KR20240102141A - 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템 - Google Patents

잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20240102141A
KR20240102141A KR1020220183909A KR20220183909A KR20240102141A KR 20240102141 A KR20240102141 A KR 20240102141A KR 1020220183909 A KR1020220183909 A KR 1020220183909A KR 20220183909 A KR20220183909 A KR 20220183909A KR 20240102141 A KR20240102141 A KR 20240102141A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
pattern
curing
curing rate
cured
Prior art date
Application number
KR1020220183909A
Other languages
English (en)
Inventor
박동일
이지민
최민철
정유선
Original Assignee
에이치비솔루션㈜
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에이치비솔루션㈜ filed Critical 에이치비솔루션㈜
Priority to KR1020220183909A priority Critical patent/KR20240102141A/ko
Publication of KR20240102141A publication Critical patent/KR20240102141A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/407—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J11/00—Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form
    • B41J11/0015—Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form for treating before, during or after printing or for uniform coating or laminating the copy material before or after printing
    • B41J11/002—Curing or drying the ink on the copy materials, e.g. by heating or irradiating
    • B41J11/0021—Curing or drying the ink on the copy materials, e.g. by heating or irradiating using irradiation
    • B41J11/00212—Controlling the irradiation means, e.g. image-based controlling of the irradiation zone or control of the duration or intensity of the irradiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J11/00—Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form
    • B41J11/0015—Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form for treating before, during or after printing or for uniform coating or laminating the copy material before or after printing
    • B41J11/002—Curing or drying the ink on the copy materials, e.g. by heating or irradiating
    • B41J11/0021—Curing or drying the ink on the copy materials, e.g. by heating or irradiating using irradiation
    • B41J11/00214—Curing or drying the ink on the copy materials, e.g. by heating or irradiating using irradiation using UV radiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/17—Cleaning arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41P—INDEXING SCHEME RELATING TO PRINTING, LINING MACHINES, TYPEWRITERS, AND TO STAMPS
    • B41P2235/00—Cleaning
    • B41P2235/10—Cleaning characterised by the methods or devices
    • B41P2235/14—Cleaning characterised by the methods or devices using ultrasonic energy

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

본 발명은 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템에 관한 것으로, 본 발명은 기판을 클리닝하는 단계; 상기 기판에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하는 단계; 상기 기판에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키는 단계; 상기 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계; 및 상기 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 기판에 잉크로 프린팅된 패턴의 미경화로 인하여 발생되는 문제를 해결한다.

Description

잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템{INKJET PRINTING METHOD AND SYSTEM}
본 발명은 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템에 관한 것이다.
잉크젯 프린팅 기술은 부피가 작은 액적을 전기 또는 자기로부터 나오는 힘이나 공압에 의해 초당 수백번 이상의 빈도로 인쇄 대상물에 잉크를 분사하여 직접 패턴을 만드는 기술이다.
최근, 잉크젯 프린팅 기술은 디스플레이 및 반도체 등의 패터닝 공정과 같은 정보 통신 분야뿐만 아니라 DNA chip 제조와 같은 바이오테크놀로지 분야 등 다양한 분야에서 활용되고 있다. 이러한 분야에서 사용되는 잉크젯 프린팅 기술은 ㎛ 수준의 패턴 두께가 요구된다.
이와 같은 잉크젯 프린팅 기술은 잉크젯 프린팅 시스템에 의해 수행된다.
잉크젯 프린팅 시스템에서 기판에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하는 공정의 일예로, 세정기(Cleaner)에 의해 잉크를 패터닝할 기판의 표면을 클리닝하여 이물질을 제거하고, 잉크젯 프린터에 의해 세정된 기판에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하고, UV경화장치가 UV로 기판에 프린팅된 패턴을 경화시키고, 세정기로 패턴이 경화된 기판을 클리닝하여 프린팅과 경화 과정에서 발생된 이물질을 제거한다. 그리고 클리닝된 기판은 후속 공정이 진행되는 장비로 이송되어 후속 공정이 진행된다.
그러나 이와 같은 종래 잉크젯 프린팅 공정은 패턴이 경화된 기판을 세정기에서 클리닝하는 과정에서, 기판의 패턴이 UV로 미경화된 경우 기판 위의 이물질을 중성화하여 부유시키고 배출라인을 통해 흡입하여 배출시 배출라인이 잉크로 오염되는 문제가 발생된다. 또한, 기판의 미경화된 패턴은 이후의 공정에서 미경화에 따른 공정 오류를 발생시키게 된다.
한국공개특허 제10-2017-0115801호
본 발명의 목적은, 기판에 잉크로 프린팅된 패턴의 미경화로 인하여 발생되는 문제를 해결하는, 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템에 관한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 기판을 클리닝하는 단계; 상기 기판에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하는 단계; 상기 기판에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키는 단계; 상기 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계; 및 상기 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하여 파티클을 제거하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린팅 방법이 제공된다.
또한, 기판을 클리닝하는 단계; 상기 기판에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하는 단계; 상기 기판에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키는 단계; 상기 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계; 상기 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하는 단계; 상기 기판의 패턴을 UV로 본경화시키는 단계; 상기 본경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계; 및 상기 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린팅 방법이 제공된다.
또한, 기판을 클리닝하는 제1 초음파 플라즈마 클리너; 상기 기판에 패턴을 잉크로 프린팅하고 UV로 가경화시키는 잉크젯 프린터; 상기 잉크젯 프린터에 구비되어 기판에 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 제1 경화율측정기; 상기 가경화된 패턴이 구비된 기판을 클리닝하는 제2 초음파 플라즈마 클리너를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템이 제공된다.
또한, 기판을 클리닝하는 제1 초음파 플라즈마 클리너; 상기 기판에 패턴을 잉크로 프린팅하고 UV로 가경화시키는 잉크젯 프린터; 상기 잉크젯 프린터에 구비되어 기판에 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 제1 경화율측정기; 상기 가경화된 패턴이 구비된 기판을 클리닝하는 제2 초음파 플라즈마 클리너; 상기 기판의 패턴을 UV로 본경화시키는 UV본경화장치; 상기 UV본경화장치에 구비되어 기판에 본경화된 패턴의 경화율을 측정하는 제2 경화율측정기; 상기 패턴 경화율이 기준범위값이내인 기판을 클리닝하는 제3 초음파 플라즈마 클리너를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템이 제공된다.
본 발명은 기판에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키고 그 가경화된 패턴의 경화율을 측정하여 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하여 파티클을 제거하게 되므로 패턴이 기준범위값이내로 경화된 기판만을 초음파와 플라즈마를 이용하여 클리닝하게 되어 기판 클리닝 과정에서 잉크의 흡입으로 인한 배출라인의 오염을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판의 패턴 미경화로 인한 후속 공정의 오류를 방지하게 되어 공정의 효율성을 높이게 된다.
또한, 본 발명은 기판의 패턴에 대한 경화 정도를 실시간으로 파악하게 되므로 기판의 패턴 미경화의 원인이 될 수 있는 프린터 헤드의 잉크 분사 및 UV가경화유닛의 UV 조사 제어에 활용할 수 있어 잉크 프린팅 및 UV 조사의 최적화를 이룰 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 기판의 패턴을 UV로 본경화시키고 본경화된 패턴의 경화율을 측정하여 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하게 되므로 패턴이 기준범위값이내로 경화된 기판을 초음파와 플라즈마를 이용하여 클리닝하게 되어 기판 클리닝 과정에서 잉크의 흡입으로 인한 배출라인의 오염을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판의 패턴 미경화로 인한 후속 공정의 오류를 방지하게 되어 공정의 효율성을 높이게 된다.
또한, 기판의 패턴 경화율을 측정하는 경화율측정기가 잉크젯 프린터의 두께측정유닛과 일체로 결합되어 두께측정유닛으로 패턴의 두께를 측정함과 동시에 패턴의 경화율을 측정하게 되므로 측정 작업이 간단하게 되고, 또한 경화율측정기가 UV본경화장치의 챔버 입출구측에 구비되어 기판이 챔버 입출구를 통해 챔버 밖으로 이동시키는 과정에서 기판의 패턴 경화율을 측정하게 되므로 측정 작업이 간단하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제1실시예를 도시한 블록도,
도 2는 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제1실시예를 구성하는 초음파 플라즈마 클리너를 도시한 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제1실시예를 구성하는 잉크젯 프린터를 도시한 평면도,
도 4는 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 방법의 제1실시예를 도시한 순서도,
도 5는 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제1실시예를 구성하는 초음파 플라즈마 클리너의 작동 과정을 순서적으로 각각 도시한 평면도,
도 6은 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제1실시예를 구성하는 잉크젯 프린터의 동작을 순서적으로 각각 도시한 평면도,
도 7은 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제2실시예를 도시한 블록도,
도 8은 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제2실시예를 구성하는 UV본경화장치를 도시한 평면도,
도 9는 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 방법의 제2실시예를 도시한 순서도,
도 10은 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제2실시예를 구성하는 UV본경화장치의 동작을 순서적으로 각각 도시한 평면도.
이하, 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제1 실시예는, 도 1에 도시한 바와 같이, 제1 초음파 플라즈마 클리너(101), 잉크젯 프린터(200), 경화율측정기(300), 제2 초음파 플라즈마 클리너(102)를 포함한다.
제1 초음파 플라즈마 클리너(101)는 초음파와 플라즈마를 이용하여 기판을 클리닝한다.
제1 초음파 플라즈마 클리너(100)의 일예로, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)는 베이스 프레임(110)과, 그 베이스 프레임(110)에 구비되는 플레이트유닛(120)과, 플레이트유닛(120)의 양쪽으로 위치하는 이온발생유닛(130)과, 베이스 프레임(110)의 갠트리 일측에 위치하도록 설치되어 초음파를 발생시키는 초음파유닛(140)과, 베이스 프레임(110)의 갠트리 타측에 위치하도록 설치되어 플라즈마를 형성하는 플라즈마유닛(150)과, 이물질을 배출하는 배출유닛(미도시)을 포함한다.
잉크젯 프린터(200)는 기판에 패턴을 잉크로 프린팅하고 UV로 가경화시킨다.
잉크젯 프린터(200)의 일예로, 도 3에 도시한 바와 같이, 잉크젯 프린터(200)는 베이스 프레임(210)과, 그 베이스 프레임(210)에서 직선으로 왕복하며 기판이 놓여지는 스테이지모듈(220)과, 베이스 프레임(210)의 갠트리에 설치되어 스테이지모듈(220)에 놓여진 기판에 설정된 패턴으로 잉크를 프린팅하는 프린터 헤드모듈(230)과, 베이스 프레임(210)의 갠트리 일측에 설치되어 기판에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키는 UV가경화유닛(240)과, 베이스 프레임(210)의 갠트리 타측에 설치되어 패턴의 두께를 측정하는 두께측정유닛(250)와, 베이스 프레임(210)의 일측에 장착되는 메인턴언스모듈(260)을 포함한다.
프린터 헤드모듈(230)은 잉크를 분사하는 프린터 헤드(231)와, 그 프린터 헤드(231)로 잉크를 공급하는 잉크공급유닛(232)을 포함한다.
UV가경화유닛(240)은 자외선 램프를 포함하며, 자외선 램프에서 조사되는 자외선으로 패턴을 가경화시킨다. 자외선 램프에서 조사되는 자외선세기, 온도, 시간, 패턴의 두께, 패턴의 형상 등 여러 요소에 따라 패턴의 경화 정도가 정해진다.
경화율측정기(300)는 잉크젯 프린터(200)에 구비되어 기판에 가경화된 패턴의 경화율을 측정한다. 경화율측정기(300)의 일예로, 경화율측정기(300)는 측정기바디와, 그 측정기바디의 하부에 수광부 및 발광부를 포함한다. 경화율측정기(300)는 두께측정유닛(250)과 연결되어 두께측정유닛(250)과 일체로 구비되는 것이 바람직하다. 이로 인하여, 두께측정유닛(250)으로 가경화된 패턴의 두께를 측정함과 동시에 패턴의 경화율을 측정하여 측정 및 공정 효율을 높일 수 있게 된다.
제2 초음파 플라즈마 클리너(102)는 가경화된 패턴이 구비된 기판을 초음파와 플라즈마를 이용하여 클리닝한다. 제2 초음파 플라즈마 클리너(102)는 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)의 구성과 같다. 따라서 구체적인 설명은 생략한다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 방법의 제1 실시예는, 도 4, 5에 도시한 바와 같이, 먼저, 기판(10)을 클리닝하는 단계(S10)가 진행된다. 기판(10)은 초음파와 플라즈마를 이용하여 클리닝되는 것이 바람직하다. 기판(10)을 클리닝하는 공정은 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)에 의해 진행된다.
제1 초음파 플라즈마 클리너(101)에 의해 기판(10)이 클리닝되는 과정을 설명한다.
먼저, 기판(10)이 플레이트유닛(120)에 로딩된다[도 5(a) 참조]. 이어 이온발생유닛(130)에 의해 플레이트유닛(120)에 로딩된 기판(10) 위 무기물을 이온화시키고[도 5(b) 참조], 이어 기판(10)을 초음파유닛(140)에 의해 기판(10)의 이온화된 무기물 이물질을 클리닝하고[도 5(c) 참조], 이어 플라즈마유닛(150)에 의해 기판(10) 위 유기물 이물질을 클리닝하고[도 5(d) 참조], 기판(10) 위의 이물질을 측정하고 설정된 기준범위값이내이면 기판(10)을 언로딩시킨다[도 5(e) 참조].
기판(10)을 클리닝한 다음 기판(10)에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하는 단계(S20)가 진행된다. 기판(10)에 잉크를 프린팅하는 공정은 잉크젯 프린터(200)의 프린터 헤드모듈(230)에 의해 진행된다.
기판(10)에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅한 다음 기판(10)에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키는 단계(S30)가 진행된다. 기판(10)의 패턴을 가경화시키는 공정은 잉크젯 프린터(200)의 UV가경화유닛(240)에 의해 진행된다.
기판(10)의 패턴을 가경화시킨 다음 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계(S40)가 진행된다. 패턴의 경화율을 측정하는 공정은 경화율측정기(300)에 의해 진행된다.
기판(10)의 패턴에 대한 경화율을 측정한 다음 기판(10)의 패턴 경화율이 기준범위값 미만이면 재경화시키고 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판(10)을 클리닝하여 파티클을 제거하는 단계(S50)가 진행된다.
잉크젯 프린터(200)에 의해, 기판(10)에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하고 그 패턴을 가경화시키고 패턴의 경화율을 측정하는 과정을 설명한다.
기판(10)을 스테이지모듈에 로딩시킨다[도 6(a) 참조]. 이어, 기판(10)을 프린터 헤드모듈(230) 아래쪽으로 이동시키고 프린터 헤드(231)로 기판(10)에 설정된 패턴으로 잉크를 프린팅하고 이어 UV가경화유닛(240)으로 기판(10)에 프린팅된 패턴을 가경화시킨다[도 6(b) 참조]. 이어 기판(10)을 두께측정유닛(250)으로 이동시켜 두께측정유닛(250)으로 기판(10)의 가경화된 패턴 두께를 측정함과 동시에 경화율측정기(300)로 패턴의 경화율을 측정한다[도 6(c) 참조]. 경화율측정기(300)로 측정된 경화율 측정값이 기준범위값미만이면 패턴을 재경화시키고, 경화율 측정값이 기준범위값이상이 되면 기판(10)을 언로딩시킨다[도 6(d) 참조].
이와 같은 경화율 측정은 실시간으로 진행하여 기판의 패턴 경화정보를 기초로하여 프린터 헤드의 잉크 분사 및 UV가경화유닛의 제어에 활용할 수 있다.
잉크젯 프린터(200)에서 언로딩된 기판(10)은 제2 초음파 플라즈마 클리너(102)에 의해 클리닝된다.
제2 초음파 플라즈마 클리너(102)에서 기판(10)이 클리닝되는 과정은 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)에서 진행되는 과정과 같다. 따라서 구체적인 설명은 생략한다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 시스템의 제2 실시예는, 도 7에 도시한 바와 같이, 기판(10)을 클리닝하는 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)와, 기판(10)에 패턴을 잉크로 프린팅하고 UV로 가경화시키는 잉크젯 프린터(200)와, 그 잉크젯 프린터(200)에 구비되어 기판(10)에 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 제1 경화율측정기(301)와, 가경화된 패턴이 구비된 기판(10)을 클리닝하는 제2 초음파 플라즈마 클리너(102)와, 기판(10)의 패턴을 UV로 본경화시키는 UV본경화장치(400)와, 그 UV본경화장치(400)에 구비되어 기판(10)에 본경화된 패턴의 경화율을 측정하는 제2 경화율측정기(302); 및 패턴 경화율이 기준범위값이내인 기판(10)을 클리닝하는 제3 초음파 플라즈마 클리너(103)를 포함한다.
제1,2,3 초음파 플라즈마 클리너(101)(102)(103)는 각각 제1 실시예의 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)의 구성과 같다. 따라서 제2 실시예의 제1,2,3 초음파 플라즈마 클리너(101)(102)(103)에 대한 설명은 생략한다.
잉크젯 프린터(200)와 제1 경화율측정기(301)는 각각 제1 실시예의 잉크젯 프린터(200)와 경화율측정기(300)의 구성과 같다. 따라서 제2 실시예의 잉크젯 프린터(200)와 제1 경화율측정기(301)에 대한 설명은 생략한다.
UV본경화장치(400)는 기판(10)의 가경화된 패턴을 UV로 본경화시킨다.
UV본경화장치(400)의 일예로, 도 8에 도시한 바와 같이, UV본경화장치(400)는 내부 공간을 갖는 챔버(410)와, 그 챔버(410)의 출입구를 통해 기판(10)을 챔버 내부로 이동시키거나 내부에서 빼내는 기판이동유닛(420)과, 챔버(410) 내부에 위치하는 기판(10)을 따라 직선 왕복하면서 UV를 조사하는 UV조사유닛(430)을 포함한다. 챔버(410), 기판이동유닛(420), UV조사유닛(430)은 세트로 수직 방향으로 복수 개 설치될 수도 있다.
제2 경화율측정기(302)는 UV본경화장치(400)에 구비되어 기판(10)에 본경화된 패턴의 경화율을 측정한다. 제2 경화율측정기(302)는 UV본경화장치(400)를 구성하는 챔버(410) 출입구측에 설치되는 것이 바람직하다. 제2 경화율측정기(302)는 1개 또는 복수 개 설치될 수 있다. 제2 경화율측정기(302)가 챔버(410)의 출입구측에 장착되어 기판(10)이 출입구를 통해 나오는 과정에서 기판(10)의 패턴에 대한 경화율을 측정하게 되므로 구성 및 공정이 간단하게 된다. 제2 경화율측정기(302)는 제1 경화율측정기(301)와 구성이 같다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 방법의 제2 실시예는, 도 9, 10에 도시한 바와 같이, 먼저, 기판(10)을 클리닝하는 단계(S10)가 진행된다. 기판(10)은 초음파와 플라즈마를 이용하여 클리닝되는 것이 바람직하다.
기판(10)을 클리닝하는 공정은 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)에 의해 진행된다. 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)에서 기판(10)이 클리닝되는 과정은 제1 실시예의 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)에서 기판(10)이 클리닝되는 과정과 같다. 따라서 구체적인 설명은 생략한다.
기판(10)을 클리닝한 다음 기판(10)에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하는 단계(S20)가 진행된다. 기판(10)에 잉크를 프린팅하는 공정은 잉크젯 프린터(200)의 프린터 헤드모듈(230)에 의해 진행된다.
기판(10)에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅한 다음 기판(10)에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키는 단계(S30)가 진행된다. 기판(10)의 패턴을 가경화시키는 공정은 잉크젯 프린터(200)의 UV가경화유닛(240)에 의해 진행된다.
기판(10)의 패턴을 가경화시킨 다음 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계(S40)가 진행된다. 패턴의 경화율을 측정하는 공정은 제1 경화율측정기(301)에 의해 진행된다.
기판(10)의 패턴에 대한 경화율을 측정한 다음 기판(10)의 패턴 경화율이 기준범위값 미만이면 재경화시키고 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판(10)을 클리닝하는 단계(S50)가 진행된다.
잉크젯 프린터(200)에 의해, 기판(10)에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하고 그 패턴을 가경화시키고 패턴의 경화율을 측정하는 과정이 진행된다. 잉크젯 프린터(200)에서 진행되는 과정은 제1 실시예의 잉크젯 프린터(200)에서 진행되는 과정과 같다. 따라서 구체적인 설명은 생략한다.
잉크젯 프린터(200)에서 언로딩된 기판(10)은 제2 초음파 플라즈마 클리너(102)에 의해 클리닝된다.
제2 초음파 플라즈마 클리너(102)에서 기판(10)이 클리닝되는 과정은 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)에서 진행되는 과정과 같다.
기판(10)의 가경화된 패턴을 클리닝한 다음 기판(10)의 패턴을 UV로 본경화시키는 단계(S60)가 진행된다. 기판(10)의 패턴을 본경화하는 과정은 UV본경화장치(400)에 의해 진행된다.
기판(10)의 패턴을 UV로 본경화시킨 다음 본경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계(S70)가 진행된다. 기판(10)의 패턴에 대하여 경화율을 측정하는 과정은 제2 경화율측정기(302)에 의해 진행된다.
기판(10)의 패턴의 경화율을 측정한 다음 기판(10)의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판(10)을 클리닝하는 단계(S80)가 진행된다.
UV본경화장치(400)에 의해, 기판(10)의 패턴을 본경화하고 본 경화된 기판(10)의 패턴에 대한 경화율을 측정하는 과정을 설명한다.
기판이동유닛(420)이 기판(10)을 챔버(410) 출입구를 통해 챔버(410) 내부로 이동시킨다[도 9(a) 참조]. 이어 UV조사유닛(430)이 기판(10)을 따라 직선 왕복하면서 기판(10)에 UV를 조사하여 기판(10)의 패턴을 본경화시킨다[도 9(b) 참조]. 이어 기판이동유닛(420)이 챔버(410) 내부에 위치한 기판(10)을 챔버 출입구를 통해 챔버(410) 밖으로 이동시키며[도 9(c) 참조], 기판(10)이 챔버 출입구를 통해 밖으로 나오는 과정에서 챔버 출입구측에 장착된 제2 경화율측정기(302)가 본경화된 기판(10)의 패턴의 경화율을 측정한다. 경화율 측정값이 기준범위값미만이면 재경화시킨다. 이와 같은 경화율 측정은 실시간으로 진행하여 기판의 패턴 경화정보를 기초로하여 UV조사유닛의 제어에 활용할 수 있다.
UV본경화장치(400)에서 언로딩된 기판(10)은 제3 초음파 플라즈마 클리너(103)에 의해 클리닝된다.
제3 초음파 플라즈마 클리너(103)에서 기판(10)이 클리닝되는 과정은 제1 초음파 플라즈마 클리너(101)에서 진행되는 과정과 같다. 따라서 구체적인 설명은 생략한다.
본경화 및 클리닝이 완료된 기판은 후속 공정이 진행될 장비로 이송된다.
이와 같이, 본 발명은 기판(10)에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키고 그 가경화된 패턴의 경화율을 측정하여 기판(10)의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판(10)을 클리닝하여 파티클을 제거하게 되므로 패턴이 기준범위값이내로 경화된 기판(10)을 초음파와 플라즈마를 이용하여 클리닝하게 되어 기판 클리닝 과정에서 잉크의 흡입으로 인한 배출라인의 오염을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판(10)의 패턴 미경화로 인한 후속 공정의 오류를 방지하게 되어 공정의 효율성을 높이게 된다.
또한, 본 발명은 기판(10)의 패턴에 대한 경화 정도를 실시간으로 파악하게 되므로 기판(10)의 패턴 미경화의 원인이 될 수 있는 프린터 헤드(231)의 잉크 분사 및 UV가경화유닛(240)의 UV 조사 제어에 활용할 수 있어 잉크 프린팅 및 UV 조사의 최적화를 이룰 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 기판(10)의 패턴을 UV로 본경화시키고 본경화된 패턴의 경화율을 측정하여 기판(10)의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판(10)을 클리닝하게 되므로 패턴이 기준범위값이내로 경화된 기판(10)을 초음파와 플라즈마를 이용하여 클리닝하게 되어 기판 클리닝 과정에서 잉크의 흡입으로 인한 배출라인의 오염을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판(10)의 패턴 미경화로 인한 후속 공정의 오류를 방지하게 되어 공정의 효율성을 높이게 된다.
또한, 기판(10)의 패턴 경화율을 측정하는 경화율측정기(300)가 잉크젯 프린터(200)의 두께측정유닛(250)과 일체로 결합되어 두께측정유닛(250)으로 패턴의 두께를 측정함과 동시에 패턴의 경화율을 측정하게 되므로 측정 작업이 간단하게 되고, 또한 경화율측정기(302)가 UV본경화장치(400)의 챔버 입출구측에 구비되어 기판(10)이 챔버 입출구를 통해 챔버 밖으로 이동시키는 과정에서 기판(10)의 패턴 경화율을 측정하게 되므로 측정 작업이 간단하게 된다.
101,102,103; 초음파 플라즈마 클리너 200; 잉크젯 프린터
300, 301, 302; 경화율측정기 400; UV본경화장치

Claims (5)

  1. 기판을 클리닝하는 단계;
    상기 기판에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하는 단계;
    상기 기판에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키는 단계;
    상기 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계; 및
    상기 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린팅 방법.
  2. 기판을 클리닝하는 단계;
    상기 기판에 잉크로 설정된 패턴을 프린팅하는 단계;
    상기 기판에 프린팅된 패턴을 UV로 가경화시키는 단계;
    상기 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계;
    상기 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하는 단계;
    상기 기판의 패턴을 UV로 본경화시키는 단계;
    상기 본경화된 패턴의 경화율을 측정하는 단계; 및
    상기 기판의 패턴 경화율이 기준범위값미만이면 재경화시키고, 패턴 경화율이 기준범위값이내이면 기판을 클리닝하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린팅 방법.
  3. 기판을 클리닝하는 제1 초음파 플라즈마 클리너;
    상기 기판에 패턴을 잉크로 프린팅하고 UV로 가경화시키는 잉크젯 프린터;
    상기 잉크젯 프린터에 구비되어 기판에 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 제1 경화율측정기; 및
    상기 가경화된 패턴이 구비된 기판을 클리닝하는 제2 초음파 플라즈마 클리너를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템.
  4. 기판을 클리닝하는 제1 초음파 플라즈마 클리너;
    상기 기판에 패턴을 잉크로 프린팅하고 UV로 가경화시키는 잉크젯 프린터;
    상기 잉크젯 프린터에 구비되어 기판에 가경화된 패턴의 경화율을 측정하는 제1 경화율측정기;
    상기 가경화된 패턴이 구비된 기판을 클리닝하는 제2 초음파 플라즈마 클리너;
    상기 기판의 패턴을 UV로 본경화시키는 UV본경화장치;
    상기 UV본경화장치에 구비되어 기판에 본경화된 패턴의 경화율을 측정하는 제2 경화율측정기; 및
    상기 패턴 경화율이 기준범위값이내인 기판을 클리닝하는 제3 초음파 플라즈마 클리너를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2 경화율측정기는 UV본경화장치를 구성하는 UV 챔버 출입구측에 설치되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 시스템.
KR1020220183909A 2022-12-26 2022-12-26 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템 KR20240102141A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220183909A KR20240102141A (ko) 2022-12-26 2022-12-26 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220183909A KR20240102141A (ko) 2022-12-26 2022-12-26 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240102141A true KR20240102141A (ko) 2024-07-03

Family

ID=91900292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220183909A KR20240102141A (ko) 2022-12-26 2022-12-26 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20240102141A (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170115801A (ko) 2016-04-08 2017-10-18 주식회사 엘지화학 잉크젯 프린팅을 이용한 베젤 패턴의 형성 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170115801A (ko) 2016-04-08 2017-10-18 주식회사 엘지화학 잉크젯 프린팅을 이용한 베젤 패턴의 형성 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20180100043A (ko) 임프린트 장치, 이물 제거 방법, 및 물품의 제조 방법
JP3215095U (ja) 印刷ユニットおよび印刷装置
JP2016215544A (ja) 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法
JP2016111367A (ja) 塗布装置、インプリント装置、および物品の製造方法
KR20160066499A (ko) 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법
KR20180000050A (ko) 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법
KR102393023B1 (ko) 임프린트 장치 및 물품 제조 방법
US9022519B2 (en) Printing device
JP2004216737A (ja) ワーク処理装置の処理精度検査装置、液滴吐出装置の描画精度検査装置、液滴吐出装置およびワーク、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
KR20240102141A (ko) 잉크젯 프린팅 방법 및 그 시스템
JP2015012163A (ja) インプリント方法、インプリント装置及びデバイスの製造方法
JP4519120B2 (ja) パターン形成装置
KR102680436B1 (ko) 잉크젯 헤드 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 방법
JP2012099795A (ja) レジストインク印刷装置
US20180297247A1 (en) Application device, imprinting apparatus, and method for manufacturing object
KR102573601B1 (ko) 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
JP7362462B2 (ja) 液体吐出装置、インプリント装置、および検査方法
KR20240123952A (ko) 가스 공급형 uv경화장치 및 그것을 구비한 고품질 고효율 잉크젯 프린팅 시스템
KR20160080475A (ko) 약액 처리 장치
JP3907491B2 (ja) パターン形成装置
US20170129235A1 (en) Liquid discharge apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing article
JP5958012B2 (ja) 液滴吐出装置および液滴吐出装置の検査方法
WO2019159307A1 (ja) インクジェット印刷装置
KR20240123511A (ko) 고품질 고효율 잉크젯 프린팅 시스템
KR102541207B1 (ko) 잉크젯 프린트 시스템과 메인터넌스 공정 수행 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal