KR20240073441A - 액체 분부 장치 - Google Patents

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KR20240073441A
KR20240073441A KR1020220155273A KR20220155273A KR20240073441A KR 20240073441 A KR20240073441 A KR 20240073441A KR 1020220155273 A KR1020220155273 A KR 1020220155273A KR 20220155273 A KR20220155273 A KR 20220155273A KR 20240073441 A KR20240073441 A KR 20240073441A
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injection nozzle
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spray
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KR1020220155273A
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정의순
김인규
최호준
정재훈
홍진기
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유니셈(주)
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Abstract

액체 분부 장치가 개시된다. 일 실시예에 따른 분무 장치는 액체를 공급하기 위한 액체 공급부; 일단은 개구되고 타단은 막혀 있는 상기 액체로 채워지는 원통부; 상기 원통부의 측면을 관통하여 형성되는 튜브(tube) 형상의 제1 분사 노즐; 및 상기 제1 분사 노즐의 아래에 위치하고, 상기 측면을 관통하여 형성되는 튜브 형상의 제2 분사 노즐을 포함하고, 상기 제1 분사 노즐 및 상기 제2 분사 노즐 각각의 일단에 위치하는 개구부들은 상기 원통부의 내부에 위치하고, 상기 제1 분사 노즐 및 상기 제2 분사 노즐 각각의 타단에 위치하는 개구부들은 상기 원통부의 외부에 위치하고, 상기 제1 분사 노즐의 길이는 상기 제2 분사 노즐의 길이와 다를 수 있다.

Description

액체 분부 장치{LIQUID SPRAYING DEVICE}
아래 개시는 액체 분부 장치에 관한 것이다.
폐기물의 소각 과정에서 발생되는 가스는 대기 오염 물질을 포함할 수 있다. 대기 오염 물질은 호흡기를 통해 인체 내부로 유입되고, 각종 질환을 유발할 수 있다. 대기 오염 물질을 제거하기 위해, 액체 분부 장치가 사용될 수 있다.
액체 분부 장치는 미세한 액체 입자를 분부하기 위한 장치일 수 있다. 정전 분부 장치는 액체 분부 장치의 한 종류일 수 있다. 정전 분부 장치는 전기력을 이용하여 미립화하고, 미립화 된 액체를 분부할 수 있다.
관련 선행기술로, 한국 등록특허공보 제 KR 2198334 B1호(발명의 명칭: 수두차를 이용한 정전분무 다중 노즐)가 있다.
위에서 설명한 배경기술은 발명자가 본원의 개시 내용을 도출하는 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시예에 따른 액체 분부 장치는 액체 분사 노즐들 사이의 길이차를 이용하여 상부에 위치하는 액체 분사 노즐을 통해 분사되는 액체의 양과 하부에 위치하는 액체 분사 노즐을 통해 분사되는 액체의 양을 균일하게 조절할 수 있다.
일 실시예에 따른 액체 분부 장치는 퍼지 가스를 통해 액체 분부 장치 내부의 부품 표면이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
다만, 기술적 과제는 상술한 기술적 과제들로 한정되는 것은 아니며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
일 실시예에 따른 분무 장치는 액체를 공급하기 위한 액체 공급부; 일단은 개구되고 타단은 막혀 있는 상기 액체로 채워지는 원통부; 상기 원통부의 측면을 관통하여 형성되는 튜브(tube) 형상의 제1 분사 노즐; 및 상기 제1 분사 노즐의 아래에 위치하고, 상기 측면을 관통하여 형성되는 튜브 형상의 제2 분사 노즐을 포함하고, 상기 제1 분사 노즐 및 상기 제2 분사 노즐 각각의 일단에 위치하는 개구부들은 상기 원통부의 내부에 위치하고, 상기 제1 분사 노즐 및 상기 제2 분사 노즐 각각의 타단에 위치하는 개구부들은 상기 원통부의 외부에 위치하고, 상기 제1 분사 노즐의 길이는 상기 제2 분사 노즐의 길이와 다를 수 있다.
상기 제1 분사 노즐의 길이는 상기 제2 분사 노즐의 길이보다 짧을 수 있다.
