KR880003171A - 자기 가열 특징을 구비한 표면 음파가스 흐름률 센서 - Google Patents

자기 가열 특징을 구비한 표면 음파가스 흐름률 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR880003171A
KR880003171A KR870009189A KR870009189A KR880003171A KR 880003171 A KR880003171 A KR 880003171A KR 870009189 A KR870009189 A KR 870009189A KR 870009189 A KR870009189 A KR 870009189A KR 880003171 A KR880003171 A KR 880003171A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
region
temperature
increasing
gas
frequency
Prior art date
Application number
KR870009189A
Other languages
English (en)
Inventor
가이빈 브레이스 죤
살바토어 산펠리뽀 토마스
Original Assignee
케네쓰 제이.캄머라드
존슨 서어비스 캄파니
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 케네쓰 제이.캄머라드, 존슨 서어비스 캄파니 filed Critical 케네쓰 제이.캄머라드
Publication of KR880003171A publication Critical patent/KR880003171A/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • G01F1/6882—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element making use of temperature dependence of acoustic properties, e.g. propagation speed of surface acoustic waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028—Material parameters
    • G01N2291/02836—Flow rate, liquid level
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S73/00—Measuring and testing
    • Y10S73/04—Piezoelectric

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

자기 가열 특징을 구비한 표면 음파가스 흐름률 센서
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 질량 흐름률을 결정하기 위해 공명주파수 기술을 사용하고 전기적 장치와 관련하여 도시한 본 발명의 자기 가열 센서의 간단한 평면도,
제2도는 위상 이동기술을 사용하여 질량 흐름률을 결정하기 위해 다른 전기적 장치와 관련하여 도시한 제1도의 센서의 간단한 평면도,
제3도는 제1도의 센서의 지간 (interdingital)변환기증 하나를 크게 확대한 간단한 평면도.

Claims (9)

  1. 가스의 질량 흐름률을 측정하기 위한 표면 음파 장치에 있어서 10―4/℃ 등급의 지연 온도계수를 갖고 전송 인터디지탈 변환기 및 수신 인터디지탈 변환기상에 배치되는 압전 재질로 구성된 표면 음파 지연선, 이때 상기 변환기는 10MHz에서 1000MHz 범위의 동작 주파수를 가지며 ; 상기 변환기 중간에 위치한 전파 영역을 포함하며, 야대 상기 영역은 그것을 교차하여 흐르는 에너지 부분을 흡수하기 위해 그위에 배치된 매질을 가지며, 이에 의해 상기 영역의 온도를 주위온도 이상으로 증가시키는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 변환기는 약 75MHz의 공명 주파수를 갖는것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 전파 영역위에 배치된 상기 기판은 약 5dB에서 15dB의 추가 삽입 손실의 결과를 가져오도록 선택되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 덕트에 있는 가스의 흐름률을 측정하기 위한 방법에 있어서 ; 상기 덕트에 배치된 표면파 지연선을 제공하며, 전송 인터디지탈 변환기 및 수신 인터디지탈 변환기, 상기 변환기 사이에 배치된 전파 영역을 가지며, 상기 영역은 전파 표면 파로부터 에너지를 결합하기 위해 그 위에 배치된 매질을 가지며, 그에 의해 주위의 그것 이상으로 상기 영역의 온도를 증가시키는 단계; 상기 지연선에 결합된 증폭기를 제공하고, 안정된 오실레이터를 구성하도록 그것과 함께 작동하는 단계 ; 상기 오실레이터의 공명 주파수를 결정하기 위해 상기 지연선에 결합된 주파수 계수기를 제공하는 단계 ; 및 상기 덕트를 통한 상기 가스의 흐름률을 결정하는 단계들로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 결정 단계는 상기 증폭기를 여자시키는 단계 ; 상기 가스가 첫째공지 비율로 상기 영역을 교차하여 흐를때 상기 오실레이터의 제1주파수를 측정한느 단계 ; 및 상기 가스가 둘째 공지 비율로 상기 영역을 교차하여 흐를때 상기 오실레이터의 제2주파수를 측정하여, 이에 의해 가스 흐름율에서의 유니트 변화당 공명 주파수의 변화를 설정하는 단계 ; 상기 가스가 결정되는 세째 비율로 상기 영역을 교차하여 흐를때 상기 오실레이터의 제3주파수를 측정하는 단계 ; 상기 제3 비율을 계산하는 단계들로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 지연선은 5×10―5/℃보다 큰 지연 온도계수를 갖는 압전 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 영역의 온도를 증가시키기 위한 상기 수단은 상기 영역을 교차하여 흐르는 음향에너지의 부분을 흡수하기 위해 상기 전파 영역위에 배치된 물질을 포함하며, 이에 의해 주변온도 이상으로 그 온도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 영역의 온도를 증가시키기 위한 상기 수단은 상기 영역을 교차하여 흐르는 전기적 에너지 부분을 흡수하기 위해 상기 전파 영역위에 배치된 물질을 포함하며, 이에 의해 주위온도 이상으로 그 온도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 영역의 온도를 증가시키기 위한 상기 수단은 상기 영역을 교차하여 흐르는 음향 및 전기적 에너지 부분을 흡수하기 위해 상기 전파 영역위에 배치된 물질을 포함하며, 이에 의해 주위 온도 이상으로 그 온도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR870009189A 1986-08-22 1987-08-22 자기 가열 특징을 구비한 표면 음파가스 흐름률 센서 KR880003171A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US899439 1986-08-22
US06/899,439 US4726225A (en) 1986-08-22 1986-08-22 Surface acoustic wave gas flow rate sensor with self-heating feature

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR880003171A true KR880003171A (ko) 1988-05-14

Family

ID=25410975

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR870009189A KR880003171A (ko) 1986-08-22 1987-08-22 자기 가열 특징을 구비한 표면 음파가스 흐름률 센서

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4726225A (ko)
EP (1) EP0261393A3 (ko)
JP (1) JPS6353422A (ko)
KR (1) KR880003171A (ko)
AU (1) AU598847B2 (ko)
CA (1) CA1286392C (ko)
DK (1) DK438387A (ko)
NO (1) NO873542L (ko)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5117146A (en) * 1988-04-29 1992-05-26 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Acoustic wave device using plate modes with surface-parallel displacement
US4947677A (en) * 1988-10-05 1990-08-14 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy SAW determination of surface area of thin films
US4932255A (en) * 1988-12-16 1990-06-12 Johnson Service Company Flow sensing using surface acoustic waves
DE4030651A1 (de) * 1990-09-28 1992-04-09 Basf Ag Oberflaechenwellen-gassensor
US5235235A (en) * 1991-05-24 1993-08-10 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Multiple-frequency acoustic wave devices for chemical sensing and materials characterization in both gas and liquid phase
US5550537A (en) * 1994-05-06 1996-08-27 Endress + Hauser, Inc. Apparatus and method for measuring mass flow rate of a moving medium
DE19529477A1 (de) * 1995-08-10 1997-02-13 Paul Drude Inst Fuer Festkoerp Spread-Spektrum-Signalübertragungsverfahren und -system sowie Sender und Empfänger zur Verwendung bei dem Verfahren bzw. System
DE19630890A1 (de) * 1996-07-31 1998-02-05 Fraunhofer Ges Forschung Oberflächenwellen-Flüssigkeitssensor
US6044332A (en) * 1998-04-15 2000-03-28 Lockheed Martin Energy Research Corporation Surface acoustic wave harmonic analysis
US6879936B2 (en) * 2002-01-09 2005-04-12 Fisher Controls International Llc Diagnostic apparatus and methods for a chemical detection system
JP4769423B2 (ja) * 2004-03-10 2011-09-07 ベックマン コールター， インコーポレイテッド 液体攪拌デバイス
US7399280B2 (en) * 2004-04-21 2008-07-15 Honeywell International Inc. Passive and wireless in-vivo acoustic wave flow sensor
US20060202590A1 (en) * 2005-03-09 2006-09-14 Honeywell International, Inc. Low cost SH-saw fluid flow sensor
US7782462B2 (en) * 2006-11-27 2010-08-24 Applied Nanotech Holdings, Inc. Sono-photonic gas sensor
CN1988356B (zh) * 2006-12-01 2010-08-25 河北理工大学 表面波声学纳米流体驱动器及其制作方法
EP2491354B1 (en) * 2009-10-21 2018-09-26 Koninklijke Philips N.V. Sensor system for measuring a velocity of a fluid
US9232315B2 (en) * 2011-03-16 2016-01-05 Phonon Corporation Monolithically applied heating elements on saw substrate
KR101776089B1 (ko) * 2011-07-08 2017-09-08 삼성전자주식회사 표면탄성파 센서 시스템 및 다중울림파를 이용한 측정 방법
US9118300B2 (en) * 2013-01-15 2015-08-25 Phonon Corporation SAW device with heat efficient temperature controller
RU2606347C1 (ru) * 2015-11-20 2017-01-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук Акустокалориметрический сенсор для сигнализации изменений газового состава замкнутых помещений
CN110022760A (zh) * 2016-11-28 2019-07-16 皇家飞利浦有限公司 流量传感器和测量流速的方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3983424A (en) * 1973-10-03 1976-09-28 The University Of Southern California Radiation detector employing acoustic surface waves
US4332157A (en) * 1980-08-29 1982-06-01 Trustees Of The University Of Pennsylvania Pyroelectric anemometer

Also Published As

Publication number Publication date
NO873542L (no) 1988-02-23
JPH0563732B2 (ko) 1993-09-13
EP0261393A3 (en) 1990-03-14
AU7733187A (en) 1988-02-25
DK438387D0 (da) 1987-08-21
JPS6353422A (ja) 1988-03-07
EP0261393A2 (en) 1988-03-30
US4726225A (en) 1988-02-23
AU598847B2 (en) 1990-07-05
CA1286392C (en) 1991-07-16
NO873542D0 (no) 1987-08-21
DK438387A (da) 1988-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR880003171A (ko) 자기 가열 특징을 구비한 표면 음파가스 흐름률 센서
US4932255A (en) Flow sensing using surface acoustic waves
US5003822A (en) Acoustic wave microsensors for measuring fluid flow
Parker et al. Precision surface-acoustic-wave (SAW) oscillators
JP3104956B2 (ja) 混合ガスの音響分析装置と方法
US7287431B2 (en) Wireless oil filter sensor
CA1134938A (en) Remote acoustic wave sensors
FR2390711A1 (fr) Compteur volumetrique ou de quantite de chaleur pour milieux liquides
US3809931A (en) Temperature-stabilized transducer device
JP4857464B2 (ja) 超音波センサ
Becker et al. Multistrip couplers for surface acoustic wave sensor application
KR970704268A (ko) KTiPO₄및 그의 유사체에서의 표면 스키밍 벌크파생성
SU1392474A1 (ru) Способ определени температуры плавлени материалов и устройство дл его осуществлени
JPH0611492A (ja) 弾性表面波デバイス
JPH0377020A (ja) 超音波センサ
SU1138668A1 (ru) Устройство дл измерени температуры
JPH07198428A (ja) 弾性表面波センサ
SU1065755A1 (ru) Преобразователь влажности газов
SU935773A1 (ru) Датчик влажности газов
Nomura et al. Surface acoustic wave liquid sensor using dual mode delay line
Brace et al. Surface acoustic‐wave device for measuring rate of gas flow
Toda et al. Mechanical Displacement Measurement Using a Leaky Lamb Wave Delay Line Oscillator
GB1363519A (en) Acoustic surface wave device
Joshi et al. Use of a SAW device for measuring flow rate of liquids
Dierkes et al. Telemetric surface acoustic wave sensor for humidity

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid