KR20240071140A - 회수 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

회수 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치 Download PDF

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김순현
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Abstract

본 발명은 회수 유닛의 바울에 손상을 발생시키지 않는 회수 유닛을 제공하는 것으로, 일실시예에서 기판 지지부를 둘러싸게 배치되는 회수면을 포함하는 바울; 및 상기 바울에 연결되는 제 1 부분, 승강 유닛에 연결되는 제 2 부분 및 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분 사이에 배치되어 상기 제 2 부분에 대한 상기 제 1 부분의 상대 이동을 허용하는 유연 힌지부(Flexure Hinge)를 포함하는 연결부;를 포함하는 회수 유닛을 제공한다.

Description

회수 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치{Unint for Collecting Liquid and Substrate Processing Apparatus Comprising It}
본 발명은 처리액의 회수에 사용되는 회수 유닛과, 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체(또는 디스플레이) 제조 공정은 기판(예: 웨이퍼) 상에 반도체 소자를 제조하기 위한 공정으로서, 예를 들어 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정 등을 포함한다. 특히, 기판 상에는 다양한 유기 및 무기 이물질들이 존재한다. 따라서, 제조 수율 향상을 위해서는 기판 상의 이물질을 효과적으로 제거하는 것이 매우 중요하다.
이물질 제거를 위해 처리액(세정액)을 이용한 세정 공정이 주로 사용된다. 세정 공정은 기판을 지지한 스핀척을 회전시키면서 기판 상면 또는 후면에 처리액을 공급하여 수행될 수 있으며, 세정 처리 후에는 린스액을 이용한 린스 공정, 건조 기체를 이용한 건조 공정이 수행된다.
한편, 기판 상에 공급된 처리액의 배출 또는 재사용을 위하여 처리액을 회수할 필요가 있다. 기판으로부터 비산되는 처리액의 회수를 위하여 기판 주변부에 형성된 회수 유닛(컵 또는 바울)이 배치될 수 있다. 처리액을 효과적으로 회수하기 위하여, 회수 유닛은 처리액의 공급 시점에 맞추어 기판 보다 높은 위치로 승강하게 된다. 회수 유닛의 높이를 조절하는 승강 유닛을 포함하는 기판 처리 장치로 특허문헌 1 및 2 와 같은 장비가 알려져 있다.
회수 유닛의 높이를 조절할 때는 복수의 승강 유닛을 통하여 회수 유닛을 상승/하강시키는데, 복수의 승강 유닛이 동시에 움직이도록 제어하는 것은 용이하지 않으며, 동기화 제어를 한다고 하더라도 실제 동작 시에 회수 유닛이 기울어지는 모션 편차가 발생하여 회수 유닛이나 승강 유닛에 손상이 오는 문제가 발생한다.
(특허문헌 1) KR 10-2022-0015668 A
(특허문헌 2) KR 10-2007558 B
본 발명은 종래기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 모션 편차의 발생하더라도 회수 유닛, 구체적으로는 회수 유닛의 바울에 손상을 발생시키지 않는 회수 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 회수 유닛 또는 기판 처리 장치를 제공한다.
본 발명은 일실시예에서 기판 지지부를 둘러싸게 배치되는 회수면을 포함하는 바울; 및 상기 바울에 연결되는 제 1 부분, 승강 유닛에 연결되는 제 2 부분 및 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분 사이에 배치되어 상기 제 2 부분에 대한 상기 제 1 부분의 상대 이동을 허용하는 유연 힌지부(Flexure Hinge)를 포함하는 연결부;를 포함하는 회수 유닛을 제공한다.
일실시예에서, 상기 유연 힌지부는 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분 사이에 위치하며 상하 방향으로의 높이가 상기 제 1 부분 및 상기 제 2 부분보다 작은 제 1 유연 힌지부를 포함하거나, 상기 기판 지지부의 반경 방향을 따라서, 상기 연결부의 상면으로부터 연장하는 제 1 홈과 상기 연결부의 하면으로부터 연장하는 제 2 홈이 번갈아 형성되는 제 2 유연 힌지부를 포함할 수 있다.
본 발명은 일실시예에서, 복수의 회수 유닛; 상기 회수 유닛에 연결되는 승강 유닛; 상기 회수 유닛 내측에 배치되며 기판을 지지하며 회전되는 기판 지지부; 및 상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부를 포함하며, 상기 회수 유닛의 적어도 일부는 기판 지지부를 둘러싸게 배치되는 회수면을 포함하는 바울과 상기 바울에 연결되는 제 1 부분, 승강 유닛에 연결되는 제 2 부분 및 상기 제 2 부분에 대한 상기 제 1 부분의 상대 이동을 허용하는 유연 힌지부(Flexure Hinge)를 포함하는 연결부를 포함하는 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.
일실시예에서, 상기 복수의 회수 유닛은 제 1 회수 유닛과 상기 제 1 회수 유닛 아래에 배치되는 제 2 회수 유닛을 포함하며, 상기 제 1 회수 유닛의 연결부와 상기 제 2 회수 유닛의 연결부는 평면상에서 동일 위치에 배치되며, 상기 제 1 회수 유닛의 연결부와 상기 제 2 회수 유닛의 연결부는 상기 제 3 부분에 연결되어 상기 제 1 부분의 상방 이동을 제한하는 제 1 리미트 블록과 상기 제 3 부분에 연결되어 상기 제 1 부분의 하방 이동을 제한하는 제 2 리미트 블록을 더 포함하며, 상기 제 1 회수 유닛의 상기 제 1 부분 및 상기 제 1 유연 힌지부는 상측으로 치우쳐 배치되며, 상기 제 2 리미트 블록은 상기 제 1 부분 혹은 상기 제 1 유연 힌지부 보다 낮은 높이에 위치되되, 상기 제 2 리미트 블록의 하면은 상기 제 2 부분의 하면보다 높거나 같은 위치에 위치하고, 상기 제 2 회수 유닛의 상기 제 1 부분 및 상기 제 1 유연 힌지부는 하측으로 치우쳐 배치되며, 상기 제 1 리미트 블록이 상기 제 1 부분 혹은 상기 제 1 유연 힌지부 보다 높은 높이에 위치되되, 상기 제 1 리미트 블록의 상면은 상기 제 2 부분의 상면보다 낮거나 같은 위치에 위치하는 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.
본 발명은 위와 같은 구성을 통하여 모션 편차의 발생하더라도 회수 유닛, 구체적으로는 회수 유닛의 바울에 손상을 발생시키지 않을 수 있으며, 회수 유닛에서 파손이 발생하더라도 바울이 아닌 연결부에서 발생하게 하여 수리 및 교체가 용이하게 한다.
도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 기판을 처리하기 위한 챔버에 제공되는 기판 처리 장치의 개략 평면도이다.
도 3 은 본 발명의 일실시예에 따른 회수 용기의 개략 측면도이다.
도 4 는 도 3 의 A 부분의 확대도이다.
도 5 는 본 발명의 연결부의 다른 실시예의 개략도이다.
도 6 은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략 측면도이다.
도 7 및 8 은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 연결부의 개략도이다.
도 9 는 승강 유닛의 다른 실시예의 개략도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다. 또한, 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 소자나 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 1 을 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 인덱스부(100)와 공정 처리부(250)를 포함한다.
인덱스부(100)는 로드 포트(120)와 인덱스 챔버(140)를 포함할 수 있다. 로드 포트(120), 인덱스 챔버(140) 및 공정 처리부(250)는 순차적으로 일렬로 배열될 수 있다. 이하, 로드 포트(120), 인덱스 챔버(140) 및 공정 처리부(250)가 배열된 방향을 제1 방향(X)이라 한다. 그리고 상부에서 바라볼 때 제1 방향(X)과 수직한 방향을 제2 방향(Y)이라 하고, 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3 방향(Z)이라 한다.
로드 포트(120)에는 기판이 수납된 캐리어(122)가 안착된다. 로드 포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2 방향(Y)을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 도 1에서는 4개의 로드 포트(120)가 제공된 것으로 도시하였으나, 로드 포트(120)의 개수는 공정 처리부(250)의 공정 효율 및 풋 프린트 등의 조건에 따라 증가되거나 감소될 수 있다. 캐리어(122)로는 전면 개방 일체형 포드(FOUP; Front Opening Unified Pod)가 사용될 수 있다.
인덱스 챔버(140)는 로드 포트(120)와 공정 처리부(250) 사이에 위치된다. 인덱스 챔버(140)는 전면 패널, 후면 패널 그리고 양측면 패널을 포함하는 직육면체의 형상을 가지며, 그 내부에는 로드 포트(120)에 안착된 캐리어(122)와 로드락 챔버(220) 간에 기판을 반송하기 위한 인덱스 로봇(145)이 제공된다. 도시하지는 않았지만, 인덱스 챔버(140)는 내부 공간으로 파티클이 유입되는 것을 방지하기 위하여, 벤트들(vents), 층류 시스템(laminar flow system)과 같은 제어된 공기 유동 시스템을 포함할 수 있다.
공정 처리부(250)는 로드락 챔버(220), 이송 챔버(240), 액 처리 챔버(260)를 포함할 수 있다. 이송 챔버(240)는 그 길이 방향이 제1 방향(X)과 평행하게 배치될 수 있다. 제2 방향(Y)을 따라 이송 챔버(240)의 일측 및 타측에는 각각 액 처리 챔버(260)들이 배치될 수 있다.
액 처리 챔버(260)들 중 일부는 이송 챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 액 처리 챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치될 수 있다.
즉, 이송 챔버(240)의 일측에는 액 처리 챔버(260)들이 A X B(A와 B는 각각 1 이상의 정수)의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1 방향(X)을 따라 일렬로 제공된 액 처리 챔버(260)의 수이고, B는 제3 방향(Z)을 따라 일렬로 제공된 액 처리 챔버(260)의 수이다.
로드락 챔버(220)는 인덱스 챔버(140)와 이송 챔버(240)사이에 배치된다. 로드락 챔버(220)는 이송 챔버(240)와 인덱스 챔버(140) 간에 기판이 반송되기 전에 기판을 임시 적재하는 공간을 제공한다. 로드락 챔버(220)는 그 내부에 기판이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯들은 서로 간에 제3 방향(Z)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다. 로드락 챔버(220)에서 인덱스 챔버(140)와 마주보는 면과 이송 챔버(240)와 마주보는 면 각각이 개방된 형태로 제공될 수 있다.
이송 챔버(240)는 로드락 챔버(220)와 액 처리 챔버(260)들 간에 기판을 반송할 수 있다. 이송 챔버(240)에는 가이드 레일(242)과 메인 로봇(244)이 제공될 수 있다. 가이드 레일(242)은 그 길이 방향이 제1 방향(X)과 평행하도록 배치된다. 메인 로봇(244)은 가이드 레일(242) 상에 설치되고, 가이드 레일(242) 상에서 제1 방향(X)을 따라 직선 이동될 수 있도록 구비된다.
액 처리 챔버(260) 내에는 기판에 대해 액 처리 공정, 예를 들어 세정 공정을 수행하는 기판 처리 장치(300)가 제공될 수 있다. 예컨대, 상기 세정 공정은 알콜 성분이 포함된 처리 유체들을 사용하여 기판 세정, 스트립, 유기 잔여물(organic residue)을 제거하는 공정일 수 있다. 각각의 액 처리 챔버(260) 내에 제공된 기판 처리 장치는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 각각의 액 처리 챔버(260) 내의 기판 처리 장치는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 액 처리 챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 액 처리 챔버(260)에 제공된 기판 처리 장치들은 서로 동일한 구조를 가지고, 상이한 그룹에 속하는 액 처리 챔버(260)에 제공된 기판 처리 장치들은 서로 상이한 구조를 가질 수 있다. 이하에서는 액 처리 챔버(260)에 제공되는 기판 처리 장치의 일 예에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액 처리 챔버(260)에 배치되는 기판 처리 장치(300)의 개략도가 도시되어 있다. 도 2를 참고하면, 기판 처리 장치(300)는 기판을 지지하는 기판 지지부(310), 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부(330)와, 기판으로부터 비산되는 처리액을 회수하는 약액 회수부를 포함한다. 약액 회수부는 단수 혹은 복수 개(예: 3개)의 바울(410a~c) 및 상기 바울(410a~c)을 승강 유닛에 연결시키는 연결부(420a~d)를 포함하는 회수 유닛(400)과 상기 바울(410a~c)를 승강시키기 위한 승강 유닛(500)을 포함할 수 있다.
기판 지지부(310)는 공정 진행 중 기판을 지지 및 회전시킨다. 기판 지지부(310)는 지지판, 지지핀, 척핀, 그리고 회전 구동 부재를 포할할 수 있다. 지지판은 대체로 원형의 판 형상으로 제공된다. 지지핀은 지지판에서 상부로 돌출되어 기판의 후면을 지지하도록 복수 개 제공된다.
척핀은 지지판으로부터 상부로 돌출되어 기판의 측부를 지지하도록 복수 개 제공된다. 척핀은 지지판이 회전될 때 기판이 정위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판의 측부를 지지한다. 척핀은 지지판의 반경 방향을 따라 외측 위치와 내측 위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 기판이 지지판에 로딩 또는 언로딩 시 척핀은 외측 위치에 위치되고, 기판에 대해 공정 수행 시 척 핀은 내측 위치에 위치된다. 내측 위치는 척핀과 기판의 측부가 서로 접촉되는 위치이고, 외측 위치는 척핀과 기판이 서로 이격되는 위치이다.
회전 구동 부재는 지지판을 회전시킨다. 지지판은 회전 구동 부재에 의해 중심축을 중심으로 회전 가능하다. 회전 구동 부재는 지지축 및 구동부를 포함한다. 지지축은 통 형상을 가질 수 있다. 지지축의 상단은 지지판의 저면에 고정 결합될 수 있다. 구동부는 지지축이 회전되도록 구동력을 제공한다. 지지축은 구동부에 의해 회전되고, 지지판은 지지축과 함께 회전될 수 있다.
회수 유닛(400)은 액을 하부로 모으는 회수면을 포함하는 바울(410a~c)과 각 바울(410a~c)에 연결되어 상기 바울(410a~c)을 승강 유닛에 연결시키는 연결부(420a~d)을 포함한다. 승강 유닛(500)은 상기 회수 유닛(400)을 제 3 방향(Z)으로 직선 이동시키는 승강 구동부(401; 도 8 참고)를 포함한다. 승강 유닛(500)은 하나의 바울(410a~c)에 적어도 2 개가 연결되며, 승강 유닛(500)의 동작에 의해서 바울(410a~c)이 상하로 이동되어 지지판에 대한 바울(410a~c)의 상대 높이가 변경된다. 승강 유닛(500)은 기판이 지지판에 로딩되거나, 언로딩될 때 지지판이 바울(410a~c)의 상부로 돌출되도록 바울(410a~c)을 하강시킨다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 바울(410a~c)로 유입될 수 있도록 바울(410a~c)의 높이가 조절된다.
승강 유닛(500)은 기판의 중심선, 즉 기판 지지부(310)의 중심선(C)을 기준으로 대칭되는 위치에 2개씩이 하나의 세트로 배치되고, 상기 승강 유닛(400)는 각연결부(420a~f)를 통하여 바울(410a~c)에 연결된다. 예를 들어, 제 1 회수 용기(410a)는 제 1 및 제 2 연결부(420a, 420b)를 통하여 제 1 및 제 2 승강 유닛(500a, 500b)과 연결되며, 제 2 및 제 3 회수 용기(410b, 410c)는 제 3 내지 제 6 연결부(420c~f)를 통하여 제 3 및 제 4 승강 유닛(500c, 500d)과 연결되며, 제 1 및 제 2 승강 유닛(500a, 500b)과 제 3 및 제 4 승강 유닛(500c, 500d)는 각각 중심선(C)를 중심으로 대칭되는 위치에 배치된다.
처리액 공급부(330)는 기판으로 처리액을 공급한다. 처리액 공급부(330)는 복수 개로 제공되며, 각각은 서로 상이한 종류의 처리액들을 공급할 수 있다. 처리액 공급부(330)는 이동 부재 및 노즐을 포함할 수 있다. 이동 부재는 노즐을 공정 위치 및 대기 위치로 이동시킨다. 여기서 공정 위치는 노즐이 기판 지지부(310)에 지지된 기판과 대향되는 위치이고, 대기 위치는 노즐이 공정 위치를 벗어난 위치일 수 있다.
상기 처리액 공급부(330)의 노즐을 이동시키는 상기 이동 부재는 지지축, 아암 및 구동기를 포함할 수 있다. 지지축은 챔버 내 일측에 위치된다. 지지축은 수직 방향으로 연장된 로드 형상일 수 있다. 지지축은 구동기에 의해 회전 가능하도록 제공된다. 지지축은 승강 이동이 가능하도록 제공될 수 있다. 아암은 지지축의 상단에 결합되어, 지지축으로부터 수직하게 연장될 수 있다. 아암의 끝단에는 노즐이 고정 결합된다. 지지축이 회전됨에 따라 노즐은 아암과 함께 스윙 이동 가능하다. 노즐은 스윙 이동되어 공정 위치 및 대기 위치로 이동될 수 있다. 선택적으로 아암은 그 길이 방향을 향해 전진 및 후진 이동이 가능하도록 제공될 수 있다. 상부에서 바라볼 때 노즐이 이동되는 경로는 공정 위치에서 기판의 중심선(C)과 일치될 수 있다.
본 발명에서 바울(410a~c)은 3개로 제한되는 것은 아니며 1 이상이면 충분하다. 한 쌍의 승강 유닛(500)이 바울(410a~c)을 상승/하강시키는데, 하나의 구동부로 복수의 움직임을 구현할 수 있는 구조라면 한 쌍의 승강 유닛(500)이 두개 혹은 그 이상의 바울(410a~c)을 동작시키는 것도 가능하다.
한편, 기판 처리 장치(300)에서 바울(410a~c)은 중심(C)으로부터 대칭되는 2개의 승강 유닛(500a, 500b, 500c, 500d)가 동시에 동작하면서 바울(410a~c)이 상승 혹은 하강하게 되는데, 2개가 동시에 움직여야 바울(410a~c)이 수평하게 올라갈 수 있다.
승강 유닛(500)은 에어 실린더나 모터를 통하여 바울(410a~c)의 승하강을 구현하게 되는데 양쪽의 승강 유닛(500)이 완벽하게 동일하기는 실질적으로 어려우며, 심지어 모터를 통하여 동기제어를 수행한다고 하더라고 올라가는 순간에 일시적으로 바울(410a~c)이 기울어질 수 있으며, 통상 바울(410a~c)과 연결부(420a~d)는 볼트에 의해서 체결되는데 모션 편차로 기울어지는 경우에 바울(410a~c)에 피로가 누적되어 수명이 감소하며, 파단 강도 이상의 편차가 발생되면 바울(410a~c)이 파손될 수 있다.
본 발명은 위와 같은 복수의 승강 유닛(500)에 의해서 상승 및 하강 시에 바울(410a~c)에 발생하는 모션 편차를 흡수하여 바울(410a~c)에 부하가 걸리지 않게 하거나, 부하가 걸리더라도 먼저 파손됨으로써, 수리 비용 및 수리가 용이하게 하는 연결부를 제공한다.
도 3 에는 본 발명의 일실시예에 따른 회수 유닛(400)의 개략도가 도시되어 있으며, 도 4 에는 도 3 의 A 부분의 확대도가 도시되어 있다.
회수 유닛(400)은 기판 지지부(310)를 둘러싸게 배치되는 회수면과 상기 기판 지지부(310)의 반경 방향 외측으로 연장하는 연장부(411a, 412a)를 포함하는 바울(410a); 상기 바울(410a)의 연장부(411a, 412a)에 연결되는 제 1 부분(421), 승강 유닛(500)에 연결되는 제 2 부분(422) 및 상기 제 2 부분(422)에 대한 상기 제 1 부분(421)의 상대 이동을 허용하는 유연 힌지부(Flexure Hinge; 425)를 포함하는 연결부(420);를 포함한다.
상기 회수 유닛(400)에서 연장부(411a, 412a)와 연결부(420)는 바울(410a)의 중심을 기준으로 한 쌍이 대칭되게 배치될 수 있으며, 상기 승강 유닛(500)의 이동에 따라서, 바울(410a)은 대칭되게 배치되는 연결부(420)를 통하여 상승/하강된다.
상기 연결부(420)의 제 1 부분(421)은 바울(410a)의 상부 외측링의 일부에 연결된다. 상기 바울(410a)의 외측링에는 상기 반경 방향 외측으로 돌출되게 연장된 연장부(412a)가 구비되며, 제 1 부분(421)에는 관통공(421-1)이 형성되고, 상기 관통공(421-1)으로 체결 부재가 관통하여 상기 바울(410a)의 연장부(412a)에 체결됨으로써, 상기 연결부(420)와 바울(410a)이 연결된다.
상기 연결부(420)의 제 2 부분(422)는 승강 유닛(500)의 실린더 로드(510)와 연결된다. 제 2 부분(422)에도 관통공(422a)이 형성되며, 상기 관통공(422a)으로 실린더 로드(510)의 일부(511)이 통과하고, 상부 및 하부에서 체결 부재(512, 513)로 관통된 일부가 체결됨으로써, 상기 제 2 부분(422)에 상기 실린더 로드(510)의 일부(511)가 연결된다. 상기 제 1 부분(421)과 상기 바울(410a)의 연결 방식 및 상기 제 2 부분(422)과 상기 승강 유닛(500)의 연결 방식은 설명한 실시예로 한정되지는 않으며, 연결만 이루어진다면 다양한 방식으로 구현될 수 있다.
이 실시예에서 연결부(420)는 유연 힌지부(425)를 포함하며, 상기 유연 힌지부(425)는 상기 제 1 부분(421)과 상기 제 2 부분(422) 사이에 배치되어, 상기 제 1 부분(421)과 상기 제 2 부분(422) 사이에서 유연 힌지부(425)가 탄성 변형함으로써, 승강 유닛(500)에 의해서 발생하여 연결부(420)를 통하여 바울(410a)로 전달되는 충격 혹은 스트레스를 차단하는 역할을 수행한다.
유연 힌지부(425)는 기본적으로 연결부(420)의 연장 방향에서 단면이 감소하는 부분을 포함하여, 단면 감소부에서 탄성변형이 수행되고 다시 복귀되는 방식으로 수행된다. 특히, 이 실시예에서 유연 힌지부(425)는 원주 방향(θ)을 중심으로 회전가능하게 구현됨으로써, 승강 유닛(500)에 의해서 상하 방향(Z)으로 모션 편차가 발생하였을 때, 유연 힌지부(425)가 원주 방향(θ)을 중심으로 회전됨으로써, 상하 방향의 모션 편차를 보상하여 바울(410a)에 부하가 발생되지 않게 한다.
이 실시예에서, 유연 힌지부(425)는 제 1 유연 힌지부(426)와 제 2 유연 힌지부(427)를 포함한다. 제 1 유연 힌지부(426)는 상기 제 1 부분(421)이나 상기 제 2 부분(422) 보다 상기 연결부(420)의 연장방향, 즉 반경 방향(d)에 수직한 단면이 작다. 구체적으로, 제 1 유연 힌지부(426)는 상기 제 1 부분(421)이나 상기 제 2 부분(422)과 동일한 폭을 가지더라도 상하 방향으로의 높이가 제 1 부분(421)이나 상기 제 2 부분(422)의 절반 미만 혹은 1/3 미만으로 형성되어, 원주 방향을 중심으로 상기 제 1 유연 힌지부(426)가 회전될 수 있다. 정확하게는 제 1 유연 힌지부(426)는 상기 제 1 부분(421)이나 상기 제 2 부분(422)에서 바울(410a)이나 승강 유닛(500)과 중첩되지 않는 부분보다 높이가 작게 형성되는 것으로, 제 1 유연 힌지부(426)가 다른 부분보다 먼저 탄성 변형될 수 있다.
