통형렌즈 ;를 포함하는 장치.
39. 제38항에 있어서, 상기 테이블의 외주를 지나서 상기 편향기로부터 촛점 거리에 있어 상기 편향기의 분기 화상을 상기 테이블 윗면 평면과 평행한 광학 평면들의 상기 제1렌즈로 시준하는 제2원통형 렌즈를 포함하는 장치.
40. 제30항에 있어서, 상기 테이블의 외주를 지나서 있고, 임의의 소정 순간에 단 하나의 부채꼴 홈에서 부상기 시준 수단으로 빛을 통과시키는 구멍이 있는 빛 마스크를 포함하는 장치.
41. 제39항에 있어서, 전자기-형 어레이가 상기 제1렌즈의 빛 대형 화상과 정렬되는 선형 어레이 선주사 카메라인 장치.
42. 제41항에 있어서, 상기 제2렌즈와 상기 전자기-에 있는 운통형 렌즈를 포함하고, 상기 원통형렌즈는 상기 전자기-학 수단으로부터 촛점 거리에 있고 빛 대형 길이와 평행한 축선을 가지는 장치.
43. 제품 연부를 수용하는 평탄면이 있는 원형 장착 테이블로서, 트인 중앙 부위가 회전 축선을 포함하고, 상기 테이블 평탄면에 균일하게 이격된 일련의 홈들이 상기 회전 축선으로부터 반경방향으로 뻗어 있고, 홈벽들이 반경방향으로 벌어지는 테이블; 상기 평탄면과 수직한 상기 회전 축선을 중심으로 회전하도록 상기 테이블을 장착하는 수단; 상기 원형 테이블의 원주 주변에 있고 상기 테이블의 평탄면 위로 뻗어있는 빛 마스크로서, 그 마스크의 상부 연부에 다수의 노치들이 있고, 상기 노치들은 상기 테이블의 상기 홈들과 정합되고 그 폭이 부채꼴 홈들의 반경 방향 연장인 마스크; 상기 회전 축선상의 균일한 빛 가도의 선 광원; 상기 광원의 빛을 광학 축선을 따라 시준하는 제1시준 렌즈; 광학 축선상에 축선을 가지고, 상기 시준 렌즈에서 시준된 빛을 광학축선을 따라 하나의 광선으로 집중시키는 원통형 렌즈; 상기 광선을 상기 테이블 평탄면과 평행한 평면들에서 발산 광비임으로 보내도록 배향되어 있는 그러한 렌즈로부터 상기 원통형 렌즈의 촛점 거리에 있고, 상기 부채꼴 홈과 상기 부채꼴 홈과 테이블 평탄면위의 지역을 채우는 장방형 단면을 가지는 앞면 거울; 광학 축선상에 축선을 가지고, 상기 빛 마스크 외측에 위치되어 있는 상기 테이블 홈에서 나오는 빛과 상기 홈 위쪽의 장방형 광비임 부위를 재시준하는 제2원통형 렌즈; 상기 광학 축선상의 검출기; 재시준된 빛을 받는 광학 축선상의 제1검출기 렌즈; 상기 제1검출기 렌즈의 뒤 촛점 평면에 있는 판으로서, 상기 판에 광학 축선과 광비임의 횡방향 장축선상에 중심을 둔 슬릿이 있어상기 제2원통형 렌즈에 나오는 빛의 각도 범위를 광학 축선과 거의 평행한 광선에 국한시키는 판; 상기 제1검출기 렌즈상에 입사하는 빛을 상기 검출기상에 집중시키는 제2검출기 수단; 상기 제2검출기 수단과 상기 검출기 사이의 광학 축선상에 축선을 가지고, 홈 깊이 화상을 가로질러 축선을 가지는 검출기 원통형 렌즈; 상기 검출기상에 빛 강도의 절반 최대값을 세트시키는 수단과; 빛 강도 최대값의 적어도 절반에서 상기 검출기상에 화상 길이를 측정하는 수단;으로 구성되는, 자체 밀폐되는 제품 벽 연부의 평탄도 편차를 측정하는 장치.
