KR830002390A - 시료상(試料像) 표시장치 - Google Patents
시료상(試料像) 표시장치 Download PDFInfo
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Landscapes
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명을 SEM의 시료상 표시장치에 적용시킨 경우의 1실시예를 나타내는 도면/
제2도는 제1도 장치의 동작을 설명하기위한 파형도.
제3도는 제1도 장치의 CRT의 표시예를 나타내는 도면.
Claims (1)
- 전자선 비임을 주사하면서 시료 표면을 조사했을 때 발생하는 시료신호를 검출하는 시료주사부와, 이 시료주사부로부터의 검출신호에 기인하여 확대된시료 상(像)을 표시하는 표시부와, 이 표시부에, 상기 시료상(像)외에, 상기 시료상(像)의 배율에 관계없이 항상 일정 길이의 스케일과, 이 스케일을 시료상(上)의 환산 길이를 나타내는 문자를 나타내는 표시 제어부를 구비한 시료상(像) 표시장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019800001256A KR830002147B1 (ko) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 시료상(試料像)표시장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019800001256A KR830002147B1 (ko) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 시료상(試料像)표시장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR830002390A true KR830002390A (ko) | 1983-05-28 |
| KR830002147B1 KR830002147B1 (ko) | 1983-10-15 |
Family
ID=19216032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019800001256A KR830002147B1 (ko) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 시료상(試料像)표시장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR830002147B1 (ko) |
-
1980
- 1980-03-26 KR KR1019800001256A patent/KR830002147B1/ko active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR830002147B1 (ko) | 1983-10-15 |
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