KR20240072059A - 반도체 장치, 보정 지원 방법, 및 반도체 시스템 - Google Patents

반도체 장치, 보정 지원 방법, 및 반도체 시스템 Download PDF

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아리쯔네 나가무라
마사시 사까따
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르네사스 일렉트로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

전자적 손떨림 보정에 의한 보정 정밀도를 개선하는 것이다.
반도체 장치(40)는, 촬상 장치(20)와, 촬상 장치(20)에 의해 촬영된 화상 데이터(d3)를 사용하여 촬영에 있어서의 흔들림을 전자적으로 보정하기 위한 전자적 보정부(30)와, 움직임 검출 센서(10)와, 기억부(42)를 구비하는 단말기(1)에 탑재되며, 움직임 검출 센서(10)로부터 취득한 검출 데이터(d1)에 대하여 소정의 연산 처리를 행하는 연산부(411)와, 연산 처리의 결과를 전자적 보정부(30)에 의한 보정을 위한 보정용 정보(421)로서 기억부(42)에 저장하는 저장부(412)를 구비한다.

Description

반도체 장치, 보정 지원 방법, 및 반도체 시스템{SEMICONDUCTOR DEVICE, CORRECTION SUPPORT METHOD, AND SEMICONDUCTOR SYSTEM}
본 개시는, 반도체 장치, 보정 지원 방법, 및 반도체 시스템에 관한 것이다.
휴대형 단말기에 탑재된 카메라 모듈의 촬영 시의 손떨림 보정 방식으로서, 광학식 손떨림 보정(Optical image stabilizer(OIS))이나 전자적 손떨림 보정(Electrical image stabilizer(EIS))이 있다.
특허문헌 1에는, 광학식 손떨림 보정에 관한 기술이 개시되어 있다. 특허문헌 1에 따른 카메라 모듈은, 광학식 손떨림 보정량과, 카메라 모듈의 기울기에서의 기울기 보정량 등을 사용하여 보정 렌즈가 광축에 수직인 면내에서 시프트하도록 보정 렌즈의 위치를 제어하는 것이다.
또한, 전자적 손떨림 보정에서는, 카메라에 의해 촬영된 화상 데이터를 사용하여 전자적으로 화상 데이터가 보정된다.
일본 특허 공개 제2018-106051호 공보
여기서, 전자적 손떨림 보정에 의한 보정 정밀도의 개선이 요구되었다.
그 밖의 과제와 신규 특징은, 본 명세서의 기술 및 첨부 도면으로부터 명백하게 될 것이다.
일 실시 형태에 따르면, 촬상 장치의 움직임이 검출된 검출 데이터에 대한 소정의 연산 처리의 결과를, 전자적인 손떨림 보정을 위한 보정용 정보로서 제공한다.
상기 일 실시 형태에 따르면, 전자적 손떨림 보정에 의한 보정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 실시 형태 1에 관한 반도체 장치를 탑재한 단말기의 전체 구성을 도시하는 블록도이다.
도 2는 본 실시 형태 1에 관한 보정 지원 방법의 흐름을 나타내는 시퀀스도이다.
도 3은 본 실시 형태 2에 관한 반도체 장치를 탑재한 단말기의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 4는 본 실시 형태 2에 관한 제어부(광학적 보정부)의 내부 구성과 주변 구성의 관계를 설명하기 위한 블록도이다.
도 5는 본 실시 형태 2에 관한 광학적 보정부에 있어서의 보정 지원 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 6은 본 실시 형태 2에 관한 미보정 정보의 개념을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 실시 형태 3에 관한 반도체 장치를 탑재한 단말기의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 8은 본 실시 형태 3에 관한 연산부 중 변환부의 내부 구성과 주변 구성의 관계를 설명하기 위한 블록도이다.
설명의 명확화를 위해, 이하의 기재 및 도면은, 적절히, 생략 및 간략화가 이루어져 있다. 또한, 다양한 처리를 행하는 기능 블록으로서 도면에 기재되는 각 요소는, 하드웨어적으로는, CPU(Central Processing Unit), 메모리, 그 밖의 회로로 구성할 수 있고, 소프트웨어적으로는, 메모리에 로드된 프로그램 등에 의해 실현된다. 따라서, 이들 기능 블록이 하드웨어만, 소프트웨어만, 또는 그것들의 조합에 의해 다양한 형태로 실현할 수 있는 것은 당업자에게는 이해되는 바이며, 어느 것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 각 도면에 있어서, 동일한 요소에는 동일한 부호가 붙여져 있고, 필요에 따라서 중복 설명은 생략되어 있다.
또한, 상술한 프로그램은, 다양한 타입의 비일시적인 컴퓨터 판독 가능 매체를 사용하여 저장되어, 컴퓨터에 공급할 수 있다. 비일시적인 컴퓨터 판독 가능 매체는, 다양한 타입의 실체가 있는 기록 매체를 포함한다. 비일시적인 컴퓨터 판독 가능 매체의 예는, 자기 기록 매체(예를 들어 플렉시블 디스크, 자기 테이프, 하드디스크 드라이브), 광자기 기록 매체(예를 들어 광자기 디스크), CD-ROM(Read Only Memory), CD-R, CD-R/W, 반도체 메모리(예를 들어, 마스크 ROM, PROM(Programmable ROM), EPROM(Erasable PROM), 플래시 ROM, RAM(Random Access Memory))을 포함한다. 또한, 프로그램은, 다양한 타입의 일시적인 컴퓨터 판독 가능 매체에 의해 컴퓨터에 공급되어도 된다. 일시적인 컴퓨터 판독 가능 매체의 예는, 전기 신호, 광 신호, 및 전자파를 포함한다. 일시적인 컴퓨터 판독 가능 매체는, 전선 및 광 파이버 등의 유선 통신로, 또는 무선 통신로를 통해, 프로그램을 컴퓨터에 공급할 수 있다.
<실시 형태 1>
도 1은 본 실시 형태 1에 관한 반도체 장치(40)를 탑재한 단말기(1)의 전체 구성을 도시하는 블록도이다. 단말기(1)는, 촬상 장치(20)를 구비한 휴대형 정보 처리 단말기이며, 반도체 시스템이라 칭할 수도 있다. 단말기(1)는, 예를 들어 스마트폰, 디지털 카메라 등이다. 단말기(1)는, 움직임 검출 센서(10), 촬상 장치(20), 전자적 보정부(30), 그리고, 제어부(41) 및 기억부(42)를 포함하는 반도체 장치(40)를 구비한다.
움직임 검출 센서(10)는, 촬상 장치(20)의 진동, 회전, 기울기 등의 움직임을 검출하고, 진동이나 회전에 있어서의 각속도나 기울기에 수반되는 가속도 등을 측정하여, 각속도나 가속도 등의 적어도 일부를 검출 데이터 d1로서 반도체 장치(40)로 출력한다. 움직임 검출 센서(10)는, 관성 센서라고도 불리며, 진동 검출 센서인 자이로 센서나 기울기 검출 센서인 가속도 센서 등을 포함해도 된다.
촬상 장치(20)는, 광학계, 카메라 모듈이라고도 불린다. 촬상 장치(20)는, 촬영한 화상 데이터 d3을 전자적 보정부(30)로 출력한다.
전자적 보정부(30)는, 촬상 장치(20)에 의해 촬영된 화상 데이터 d3을 사용하여 촬영에 있어서의 흔들림(손떨림, blur)을 전자적으로 보정한다. 본 실시 형태에 관한 전자적 보정부(30)는, 반도체 장치(40) 내의 기억부(42)로부터, 후술하는 보정용 정보(421)를 취득하여, 보정용 정보(421)를 사용하여 화상 데이터 d3의 전자적 보정을 행한다. 또한, 전자적 보정부(30)는, 반도체 장치나 정보 처리 장치 중 제어 장치, 메모리, 전자적 보정용의 프로그램으로 실현된다. 즉, 전자적 보정부(30)는, 제어 장치가 전자적 보정용의 프로그램을 메모리에 읽어들이고, 제어 장치가 프로그램을 실행함으로써, 기능이 실현된다.
반도체 장치(40)는, 제어부(41)와 기억부(42)를 적어도 구비한다. 또한, 반도체 장치(40)는, 다른 일반적인 구성도 구비하지만 도시 및 설명을 생략한다. 기억부(42)는, 메모리 등의 기억 소자로 실현된다. 기억부(42)는, 보정용 정보(421) 및 프로그램(422)을 기억한다. 보정용 정보(421)는, 촬상 장치(20)에 의한 촬영 시에 발생한 손떨림에 대하여, 전자적 보정부(30)에 의한 전자적인 보정을 위해 사용되는 정보이다. 프로그램(422)은, 본 실시 형태에 관한 보정 지원 방법의 처리가 실장된 컴퓨터 프로그램이다.
제어부(41)는, CPU 등의 제어 장치이다. 제어부(41)는, 프로그램(422)을 실행함으로써, 연산부(411) 및 저장부(412) 등의 기능을 실현한다. 연산부(411)는, 움직임 검출 센서(10)로부터 취득한 검출 데이터 d1에 대하여 소정의 연산 처리를 행한다. 소정의 연산 처리란, 예를 들어 검출 데이터 d1에 대한 적분 연산, 즉, 각속도 데이터로부터 각도 데이터로의 변환 처리, 다른 검출 데이터와의 차분의 산출 등이다. 단, 소정의 연산 처리는 이들에 한정되지는 않는다. 저장부(412)는, 연산부(411)에 의한 연산 처리의 결과를, 전자적 보정부(30)에 의한 보정을 위한 보정용 정보(421)로서 기억부(42)에 저장한다.
도 2는 본 실시 형태 1에 관한 보정 지원 방법의 흐름을 나타내는 시퀀스도이다. 전제로서, 단말기(1)를 휴대하는 유저는, 촬상 장치(20)를 사용하여 촬영을 행한다. 이것에 따라서, 전자적 보정부(30)는, 촬상 장치(20)에 의해 촬영된 화상 데이터 d3을 취득한다(S10). 또한, 움직임 검출 센서(10)는, 촬상 장치(20)의 움직임을 검출하고, 검출 데이터 d1로서 반도체 장치(40)로 출력한다. 이것에 따라서, 반도체 장치(40)의 제어부(41)는, 움직임 검출 센서(10)로부터 검출 데이터 d1을 취득한다(S11). 또한, 전자적 보정부(30)는, 소정의 타이밍에 반도체 장치(40)에 대하여 보정용 정보의 연산 지시를 출력해도 된다.
다음으로, 제어부(41)의 연산부(411)는, 검출 데이터 d1에 대한 소정의 연산 처리를 행하고(S12), 연산 처리 결과 d4를 저장부(412)로 출력한다. 그리고, 저장부(412)는, 연산 처리 결과 d4를 보정용 정보(421)로서 기억부(42)에 저장한다(S13). 즉, 연산 처리 결과 d4는, 보정용 정보(421)로서 기억부(42)에 보존된다.
그 후, 전자적 보정부(30)는, 기억부(42)에 대하여 보정용 정보(421)의 읽어내기 요구를 송신한다(S14). 이것에 따라서, 전자적 보정부(30)는, 기억부(42)로부터 보정용 정보(421)를 읽어낸다(S15). 또한, 전자적 보정부(30)는, 스텝 S14의 읽어내기 요구의 송신을 하지 않고, 직접, 기억부(42)로부터 보정용 정보(421)를 읽어내도 된다. 그리고, 전자적 보정부(30)는, 화상 데이터 d3과 보정용 정보(421)를 사용하여, 촬영에 있어서의 흔들림을 전자적으로 보정한다(S16).
이와 같이, 본 실시 형태에서는, 촬상 장치(20)의 움직임이 검출된 검출 데이터 d1에 대한 소정의 연산 처리의 결과를, 전자적인 손떨림 보정을 위한 보정용 정보로서 제공한다. 그 때문에, 전자적 손떨림 보정을 단독으로는 취득할 수 없는 데이터를 사용하여 보정을 행할 수 있기 때문에, 전자적 손떨림 보정에 의한 보정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
<실시 형태 2>
여기서, 본 실시 형태에 관한 관련 기술에 대하여 보충한다. 카메라 모듈의 촬영 시의 손떨림 보정 방식에는, 상술한 바와 같이, 광학식 손떨림 보정(OIS)과 전자적 손떨림 보정(EIS)이 있다. OIS는, 움직임 검출 센서로부터 취득한 데이터로부터 손떨림이 발생한 방향이나 크기 등의 정보를 취득하고, 그 정보로부터 손떨림을 보정하기 위해 필요로 되는 렌즈를 이동시키는 목표 위치 정보의 계산을 행하고, 촬상 장치 내의 렌즈의 위치 센서 등으로부터 검출한 렌즈 위치를 상기 목표 위치 정보와 일치하도록 렌즈 위치를 제어함으로써, 손떨림을 보정하는 기술이다. 또한, 렌즈 위치는, 렌즈의 위치 센서 이외의 수단에 의해 검출되는 경우도 있다. 또한, 근년에는 렌즈를 이동시켜 보정을 행하는 방식 이외에도 카메라 모듈 본체를 이동시키는 방식이나, 카메라 이미지 센서를 이동시킴으로써, 손떨림 보정을 실시하는 방식 등 다양한 방식이 존재한다. 본 개시에 관한 기술은 이들 모든 방식에 적응 가능하다. EIS는, 촬상 장치의 촬영 가능 영역보다도, 유효 화소 영역을 좁게 하여 촬영을 행하게 하고, 먼저 촬영한 화상 영역과, 후에 촬영한 화상 영역을 비교하여, 촬영 가능 영역 내에서의 이동량을 산출한다. 그리고, EIS는, 산출한 이동량에 맞추어 촬상 장치의 유효 화소 영역을 조정함으로써, 전자적으로 보정을 행하는 기술이다. 그러나, EIS에서는, 유효 화소 영역이 이미지 센서의 일부분만 사용하기 때문에, 이미지 센서의 능력을 충분히 활용할 수 없었다.
OIS와 EIS는 당초, 독립적으로 동작하는 기술이었지만, 보정 정밀도를 향상시키기 위해, OIS와 EIS를 연계시킬 것이 요구되고 있다. 예를 들어, OIS측에서 취득이나 연산된 데이터를, 메모리를 통해 EIS측으로 제공하는 것이 생각된다. OIS측으로부터 제공되는 데이터로서는, 예를 들어, OIS에서 취득되는 검출 데이터 그 자체(예를 들어, 자이로 센서의 자이로 RAW 데이터), 검출 데이터로부터 변환된 렌즈 목표 위치 정보, 또는, 촬상 장치에서 검출된 렌즈 위치 정보 등이 생각된다. 그러나, 이들 제공 데이터는, 그대로는 EIS의 보정에 이용할 수 없어, EIS측에서 가공, 즉 어떠한 연산 처리가 필요로 된다. 또한, EIS측의 보정 정밀도를 향상시키기 위해서는, 제공 데이터의 종류를 증가시키게 된다. 예를 들어, OIS측의 메모리에, 검출 데이터, 렌즈 목표 위치 정보, 렌즈 위치 정보 등 모두를 저장하게 된다. 이에 의해, EIS측은, 당해 메모리를 통해 제공 데이터를 취득 가능하게 된다. 단, 전송량이 많아져, 통신 부하가 증대될 수 있다. 또한, OIS로부터 EIS로의 데이터 전송은, 화상 촬영 중에 실시간으로 행할 필요가 있어, 전송량이 대량으로 되면, 다른 처리에 대한 영향이 발생할 수 있다. 그 때문에, OIS측으로부터 EIS측으로의 데이터 전송량을 억제하면서, 연계함으로써, EIS의 보정 정밀도를 향상시키는 기술이 요구되고 있다. 이상의 것으로부터, 이하에서는 이들 과제 중 적어도 하나를 해결하기 위한 본 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 3은 본 실시 형태 2에 관한 반도체 장치(40a)를 탑재한 단말기(1a)의 구성을 도시하는 블록도이다. 단말기(1a)는, 상술한 단말기(1)의 변형예이며, 반도체 시스템의 일례이다. 단말기(1a)는, 자이로 센서(10a), 촬상 장치(20), 반도체 장치(30a 및 40a)를 적어도 구비한다.
자이로 센서(10a)는, 상술한 움직임 검출 센서(10)의 일례이다. 자이로 센서(10a)는, 촬상 장치(20)의 회전 각속도를 측정하고, 각속도 데이터 d11로서 반도체 장치(40a)로 출력한다. 또한, 단말기(1a)는, 도시하지 않은 구성으로서, 자이로 센서(10a) 이외의 움직임 검출 센서, 예를 들어 가속도 센서를 더 구비하고 있어도 된다.
촬상 장치(20)는, 실시 형태 1과 마찬가지로, 촬영한 화상 데이터 d3을 반도체 장치(30a)로 출력한다. 촬상 장치(20)는, 구체적인 구성으로서, 액추에이터(21), 렌즈(22) 및 렌즈 위치 검출 센서(23)를 구비한다. 또한, 렌즈 위치 검출 센서(23)는, 액추에이터(21) 내에 마련되어 있어도 되지만, 설명의 편의상, 다른 구성으로서 기재하고 있다. 액추에이터(21)는, 반도체 장치(40a)로부터 접수한 렌즈 제어 신호 d21에 따라서, 렌즈(22)의 위치를 제어한다. 또한, 렌즈 제어 신호 d21은, 액추에이터(21)를 구동하기 위한 전압 또는 전류를 가리키는 것으로 해도 된다. 예를 들어, 액추에이터(21)는, 전압의 변화에 따라서 렌즈(22)를 시프트시켜도 된다. 렌즈 위치 검출 센서(23)는, 액추에이터(21)에 의해 제어된 렌즈(22)의 위치를 검출하고, 렌즈 위치 검출 데이터 d22를 반도체 장치(40a)로 출력한다. 또한, 촬상 장치(20)는, 렌즈 위치 검출 센서(23)를 구비하지 않아도 된다. 예를 들어, 촬상 장치(20)는, 독립된 렌즈 위치 검출 센서(23)를 사용하지 않고, 액추에이터(21) 내의 렌즈 구동 와이어에 흐르는 전류값을 측정함으로써, 가상적으로 렌즈 위치를 계산하고, 렌즈 위치 검출 데이터 d22로서 반도체 장치(40a)로 출력해도 된다. 구체적으로는, 촬상 장치(20)는, 렌즈 구동 와이어로서의 형상 기억 합금에 대하여 전류를 흘림으로써, 형상 기억 합금의 신축에 의해 렌즈의 위치를 제어해도 된다.
반도체 장치(30a)는, EIS의 기능을 실현하는 구성의 일례이다. 반도체 장치(30a)는, 기억부(31) 및 제어부(전자적 보정부)(32)를 적어도 구비한다. 또한, 반도체 장치(30a)는, 다른 일반적인 구성도 구비하지만 도시 및 설명을 생략한다. 기억부(31)는, 메모리 등의 기억 소자로 실현된다. 기억부(31)는, 화상 데이터(311) 및 프로그램(312)을 기억한다. 화상 데이터(311)는, 촬상 장치(20)에 의해 촬영된 화상 데이터 d3이 기억부(31)에 보존된 것이다. 프로그램(312)은, 본 실시 형태에 관한 EIS의 처리가 실장된 컴퓨터 프로그램이다. 즉, 프로그램(312)은, 통상의 EIS의 처리에 더하여, 보정용 정보(421a)를 사용한 전자적 보정의 처리가 실장되어 있다. 제어부(32)는, CPU 등의 제어 장치이다. 제어부(32)는, 프로그램(312)을 실행함으로써, 본 실시 형태에 관한 EIS의 처리를 실현한다.
반도체 장치(40a)는, 상술한 반도체 장치(40)의 변형예이며, OIS의 기능을 실현하는 구성의 일례이다. 그 때문에, 본 실시 형태에 관한 반도체 장치(40a)는, 통상의 OIS의 처리와 함께, 상술한 실시 형태 1에 관한 보정 지원 처리도 행한다. 반도체 장치(40a)는, 제어부(광학적 보정부)(41a)와 기억부(42)를 적어도 구비한다. 기억부(42)는, 보정용 정보(421a) 및 프로그램(422a)을 기억한다. 보정용 정보(421a)는, 후술하는 미보정 정보 d43을 적어도 포함한다. 그 때문에, 보정용 정보(421a)는, 미보정 정보 d43 그 자체여도 된다. 프로그램(422a)은, 본 실시 형태에 관한 보정 지원 방법의 처리가 실장된 컴퓨터 프로그램이다.
제어부(41a)는, 프로그램(422a)을 실행함으로써, 연산부(411a) 및 저장부(412a) 등의 기능을 실현한다. 연산부(411a)는, 자이로 센서(10a)로부터 취득한 각속도 데이터 d11과, 렌즈 위치 검출 센서(23)로부터 취득한 렌즈 위치 검출 데이터 d22에 대하여 소정의 연산 처리를 행한다. 연산부(411a)는, 연산 처리 결과로서, 렌즈 제어 신호 d21과 미보정 정보 d43을 도출한다. 소정의 연산 처리는, 기존의 OIS의 처리를 포함해도 된다. 연산부(411a)는, 렌즈 제어 신호 d21을 액추에이터(21)로 출력한다. 또한, 연산부(411a)는, 미보정 정보 d43을 보정용 정보(421a)에 포함시켜 저장부(412a)로 출력한다. 저장부(412a)는, 적어도 미보정 정보 d43을 보정용 정보(421a)로서 기억부(42)에 저장한다. 또한, 저장부(412a)는, 미보정 정보 d43 이외의 연산 처리 결과, 또는, 검출 데이터 등을 보정용 정보(421a)에 포함시켜도 된다. 또한, 제어부(41a)의 내부 구성 및 상세한 처리는, 후술한다.
도 4는 본 실시 형태 2에 관한 제어부(광학적 보정부)(41a)의 내부 구성과 주변 구성의 관계를 설명하기 위한 블록도이다. 제어부(41a)는, 연산부(411a) 및 저장부(412a)에 더하여, 모터 드라이버(413), ADC(414) 및 Hall Amp(415)를 구비한다. 연산부(411a)는, 변환부(제1 조정부)(51), 서보 제어부(53) 및 (제2 조정부(52)를 포함하는) 보정 에러 산출부(54)를 구비한다. 또한, 모터 드라이버(413), ADC(414), Hall Amp(415), 및 서보 제어부(53)는, 공지의 것을 사용해도 된다. 변환부(51)는, 자이로 센서(10a)로부터 취득한 각속도 데이터 d11을 1회 적분하여 각도로 변환하고, 각도로부터 렌즈 목표 위치 정보 d41로 변환하고, 렌즈 목표 위치 정보 d41을 서보 제어부(53) 및 보정 에러 산출부(54)로 출력한다. 여기서, 변환부(51)는, 각속도 데이터 d11로부터 렌즈 목표 위치 정보 d41로의 변환 시에, 스케일의 조정, 오프셋의 조정, 극성의 조정 중 적어도 일부를 행해도 된다. 예를 들어, 변환부(51)는, 렌즈 목표 위치 정보 d41과 후술하는 렌즈 위치 정보 d42의 스케일을 맞추기 위한 조정을 행한다. 또한, 변환부(51)는, 자이로 센서(10a)의 개체값에 기초하는 조정값으로서 오프셋을 사용하여 렌즈 목표 위치 정보 d41을 조정한다. 또한, 자이로 센서(10a)의 설치 방향과 촬상 장치(20)의 설치 방향에 의해 극성 변경이 필요한 경우에는, 변환부(51)는, 변환 시에 극성의 변경을 행한다.
서보 제어부(53)는, 가감산부(531)와 PID(Proportional Integral Differential)(532)를 구비한다. 가감산부(531)는, 렌즈 목표 위치 정보 d41과, (제2 조정부(52)에 의한 조정 후의) 렌즈 위치 정보 d42의 위치 정보의 차분 등을 산출하여, PID(532)로 출력한다. PID(532)는, 가감산부(531)의 출력 결과에 대하여 비례, 적분, 미분 등의 처리를 행하여, 렌즈(22)의 위치의 보정량을 산출하고, 모터 드라이버(413)로 출력한다. 서보 제어부(53)는, 렌즈 목표 위치 정보 d41과 렌즈 위치 정보 d42의 차분을 0에 가깝게 하도록, 소위 서보 제어를 행한다.
모터 드라이버(413)는, PID(532)의 출력 결과로부터, 렌즈(22)의 위치를 이동시키기 위한 렌즈 제어 신호 d21로 변환하고, 렌즈 제어 신호 d21을 액추에이터(21)로 출력한다. 또한, 「렌즈 제어 신호 d21로의 변경 및 출력」이란, 모터 드라이버(413)가 액추에이터(21)를 구동하기 위한 전압(또는 전류)을 제어하는 것을 가리키는 것으로 한다. 예를 들어, 모터 드라이버(413)는, 액추에이터(21)를 크게 움직이는 경우, 전압을 높이고, 반대 방향으로 움직이는 경우, 전압을 반대 방향으로 제어한다. 또한, 모터 드라이버(413)는, 서보 제어부(53)로부터의 출력(디지털) 신호로부터 아날로그 신호(전압이나 전류)로 변환하여, 렌즈(22)를 아날로그적으로 제어하는 것이라 할 수 있다.
Hall Amp(415)는, 렌즈 위치 검출 센서(23)에 의해 검출된 렌즈 위치 검출 데이터 d22를 취득하고, 증폭하여 ADC(414)로 출력한다. ADC(414)는, 렌즈 위치 검출 데이터 d22를 아날로그 신호로부터 디지털 신호로 변환하고, 렌즈 위치 정보 d42로서 제2 조정부(52)로 출력한다. 또한, ADC(414)는, 제2 조정부(52)를 통하지 않고 직접, 가감산부(531)에 렌즈 위치 정보 d42를 출력해도 된다.
보정 에러 산출부(54)에 포함되는 제2 조정부(52)는, ADC(414)로부터 출력된 렌즈 위치 정보 d42에 대하여 스케일의 조정, 오프셋의 조정, 극성의 조정 중 적어도 일부를 행하여, 조정 후의 렌즈 위치 정보 d42를 가감산부(531)로 출력한다. 또한, 제2 조정부(52)는, 촬상 장치(20)의 하드웨어에 기인하는 비선형의 보정을 행해도 된다. 또한, 렌즈 위치 정보 d42는, 제2 조정부(52)에 의해 조정 등이 되지 않아도 된다.
보정 에러 산출부(54)는, 렌즈 목표 위치 정보 d41과 렌즈 위치 정보 d42의 좌표의 차분을 산출한다. 또한, 보정 에러 산출부(54)는, 제2 조정부(52)에 의해 조정 후의 렌즈 위치 정보 d42를 사용하여 차분을 산출하거나, 제2 조정부(52)에 의한 조정 등이 행해지지 않은 렌즈 위치 정보 d42를 사용하여 차분을 산출해도 된다. 예를 들어, 보정 에러 산출부(54)는, 일정 시간 내의 복수의 타임 스탬프마다의 좌표의 차분을 산출하고, 차분의 집합을 미보정 정보 d43으로 한다. 그리고, 보정 에러 산출부(54)는, 미보정 정보 d43을 저장부(412a)로 출력한다. 여기서, 미보정 정보 d43은, 렌즈 제어 신호 d21에 기초하는 광학적 보정에 의해, 손떨림이 다 보정되지 않은 정보를 나타낸다. 바꾸어 말하면, 미보정 정보 d43은, OIS에 의한 보정이 불충분한 양(보정 에러)이라 할 수 있다. 즉, EIS는, 미보정 정보를 사용하여 OIS에서 미보정의 부분을 대상으로 전자적 보정을 행할 수 있어, EIS의 보정 정밀도를 향상시킬 수 있다. 그리고, 제어부(전자적 보정부)(32)는, 미보정 정보 d43을 전자적 보정의 참고로서 그대로 사용할 수 있다. 또한, 보정 에러 산출부(54)는, 검출 데이터에 기초하여, 흔들림이 광학적으로 다 보정되지 않은 정보를 나타내는 미보정 정보 d43을 산출하는 처리를, 연산 처리로서 행하는 것이라 할 수 있다. 즉, OIS측으로부터의 제공 데이터가 OIS측에서 가공 완료이기 때문에, EIS측에서는 보정용의 가공 처리를 필요로 하지 않고, 제공 데이터를 보정용 정보로서 전자적 보정에 사용할 수 있다. 그 때문에, EIS측의 처리 부하를 억제하면서, 보정 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 보정 에러 산출부(54)는, 상술한 바와 같은 일정 시간 내의 차분 집합을 통합하여 산출 및 출력하는 것에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 보정 에러 산출부(54)는, 1개의 타임 스탬프에 대응하는 위치 정보의 차분을 실시간으로 산출 및 출력하거나, 위치 정보의 차분을 실시간으로 산출하여, 복수의 차분의 집합을 통합하여 출력해도 된다.
저장부(412a)는, 미보정 정보 d43(423a)을 보정용 정보(421a)에 포함시켜 기억부(42)에 저장한다. 또한, 상술한 바와 같이, 저장부(412a)는, 실시간으로 산출된 차분을 미보정 정보 d43으로서, 축차적으로, 기억부(42)에 저장해도 된다. 또한, 제어부(41a) 중 보정 에러 산출부(54) 및 저장부(412a) 이외의 구성은, 기존의 OIS 기능의 구성을 사용하여 실현해도 된다.
계속해서, 본 실시 형태 2에 관한 보정 지원 방법의 처리의 흐름을 설명한다. 또한, 상술한 도 2와 마찬가지의 처리에 대해서는 적절히 설명을 생략한다. 전제로서, 단말기(1a)를 휴대하는 유저는, 촬상 장치(20)를 사용하여 촬영을 행한다. 이것에 따라서, 반도체 장치(30a)는, 촬상 장치(20)에 의해 촬영된 화상 데이터 d3을 취득하고, 기억부(31)에 화상 데이터(311)로서 보존한다. 또한, 반도체 장치(30a)는, 반도체 장치(40a)에 대하여 보정용 정보의 연산 지시를 출력해도 된다.
다음으로, 자이로 센서(10a)는, 촬상 장치(20)의 움직임을 검출하고, 각속도 데이터 d11로서 반도체 장치(40a)로 출력한다. 또한, 렌즈 위치 검출 센서(23)는, 렌즈(22)의 위치를 검출하고, 렌즈 위치 검출 데이터 d22로서 반도체 장치(40a)로 출력한다. 이들에 따라서, 반도체 장치(40a)는, 보정 지원 처리를 개시한다.
도 5는 본 실시 형태 2에 관한 제어부(광학적 보정부)(41a)에 있어서의 보정 지원 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다. 먼저, 변환부(51)는, 자이로 센서(10a)로부터 각속도 데이터 d11을 취득한다(S21). 다음으로, 변환부(51)는, 상술한 바와 같이, 각속도 데이터 d11로부터 렌즈 목표 위치 정보 d41로 변환(및 조정)을 행한다(S22).
또한, Hall Amp(415)는, 렌즈 위치 검출 센서(23)로부터 렌즈 위치 검출 데이터 d22를 취득한다(S23). 그리고, Hall Amp(415), ADC(414) 및 제2 조정부(52)는, 상술한 바와 같이, 렌즈 위치 검출 데이터 d22로부터 렌즈 위치 정보 d42로 변환(및 조정)을 행한다(S24). 또한, 도 5에서는 설명의 편의상, 스텝 S21 및 S22의 처리와 스텝 S23 및 S24의 처리를 병렬로 기재하고 있다. 단, 실행 환경에 따라서는 스텝 S23 및 S24의 처리 속도가 스텝 S21 및 S22의 처리와 비교하여 고속인 경우가 있다. 그 경우, S23 및 S24의 처리는, S21 및 S22의 처리의 1회당에 복수회, 실행되는 경우가 있는 것으로 한다.
스텝 S22 및 S24 후, 서보 제어부(53) 및 모터 드라이버(413)는, 상술한 바와 같이, 렌즈 목표 위치 정보 d41과 렌즈 위치 정보 d42로부터 렌즈 제어 신호 d21을 생성하고(S25), 렌즈 제어 신호 d21을 촬상 장치(20)로 출력한다(S26). 또한, 도 5에서는 설명의 편의상, 스텝 S25 및 S26의 처리와 후술하는 스텝 S27 및 S28의 처리를 병렬로 기재하고 있다. 단, 실행 환경에 따라서는 스텝 S25 및 S26의 처리 속도가 스텝 S27 및 S28(이나 S23 및 S24)의 처리와 비교하여 고속인 경우가 있다. 그 경우, S25 및 S26의 처리는, S27 및 S28(이나 S23 및 S24)의 처리에 1회당 복수회, 실행되는 경우가 있는 것으로 한다.
또한, 스텝 S22 및 S24 후, 보정 에러 산출부(54)는, 렌즈 목표 위치 정보 d41과 렌즈 위치 정보 d42의 차분으로부터, 미보정 정보 d43을 산출한다(S27). 또한, 보정 에러 산출부(54)는, 1개의 타임 스탬프에 대응하는 렌즈 목표 위치 정보 d41과 렌즈 위치 정보 d42의 차분을, 축차적으로 산출하여, 미보정 정보 d43으로 해도 된다. 도 6은 본 실시 형태 2에 관한 미보정 정보의 개념을 설명하기 위한 도면이다. 즉, 보정 에러 산출부(54)는, 시계열을 따른 렌즈 목표 위치의 좌표의 집합과, 시계열을 따른 렌즈 위치의 좌표의 집합의 차분을 산출한다. 구체적으로는, 예를 들어 보정 에러 산출부(54)는, 렌즈 목표 위치 정보 d41과 렌즈 위치 정보 d42에서, 대응하는 타임 스탬프의 좌표끼리를 비교하여 좌표의 차분을 산출한다. 여기서, 렌즈 위치 정보 d42에 있어서의 렌즈의 가동 범위 r2는, OIS에서 보정할 수 있는 범위이며, 예를 들어 1도 내지 3도 정도이다. 그 때문에, 렌즈 위치 정보 d42의 파형에는, 렌즈의 가동 범위 r2를 초과하는 파형이 나타나지 않는다. 따라서, 보정 에러 산출부(54)는, 렌즈 목표 위치 정보 d41 중, 렌즈의 가동 범위 r2를 초과하는 좌표의 집합을 차분으로서 산출할 수 있다. 그리고, 보정 에러 산출부(54)는, 산출되는 차분의 좌표의 집합을 미보정 정보 d43으로 한다. 또한, 미보정 정보 d43은, 보정 에러 정보라고도 칭할 수 있다.
스텝 S27 후, 저장부(412a)는, 미보정 정보 d43을 보정용 정보(421a)에 포함시켜 기억부(42)에 저장한다(S28). 또한, 스텝 S27에 있어서 타임 스탬프마다 축차적으로, 미보정 정보 d43이 산출되는 경우, 저장부(412a)는 마찬가지로, 축차적으로, 미보정 정보 d43을 보정용 정보(421a)에 포함시켜 기억부(42)에 저장하면 된다. 또는, 저장부(412a)는, 일정 시간(규정 횟수)분의 미보정 정보 d43의 집합을 통합하여 기억부(42)에 저장해도 된다. 이후, 제어부(전자적 보정부)(32)는, 상술한 바와 같이, 기억부(42)로부터 보정용 정보(421a)에 포함되는 미보정 정보(423a)를 취득하고, 화상 데이터 d3에 대하여 미보정 정보(423a)를 사용하여 전자적 보정을 행한다. 제어부(전자적 보정부)(32)는, 저장부(412a)에 의한 기억부(42)로의 보정용 정보(421a)의 저장 타이밍과 동기하여, 또는, 비동기로, 기억부(42)로부터 보정용 정보(421a)를 취득하면 된다. 즉, OIS에 있어서의 보정용 정보(421a)의 갱신 빈도와, EIS에 있어서의 보정용 정보(421a)의 취득 빈도(데이터 전송 빈도)는, 일치해도, 일치하지 않아도 된다. 예를 들어, 저장부(412a)는, 기억부(42)에 대하여, 1㎑의 주파수에서 보정용 정보(421a)를 갱신하고, 제어부(전자적 보정부)(32)는, 1㎑의 주파수에서 기억부(42)로부터 보정용 정보(421a)를 취득해도 된다. 또는, 저장부(412a)는, 기억부(42)에 대하여, 1㎑의 주파수에서 보정용 정보(421a)를 갱신하고, 제어부(전자적 보정부)(32)는, 500㎑의 주파수에서 기억부(42)로부터 보정용 정보(421a)를 취득해도 된다.
스텝 S26 및 S28 후, 스텝 S21 및 S23으로 되돌아가, 반도체 장치(40a)는, 보정 지원 처리를 계속한다. 반도체 장치(40a)는, 반도체 장치(30a)로부터 보정용 정보의 연산 정지 지시를 접수한 경우에, 보정 지원 처리를 종료해도 된다.
또한, 반도체 장치(40a와 30a) 사이의 데이터 통신은, IIC(Inter-Integrated Circuit) 등의 디지털 인터페이스를 통해 행해져도 된다. 또한, 반도체 장치(40a)는, 반도체 장치(30a)로부터의 연산 지시에 상관없이, 정기적이나 소정의 타이밍에 보정 지원 처리를 개시, 실행, 종료해도 된다. 또는, 반도체 장치(40a)는, 촬상 장치(20)의 렌즈 위치 검출 센서(23) 등으로부터 동기 신호를 접수하고, 연산 처리 및 기억부(42)로의 보정용 정보의 저장 처리를 행해도 된다. 또는, 반도체 장치(40a)는, 반도체 장치(30a)로부터, 기억부(42)로의 보정용 정보의 저장 지시를 접수하고, 연산 처리 및 기억부(42)로의 보정용 정보의 저장 처리를 행해도 된다.
또한, 상술한 바와 같이, 제1 조정부(51) 및 제2 조정부(52)를 포함하는 연산부(411a)는, 촬상 장치와 움직임 검출 센서 중 적어도 어느 것의 상태에 기인한 조정을, 검출 데이터에 대하여 행함으로써, 연산 처리를 행한다. 이에 의해, EIS측은, 스케일, 오프셋, 극성 등의 차이를 고려하지 않고, 전자적 보정을 행할 수 있어, EIS측의 처리 부하를 경감하고, 보정 속도도 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 관한 연산부(411a)는, 흔들림에 대한 광학적인 보정 처리와 병렬하여 연산 처리를 행한다. 그 때문에, 전자적 보정의 대기 시간을 저감시켜, 효율적, 효과적으로 광학적 보정과 전자적 보정을 연계시킬 수 있다.
또한, 연산부(411a)가 행하는 소정의 연산 처리는, 촬상 장치(20)에 있어서의 광학식 손떨림 보정의 기술의 일부이다. 그 때문에, 광학식 손떨림 보정의 기술을 활용함으로써 전자적 손떨림 보정에 의한 보정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
<실시 형태 3>
본 실시 형태 3은, 상술한 실시 형태 2의 변형예이다. 도 7은 본 실시 형태 3에 관한 반도체 장치(40b)를 탑재한 단말기(1b)의 구성을 도시하는 블록도이다. 단말기(1b)는, 상술한 단말기(1a)의 변형예이며, 반도체 시스템의 일례이다. 단말기(1b)는, 움직임 검출 센서(10), 촬상 장치(20), 반도체 장치(30a 및 40b)를 적어도 구비한다. 움직임 검출 센서(10)는, 상술한 자이로 센서(10a)에 더하여, 가속도 센서(10b)를 구비한다. 가속도 센서(10b)는, 촬상 장치(20)의 기울기를 검출하고, 가속도를 측정하고, 가속도 데이터 d12로서 반도체 장치(40b)로 출력한다.
또한, 촬상 장치(20)는, 오토 포커스 위치 d13을 반도체 장치(40b)로 출력한다. 또한, 반도체 장치(40b)는, 촬상 장치(20) 이외의 구성으로부터 오토 포커스 위치 d13을 취득해도 된다. 그 밖에, 촬상 장치(20) 및 반도체 장치(30a)는, 상술한 실시 형태 2와 마찬가지이다.
반도체 장치(40b)는, 상술한 반도체 장치(40a)의 변형예이며, OIS의 기능을 실현하는 구성의 일례이다. 반도체 장치(40b)는, 제어부(광학적 보정부)(41b)와 기억부(42)를 적어도 구비한다. 기억부(42)는, 보정용 정보(421a) 및 프로그램(422b)을 기억한다. 프로그램(422b)은, 본 실시 형태에 관한 보정 지원 방법의 처리가 실장된 컴퓨터 프로그램이다.
제어부(41b)는, 프로그램(422b)을 실행함으로써, 연산부(411b) 및 저장부(412a) 등의 기능을 실현한다. 연산부(411b)는, 각속도 데이터 d11, 가속도 데이터 d12, 오토 포커스 위치 d13 및 렌즈 위치 검출 데이터 d22에 대하여 소정의 연산 처리를 행한다. 연산부(411b)는, 렌즈 위치 정보 d42의 산출 방법이, 상술한 연산부(411a)와 다르다. 즉, 연산부(411b)는, 움직임 검출 센서(10)에 의해 검출된 각속도 데이터 d11 및 가속도 데이터 d12를, 검출 데이터로서 취득한다. 그리고, 연산부(411b)는, 각속도 데이터 d11로부터 제1 각도 데이터 d44로 변환한다. 또한, 연산부(411b)는, 가속도 데이터 d12로부터 변환된 제2 각도 데이터 d45와, 촬상 장치(20)의 오토 포커스 결과에 기초하는 거리 데이터(오토 포커스 위치 d13)에 기초하여, 제3 각도 데이터 d46으로 변환한다. 그리고, 연산부(411b)는, 제1 각도 데이터 d44와 제3 각도 데이터 d46에 기초하여, 렌즈(22)의 위치 정보(렌즈 목표 위치 정보 d41)를 산출한다.
도 8은 본 실시 형태 3에 관한 연산부(411b) 중 변환부(51b)의 내부 구성과 주변 구성의 관계를 설명하기 위한 블록도이다. 변환부(51b)는, 적분 연산부(511, 512 및 513)와, Gain(514)과, 가산부(515)를 구비한다. 연산부(411b) 중 변환부(51b) 이외의 구성은, 상술한 연산부(411a)와 마찬가지이다.
적분 연산부(511)는, 자이로 센서(10a)로부터 각속도 데이터 d11을 취득하고, 적분 연산을 행하여 제1 각도 데이터 d44를 가산부(515)로 출력한다. 적분 연산부(512)는, 가속도 센서(10b)로부터 가속도 데이터 d12를 취득하고, 적분 연산을 행하여 적분 연산부(513)로 출력한다. 적분 연산부(513)는, 적분 연산부(512)의 적분 연산 결과에 대하여 적분 연산을 행하여 제2 각도 데이터 d45를 Gain(514)으로 출력한다. Gain(514)은, 오토 포커스 위치 d13에 기초하여 제2 각도 데이터 d45를 증폭하고, 제3 각도 데이터 d46을 가산부(515)로 출력한다. 가산부(515)는, 제1 각도 데이터 d44와 제3 각도 데이터 d46을 가산하고, 렌즈 목표 위치 정보 d41로서 서보 제어부(53) 및 보정 에러 산출부(54)로 출력한다. 이후의 처리는, 상술한 실시 형태 2와 마찬가지이다.
이와 같이, 본 실시 형태 3에 의해서도 상술한 실시 형태 2와 마찬가지의 효과를 발휘한다. 또한, 본 실시 형태 3에서는, 렌즈 목표 위치 정보의 산출을 위해, 각속도 데이터에 더하여, 가속도 데이터와 오토 포커스 위치를 사용하기 때문에, EIS에 있어서의 보정 정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.
이상, 본 발명자에 의해 이루어진 발명을 실시 형태에 기초하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 이미 설명한 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 다양한 변경이 가능한 것은 물론이다.
1: 단말기(반도체 시스템)
1a: 단말기(반도체 시스템)
1b: 단말기(반도체 시스템)
10: 움직임 검출 센서
10a: 자이로 센서
10b: 가속도 센서
20: 촬상 장치
21: 액추에이터
22: 렌즈
23: 렌즈 위치 검출 센서
30: 전자적 보정부
30a: 반도체 장치
31: 기억부
311: 화상 데이터
312: 프로그램
32: 제어부(전자적 보정부)
40: 반도체 장치
40a: 반도체 장치
40b: 반도체 장치
41: 제어부
41a: 제어부(광학적 보정부)
41b: 제어부(광학적 보정부)
411: 연산부
411a: 연산부
411b: 연산부
412: 저장부
412a: 저장부
413: 모터 드라이버
414: ADC
415: Hall Amp
42: 기억부
421: 보정용 정보
421a: 보정용 정보
422: 프로그램
422a: 프로그램
422b: 프로그램
423a: 미보정 정보
51: 변환부(제1 조정부)
52: 제2 조정부
53: 서보 제어부
531: 가감산부
532: PID
54: 보정 에러 산출부
51b: 변환부
511: 적분 연산부
512: 적분 연산부
513: 적분 연산부
514: Gain
515: 가산부
d1: 검출 데이터
d11: 각속도 데이터
d12: 가속도 데이터
d13: 오토 포커스 위치
d21: 렌즈 제어 신호
d22: 렌즈 위치 검출 데이터
d3: 화상 데이터
d4: 연산 처리 결과
d41: 렌즈 목표 위치 정보
d42: 렌즈 위치 정보
d43: 미보정 정보
d44: 제1 각도 데이터
d45: 제2 각도 데이터
d46: 제3 각도 데이터

Claims (8)

  1. 촬상 장치와, 당해 촬상 장치에 의해 촬영된 화상 데이터를 사용하여 촬영에 있어서의 흔들림을 전자적으로 보정하기 위한 전자적 보정부와, 움직임 검출 센서와, 기억부를 구비하는 단말기에 탑재되고,
    상기 움직임 검출 센서로부터 취득한 검출 데이터에 대하여 소정의 연산 처리를 행하는 연산부와,
    상기 연산 처리의 결과를 상기 전자적 보정부에 의한 보정을 위한 보정용 정보로서 상기 기억부에 저장하는 저장부
    를 구비하는 반도체 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 연산부는,
    상기 검출 데이터에 기초하여 상기 흔들림이 광학적으로 다 보정되지 않은 정보를 나타내는 미보정 정보를 산출하는 처리를, 상기 연산 처리로서 행하고,
    상기 저장부는, 상기 미보정 정보를 상기 보정용 정보에 포함시켜 상기 기억부에 저장하는 반도체 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 연산부는,
    상기 검출 데이터로부터 변환된 상기 촬상 장치의 렌즈의 위치 정보와, 당해 위치 정보에 기초하여 상기 렌즈의 위치가 광학적으로 보정된 광학적 보정 후 정보의 차분을, 상기 미보정 정보로서 산출하는 반도체 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 연산부는,
    상기 움직임 검출 센서에 의해 검출된 각속도 데이터 및 가속도 데이터를, 상기 검출 데이터로서 취득하고,
    상기 각속도 데이터로부터 제1 각도 데이터로 변환하고,
    상기 가속도 데이터로 변환된 제2 각도 데이터와, 상기 촬상 장치의 오토 포커스 결과에 기초하는 거리 데이터에 기초하여, 제3 각도 데이터로 변환하고,
    상기 제1 각도 데이터와 상기 제3 각도 데이터에 기초하여, 상기 렌즈의 위치 정보를 산출하는 반도체 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연산부는,
    상기 촬상 장치와 상기 움직임 검출 센서 중 적어도 어느 것의 상태에 기인한 조정을 상기 검출 데이터에 대하여 행함으로써, 상기 연산 처리를 행하는 반도체 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 연산부는,
    상기 흔들림에 대한 광학적인 보정 처리와 병렬하여 상기 연산 처리를 행하는 반도체 장치.
  7. 촬상 장치와, 당해 촬상 장치에 의해 촬영된 화상 데이터를 사용하여 촬영에 있어서의 흔들림을 전자적으로 보정하기 위한 전자적 보정부와, 움직임 검출 센서와, 기억부를 구비하는 단말기에 탑재된 반도체 장치가,
    상기 움직임 검출 센서로부터 취득한 검출 데이터에 대하여 소정의 연산 처리를 행하고,
    상기 연산 처리의 결과를 상기 전자적 보정부에 의한 보정용 정보로서 상기 기억부에 저장하는
    보정 지원 방법.
  8. 촬상 장치와,
    상기 촬상 장치에 의해 촬영된 화상 데이터를 사용하여 촬영에 있어서의 흔들림을 전자적으로 보정하기 위한 전자적 보정부와,
    움직임 검출 센서와,
    기억부와,
    상기 움직임 검출 센서로부터 취득한 검출 데이터를 사용하여 상기 흔들림을 광학적으로 보정하기 위한 광학적 보정부
    를 구비하고,
    상기 광학적 보정부는,
    상기 검출 데이터에 대하여 소정의 연산 처리를 행하는 연산부와,
    상기 연산 처리의 결과를 상기 전자적 보정부에 의한 보정용 정보로서 상기 기억부에 저장하는 저장부
    를 구비하는 반도체 시스템.
KR1020230156175A 2022-11-16 2023-11-13 반도체 장치, 보정 지원 방법, 및 반도체 시스템 KR20240072059A (ko)

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