44. 제43항에 있어서, 상기 검출기는 전자기-광학 카메라로서, 상기 카메라의 화소들의 선형 어레이가 상기 원통형 렌즈의 촛점거리에 있고 상기 홈 깊이의 화상과 정합하는 카메라이고, 상기 평탄면과 수직한 축선을 중심으로 상기 테이블을 회전시키는 수단; 상기 테이블을 위한 회전 위치 부호기; 상기 부호기에 응답하는 기준위신호 발생기; 테이블 회전 속도에 응답하는 상기 테이블용 회전계; 상기 기준 위치 발생기와 상기 회전계에 응답하여 패턴 신호에 따라 상기 테이블을 회전시키는 상기 테이블 구동 수단용 모우터 루우프 제어기; 상기 원주방향 마스크의 노치 존재에 응답하고, 상기 거울에서부터 상기 제2원통형 렌즈까지의 광학 경로안으로 홈이 들어가는 것에 대한 위상 관계에 위치고정되어 있는 홈 검출기와; 입사광을 검출하기 위해 상기 화소들을 반복적으로 주사하는 수단;을 포함하고; 빛 강도의 절반 최대값을 세트시키는 상기 수단은 상기 화소들의 주사에서 나오는 신호의 초기 샘플링의 최대값을 확인하는 수단과, 초기 샘플링의 상기 최대값의 절반 값 신호 레벨을 하부 한도 한계 신호 레벨로 세트시키는 수단을 포함하고; 상기 측정수단은 상기 한도 한계위의 입사광 강도를 가지는 상기 화소들의 개수를 확인하는 수단; 상기 홈 검출기에 응답하여 상기 최대값 확인 수단, 상기 절반값 세트수단과 상기 신호 길이 확인 수단을 인에이블하는 수단과; 상기 신호 길이 확인 수단과 상기 기준 위치 발생기의 홈 확인에 응답하여 그러한 홈에 대한 화상 길이 신호를 인에이블하는 수단;을 포함하는 장치.
45. 제44항에 있어서, 상기 홈의 저부 부위에서 상기 홈의 빛 화상을 차단하는 수단 상기 홈의 상기 저부와 테이블 평탄면 사이의 빛 화상에 대한 신호 길이 표준을 설정하는 수단과 상기 신호 길이 표준을 차후에 발생된 신호 길이들을 위한 오프셋 값으로 기억하는 수단을 포함하는 장치.
46. 제45항에 있어서, 측정된 홈 신호 길이와 오프셋 값 사이의 차이를 계산하는 수단을 포함하는 장치.
47. 제46항에 있어서, 상기 홈 확인과 상기 차신호 길이를 표시하는 수단을 포함하는 장치.
48. 다음의 단계들로 구성되는, 화상의 횡방향 치수를 측정하는 방법. 균일 강도의 시준 빛을 발생시키는 단계 ; 횡방향 치수를 가지는 화상을 형성하기 위해 두 이격 연부들 사이에 빛을 투사하는 단계 ; 통과된 빛의 각도 범위를 거의 평행한 광선들에 국한시키는 제1렌즈를 통하여 화상을 통과시키는 단계 ; 상기 제1렌즈에서 나오는 국한된 각도 범위의 빛을 한 촛점상에 집중시키는 단계 ; 그 촛점에서 화상을 가로지르는 횡방향 치수의 최대 빛 강도를 검출하는 수단과 상기 이격 연부들의 화상의 광합적 프린지 효과들을 제거하기 위해, 검출된 최대 빛 강도의 적어도 절반의 빛 강도를 가지는 촛점에서 화상 부위의 횡방향 치수를 측정하는 단계.
49. 제48항에 있어서, 화상의 횡방향 치수의 일측에 투사된 빛을 차단하는 마스크를 장착하는 단계와 ; 상기 일측으로부터 화상의 횡방향 치수의 반대측에 투사된 빛을 차단하여, 화상의 상기 횡방향 치수가 마스크와 연부 사이가 되도록 연부가 있는 제품을 장착하는 단계를 포함하는 방법.
50. 제49항에 있어서, 빛 차단 마스크와 빛차단 제품 연부보다 앞서는 위치에서 횡방향 수치를 따라 연장하는 직선의 광선으로 상기 시준된 빛을 형성하는 단계를 포함하는 방법.
51. 제49항에 있어서, 제품 연부의 일부를 마스크의 빛차단 부위에 고정시켜 지지하는 단계를 포함하는 방법.
52. 제51항에 있어서, 투사된 빛과 지지된 제품 연부 및 마스크 사이에 상대 운동을 가하여 그들을 다수의 측정 장소들 각자에 위치시키는 단계 ; 다수의 측정 장소들 각자에 대한 촛점에서 화상을 가로지르는 횡방향 치수의 최대 빛 강도를 검출하는 단계와 ; 각 측정 장소들에서 검출된 최대 빛 강도의 절반을 초과하는 빛 강도들을 가지는 각 측정 장소에 대한 촛점에서 화상 부위의 횡방향 치수의 길이를 측정하는 단계를 포함하는 방법.
53. 제52항에 있어서, 투사 빛은 고정되고, 지지된 제품, 연부와 마스크는 그들의 관계를 유지하면서 투자빛과 대략 수직하게 이동되는 방법.
54. 제53항에 있어서, 제품 연부와 마스크는 서로 밀폐되고 투사된 빛과 대략 수직한 회전 축선을 중심으로 고정 투사빛에 대해 회전되는 방법.
55. 제52항에 있어서, 각 측정 장소를 독특하게 확인하는 단계와 측정 장소 확인을 각 장소에 대한 측정과 서로 관련시키는 단계를 포함하는 방법.
56. 제54항에 있어서, 투사 빛은 대략 회전 축선에서 투사되는 방법.
57. 제56항에 있어서, 회전 축선으로부터 빛을 투사하기에 앞서 제품 연부와 마스크의 운동 평면과 수직한 평면들에 빛 시준을 유지하면서 이동 평면에 시준된 빛을 적어도 측정장소의 폭으로 분기하는 단계를 포함하는 방법.
58. 제57항에 있어서, 회전 축선으로부터 뻗어 있는 부채꼴에 대해 투사빛을 차단하므로써 각 측정 장소를 격리 시키는 단계 ; 빛을 회전 축선에서 횡방향 치수를 따라 연장 하는 직선의 광선으로 집중 시키는 단계와 ; 빛차단 마스크와 빛 차단 제품 연부뒤에 오고 제1렌즈보다 앞서는 회전 축선에 촛점에서 나오는 빛을 재시준하는 단계를 포함사는 방법.
59. 제56항에 있어서, 제한된 각도 범위의 화상을 투사된 빛을 통하여 이동되는 다수의 측정 장소 위치들을 위한 선형 검출기에 한 선으로 집중시키는 단계를 포함하는 방법.
60. 자체 밀폐되고 비원형 형상인 제품 연부의 평탄면의 편차를 측정하는 방법으로서, 다음의 단계들로 구성되는 방법. 지역 내부의 트인 부위가 상기 연부를 지지하기에 적합하게 되어 있는 평탄한 제품 연부 지지면이 있고, 트인 부위로부터 뻗어있는 다수의 반경방향 홈들의 지지면에 있는 지지부상에 제품을 장착하는 단계 ; 지지부에 트인 부위내에 평탄면과 수직한 일렬의 광원을 형성하는 단계 ; 제품 연부쪽으로 그리고 지지부의 반경방향 홈들을 따라 빛을 부채꼴 모양으로 투사하는 단계 ; 홈들의 아래 부위의 빛을 평탄면과 소정 간격관계를 가지는 기준 연부로 차단하 는 단계 ; 다수의 홈들 각자에서 기준 연부와 제품 연부사이로 통과되는 빛의 길이를 검출하는 단계와 ; 검출된 빛의 길이를 다수의 홈들 각자에서 제품 연부의 평탄면 편차를 나타내는 신호로 바꾸는 단계 ;
61. 제60항에 있어서, 제품 지지면과 수직한 축선상의 투사된 빛과 지지부및 지지 장착된 제품 사이에 상대적인 회전 운동을 부과하여 빛이 지지부의 다수의 홈들을 주사하게 하는 단계를 포함하는 방법.
62. 제61항에 있어서, 광원을 고정시켜 유지하고, 지지부와 지지 장착된 제품을 제품 지지면의 평면과 수직한 축선을 중심으로 회전시키는 단계를 포함하는 방법.
63. 제60항에 있어서, 제품을 소정 방향으로 제품 지지면상에 장착하는 단계와 ; 각 홈들을 길이 검출과 함께 독특하게 확인하여 각 표시된 평탄면 편차에 대한 제품 연부에 따른 위치가 설정되는 단계를 ; 포함하는 방법.
64. 제61항에 있어서, 광원의 빛을 제품 지지평탄면과 수직한 화상을 가지는 슬릿에 집광시키는 단계 상기 슬릿 화상을 시준하는 단계 ; 상기 슬릿 화상을 제품 지지평탄면과 평행한 치수로만 분기하여 굴절시키는 단계와 굴절된 슬릿 화상을 홈을 따라 통과시키는 단계를 ; 포함하는 방법.
65. 제64항에 있어서, 굴절된 슬릿 화상은 홈의 반경 방향 중심에 위치 고정된 지지면의 평면과 수직하게 투사되고, 지지면의 평면과 투사된 광학 축선에 대해 45°경사져 있는 거울상에 수렴하여 집중되어 슬릿 화상이 홈을 따라 분기되는 방법.
66. 제65항에 있어서, 홈에서 나오는 화상을 시준된 광속에 대해 제품 지지면과 평행한 평면에만 수렴하여 굴절시키는 단계를 포함하고, 굴절 촛점은 홈들의 반경방향 중심의 슬릿 화상에 있어, 슬릿 화상이 시준 빛으로 투사되는 방법.
67. 제66항에 있어서, 판독 장소로 통과되는 시준된 빛을 기본적으로 시스템 광학 축선과 평행한 빛에만 국한시키는 단계와 화상 길이에 따른 최대 강도의 적어도 절반의 강도로 된 통과된 빛 화상의 그러한 부위의 길이를 판독하는 단계를 ; 포함하는 방법.
68. 제67항에 있어서, 화상 이동 평면으로만 정 배율을 가지고 판독 수단상에 촛점을 둔 원통형 렌즈를 통하여 화상을 통과시키므로써, 테이블 평면에 있고 광학 시스템과 정합의 일측상에 이격되어 있는 홈의 위치 범위에 대해 판독하도록 화상을 집중시키는 단계를 포함하는 방법.
69. 제61항에 있어서, 다수의 홈들 각자에게 기준 연부와 제품 연부 사이로 통과된 빛의 깅이를 선주사 검출기상에 투엉시키는 단계를 포함하는 방법.
70. 제69항에 있어서, 선주사 검출기로 통과되는 최대 빛 강도를 확인하는 단계와 ; 검출 한계를 확인된 절반 최대빛 강도에 세트시키는 단계를 ; 포함하는 방법.
71. 제61항에 있어서, 최대 빛 강도의 적어도 절반에 해당하는 불연속 화소들의 선주사 과정에 의해 다수의 홈들 각자에서 기준 연부와 제품 연부 사이로 통과된 화상의 길이를 검출하는 단계와 ; 최대 빛 강도의 적어도 절반을 가지는 화소들의 계수를 다수의 홈들 각자에 대해 기준 연부와 제품 연부 사이의 간격 길이로 바꾸는 단계를 ; 포함하는 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.