제 2 유연 힌지부(427)는 상기 반경 방향(r)을 따라서, 상기 연결부(420)의 상면으로부터 연장하는 제 1 홈(427-1)과 상기 연결부의 하면으로부터 연장하는 제 2 홈(427-2)이 번갈아 형성된다. 상기 제 1 홈(427-1)과 상기 제 2 홈(427-2)의 끝은 원형 단면으로 형성될 수 있으며, 상기 제 1 홈(427-1)과 상기 제 2 홈(427-2)이 번갈아서 형성됨으로써, 상기 제 2 유연 힌지부(427)는 상기 원주 방향(θ)을 중심으로 회전 변형되거나, 반경 방향으로 신축할 수 있다.
또한, 이 실시예의 제 1 및 제 2 유연 힌지부(426, 427)와 같이 원주 방향(θ)을 중심으로 회전 변형되거나, 반경 방향(r)으로 신축하는 경우와 함께 혹은 독자적으로 상하 방향(Z)으로 탄성 변형되는 유연 힌지부를 포함할 수도 있다.
연결부(420)는 상기 제 1 유연 힌지부(426)과 제 2 유연 힌지부(427) 사이에 위치하는 제 3 부분(423)과 상기 제 3 부분(423)으로부터 연장형성되는 제 1 및 제 2 리미트 블록(428, 429)을 더 포함한다.
제 1 리미트 블록(428) 및 제 2 리미트 블록(429)은 상기 제 1 유연 힌지부(426)로 인하여 상기 제 1 부분(421)이 과도하게 이동되는 것을 방지하기 위한 것으로, 제 1 리미트 블록(428)은 상기 제 3 부분(423)의 상면으로부터 상방으로 일정거리 연장한 후 상기 제 1 부분(421)의 상측으로 연장하며, 상기 제 2 리미트 블록(429)은 상기 제 3 부분(423)의 하면으로부터 하부로 일정거리 연장한 후 상기 제 1 부분의 하측으로 연장한다.
상기 제 1 리미트 블록(428)과 상기 제 2 리미트 블록(429)은 상기 제 1 부분(421)과 소정 거리로 이격되어 위치되며, 상기 제 1 부분(421)이 상기 제 1 유연 힌지부(426)의 동작에 의해서 상기 소정 거리만큼 움직이는 경우에 상기 제 1 또는 제 2 리미트 블록(428, 429)과 부딪힘으로써, 더이상 이동되지 못하게 한다.
제 1 유연 힌지부(426)의 경우에 단면의 높이가 상대적으로 작기 때문에, 작은 힘에도 변형될 수 있으나, 과도하게 변형될 여지가 있는데, 상기 제 1 및 제 2 리미트 블록(428, 429)이 배치됨으로써, 변형 정도를 제한할 수 있다.
이 실시예에서는 상대적으로 쉽게 탄성 변형되는 제 1 유연 힌지부(426)로 상기 승강 유닛(500)의 작은 모션 편차에 의해서 충격이 바울(410a)에 전달되지 않게 하며, 리미트 블록(428, 429를 통하여 제 1 유연 힌지부(426)로 과도한 변형을 제한하고, 부족한 변형은 상기 제 2 유연 힌지부(427)를 통하여 달성되게 한다. 또한, 상기 제 2 유연 힌지부(427)의 경우에 반경 방향(r)으로의 움짐임도 탄성 변형하면서 흡수할 수 있어서, 승강 유닛(500)의 모션 편차의 정도에 상관 없이 제 1 및 제 2 유연 힌지부(426, 427)를 포함하는 유연 힌지부(425)가 탄성 변형함으로서, 바울(410a)에는 부하가 전달되지 않을 수 있다.
또한, 승강 유닛(500)의 모션 편차가 극심한 경우에도 상대적으로 작은 단면을 가지는 유연 힌지부(425)부터 파손이 이루어지기 때문에, 바울(410a)에는 손상이 가지 않으며, 상대적으로 교체가 용이하며 작업 시간이 적게 들어가는 연결부(420)를 교체하는 것으로 충분하게 되므로, 상기 유연 힌지부(425)를 포함하는 연결부(420)를 사용함으로써, 교체 비용의 절감 및 유지보수에 효율적일 수 있다.
도 5 에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 연결부(420)가 도시되어 있다. 도 5(a)의 연결부(420)는 바울(410a)에 연결되는 제 1 부분(421), 승강 유닛(500)에 연결되는 제 2 부분(422) 및 상기 제 2 부분에 대한 상기 제 1 부분의 상대 이동을 허용하도록 상기 제 1 부분(421)과 상기 제 2 부분(422) 사이에 배치되는 제 2 유연 힌지부(427)를 포함한다. 상기 제 2 유연 힌지부(427)는 상기 도 4 의 제 2 유연 힌지부(427)와 동일하며, 도 5(a)의 연결부(420)는 제 1 유연 힌지부(426)를 구비하지 않는다는 점에서 도 4 의 연결부(420)와 상이하다.
이와 같이, 본 발명에서 유연 힌지부(425)의 구조는 제 1 유연 힌지부(426)와 제 2 유연 힌지부(427)를 모두 포함해야하는 것은 아니며, 유연 힌지부(425)의 구조에 따라서, 하나 혹은 그 이상의 유연 힌지부를 포함하는 것도 가능하다. 제 2 유연 힌지부(427)의 경우에 원주 방향(θ)을 중심으로 회전, 반경 방향(r)으로의 신축이 가능하기 때문에, 승강 유닛(500)으로 인하여 높이 방향(Z)으로 모션 편차가 발생하더라도 제 2 유연 힌지부(427)가 변형됨으로써 흡수 가능하다.
다르게 도 5(b)와 같이 연결부(420)와 같이, 연결부(420)는 바울(410a)에 연결되는 제 1 부분(421), 승강 유닛(500)에 연결되는 제 2 부분(422) 및 상기 제 2 부분에 대한 상기 제 1 부분의 상대 이동을 허용하도록 상기 제 1 부분(421)과 상기 제 2 부분(422) 사이에 배치되는 제 1 유연 힌지부(426)를 포함한다. 제 1 유연 힌지부(426)의 구조는 도 4 와 같이 높이가 단계적으로 변화하는 구조일 수도 있지만, 도 5(b)와 같이 반경 방향(r)에 수직한 단면의 높이가 연속적으로 변화하는 구조일 수도 있다.
한편, 도 6 내지 도 8 에는 복수의 바울(410b, 410c)를 연결하는 연결부(420d, 420f)가 하나의 승강 유닛(500)에 연결될 때의 연결부(420d, 420f)의 구조가 도시되어 있다.
도 6 에서 보이듯이, 바울(410b, 410c)이 복수 개인 경우에 기판 처리 장치(300)에서 승강 유닛(500)이 차지하는 공간을 감소시키기 위하여 복수의 회수 유닛을 이중 실린더 로드(510a, 510b)를 가지는 승강 유닛(500)으로 상승 및 하강시키는 것도 가능하다. 이렇게 하나의 승강 유닛(500)으로 복수의 바울(410b, 410c)을 구동시키는 경우에 연결부(420d, 420f)의 경우에도 같은 승강 유닛(500d)에 연결되기 위하여 평면 상에서 복수의 연결부(420d, 420f)가 동일한 위치에 배치된다.
도 7 및 도 8 에는 복수의 회수 유닛이 일측에서 하나의 승강 유닛에 연결되는 구조가 도시되어 있다. 상기 복수의 회수 유닛은 제 1 회수 유닛과 상기 제 1 회수 유닛 아래에 배치되는 제 2 회수 유닛을 포함하며, 상기 제 1 회수 유닛은 제 2 바울(410b)과 상기 제 2 바울(410b)에 연결되는 제 4 연결부(420d)를 포함하며, 상기 제 2 회수 유닛은 제 3 바울(410c)과 제 3 바울(410c)에 연결되는 제 6 연결부(420f)를 포함한다. 상기 제 1 회수 유닛의 제 4 연결부(420d)와 상기 제 2 회수 유닛의 제 6 연결부(420f)는 평면상에서 동일 위치에 배치된다.
상기 제 4 연결부(420d)와 상기 제 6 연결부(420f)는 각각 제 2 및 제 3 바울(420b, 420c)의 연장부(412b, 412c)와 연결되는 제 1 부분(421d, 421f), 승강 유닛(500)과 연결되는 제 2 부분(422d, 422f) 및 상기 제 1 부분(421d, 421f)과 제 2 부분(422d, 422f) 사이에 배치되는 유연 힌지부(425d, 425f)를 포함한다. 제 4 연결부(420d)와 제 6 연결부(420f)는 제 2 부분(422d, 422f)을 제외하고는 서로 대칭인 구조를 가질 수 있다.
제 4 연결부(420d)의 제 2 부분(422d)은 관통공(422d-1)을 포함하며, 상기 관통공(422d-1)으로 이중 실린더 로드 중 내측 실린더 로드(511b)가 관통하며, 체결 수단(512b, 513b)에 의해서 체결됨으로써, 상기 제 4 연결부(420d)는 승강 유닛(500d)에 연결된다. 한편, 상기 제 4 연결부(420d)의 제 1 부분(421d)과 제 2 바울(410b)의 연장부(412b)와의 연결은 도 4 에서 도시한 연결부(420)와 동일하게 구성된다.
제 4 연결부(420d)는 유연 힌지부(425d)를 포함하며, 상기 유연 힌지부(425d)는 상기 제 1 부분(421d)과 상기 제 2 부분(422d) 사이에 배치되어, 상기 제 1 부분(421d)과 상기 제 2 부분(422d) 사이에서 유연 힌지부(425d)가 탄성 변형함으로써, 승강 유닛(500d)에 의해서 발생하여 연결부(420d)를 통하여 제 2 바울(410b)로 전달되는 충격 혹은 스트레스를 차단하는 역할을 수행한다.
유연 힌지부(425d)는 제 1 유연 힌지부(426d)와 제 2 유연 힌지부(427d)를 포함한다. 제 1 유연 힌지부(426d)는 상기 제 1 부분(421d)이나 상기 제 2 부분(422d)과 동일한 폭을 가지더라도 상하 방향으로의 높이가 제 1 부분(421d)이나 상기 제 2 부분(422d)의 절반 미만 혹은 1/3 미만으로 형성되어, 원주 방향을 중심으로 상기 제 1 유연 힌지부(426d)가 회전될 수 있다. 이 실시예에서 제 1 부분(421d) 및 상기 제 1 유연 힌지부(426d)는 상측으로 치우쳐 배치된다. 즉, 제 1 유연 힌지부(426d)는 상기 제 2 부분(422d)의 중심보다 높은 위치에서 제 2 부분(422)보다 작은 높이로 반경 방향(r)으로 연장한다.
제 2 유연 힌지부(427d)는 상기 반경 방향(r)을 따라서, 상기 연결부(420d)의 상면으로부터 연장하는 제 1 홈과 상기 연결부의 하면으로부터 연장하는 제 2 홈이 번갈아 형성된다. 상기 제 1 홈과 상기 제 2 홈의 끝은 원형 단면으로 형성될 수 있으며, 상기 제 1 홈과 상기 제 2 홈이 번갈아서 형성됨으로써, 상기 제 2 유연 힌지부(427d)는 상기 원주 방향(θ)을 중심으로 회전 변형되거나, 반경 방향으로 신축할 수 있다.
또한, 제 4 연결부(420d)는 상기 제 1 유연 힌지부(426d)과 제 2 유연 힌지부(427d) 사이에 위치하는 제 3 부분(423d)과 상기 제 3 부분(423d)으로부터 연장형성되는 제 1 및 제 2 리미트 블록(428d, 429d)을 더 포함한다.
제 1 리미트 블록(428d) 및 제 2 리미트 블록(429d)은 상기 제 1 유연 힌지부(426d)로 인하여 상기 제 1 부분(421d)이 과도하게 이동되는 것을 방지하기 위한 것으로, 제 1 리미트 블록(428d)은 상기 제 3 부분(423d)의 상면으로부터 상방으로 일정거리 연장한 후 상기 제 1 부분(421d)의 상측으로 연장하며, 상기 제 2 리미트 블록(429d)은 상기 제 3 부분(423d)의 반경 방향 안쪽면의 하부로부터 상기 제 1 유연 힌지부(426d)의 아래로 일정거리 연장한다. 이때, 제 2 리미트 블록(429d)의 하면은 상기 제 2 부분(422d)의 하면으로부터 돌출되지 않게, 즉, 제 2 리미트 블록(429d)의 하면이 상기 제 2 부분(422d)의 하면보다 높거나 같게 위치하며, 따라서, 제 2 리미트 블록(429d)으로 인하여 제 4 및 제 6 연결부(420d, 420f)가 겹쳐지는 것이 방해되지 않게 구성된다.
마찬가지로, 제 6 연결부(420f)의 제 2 부분(422f)은 관통공(422f-1)을 포함하며, 상기 관통공(422f-1)으로 이중 실린더 로드 중 외측 실린더 로드(511a)가 관통하며, 체결 수단(512a, 513a)에 의해서 체결됨으로써, 상기 제 6 연결부(420f)은 승강 유닛(500d)에 연결된다. 상기 제 6 연결부(420f)의 제 1 부분(421f)과 제 3 바울(410c)의 연장부(412c)와의 연결은 도 4 에서 도시한 연결부(420)와 동일하게 구성된다.
제 6 연결부(420f)는 유연 힌지부(425f)를 포함하며, 상기 유연 힌지부(425f)는 상기 제 1 부분(421f)과 상기 제 2 부분(422f) 사이에 배치되어, 상기 제 1 부분(421f)과 상기 제 2 부분(422f) 사이에서 유연 힌지부(425f)가 탄성 변형함으로써, 승강 유닛(500d)에 의해서 발생하여 연결부(420f)를 통하여 바울(410c)로 전달되는 충격 혹은 스트레스를 차단하는 역할을 수행한다.
유연 힌지부(425f)는 제 1 유연 힌지부(426f)와 제 2 유연 힌지부(427f)를 포함한다. 제 1 유연 힌지부(426f)는 상기 제 1 부분(421f)이나 상기 제 2 부분(422f)과 동일한 폭을 가지더라도 상하 방향으로의 높이가 제 1 부분(421f)이나 상기 제 2 부분(422f)가 작게 형성되어, 원주 방향을 중심으로 상기 제 1 유연 힌지부(426f)가 회전될 수 있다. 이 실시예에서 제 1 부분(421f) 및 상기 제 1 유연 힌지부(426f)는 하측으로 치우쳐 배치된다. 즉, 제 1 유연 힌지부(426f)는 상기 제 2 부분(422f)의 중심보다 낮은 위치에서 제 2 부분(422f)보다 작은 높이로 반경 방향(r)으로 연장한다.
제 2 유연 힌지부(427f)는 상기 반경 방향(r)을 따라서, 상기 연결부(420f)의 상면으로부터 연장하는 제 1 홈과 상기 연결부의 하면으로부터 연장하는 제 2 홈이 번갈아 형성된다. 상기 제 1 홈과 상기 제 2 홈의 끝은 원형 단면으로 형성될 수 있으며, 상기 제 1 홈과 상기 제 2 홈이 번갈아서 형성됨으로써, 상기 제 2 유연 힌지부(427f)는 상기 원주 방향(θ)을 중심으로 회전 변형되거나, 반경 방향으로 신축할 수 있다. 제 6 연결부(420f)의 제 2 유연 힌지부(427f)에서 제 1 홈과 제 2 홈의 배치는 상기 제 4 연결부(420d)의 제 2 유연 힌지부(427d)에서의 제 1 홈과 제 2 홈의 배치와 반대로 될 수 있다.
또한, 제 6 연결부(420f)는 상기 제 1 유연 힌지부(426f)와 제 2 유연 힌지부(427f) 사이에 위치하는 제 3 부분(423f)과 상기 제 3 부분(423f)으로부터 연장형성되는 제 1 및 제 2 리미트 블록(428f, 429f)을 더 포함한다.
제 1 리미트 블록(428f) 및 제 2 리미트 블록(429f)은 상기 제 1 유연 힌지부(426f)로 인하여 상기 제 1 부분(421f)이 과도하게 이동되는 것을 방지하기 위한 것으로, 제 1 리미트 블록(428f)은 상기 제 3 부분(423f)의 하면으로부터 하방으로 일정거리 연장한 후 상기 제 1 부분(421f)의 하측으로 연장하며, 상기 제 2 리미트 블록(429f)은 상기 제 3 부분(423f)의 반경 방향 안쪽면의 상부로부터 상기 제 1 유연 힌지부(426f)의 위로 일정거리 연장한다. 이때, 제 2 리미트 블록(429f)의 상면은 상기 제 2 부분(422f)의 상면으로부터 돌출되지 않게 구성되어, 제 2 리미트 블록(429f)으로 인하여 제 4 및 제 6 연결부(420d, 420f)가 겹쳐지는 것이 방해되지 않게 구성된다.
위와 같은 구조로 제 4 및 제 6 연결부(420d, 420f)가 구성됨으로써, 제 4 연결부(420d)와 제 6 연결부(420f)가 원활하게 겹쳐질 수 있을 뿐만 아니라, 제 1 및 제 2 리미트 블록(428d, 429d, 428f, 429f)으로 인하여 제 1 부분(421d, 421f)의 과도한 움직임을 막을 수 있다는 점에서 하나의 승강 유닛(500d)이 복수의 회수 유닛과 연결되는 것도 가능하게 한다.
한편 도 9 에는 승강 유닛의 다른 실시예의 개략도이다.
도 9 에서 보이듯이, 승강 유닛(500)은 에어 실린더로 구성될 수도 있지만, 구동부(530)가 구비되는 경우도 적용 가능하다. 구동부(530)가 구비되는 경우 승강 유닛(500)은 구동부(530)와 구동부(530)의 구동력을 상하 방향의 이동으로 전환시키는 전환부(520) 및 상기 전환부(520)에 연결되어 상하 방향으로 이동되는 로드(510)를 포함할 수 있다.
승강 유닛(500)이 차지하는 공간을 줄이거나, 승강 유닛(500)으로 인하여 기판 처리 장치(300)의 높이가 높아지는 것을 방지하기 위하여 도 9(a)나 (b) 와 같이 구동부(530)는 전환부(520)의 측면에 배치될 수도 있으며, 이 경우에 구동부(530)는 전환부(520)에 벨트나 기어등을 통하여 동력 전달이 이루어질 수 있다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 기판 처리 설비 100: 인덱스부
250: 공정 처리부 260: 약 처리 챔버
300: 기판 처리 장치 400: 회수 유닛
410: 바울 420: 연결부
421: 제 1 부분 422: 제 2 부분
423: 제 3 부분 425: 유연 힌지부
426: 제 1 유연 힌지부 427: 제 2 유연 힌지부
428: 제 1 리미트 블록 429: 제 2 리미트 블록
500: 승강 유닛 510: 로드
520: 전환부 530: 구동부

Claims (10)

  1. 기판 지지부를 둘러싸게 배치되는 회수면과 상기 기판 지지부의 반경 방향 외측으로 연장되는 연장부를 포함하는 바울; 및
    상기 바울의 연장부에 연결되는 제 1 부분, 승강 유닛에 연결되는 제 2 부분 및 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분 사이에 배치되어 상기 제 2 부분에 대한 상기 제 1 부분의 상대 이동을 허용하는 유연 힌지부(Flexure Hinge)를 포함하는 연결부;를 포함하는 회수 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유연 힌지부는 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분 사이에 위치하며 상하 방향으로의 높이가 상기 제 1 부분 및 상기 제 2 부분보다 작은 제 1 유연 힌지부를 포함하는 회수 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 유연 힌지부는 제 2 유연 힌지부를 더 포함하며,
    상기 제 2 유연 힌지부는 상기 반경 방향을 따라서, 상기 연결부의 상면으로부터 연장하는 제 1 홈과 상기 연결부의 하면으로부터 연장하는 제 2 홈이 번갈아 형성되며,
    상기 반경 방향을 따라서 상기 제 1 유연 힌지부와 상기 제 2 유연 힌지부는 순차적으로 배치되는 회수 유닛.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 연장부와 상기 연결부는 상기 바울의 중심에 대하여 대칭되게 한 쌍이 구비되는 회수 유닛.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 연결부는 상기 제 2 부분에 연결되되 상기 제 1 부분의 상면 및 하면 중 적어도 일면으로부터 일정거리 이격된 위치까지 연장되어 상기 제 2 부분에 대한 상기 제 1 부분의 이동을 제한하는 리미트 블록을 더 포함하는 회수 유닛.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 연결부는
    상기 제 1 및 제 2 유연 힌지부 사이의 제 3 부분 및
    상기 제 3 부분에 연결되되 상기 제 1 부분의 상면 및 하면 중 적어도 일면으로부터 일정거리 이격된 위치까지 연장되는 리미트 블록을 더 포함하는 회수 유닛.
  7. 복수의 회수 유닛;
    상기 회수 유닛에 연결되는 승강 유닛;
    상기 회수 유닛 내측에 배치되며 기판을 지지하며 회전되는 기판 지지부; 및
    상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부를 포함하며,
    상기 회수 유닛의 적어도 일부는 기판 지지부를 둘러싸게 배치되는 회수면과 상기 기판 지지부의 반경 방향 외측으로 연장되는 연장부를 포함하는 바울과 상기 바울의 연장부에 연결되는 제 1 부분, 승강 유닛에 연결되는 제 2 부분 및 상기 제 2 부분에 대한 상기 제 1 부분의 상대 이동을 허용하는 유연 힌지부(Flexure Hinge)를 포함하는 연결부를 포함하는 기판 처리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 연결부와 상기 연장부는 상기 회수 유닛의 측방에 상기 바울의 중심에 대하여 대칭되게 한 쌍이 배치되며,
    상기 승강 유닛은 상기 회수 유닛의 아래에 배치되는 승강 구동부와, 상기 승강 구동부에 연결되어 상하 방향으로 이동되는 승강 헤드를 포함하며,
    상기 승강 구동부는 상기 기판의 처리면에 수직한 방향에서 봤을 때 상기 승강 헤드와 다른 위치에 배치되는 기판 처리 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 유연 힌지부는 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분 사이에 위치하며, 상하 방향으로의 높이가 상기 제 1 부분 및 상기 제 2 부분보다 작은 제 1 유연 힌지부와 상기 기판 지지부의 반경 방향을 따라서 상기 연결부의 상면으로부터 연장하는 제 1 홈과 상기 연결부의 하면으로부터 연장하는 제 2 홈이 번갈아 형성되는 상기 제 2 유연 힌지부를 포함하며,
    상기 연결부는 상기 제 1 및 제 2 유연 힌지부 사이의 제 3 부분을 더 포함하는 기판 처리 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수의 회수 유닛은 제 1 회수 유닛과 상기 제 1 회수 유닛 아래에 배치되는 제 2 회수 유닛을 포함하며,
    상기 제 1 회수 유닛의 연결부와 상기 제 2 회수 유닛의 연결부는 평면상에서 동일 위치에 배치되며,
    상기 제 1 회수 유닛의 연결부와 상기 제 2 회수 유닛의 연결부는 상기 제 3 부분에 연결되어 상기 제 1 부분의 상방 이동을 제한하는 제 1 리미트 블록과 상기 제 3 부분에 연결되어 상기 제 1 부분의 하방 이동을 제한하는 제 2 리미트 블록을 더 포함하며,
    상기 제 1 회수 유닛의 상기 제 1 부분 및 상기 제 1 유연 힌지부는 상측으로 치우쳐 배치되며, 상기 제 2 리미트 블록은 상기 제 1 부분 혹은 상기 제 1 유연 힌지부 보다 낮은 높이에 위치되되, 상기 제 2 리미트 블록의 하면은 상기 제 2 부분의 하면보다 높거나 같은 위치에 위치하고,
    상기 제 2 회수 유닛의 상기 제 1 부분 및 상기 제 1 유연 힌지부는 하측으로 치우쳐 배치되며, 상기 제 1 리미트 블록이 상기 제 1 부분 혹은 상기 제 1 유연 힌지부 보다 높은 높이에 위치되되, 상기 제 1 리미트 블록의 상면은 상기 제 2 부분의 상면보다 낮거나 같은 위치에 위치하는 기판 처리 장치.
KR1020220152896A 2022-11-15 회수 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치 KR20240071140A (ko)

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