상기 제1 분사 노즐 및 상기 제2 분사 노즐은 상기 원통부의 중심축 방향으로 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다.
상기 제1 분사 노즐은 상기 측면의 둘레를 따라 일정 간격으로 배치되는 복수의 제1 분사 노즐들을 포함하고, 상기 제2 분사 노즐은 상기 측면의 둘레를 따라 일정 간격으로 배치되는 복수의 제2 분사 노즐들을 포함할 수 있다.
상기 제1 분사 노즐들은 상기 원통부의 중심축에 수직한 방향으로 나란히 배치되고, 상기 제2 분사 노즐들은 상기 중심축에 수직한 방향으로 나란히 배치될 수 있다.
상기 액체 분부 장치는 상기 액체 공급부와 연결되는 액체 탱크; 및 상기 액체 탱크 및 상기 원통부를 연결하는 연결부를 더 포함할 수 있다.
상기 연결부는 상기 원통부에 전압을 인가하기 위한 전원 케이블에 연결되고, 상기 액체 탱크로부터 상기 원통부로 액체가 흐를 수 있도록 형성되는 제1 연결부; 및 상기 액체 탱크와 연결되고 상기 제1 연결부의 외측면의 일부를 감싸도록 형성되는 제2 연결부를 포함할 수 있다.
상기 제1 연결부는 전도성 물질일 수 있다.
상기 제2 연결부는 절연성 물질일 수 있다.
상기 액체 분부 장치는 상기 액체 탱크와 상기 제2 연결부 사이에 퍼지 가스의 유동을 위한 퍼지 갭(purge gab)을 더 포함할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 액체 분부 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 일 실시예에 따른 분사 노즐을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따른 분사 노즐을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 일 실시예에 따른 연결부를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따른 퍼지 갭을 설명하기 위한 도면이다.
실시예들에 대한 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 예시를 위한 목적으로 개시된 것으로서, 다양한 형태로 변경되어 구현될 수 있다. 따라서, 실제 구현되는 형태는 개시된 특정 실시예로만 한정되는 것이 아니며, 본 명세서의 범위는 실시예들로 설명한 기술적 사상에 포함되는 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이런 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 해석되어야 한다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 문서에서, "A 또는 B", "A 및 B 중 적어도 하나", "A 또는 B 중 적어도 하나", "A, B 또는 C", "A, B 및 C 중 적어도 하나", 및 "A, B, 또는 C 중 적어도 하나"와 같은 문구들 각각은 그 문구들 중 해당하는 문구에 함께 나열된 항목들 중 어느 하나, 또는 그들의 모든 가능한 조합을 포함할 수 있다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설명된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함으로 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 문서에서 사용된 용어 "모듈"은 하드웨어, 소프트웨어 또는 펌웨어로 구현된 유닛을 포함할 수 있으며, 예를 들면, 로직, 논리 블록, 부품, 또는 회로와 같은 용어와 상호 호환적으로 사용될 수 있다. 모듈은, 일체로 구성된 부품 또는 하나 또는 그 이상의 기능을 수행하는, 상기 부품의 최소 단위 또는 그 일부가 될 수 있다. 예를 들면, 일실시예에 따르면, 모듈은 ASIC(application-specific integrated circuit)의 형태로 구현될 수 있다.
본 문서에서 사용되는 '~부'라는 용어는 소프트웨어 또는 FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미하며, '~부'는 어떤 역할들을 수행한다. 그렇지만, '~부'는 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부'는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 예를 들어, '~부'는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들, 및 변수들을 포함할 수 있다. 구성요소들과 '~부'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부'들로 더 분리될 수 있다. 뿐만 아니라, 구성요소들 및 '~부'들은 디바이스 또는 보안 멀티미디어카드 내의 하나 또는 그 이상의 CPU들을 재생시키도록 구현될 수도 있다. 또한, '~부'는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다.
이하, 실시예들을 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조 부호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시예에 따른 액체 분부 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 일 실시예에 따르면, 액체 분부 장치(100)는 액체(예: 물)의 수두차를 이용하여 액체를 분부하기 위한 장치일 수 있다. 액체 분부 장치(100)는 액체 공급부(111), 제1 풀콘 노즐(fullcone nozzle)(113), 액체 탱크(liquid tank)(115), 연결부(171-1~171-3), 제2 풀콘 노즐(119), , 제1 하우징(121), 제2 하우징(123), 원통부(125), 및 그라운드 소켓(127)을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 액체 공급부(111)는 액체를 공급하기 위한 포트(port)일 수 있다. 액체 공급부(111)의 일단은 제1 풀콘 노즐(113)에 연결될 수 있다. 제1 풀콘 노즐(113)은 액체를 액체 탱크(115)의 내부를 향하여 분사할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 액체 탱크(115)는 액체 공급부(111)를 통한 누전(electronic leakage)을 방지할 수 있도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 액체 탱크(115)는 절연 물질(예: 테플론(Teflon), PVC)로 코팅 될 수 있다. 액체 탱크(115)는 전기 케이블(예: 고전압 케이블)을 통과시키기 위한 케이블 홀(cable hole)(115-1)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 케이블 홀(115-1)은 액체 탱크(115)의 측면에 형성될 수 있다. 액체 탱크(115)는 퍼지 가스(purge gas)(예: 공기, 질소 가스(N2))를 공급하기 위한 퍼지 홀(purge hole)(115-2)을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 연결부(171-1~171-3)(예: 애자)는 원통부(125)에 전기를 공급하고, 누전을 방지할 수 있다. 연결부(171-1~171-3)의 상세 구조에 대해서는 도 4를 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
일 실시예에 따르면, 제2 풀콘 노즐(119)은 액체를 연결부를 향하여 분사함으로써 연결부(171-2, 171-3)의 표면에 존재하는 오염 물질을 제거할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 하우징(121)은 연결부(171-2, 171-3) 및 원통부(125)의 일부를 감싸는 하우징일 수 있다. 제1 하우징(121)은 절연 물질로 코팅될 수 있다. 제1 하우징(121)은 배출부(121-1)를 포함할 수 있다. 배출부(121-1)는 기체(예: 오염 물질을 포함하는 가스) 및/또는 액체를 배출하기 위한 개구부 일 수 있다. 배출부(121-1)는 제1 하우징(121)의 측면에 형성될 수 있다. 제1 하우징(121)과 액체 탱크(115)는 플랜지들(115-3, 121-2)를 통해 서로 연결될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 하우징(123)은 원통부(125)의 일부를 감싸는 하우징일 수 있다. 제2 하우징(123)의 하부는 개구 될 수 있다. 제2 하우징(123)은 절연 물질로 코팅될 수 있다. 제2 하우징(123)은 그라운드 케이블 홀(ground cable hole)(123-1)을 포함할 수 있다. 그라운드 케이블 홀(123-1)은 그라운드 소켓(ground socket)에 연결되는 그라운드 케이블(ground cable)을 통과시킬 수 있다. 제1 하우징(121)과 제2 하우징(123)은 플랜지들(121-3, 123-1)을 통해 서로 연결될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 원통부(125)는 액체로 채워지도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 원통부(125)는 일단이 개구되고 타단은 막혀 있는 원통 형상일 수 있다. 다만, 원통부(125)의 형상은 다양할 수 있고, 본 발명의 권리 범위가 이에 제한되는 것은 아니다. 원통부(125)의 개구부는 연결부(117-3)에 연결될 수 있다. 원통부(125)는 분사 노즐(125-1, 125-2)을 포함할 수 있다. 원통부(125)가 액체로 채워지는 경우, 액체는 액체의 하중(예: 수두압)으로 인해 분사 노즐(125-1, 125-2)을 통해 분출될 수 있다. 원통부(125)에 전압이 인가되는 경우, 액체는 미립화 되고, 미립화 된 액체는 분사 노즐(125-1, 125-2)을 통해 분사될 수 있다. 분사 노즐들(125-1)에 대해서는 도 2 및 도 3을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. 일 실시예에 따르면, 원통부(125)는 하나 이상의 홀(125-3)을 포함할 수 있다. 홀(125-3)은 원통부(125)에 채워지는 액체의 수두압을 유지하기 위한 것일 수 있다. 예를 들어, 홀(125-3)은 원통부(125)의 상부에 위치함으로써, 홀(125-3)은 과다하게 공급되는 액체를 배출할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 그라운드 소켓(127)은 액체 분부 장치(100)의 접지(ground)를 위한 것일 수 있다. 그라운드 소켓(127)은 탈착 가능한 소모품 일 수 있다.
도 2는 일 실시예에 따른 분사 노즐을 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 일 실시예에 따르면, 분사 노즐 그룹(210)은 제1 분사 노즐(125-1) 및 제2 분사 노즐(125-2)를 포함할 수 있다. 제2 분사 노즐(125-1)은 제1 분사 노즐(125-1)의 아래에 위치할 수 있다. 분사 노즐들(125-1, 125-2) 각각의 일단에 위치하는 개구부들(21, 23)은 원통부(125)의 내부에 위치하고, 분사 노즐들(125-1, 125-2) 각각의 타단에 위치하는 개구부들(25, 27)은 원통부(125)의 외부에 위치할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 분사 노즐(125-1)의 길이(L1)는 제2 분사 노즐(125-2)의 길이(L2)와 다를 수 있다. 예를 들어, 제1 분사 노즐(125-1)의 길이는 제2 분사 노즐(125-2)의 길이(L2) 보다 짧을 수 있다. 분사 노즐들(125-1, 125-2) 사이의 길이 차이로 인해, 제1 분사 노즐(125-1)을 통해 분사되는 액체의 양은 제2 분사 노즐(125-2)를 통해 분사되는 액체의 양과 비슷할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 분사 노즐(125-1)의 내부 직경(미도시)은 제2 분사 노즐(125-2)의 내부 직경(미도시)과 다를 수 있다. 예를 들어, 제1 분사 노즐(125-1)의 내부 직경은 제2 분사 노즐(125-2)의 내부 직경보다 클 수 있다. 분사 노즐들(125-1, 125-2) 사이의 내부 직경 차이로 인해, 제1 분사 노즐(125-1)을 통해 분사되는 액체의 양은 제2 분사 노즐(125-2)를 통해 분사되는 액체의 양과 비슷할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 원통부(125)는 분사 노즐 그룹(210)과 동일/유사한 분사 노즐 그룹들을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 원통부(125)는 세개의 분사 노즐 그룹들(210~230)을 포함할 수 있다. 다만, 도 3은 설명을 위한 일 예이고, 본 발명의 권리 범위가 이에 제한되는 것으로 해석되어서는 안 된다.
도 3은 일 실시예에 따른 분사 노즐을 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 일 실시예에 따르면, 제1 분사 노즐(예: 도 1 및 도 2의 제1 분사 노즐(125-1))은 하나 이상의 분사 노즐(예: 분사 노즐들(8))을 포함할 수 있다. 분사 노즐(8)은 원통부(125)의 중심축(31)에 수직한 방향으로 원통부(125)의 측면(33) 둘레를 따라 나란히 배치될 수 있다. 분사 노즐(8) 사이의 간격은 일정할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 분사 노즐(예: 도 1 및 도 2의 제2 분사 노즐(125-2)은 하나 이상의 분사 노즐(예: 분사 노즐들(7))을 포함할 수 있다. 분사 노즐(7)은 원통부(125)의 중심축(31)에 수직한 방향으로 원통부(125)의 측면(33) 둘레를 따라 나란히 배치될 수 있다. 분사 노즐(7) 사이의 간격은 일정할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 분사 노즐(125-1) 및 제2 분사 노즐(125-2)은 원통부(125)의 중심축(31) 방향으로 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 분사 노즐(125-1)과 제2 분사 노즐(125-2) 사이의 각도는 15도(degree)일 수 있다. 다만, 도 3은 설명을 위한 일 예이고, 본 발명의 권리 범위가 이에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다.
도 4는 일 실시예에 따른 연결부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 일 실시예에 따르면, 제1 연결부(117-1) 및 제3 연결부(117-3)는 전도체(예: 스테인리스(stainless))일 수 있다. 제1 연결부(117-1)을 케이블 홀(예: 도 1의 케이블 홀(115-1)을 통해 인입되는 전원 케이블(미도시)에 연결될 수 있다. 전원 케이블(미도시)을 통해 공급되는 전압(또는, 전류)은 1 연결부(117-1) 및 제3 연결부(117-3)를 통해 원통부(예: 도 1 내지 도 3의 원통부(125))에 인가될 수 있다. 제1 연결부(117-1)의 일단은 제3 연결부(117-3)에 연결될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 연결부(117-2)는 절연체(예: 테플론(Teflon), PVC)일 수 있다. 제2 연결부(117-2)는 제1 연결부(117-1)를 감싸도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 연결부(117-1)는 제2 연결부(117-2)에 삽입될 수 있다.
도 5는 일 실시예에 따른 퍼지 갭을 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 일 실시예에 따르면, 제2 연결부(117-2)와 액체 탱크(예: 도 1의 액체 탱크(115))의 플랜지(flange)(115-3)의 사이에는 퍼지 갭(purge gab)(51)이 위치할 수 있다. 퍼지 홀(예: 도 1의 퍼지 홀(115-2))를 통해 유입되는 퍼지 가스(예: 공기, 질소 가스(N2))는 퍼지 갭을 통해 흐를 수 있다. 퍼지 가스는 액체 분부 장치(예: 도 1의 액체 분부 장치(100))의 내부의 위치하는 부품(예: 연결부(117-2))의 표면이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 퍼지 가스는 연결부(117-2, 117-3)의 표면을 청소하기 위해 제1 풀콘 노즐(예: 도 1의 제1 풀콘 노즐(119))로부터 분사된 액체를 건조시킬 수 있다.
위에서 설명한 하드웨어 장치는 실시예의 동작을 수행하기 위해 하나 또는 복수의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.

Claims (10)

  1. 분무 장치에 있어서,
    액체를 공급하기 위한 액체 공급부;
    일단은 개구되고 타단은 막혀 있는 상기 액체로 채워지는 원통부;
    상기 원통부의 측면을 관통하여 형성되는 튜브(tube) 형상의 제1 분사 노즐; 및
    상기 제1 분사 노즐의 아래에 위치하고, 상기 측면을 관통하여 형성되는 튜브 형상의 제2 분사 노즐
    을 포함하고,
    상기 제1 분사 노즐 및 상기 제2 분사 노즐 각각의 일단에 위치하는 개구부들은,
    상기 원통부의 내부에 위치하고,
    상기 제1 분사 노즐 및 상기 제2 분사 노즐 각각의 타단에 위치하는 개구부들은,
    상기 원통부의 외부에 위치하고,
    상기 제1 분사 노즐의 길이는,
    상기 제2 분사 노즐의 길이와 다른, 분부 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 분사 노즐의 길이는,
    상기 제2 분사 노즐의 길이보다 짧은, 분부 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 분사 노즐 및 상기 제2 분사 노즐은,
    상기 원통부의 중심축 방향으로 서로 중첩되지 않도록 배치되는, 분부 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 분사 노즐은,
    상기 측면의 둘레를 따라 일정 간격으로 배치되는 복수의 제1 분사 노즐들
    을 포함하고,
    상기 제2 분사 노즐은,
    상기 측면의 둘레를 따라 일정 간격으로 배치되는 복수의 제2 분사 노즐들
    을 포함하는, 분부 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 분사 노즐들은,
    상기 원통부의 중심축에 수직한 방향으로 나란히 배치되고,
    상기 제2 분사 노즐들은,
    상기 중심축에 수직한 방향으로 나란히 배치되는, 분부 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 액체 공급부와 연결되는 액체 탱크; 및
    상기 액체 탱크 및 상기 원통부를 연결하는 연결부
    를 더 포함하는, 분부 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 연결부는,
    상기 원통부에 전압을 인가하기 위한 전원 케이블에 연결되고, 상기 액체 탱크로부터 상기 원통부로 액체가 흐를 수 있도록 형성되는 제1 연결부; 및
    상기 액체 탱크와 연결되고 상기 제1 연결부의 외측면의 일부를 감싸도록 형성되는 제2 연결부
    를 포함하는, 분부 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 연결부는,
    전도성 물질인, 분부 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제2 연결부는,
    절연성 물질인, 분부 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 액체 탱크와 상기 제2 연결부 사이에 퍼지 가스의 유동을 위한 퍼지 갭(purge gab)을
    더 포함하는, 분부 장치.
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