KR830004666A - 주사 전자 현미경의 거리 측정장치 - Google Patents

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KR830004666A
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오까 세쯔오 노리
나오끼 다테
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가세이 다다오
니혼 덴시 가부시끼 가이샤
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/22Optical or photographic arrangements associated with the tube
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams

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  • Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract

내용 없음

Description

주사 전자 현미경의 거리 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도, 제3도 및 제4도는 본 발명의 한실시예의 구성을 도시한 도면. 제2도는 그 동작을 설명하기 위해 화면 표시 상태를 도시한 도면.

Claims (1)

  1. 시료를 전자 비임으로서 2차원 또는 1차원적으로 주사하고, 그것에 의해 시료로부터 얻어지는 정보시호에 기인하여 시료의 주사상 또는 정보 신호 파형을 표시장치에 표시하는 주사 전자 현미경에 있어서, 상기 표시장치에 정보 신호 파형에 중첩된 2개의 가동위치 마크를 표시시키기 위해 마크 신호를 발생하는 수단과, 2개의 마크신호의 발생간격에 기초하여 2개의 마크 사이의 거리를 구하게 하기 위한 연산 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 주사전자 현미경의 거리 측정 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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