KR810001907B1 - 세정 배수중에 혼입하는 유기용제의 검출분리장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

세정 배수중에 혼입하는 유기용제의 검출분리장치

도면은 본 발명의 세정배수에 혼입하는, 물보다 비중이 작고 물에 불용성의 액체(유기용제)의 검출분라장치의 종단설명도이다.

본 발명은 초순도의 물을 세정수로 사용하고, 그 세정배수중에 혼입하는, 물 보다 비중이 작고, 물에 불용성인 액체(유기용제)를 검출하여 세정배수에서 분리하는 장치에 관한 것으로, 세정배수이지만 순도가 높은 물을 재사용함에 있어서, 장해가되는, 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체의 혼입을 방지하는 것을 목적으로 한다.

최근, 초순도의 물을 세정수로서 사용하는 산업분야, 예컨대 트랜지스터, IC 등의 반도체의 집적회로소자의 세정공정에 있어서는, 다량의 초순도의 물이 사용되고 있다. 그런데 초순도의 물은제조코스트가 높고, 또 그 세정배수는 용수로서의 순도도 높기 때문에, 이것을 재사용하는 것이 고려되어왔으며, 특히 세정배수의 도전율이 20μv/㎠ 이하인 것을 초순도물 제조장치에 의해 재처리하여 세정수로 사용하는 것이 요망되어 왔다.

그러나, 세정수를 사용하는 공정의 일부 과정에서는 크실렌, 아세톤 등과 같은, 물보다 비중이 작고, 물에 불용성인 유기 용제를 사용하기 때문에, 그세정 배수중에 이러한 물보다 비중이 작고, 물에 불용성인 용제가 일시적으로 혼입하는 일이 많아, 이것을 그대로 초순수 제조장치에서 처리하면, 물보다 비중이 작고, 물에 불용성인 액체에 의해 장치가 오염되어, 초순도 물의 제조기능에 중대한 장해가 발생하므로 세정배수의 재처리를 피해왔다.

또, 세정배수중에 있는 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체를 분리 제거하는 것도 고려될 수 있지만, 세정배수중에 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 유기용제가 혼입한 때에, 이것을 속히 검출하는 실용적 수단이 없었기 때문에, 세정배수와 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체를 유효하게 분리하는 것이 곤란하였었다.

본 발명은, 이상의 문제점을 해결한 세정배수에 혼입한 물보다 비중이 작고 물이 불용성인 유기액체의 검출분리장치인 것으로, 세정배수조 상부의 검출보의 단면적을 세정배수조의 단면적보다 작게 형성하고, 또 단면적이 작은 검출조내에 도전율계의 전극을 설치하여, 물보다 비중이 작고, 물에 불용성인 액체의 도전율과 밀도가, 하기에 표시한바와 같이, 세정배수의 도전율과 밀도에 비하여 훨씬작은 것을 이용하여 세정배수에 물보다 비중이 작고, 물에 불용성인 액체가 혼입한 것을 속히 적절하게 검출하므로써 이것에 의해 세정배수와 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체를 분리하는 것이다.

[표 1]

본 발명 실시예의 일예를 도면에 따라서 다음과 같이 설명한다. 도면에서 (1)은 세정배수조로, 초순도 물을세정수로서 사용하고, 그 세정배수를 저류하는 것이고, 이 세정배수조(1)의 상부에 검출조(2)를 설치하고, 이 검출조(2)의 단면적을 세정배수조(1)의 단면적보다 작게 형성한다.

검출조(2) 내에는, 도전율계(4)의 전극(3)을 부착하고, 필요하면 검출조(2)를 밀페하여 불연성 가스를 봉입해도 좋다.

또 세정배수고(1) 내의 중앙부에는 다수의 경사판(12)을 간격을 두고 설치한다.

또 세정배수조(1)의 경사관(12)의 상방위치에는 세정배수의 유입관(5)을 연통하고, 이 조의 저부에는 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체가 혼입하지 않은 세정배수의 유출관(6)을 연통함과 동시에 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체가 혼입한 세정배수의 배출관(9)을 연통한다.

또 세정배수의 유출관(6)은 입상으로 설치하고 그 선단에는 개구(10)를 설치하며, 또 유출관(6)의 상부에 세정배수조(1)의 상부검출조(2) 내의 전극(3)이 부착된위치에 상당하는 개소에 넘쳐흐르는 배수관(7)을 연통시킨다. 다음에 본 발명의 작용에 관하여 설명하면, 밸브(14)와 (8)을 열면, 세정배수는 유입관(5)으로 부터 세정배수조(1) 내에 정류판(整流板)(11)을 거쳐 유입하고, 이 조내의 수위가 상승하여 검출조(2)의 전극(3)을 부착한 위치까지 가면, 유출관(6)을 거쳐 배수관(7)에서 유출한다.

전극(3)은 세정배수와 접촉하고 있으므로, 도전율계(4)가 세정배수의 도전율을 지시하고 있는게 된다. 따라서 세정배수 만이 조내로 유입되는 경우에 있어서는 배수관(7)에서 세경배수의 유출을 계속하여 이것을 초순도 물 제조장치(도시하지 않음)로 처리해도 좋다.

그러나, 세정배수에 물보다 비중이 작고, 물에 불용성인 액체가 혼입하여 세정배수조(1) 내에 유입하면 세정배수 보다밀도가 작고 물에 불용성의 액체는, 검출조(2) 내에 부상하여 세정배수의 수면상에서 물과 분리하여 층을 이룬다.

이때, 검출조(2)의 단면적은, 세정배수조의 단면적보다 작게했기 때문에(통상 1/2-1/5), 물의 비중보다 작은 물에 불용성의 액채가 소량 혼입한 경우에 있어서도, 이 부분에 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체가 두껍게 성층하고, 물보다 비중이작고, 불에 불용성인 액체의 검출이 전극(3)에 의해 속히 적절하게 행하여진다.

따라서, 세정배수중에 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체가 혼입하면, 전극(3)은 물보다 비중이 작고 물에 불용성의 액체와 접촉하여, 도전율계(4)가. 물보다 비중이 작고 물에 불용성인액체의 도전율을 지시하게 되고, 도전율계(4)의 지시치는 상기 세정배수의 지시치보다 작게 된다.

그래서 도전율계(4)의 이지시치의 변화를 전기적으로 검지하여 밸브(14)와 (8)을 잠그고, 세정배수의 유입 및 유출을 정지시킨다.

또, 이러한 경우에, 세정배수조(8) 내에 경사판(1)을 설치하면, 경사판(12)의 분리작용에 의해 배수관(7)의 밸브(8)를 잠그기 전에 유출하는 세정배수중에 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체가 혼입하는 것을 극히 유효하게 방지할 수 있다.

물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체의 유입을 검지하여 세정배수의 유입 및 유출을 정지시켰으면, 다음에 밸브(13)를 열고 세정배수조(1) 내에 있는 세정배수와 물보다 비중이 작고 물에 불용성의 액체를 배출관(9)에서 계 밖으로 배출시키고, 이것이 종료되면 밸브(13)를 잠그고 다시 밸브(14)와 (8)을 열어 상술한바와 같은 세정배수의 유입을 재개하면 된다.

이상 상술한 바와, 같이 본 발명에 의하면 세정배수에, 예컨대 물보다 비중이 작고, 물에 불용성의 액체가 소량 혼입하드라도 이것을 속히 적절하게 검출하여 그 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체를 함유하는 세정배수는 계밖으로 제거하고, 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체를 함유하지 않은 세정배수 만을 얻을수가 있게되고 그 결과, 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체를 함유하지 않은 세정배수를 초순도물 제조장치로 처리하면, 용이하게 초순도물을 얻을 수 있어, 세정수로서 재사용이 가능하므로써 초순도 물을 세정수로서 사용할 때의 코스트를 대폭적으로 삭감할 수 있다.

Claims (1)

1. 초순도 물을 세정수로 사용하고, 그세정배수를 초순도 물 제조장치로 처리하여 세정수로서 재사용함에 있어서, 그 세정배수에 물보다 비중이 작은 물에 불용성의 액체(유기용제)가 일시적으로 혼입하는 경우에서, 세정배수조(1)의 상부에, 세정배수조(1)의 단면적보다 작은 단면적을 가진 검출조(2)를 세정배수조(1)와 연통시켜 설치하고, 또한 검출조(2) 내에는 도전율계(4)의 전극(3)을 설치하므로써, 세정배수로의물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체의 혼입을 검출하여 세정배수로부터 물보다 비중이 작고 물에 불용성인 액체 함유수부분(含有水部分)을 분리하는 것을 특징으로 하는 세정배수중에 혼입하는 유기용제의 검출분리장치.

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