KR20240068357A - Spray cleaning device and as sliced cleaning appratus having the same - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 86
- 239000007921 spray Substances 0.000 title claims abstract description 72
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 7
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 25
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 25
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000005336 safety glass Substances 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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- Cleaning In General (AREA)
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Abstract
본 발명은 에어 분사 세정 과정에서 비산된 등유 분진 등에 작업자가 노출되는 것을 방지할 수 있는 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 전면이 개방되고, 내측으로 작업 공간을 형성하는 세척부; 상기 세척부의 내측 작업 공간 상부에 배치되어 잉곳이 탈착되는 지지부; 상기 세척부의 전면에 대응되어 후면이 개방되고, 상기 후면을 제외한 상하좌우면과 전면이 폐쇄되어 상기 세척부의 전방에서 상하 방향으로 승강되며, 하강시 상기 세척부의 개방된 전면을 폐쇄시키는 커버; 상기 커버에 결합되며, 상기 커버가 상기 세척부의 개방된 전면을 폐쇄시킨 상태에서 상기 지지부에 결합된 상기 잉곳을 향해 에어를 분사하는 적어도 하나의 분사수단; 및 상기 커버에 결합되며, 상기 분사수단을 통해 분사된 에어에 의해 상기 잉곳으로부터 비산된 이물질을 상기 커버의 외부로 배출시키는 배기부를 포함하는 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a spray cleaning device that can prevent workers from being exposed to kerosene dust scattered during the air spray cleaning process and a cut wafer cleaning device equipped with the same. More specifically, the front is open and the work is done inside. a washing unit forming a space; A support portion disposed above the inner working space of the cleaning portion to attach and detach the ingot; A cover whose rear side is open corresponding to the front side of the washing unit, whose upper, lower, left, right, and front surfaces excluding the rear are closed, is raised and lowered in the front of the washing unit in an upward and downward direction, and closes the open front of the washing unit when lowered; At least one spray means coupled to the cover and spraying air toward the ingot coupled to the support portion while the cover closes the open front surface of the cleaning portion; and an exhaust unit coupled to the cover and discharging foreign substances scattered from the ingot to the outside of the cover by air sprayed through the spray means, and a cut wafer cleaning device equipped with the same.
Description
본 발명은 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치에 관한 것으로서, 특히, 에어 분사 세정 과정에서 비산된 등유 분진 등에 작업자가 노출되는 것을 방지할 수 있는 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a spray cleaning device and a cut wafer cleaning device equipped with the same. In particular, a spray cleaning device that can prevent workers from being exposed to kerosene dust scattered during the air spray cleaning process and a cut wafer cleaning device equipped with the same. It's about.
도 1은 종래의 분사 세정 장치를 개념적으로 도시한 것이며, 도 2는 도 1의 사용 상태 개념도이다.FIG. 1 conceptually illustrates a conventional spray cleaning device, and FIG. 2 is a conceptual diagram of FIG. 1 in a state of use.
일반적으로, 와이어 쏘(wire saw) 공정에서 잉곳(ingot)을 절단한 후 슬러리(slurry)의 고착을 방지하기 위해 이동식 등유 베스(bath)에 잉곳을 넣어 대기한다. 이후 잉곳을 베스에서 꺼내 절단 웨이퍼 세정(As Sliced Cleaning) 공정에 앞서 잉곳에 묻은 등유를 제거하기 위해 분사 세정 장치의 도어(3)를 열고, 잉곳(1)을 지지부(5)에 거치한 후 에어분사장치(4)를 이용하여 잉곳(1)에 묻은 등유를 제거한다. 이와 같은 과정에서 비산되는 이물질(등유 포함) 등은 배기부(2)를 통해 배출된다.Generally, after cutting an ingot in a wire saw process, the ingot is placed in a mobile kerosene bath to wait to prevent the slurry from sticking. Afterwards, the ingot is taken out of the bath, the door (3) of the spray cleaning device is opened to remove the kerosene on the ingot prior to the As Sliced Cleaning process, the ingot (1) is placed on the support unit (5), and the ingot (1) is placed on the support unit (5). Remove the kerosene from the ingot (1) using the spray device (4). Foreign substances (including kerosene) that scatter during this process are discharged through the exhaust unit (2).
이와 같은 종래의 분사 세정 장치를 이용할 경우, 에어분사장치(4)를 이용하여 에어를 분사할 때 등유 분진이 많이 발생하므로 작업자는 앞치마와 보안경을 착용해야 한다. 그러나, 배기부(2, exhaust)가 분사 세정 장치의 구석진 부위 한 곳에만 위치해 있어 발생된 분진을 모두 배기시키기에는 배기압이 약할 뿐만 아니라 배기부 자체도 위치적으로 열악한 측면이 있다. 또한, 작업 공간이 개방된 상태이므로 작업자가 서 있는 방향으로 분진이 비산되면서 작업자의 건강에 악영향을 끼침은 물론, 주변 환경도 오염시키는 문제가 발생된다.When using such a conventional spray cleaning device, a lot of kerosene dust is generated when air is sprayed using the air spray device 4, so the worker must wear an apron and safety glasses. However, since the exhaust unit (2) is located only in one corner of the spray cleaning device, not only is the exhaust pressure weak to exhaust all the generated dust, but the exhaust unit itself also has a poor location. In addition, since the work space is open, dust scatters in the direction where the worker is standing, which not only has a negative effect on the worker's health, but also contaminates the surrounding environment.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 밀폐형 커버를 적용함은 물론, 배기 구조 향상을 통해 등유 분진 등의 비산을 방지하고, 작업자가 등유 분진 등에 노출되는 문제를 해결할 수 있도록 구성한 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치를 제공하는데 있다.The technical problem to be solved by the present invention is a spray cleaning device configured to prevent scattering of kerosene dust, etc. by applying a sealed cover as well as improving the exhaust structure, and to solve the problem of workers being exposed to kerosene dust, etc. The aim is to provide a cut wafer cleaning device.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved in the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below. You will be able to.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명인 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치는, 전면이 개방되고, 내측으로 작업 공간을 형성하는 세척부; 상기 세척부의 내측 작업 공간 상부에 배치되어 잉곳이 탈착되는 지지부; 상기 세척부의 전면에 대응되어 후면이 개방되고, 상기 후면을 제외한 상하좌우면과 전면이 폐쇄되어 상기 세척부의 전방에서 상하 방향으로 승강되며, 하강시 상기 세척부의 개방된 전면을 폐쇄시키는 커버; 상기 커버에 결합되며, 상기 커버가 상기 세척부의 개방된 전면을 폐쇄시킨 상태에서 상기 지지부에 결합된 상기 잉곳을 향해 에어를 분사하는 적어도 하나의 분사수단; 및 상기 커버에 결합되며, 상기 분사수단을 통해 분사된 에어에 의해 상기 잉곳으로부터 비산된 이물질을 상기 커버의 외부로 배출시키는 배기부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for solving the technical problems described above includes a spray cleaning device and a cut wafer cleaning device equipped with the same, including a cleaning part that has an open front and forms a work space on the inside; A support portion disposed above the inner working space of the cleaning portion to attach and detach the ingot; A cover whose rear side is open corresponding to the front side of the washing unit, whose upper, lower, left, right, and front surfaces excluding the rear are closed, is raised and lowered in the front of the washing unit in an upward and downward direction, and closes the open front of the washing unit when lowered; At least one spray means coupled to the cover and spraying air toward the ingot coupled to the support portion while the cover closes the open front surface of the cleaning portion; and an exhaust unit coupled to the cover and discharging foreign substances scattered from the ingot by air injected through the injection means to the outside of the cover.
또한, 상기 커버는 투명 재질로 형성되며, 상기 커버의 전면은 개폐도어로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the cover is made of a transparent material, and the front of the cover is characterized by an opening and closing door.
또한, 상기 개폐도어에는 상기 분사수단이 결합된 것을 특징으로 한다.In addition, the spray means is coupled to the opening/closing door.
또한, 상기 분사수단은, 상기 커버에 형성된 홀에 소정 반경 내에서 회전가능한 상태로 밀폐결합되는 게이트; 상기 게이트의 전방에 결합되어 상기 커버의 내측에 배치되는 분사노즐; 및 상기 게이트의 후방에 결합되어 상기 게이트를 통해 상기 분사노즐로 에어를 공급하는 작동손잡이를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the injection means includes a gate that is hermetically coupled to a hole formed in the cover in a rotatable state within a predetermined radius; a spray nozzle coupled to the front of the gate and disposed inside the cover; and an operating handle coupled to the rear of the gate and supplying air to the injection nozzle through the gate.
또한, 상기 분사노즐은, 다발형 분사노즐로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the injection nozzle is characterized in that it is composed of a bundle type injection nozzle.
또한, 상기 커버의 승강 방향으로 적어도 하나의 선형가이드레일이 배치되며, 상기 커버는 상기 선형가이드레일을 따라 승강되는 것을 특징으로 한다.In addition, at least one linear guide rail is disposed in the lifting direction of the cover, and the cover is raised and lowered along the linear guide rail.
또한, 상기 선형가이드레일의 상부에는, 상기 커버의 상승 높이를 제한하며, 상기 커버의 상승된 상태를 고정시키거나 고정된 상태를 해제시키는 자동잠금해제장치가 더 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, an automatic unlocking device is further disposed on the upper part of the linear guide rail to limit the rising height of the cover and to fix or release the raised state of the cover.
또한, 배기부는, 메인 배기부에 연결된 제1 배기부; 및 상기 제1 배기부와 연결되며, 복수 개로 분기되어 상기 커버에 연결되는 제2 배기부를 포함하며, 상기 분사수단을 통해 분사된 에어에 의해 상기 잉곳으로부터 비산된 이물질은 상기 제2 배기부와 상기 제1 배기부를 통해 상기 메인 배기부으로 배출되는 것을 특징으로 한다.Additionally, the exhaust unit includes a first exhaust unit connected to the main exhaust unit; and a second exhaust unit connected to the first exhaust unit, branched into a plurality of parts and connected to the cover, wherein foreign substances scattered from the ingot by air injected through the injection means are discharged from the second exhaust unit and the cover. It is characterized in that it is discharged to the main exhaust part through the first exhaust part.
또한, 상기 제1 배기부는 신축관으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first exhaust part is characterized in that it is composed of an expansion pipe.
또한, 상기 제2 배기부는, 상기 커버에 연결된 일측에서 상기 제1 배기부에 연결된 타측으로 갈수록 배기홀의 직경이 점진적으로 좁아지는 것을 특징으로 한다.In addition, the second exhaust part is characterized in that the diameter of the exhaust hole gradually narrows from one side connected to the cover to the other side connected to the first exhaust part.
한편, 적어도 하나의 등유 배스를 포함하며, 와이어 쏘잉 작업이 완료된 잉곳의 세정이 이루어지는 등유 세정부; 및 전술한 특징들을 갖는 분사 세정 장치를 포함하는 절단 웨이퍼 세정 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, a kerosene cleaning unit including at least one kerosene bath and cleaning the ingot on which the wire sawing work has been completed; and a spray cleaning device having the above-described features.
상기 본 발명의 양태들은 본 발명의 바람직한 실시예들 중 일부에 불과하며, 본원 발명의 기술적 특징들이 반영된 다양한 실시예들이 당해 기술분야의 통상적인 지식을 가진 자에 의해 이하 상술할 본 발명의 상세한 설명을 기반으로 도출되고 이해될 수 있다.The above aspects of the present invention are only some of the preferred embodiments of the present invention, and various embodiments reflecting the technical features of the present invention will be described in detail by those skilled in the art. It can be derived and understood based on.
이상에서 설명한 본 발명인 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치는 다음과 같은 효과가 있다.The spray cleaning device of the present invention described above and the cut wafer cleaning device equipped with the same have the following effects.
먼저, 에어 분사를 통한 세정 작업 시, 커버에 의해 작업 공간이 폐쇄되므로 등유 비산물에 작업자가 노출되는 것을 방지함은 물론, 주변 환경 오염 문제도 개선할 수 있다.First, during cleaning work using air injection, the work space is closed by a cover, which not only prevents workers from being exposed to kerosene flying products, but also improves the problem of contamination of the surrounding environment.
또한, 커버를 투명 재질로 구성함으로써, 작업 공간을 폐쇄시킨 상태로 유지하면서도 에어 분사 적업 시 잉곳의 세정 상태를 육안으로 확인할 수 있다.In addition, by making the cover made of a transparent material, the cleaning status of the ingot can be visually confirmed during air injection application while keeping the work space closed.
또한, 개폐도어에 분사수단을 결합하여 사용함으로써, 분사수단의 유지/보수/관리를 용이하게 수행할 수 있다.In addition, by using the spray means in combination with the opening/closing door, maintenance/repair/management of the spray means can be easily performed.
또한, 커버에 결합된 분사수단을 소정 반경 내에서 회전가능하게 구성함으로써, 작업 공간을 폐쇄시킨 상태에서도 분사노즐을 통한 에어의 배기 방향 조절이 용이하다.In addition, by configuring the spray means coupled to the cover to be rotatable within a predetermined radius, it is easy to control the direction of air exhaust through the spray nozzle even when the work space is closed.
또한, 분사노즐 자체도 다발형으로 구성함으로써, 세정 작업 시간을 줄임은 물론, 작업 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, by configuring the spray nozzle itself in a bundle type, not only can the cleaning work time be reduced, but work efficiency can be further improved.
또한, 복수의 장소에서 배기되는 구조를 적용하여 잉곳 세정 작업 중 비산되는 등유 분진을 효율적으로 배기시킬 수 있다.In addition, by applying an exhaust structure in multiple places, kerosene dust scattered during the ingot cleaning operation can be efficiently exhausted.
또한, 배기구를 신축관으로 구성함으로써, 커버 승강에 따라 배기구의 길이도 자유자재로 조절할 수 있다.In addition, by constructing the exhaust port as an elastic pipe, the length of the exhaust port can be freely adjusted according to the elevation of the cover.
또한, 배기구의 배기홀의 직경을 점점 작게 구성함으로써, 배기 압력을 높여 등유 등과 같은 비산물의 배기 효과를 더욱 향상시킬 수 있다.Additionally, by configuring the diameter of the exhaust hole of the exhaust port to be gradually smaller, the exhaust pressure can be increased to further improve the exhaust effect of flying products such as kerosene.
본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects that can be obtained from the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
도 1은 종래의 분사 세정 장치를 개념적으로 도시한 도면,
도 2는 도 1의 사용 상태 개념도,
도 3은 본 발명인 분사 세정 장치의 일 실시례에 따른 잉곳을 거치한 상태를 나타낸 개념 사시도,
도 4는 본 발명인 분사 세정 장치의 일 실시례에 따른 정면을 나타낸 개념도,
도 5는 본 발명인 분사 세정 장치의 일 실시례에 따른 잉곳을 거치한 상태를 나타낸 개념도,
도 6은 본 발명인 분사 세정 장치의 일 실시례에 따른 잉곳 세정 상태를 나타낸 개념도,
도 7은 본 발명에 따른 분사수단을 나타낸 개념도.1 is a diagram conceptually showing a conventional spray cleaning device;
Figure 2 is a conceptual diagram of the use state of Figure 1;
Figure 3 is a conceptual perspective view showing a state in which an ingot is mounted according to an embodiment of the spray cleaning device of the present invention;
Figure 4 is a conceptual diagram showing the front according to one embodiment of the spray cleaning device of the present invention;
Figure 5 is a conceptual diagram showing a state in which an ingot is mounted according to an embodiment of the spray cleaning device of the present invention;
Figure 6 is a conceptual diagram showing an ingot cleaning state according to an embodiment of the spray cleaning device of the present invention;
Figure 7 is a conceptual diagram showing an injection means according to the present invention.
이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시례를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples to specifically explain the present invention, and will be described in detail with reference to the accompanying drawings to aid understanding of the invention.
도면에서 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니며, 동일한 참조번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다.In the drawings, sizes are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Additionally, the size of each component does not entirely reflect the actual size, and the same reference number indicates the same element throughout the drawing description.
도 3은 본 발명인 분사 세정 장치의 일 실시례에 따른 잉곳을 거치한 상태를 나타낸 개념 사시도이고, 도 4는 본 발명인 분사 세정 장치의 일 실시례에 따른 정면을 나타낸 개념도이며, 도 5는 본 발명인 분사 세정 장치의 일 실시례에 따른 잉곳을 거치한 상태를 나타낸 개념도이고, 도 6은 본 발명인 분사 세정 장치의 일 실시례에 따른 잉곳 세정 상태를 나타낸 개념도이며, 도 7은 본 발명에 따른 분사수단을 나타낸 개념도이다.Figure 3 is a conceptual perspective view showing a state in which an ingot is mounted according to an embodiment of the spray cleaning device of the present invention, Figure 4 is a conceptual diagram showing the front according to an embodiment of the spray cleaning device of the present invention, and Figure 5 is a conceptual view showing a state of mounting an ingot according to an embodiment of the spray cleaning device of the present inventors. It is a conceptual diagram showing a state in which an ingot is mounted according to an embodiment of the spray cleaning device, Figure 6 is a conceptual diagram showing an ingot cleaning state according to an embodiment of the spray cleaning device of the present invention, and Figure 7 is a spraying means according to the present invention. This is a conceptual diagram showing .
도 3 내지 도 7을 참조하여 본 발명인 분사 세정 장치를 설명하면 다음과 같다.The spray cleaning device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 7 as follows.
본 발명인 분사 세정 장치는 세척부(10), 지지부(20), 커버(30), 분사수단(40) 및 배기부(50)를 포함하여 구성될 수 있다.The spray cleaning device of the present invention may be configured to include a cleaning unit 10, a support unit 20, a cover 30, a spray means 40, and an exhaust unit 50.
세척부(10)는 세정 작업을 수행할 잉곳(1)을 거치한 상태에서 잉곳(1)을 향해 고압의 에어를 분사하여 세정 작업을 수행하는 작업 공간(11)을 포함할 수 있다. 작업 공간(11)은 전면이 개방된 직육면체 형상으로 구성될 수 있으며, 본 발명인 분사 세정 장치의 전체적인 골격을 형성하는 하우징(H)에 구비될 수 있다. 잉곳(1)의 세정 작업시, 커버(30)가 하강하여 세척부(10)의 개방된 전면에 밀착되면서 세정 작업을 위한 작업 공간(11)을 폐쇄시키게 된다.The cleaning unit 10 may include a work space 11 in which a cleaning operation is performed by spraying high-pressure air toward the ingot 1 while holding the ingot 1 to be cleaned. The work space 11 may be configured in the shape of a rectangular parallelepiped with an open front, and may be provided in the housing H that forms the overall framework of the spray cleaning device of the present invention. During the cleaning operation of the ingot 1, the cover 30 is lowered and comes into close contact with the open front surface of the cleaning unit 10, thereby closing the work space 11 for the cleaning operation.
세척부(10)는 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 하부에 이송롤러(도면번호 미기재)가 구비된 하우징(H)에 구성될 수 있다. 커버(30)는 작업 공간(11)의 개방된 전면에 대응되는 크기이거나, 개방된 전면의 크기보다 조금 더 큰 크기로 구성될 수 있다. As shown in FIGS. 3 to 7, the cleaning unit 10 may be configured in a housing (H) provided with a transfer roller (drawing number not shown) at the bottom. The cover 30 may have a size corresponding to the open front of the work space 11 or may be slightly larger than the open front.
지지부(20)는 작업 공간(11)의 상부에 배치될 수 있다. 지지부(20)는 와이어 쏘(wire saw) 작업이 완료된 잉곳(1)을 거치 및 지지하는 것으로, 이는 종래 지지부의 구조를 참조할 수 있다.The support part 20 may be disposed at the upper part of the work space 11. The support portion 20 mounts and supports the ingot 1 on which wire saw work has been completed, and may refer to the structure of a conventional support portion.
커버(30)는 세척부(10)의 개방된 전면에 대응하여 후면이 개방된 직육면체 형상으로 구성될 수 있다. 도 3, 도 5 및 도 6을 참조하면, 커버(30)는 세척부(10)의 전방에서 수직 상하 방향으로 승강될 수 있다. 커버(30)의 하강시 세척부의 개방된 전면을 폐쇄시키면서 작업 공간도 함께 폐쇄될 수 있다. 미도시 하였으나, 커버(30)의 후방 둘레부가 접촉되는 세척부(10)의 개방된 전면 둘레부에는 밀폐를 위한 고무 패킹과 밀폐홈 등이 구성될 수 있다. 또한, 세척부(10)의 개방된 전면에 접촉되는 커버(30)의 후방 둘레부에도 밀폐를 위한 고무 패킹 등이 배치될 수 있다.The cover 30 may be configured in a rectangular parallelepiped shape with an open back side corresponding to the open front side of the cleaning unit 10 . Referring to FIGS. 3, 5, and 6, the cover 30 can be lifted vertically in the front of the cleaning unit 10. When the cover 30 is lowered, the open front surface of the cleaning unit is closed and the work space can also be closed. Although not shown, a rubber packing and a sealing groove for sealing may be formed on the open front circumference of the cleaning unit 10, which is in contact with the rear circumference of the cover 30. Additionally, a rubber packing for sealing may be placed on the rear circumference of the cover 30 that contacts the open front surface of the cleaning unit 10.
커버(30)의 전면에는 개폐도어(31)가 배치될 수 있다. 개폐도어(31)는 양문 여닫이 형으로 구성될 수 있다. 커버(30) 전체는 투명 재질로 구성될 수 있다. 투명 재질로 구성됨으로써, 밀폐된 상태에서 세정 작업 중에도 작업 공간(11)에 위치한 잉곳(1)의 세정 상태를 작업자가 육안으로 확인할 수 있다. 개폐도어(31) 역시 투명 재질로 구성할 수 있다. 개폐도어(31)에도 폐쇄시 커버(30)의 밀폐상태를 유지할 수 있도록, 밀폐를 위한 고무 패킹 등이 배치될 수 있다.An opening/closing door 31 may be placed on the front of the cover 30. The opening/closing door 31 may be configured as a double door opening/closing type. The entire cover 30 may be made of a transparent material. By being made of a transparent material, the operator can visually check the cleaning status of the ingot 1 located in the work space 11 even during cleaning work in a sealed state. The opening/closing door 31 may also be made of a transparent material. Rubber packing, etc. for sealing may also be placed on the opening/closing door 31 to maintain the sealed state of the cover 30 when closed.
분사수단(40)은 커버(30)가 하강하여 세척부(10)에 밀폐결합된 상태에서 지지부(20)에 결합된 잉곳(1)을 향해 에어를 분사할 수 있다. 이를 위해 분사수단(40)은 커버(30)에 결합, 일례로 개폐도어(31)에 결합될 수 있다. 개폐도어(31)는 양문 여닫이 형으로 배치될 수 있으며, 각각의 문에 분사수단(40)이 적어도 하나씩 배치될 수 있다.The spray means 40 can spray air toward the ingot 1 coupled to the support portion 20 in a state in which the cover 30 is lowered and hermetically coupled to the cleaning portion 10. For this purpose, the injection means 40 may be coupled to the cover 30, for example, to the opening/closing door 31. The opening/closing door 31 may be arranged in a double door opening/closing type, and at least one spray means 40 may be placed on each door.
도 7을 참조하면, 분사수단(40)은 게이트(41), 분사노즐(42) 및 작동손잡이(43)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to Figure 7, the injection means 40 may be configured to include a gate 41, a spray nozzle 42, and an operating handle 43.
개폐도어(31)에는 분사수단(40)이 결합될 위치에 홀이 형성될 수 있다. 홀에는 연성 재질, 예컨데 고무 재질의 밴드(A)가 배치될 수 있다. 게이트(41)는 고무 재질의 밴드(A)를 통해 상기 홀에 소정 반경 내에서 회전 가능한 상태로 결합될 수 있다. 여기서, '소정 반경'이란 게이트(41)가 결합된 축을 중심으로 밴드(A)에 의해 게이트(41)가 움직일 수 있는 동작 범위를 지칭할 수 있다. 게이트(41)는 밴드(A)에 의해 상기 홀에 밀폐결합될 수 있다.A hole may be formed in the opening/closing door 31 at a position where the injection means 40 is to be coupled. A band (A) made of a soft material, for example, a rubber material, may be placed in the hole. The gate 41 can be rotatably coupled to the hole within a predetermined radius through a band A made of rubber. Here, the 'predetermined radius' may refer to a range of motion in which the gate 41 can be moved by the band A around the axis to which the gate 41 is coupled. The gate 41 may be hermetically coupled to the hole by a band (A).
게이트(41)의 전방, 즉 잉곳(1)이 배치된 커버(30) 내측(도 7의 우측)에 위치한 게이트(41)의 일측에는 분사노즐(42)이 결합될 수 있다. 분사노즐(42)은 다발형 분사노즐(42)로 구성될 수 있다. 즉, 다수 개의 분사노즐(42)을 통해 에어가 분사되도록 구성될 수 있다. 분사노즐(42)은 일정 간격으로 다수 개가 배치될 수 있으며, 배치 방향은 잉곳(1)의 절단 방향과 동일할 수 있다. 다발형 분사노즐(42)의 배치된 길이는 잉곳(1)의 직경에 대응될 수 있다. 물론, 다발형 분사노즐(42)의 배치된 길이가 잉곳(1)의 직경보다 작거나 더 클 수도 있다. An injection nozzle 42 may be coupled to one side of the gate 41 located in front of the gate 41, that is, inside the cover 30 (right side of FIG. 7) where the ingot 1 is disposed. The injection nozzle 42 may be configured as a bundle type injection nozzle 42. That is, air may be configured to be injected through a plurality of injection nozzles 42. A plurality of injection nozzles 42 may be arranged at regular intervals, and the arrangement direction may be the same as the cutting direction of the ingot 1. The disposed length of the bundle-type injection nozzle 42 may correspond to the diameter of the ingot (1). Of course, the arranged length of the bundle-type injection nozzle 42 may be smaller or larger than the diameter of the ingot 1.
게이트(41)의 후방, 즉 커버(30) 외측(도 7의 좌측)에 위치한 게이트(41)의 타측에는 작동손잡이(43)가 결합될 수 있다. 작동손잡이(43)는 고압의 에어를 발생시키는 에어콤프레서(미도시)와 연결될 수 있다. 작동손잡이(43)에는 분사노즐(42)을 통한 고압의 에어 분사 온/오프(ON/OFF)를 위한 작동버튼(43-1)이 구비될 수 있다. 작업자는 작동손잡이(43)를 파지한 상태에서 작동버튼(43-1)을 눌러 분사노즐(42)을 통해 고압의 에어를 분사시킬 수 있다. 이때, 커버(30) 전체가 투명 재질로 구성되므로 커버(30) 내부에 배치된 잉곳(1)을 육안으로 확인하면서 작동손잡이(43)를 상기 소정 반경 내에서 움직이면서 분사노즐(42)의 분사각도를 조정하여 잉곳(1)을 세정할 수 있다. An operating handle 43 may be coupled to the other side of the gate 41 located behind the gate 41, that is, outside the cover 30 (left side of FIG. 7). The operating handle 43 may be connected to an air compressor (not shown) that generates high pressure air. The operation handle 43 may be provided with an operation button 43-1 for turning on/off high-pressure air injection through the injection nozzle 42. The operator can spray high-pressure air through the spray nozzle 42 by pressing the operation button 43-1 while holding the operation handle 43. At this time, since the entire cover 30 is made of a transparent material, the ingot 1 placed inside the cover 30 is visually checked and the operating handle 43 is moved within the predetermined radius to change the spray angle of the spray nozzle 42. The ingot (1) can be cleaned by adjusting .
분사수단(40)을 통한 고압의 에어를 통해 잉곳(1)을 세정하는 과정에서 발생되는 비산물은 배기부(50)를 통해 외부로 배출될 수 있다. 여기서, '비산물'이란 잉곳(1)에 묻은 등유를 포함하여 연마 슬러리나 잉곳(1)의 절단 과정에서 발생된 가루 등 각종 이물질 등을 지칭하는 것으로 이해할 수 있다.Flying products generated in the process of cleaning the ingot 1 with high-pressure air through the spray means 40 may be discharged to the outside through the exhaust unit 50. Here, 'flying products' can be understood to refer to various foreign substances such as polishing slurry or powder generated during the cutting process of the ingot 1, including kerosene on the ingot 1.
배기부(50)는 커버(30)의 상부와 둘레부 중 적어도 어느 한 부위로 연결될 수 있으며, 복수 개로 구성될 수 있다.The exhaust unit 50 may be connected to at least one of the upper and peripheral parts of the cover 30 and may be composed of a plurality of exhaust units.
도 3 내지 도 6를 참조하면, 배기부(50)는 커버(30)의 상부에서 두 곳으로 연결될 수 있다. 배기부(50)는 제1 배기부(51), 제2 배기부(52) 및 메인 배기부(53)를 포함하여 구성될 수 있다.3 to 6, the exhaust unit 50 may be connected to two locations at the top of the cover 30. The exhaust unit 50 may include a first exhaust unit 51, a second exhaust unit 52, and a main exhaust unit 53.
먼저, 메인 배기부(53)는 종래의 배기부로 이해할 수 있다. First, the main exhaust unit 53 can be understood as a conventional exhaust unit.
제1 배기부(51)는 메인 배기부(53)에 상부가 연결될 수 있다. 제1 배기부(51)의 하부는 후술할 제2 배기부(52)와 연결될 수 있다.The first exhaust unit 51 may be connected at the top to the main exhaust unit 53. The lower part of the first exhaust unit 51 may be connected to the second exhaust unit 52, which will be described later.
제2 배기부(52)는 제1 배기부(51)와 연결되어 복수 개로 분기되어 커버(30)에 연결될 수 있다. 분기 구조는 공지의 다양한 구조를 적용할 수 있다. The second exhaust unit 52 may be connected to the first exhaust unit 51 and branched into a plurality of units to be connected to the cover 30 . The branching structure can use various known structures.
제1 배기부(51)는 커버(30)에 결합되므로, 커버(30)의 승강에 따라 길이 변형이 가능한 신축관, 일례로 벨로스형 신축관으로 구성할 수 있다. Since the first exhaust unit 51 is coupled to the cover 30, it can be configured as an expandable pipe whose length can be modified as the cover 30 is raised and lowered, for example, a bellows-type expandable pipe.
제2 배기부(52)의 내측에 형성된 배기홀(52-1)은 커버(30)에 결합된 하부에서 제1 배기부(51)로 연결된 상부로 갈수록 직경이 점진적으로 작아지도록 구성할 수 있다. 이를 통해 배기부(50)의 순간 유속을 빠르게 함으로써, 배기펌프 등과 같은 배기수단의 교체 없이도 배기압을 증대시킬 수 있다. 전술한 배기홀(52-1)의 직경이 점진적으로 작아지는 구조는 제1 배기부(51) 및 제2 배기부(52)에 모두 적용할 수도 있다.The exhaust hole 52-1 formed inside the second exhaust unit 52 can be configured to have a gradually smaller diameter as it moves from the lower part connected to the cover 30 to the upper part connected to the first exhaust unit 51. . Through this, by increasing the instantaneous flow rate of the exhaust unit 50, the exhaust pressure can be increased without replacing the exhaust means such as an exhaust pump. The above-described structure in which the diameter of the exhaust hole 52-1 gradually decreases may be applied to both the first exhaust unit 51 and the second exhaust unit 52.
따라서, 분사수단(40)을 통해 분사된 에어에 의해 잉곳(1)으로부터 비산된 이물질은 제2 배기부(52)와 제1 배기부(51)를 통해 메인 배기부(53)으로 배출된다.Therefore, foreign substances scattered from the ingot (1) by the air injected through the injection means (40) are discharged to the main exhaust unit (53) through the second exhaust unit (52) and the first exhaust unit (51).
한편, 전술한 다발형 분사노즐(42)과 배기부(50)가 연결된 커버(30)는 종래 대비 무게가 가중될 수 있으므로, 가중된 무게에 의해 커버(30)의 수직 방향으로의 승강 동작이 간섭받을 수 있다.Meanwhile, the weight of the cover 30 to which the above-described bundle-type injection nozzle 42 and the exhaust unit 50 are connected may be increased compared to the prior art, so the vertical lifting operation of the cover 30 is caused by the added weight. There may be interference.
따라서, 커버(30)의 승강 방향으로 적어도 하나의 선형가이드레일(60)을 배치, 일례로 커버(30)의 양측에 각각 하나씩 선형가이드레일(60)을 배치하고, 커버(30)는 선형가이드레일(60)에 결합되어 승강되도록 구성할 수 있다. 선형가이드레일(60)은 커버(30)의 수직 방향으로의 승강 동작을 보조할 수 있으며, 선형가이드레일(60)을 통한 결합 및 이동 상태 등은 공지의 기술이므로 자세한 설명은 생략하도록 한다.Therefore, at least one linear guide rail 60 is arranged in the lifting direction of the cover 30. For example, one linear guide rail 60 is arranged on each side of the cover 30, and the cover 30 is a linear guide. It can be configured to be coupled to the rail 60 and lifted up and down. The linear guide rail 60 can assist in the vertical lifting operation of the cover 30, and since the coupling and movement state through the linear guide rail 60 is a known technology, detailed description will be omitted.
또한, 선형가이드레일(60)의 상부에는 커버(30)의 승강 동작시 상승 높이를 제한할 수 있는 자동잠금해제장치(70)가 더 배치될 수 있다. In addition, an automatic unlocking device 70 that can limit the rising height of the cover 30 during the lifting operation may be further disposed on the upper part of the linear guide rail 60.
자동잠금해제장치(70)는 일례로, 선형가이드레일(60)의 상부에 배치될 수 있으며, 커버(30)의 상승된 상태를 고정시키거나 고정된 상태를 해제시킬 수 있다. 자세히 도시하진 않았으나, 자동잠금해제장치(70)는 커버(30)가 위치된 내측으로 돌출부가 구성된 탄성핀 등으로 구성할 수 있으며, 커버(30)에는 이에 대응되는 홈이 형성될 수 있다. 따라서 커버(30)의 상승시, 탄성핀을 외측 방향으로 밀면서 상승하면서 상기 탄성핀에 형성된 상기 돌출부가 상기 홈에 끼워져 커버(30)의 상승 상태가 자동 고정될 수 있다. 이때, 탄성핀의 탄성력은 커버의 고정력에 비례할 수 있다. 커버(30)의 하강시에는 커버(30)를 하부 방향으로 소정의 힘, 예컨데 상기 탄성력 이상의 힘을 가하면 상기 홈에 지지된 돌출부가 분리되면서 커버를 하강시킬 수 있다. For example, the automatic unlocking device 70 may be disposed on the upper part of the linear guide rail 60, and may fix the raised state of the cover 30 or release the fixed state. Although not shown in detail, the automatic unlocking device 70 may be composed of an elastic pin or the like having a protrusion on the inside where the cover 30 is located, and a corresponding groove may be formed in the cover 30. Therefore, when the cover 30 is raised, the elastic pin is pushed outward to rise, and the protrusion formed on the elastic pin is inserted into the groove, so that the raised state of the cover 30 can be automatically fixed. At this time, the elastic force of the elastic pin may be proportional to the fixing force of the cover. When the cover 30 is lowered, if a predetermined force, for example, a force greater than the elastic force, is applied downward to the cover 30, the protrusion supported in the groove is separated and the cover can be lowered.
또한, 적어도 하나의 등유 배스를 포함하며, 와이어 쏘잉 작업이 완료된 잉곳(1)의 세정이 이루어지는 등유 세정부와 전술한 특징들을 갖는 분사 세정 장치를 포함하는 절단 웨이퍼 세정 장치를 제공할 수 있다.In addition, it is possible to provide a cut wafer cleaning device including at least one kerosene bath, a kerosene cleaning unit in which the ingot 1 on which the wire sawing operation is completed is cleaned, and a spray cleaning device having the above-described features.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치를 사용함으로써, 에어 분사를 통한 세정 작업 시, 커버에 의해 작업 공간이 폐쇄되므로 등유 비산물에 작업자가 노출되는 것을 방지함은 물론, 주변 환경 오염 문제도 개선할 수 있다.By using the spray cleaning device according to the present invention described above and the cut wafer cleaning device equipped with the same, the work space is closed by a cover during cleaning work through air spray, thereby preventing the worker from being exposed to kerosene spray. Of course, the problem of environmental pollution can also be improved.
이상에서 실시례들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시례에 포함되며, 반드시 하나의 실시례에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시례에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시례들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시례들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects, etc. described in the examples above are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, etc. illustrated in each embodiment can be combined or modified and implemented in other embodiments by a person with ordinary knowledge in the field to which the embodiments belong. Therefore, contents related to such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the present invention.
1: 잉곳
2: 배기부
3: 도어
4: 에어분사장치
5: 지지부
10: 세척부
20: 지지부
30: 커버
31: 개폐도어
40: 분사수단
41: 게이트
42: 분사노즐
43: 작동손잡이
43-1: 작동버튼
50: 배기부
51: 제1 배기부
52: 제2 배기부
52-1: 배기홀
53: 메인 배기부
60: 선형가이드레일
61: 자동잠금장치1: Ingot 2: Exhaust section
3: Door 4: Air injection device
5: support part
10: washing part 20: support part
30: Cover 31: Opening/closing door
40: injection means 41: gate
42: Spray nozzle 43: Operating handle
43-1: Operation button 50: Exhaust unit
51: first exhaust part 52: second exhaust part
52-1: exhaust hole 53: main exhaust part
60: Linear guide rail 61: Automatic locking device
Claims (11)
상기 세척부의 내측 작업 공간 상부에 배치되어 잉곳이 탈착되는 지지부;
상기 세척부의 전면에 대응되어 후면이 개방되고, 상기 후면을 제외한 상하좌우면과 전면이 폐쇄되어 상기 세척부의 전방에서 상하 방향으로 승강되며, 하강시 상기 세척부의 개방된 전면을 폐쇄시키는 커버;
상기 커버에 결합되며, 상기 커버가 상기 세척부의 개방된 전면을 폐쇄시킨 상태에서 상기 지지부에 결합된 상기 잉곳을 향해 에어를 분사하는 적어도 하나의 분사수단; 및
상기 커버에 결합되며, 상기 분사수단을 통해 분사된 에어에 의해 상기 잉곳으로부터 비산된 이물질을 상기 커버의 외부로 배출시키는 배기부를 포함하는 분사 세정 장치.A washing unit that is open at the front and forms a work space on the inside;
A support portion disposed above the inner working space of the cleaning portion to attach and detach the ingot;
A cover that has a rear opening corresponding to the front of the washing unit, has closed top, bottom, left, right, and front surfaces excluding the rear, is raised and lowered in the front of the washing unit in an upward and downward direction, and closes the open front of the washing unit when lowered;
At least one spray means coupled to the cover and spraying air toward the ingot coupled to the support portion while the cover closes the open front surface of the cleaning portion; and
A spray cleaning device coupled to the cover and including an exhaust unit that discharges foreign substances scattered from the ingot by air sprayed through the spray means to the outside of the cover.
상기 커버는 투명 재질로 형성되며, 상기 커버의 전면은 개폐도어로 구성되는 분사 세정 장치.According to claim 1,
The cover is made of a transparent material, and the front of the cover is comprised of an opening and closing door.
상기 개폐도어에는 상기 분사수단이 결합된 분사 세정 장치.According to clause 2,
A spray cleaning device in which the spray means is coupled to the opening/closing door.
상기 분사수단은,
상기 커버에 형성된 홀에 소정 반경 내에서 회전가능한 상태로 밀폐결합되는 게이트;
상기 게이트의 전방에 결합되어 상기 커버의 내측에 배치되는 분사노즐; 및
상기 게이트의 후방에 결합되어 상기 게이트를 통해 상기 분사노즐로 에어를 공급하는 작동손잡이를 포함하는 분사 세정 장치.According to clause 3,
The spraying means is,
a gate hermetically coupled to a hole formed in the cover in a rotatable state within a predetermined radius;
a spray nozzle coupled to the front of the gate and disposed inside the cover; and
A spray cleaning device including an operating handle coupled to the rear of the gate and supplying air to the spray nozzle through the gate.
상기 분사노즐은,
다발형 분사노즐로 구성되는 분사 세정 장치.According to clause 4,
The spray nozzle is,
A spray cleaning device consisting of multiple spray nozzles.
상기 커버의 승강 방향으로 적어도 하나의 선형가이드레일이 배치되며,
상기 커버는 상기 선형가이드레일을 따라 승강되는 분사 세정 장치.According to claim 1,
At least one linear guide rail is disposed in the lifting direction of the cover,
The cover is a spray cleaning device that is lifted and lowered along the linear guide rail.
상기 선형가이드레일의 상부에는,
상기 커버의 상승 높이를 제한하며, 상기 커버의 상승된 상태를 고정시키거나 고정된 상태를 해제시키는 자동잠금해제장치가 더 배치된 분사 세정 장치.According to clause 6,
At the top of the linear guide rail,
A spray cleaning device further provided with an automatic unlocking device that limits the rising height of the cover and fixes or releases the raised state of the cover.
배기부는,
메인 배기부에 연결된 제1 배기부; 및
상기 제1 배기부와 연결되며, 복수 개로 분기되어 상기 커버에 연결되는 제2 배기부를 포함하며,
상기 분사수단을 통해 분사된 에어에 의해 상기 잉곳으로부터 비산된 이물질은 상기 제2 배기부와 상기 제1 배기부를 통해 상기 메인 배기부으로 배출되는 분사 세정 장치.According to claim 1,
The exhaust part,
A first exhaust unit connected to the main exhaust unit; and
It is connected to the first exhaust part, and includes a second exhaust part branched into a plurality of parts and connected to the cover,
A spray cleaning device in which foreign substances scattered from the ingot by air injected through the spray means are discharged to the main exhaust portion through the second exhaust portion and the first exhaust portion.
상기 제1 배기부는 신축관으로 구성되는 분사 세정 장치.According to clause 8,
The first exhaust unit is a spray cleaning device comprised of an expansion pipe.
상기 제2 배기부는,
상기 커버에 연결된 일측에서 상기 제1 배기부에 연결된 타측으로 갈수록 배기홀의 직경이 점진적으로 좁아지는 분사 세정 장치.According to clause 8,
The second exhaust unit,
A spray cleaning device in which the diameter of the exhaust hole gradually narrows from one side connected to the cover to the other side connected to the first exhaust unit.
제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 기재된 분사 세정 장치를 포함하는 절단 웨이퍼 세정 장치.A kerosene cleaning unit including at least one kerosene bath and cleaning the ingot on which the wire sawing work has been completed; and
A cut wafer cleaning device comprising the spray cleaning device according to any one of claims 1 to 10.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220149676A KR20240068357A (en) | 2022-11-10 | 2022-11-10 | Spray cleaning device and as sliced cleaning appratus having the same |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20240068357A true KR20240068357A (en) | 2024-05-17 |
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ID=91331480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220149676A KR20240068357A (en) | 2022-11-10 | 2022-11-10 | Spray cleaning device and as sliced cleaning appratus having the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20240068357A (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210130410A (en) | 2020-04-22 | 2021-11-01 | 에스케이실트론 주식회사 | As Sliced Cleaning process automation apparatus |
-
2022
- 2022-11-10 KR KR1020220149676A patent/KR20240068357A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210130410A (en) | 2020-04-22 | 2021-11-01 | 에스케이실트론 주식회사 | As Sliced Cleaning process automation apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal |