KR20240065603A - 표시 장치, 이의 제조 방법 및 타일형 표시 장치 - Google Patents

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KR20240065603A
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pad
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김병훈
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최세헌
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Abstract

표시 장치, 이의 제조 방법 및 타일형 표시 장치가 제공된다. 표시 장치는 개구홀을 포함하는 기판, 상기 기판 상에 배치되고 비정질 실리콘을 포함하며 복수의 제1 컨택홀을 포함하는 레이저 흡수층, 상기 레이저 흡수층 상에 배치되고 상기 제1 컨택홀과 중첩하는 복수의 제2 컨택홀을 포함하는 제1 배리어 절연막, 상기 제1 배리어 절연막 상에 배치되고 일부분이 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 복수의 패드부들, 상기 제1 배리어 절연막 및 상기 복수의 패드부들 상에 배치된 제2 배리어 절연막, 상기 제2 배리어 절연막 상에 배치된 표시층, 및 상기 기판의 하부에 배치되고, 상기 개구홀에 삽입되어 상기 패드부에 전기적으로 연결되는 연성 필름을 포함하고, 상기 제1 배리어 절연막은 일부분이 상기 제1 컨택홀 내에 배치되고, 상기 패드부는 상기 레이저 흡수층과 전기적으로 절연된다.

Description

표시 장치, 이의 제조 방법 및 타일형 표시 장치{DISPLAY DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND TILED DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 타일형 표시 장치에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 영상을 표시하기 위한 표시 장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 예를 들어, 표시 장치는 스마트폰, 디지털 카메라, 노트북 컴퓨터, 네비게이션, 및 스마트 텔레비전과 같이 다양한 전자기기에 적용되고 있다. 표시 장치는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display Device), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display Device) 등과 같은 평판 표시 장치일 수 있다. 이러한 평판 표시 장치 중에서 발광 표시 장치는 표시 패널의 화소들 각각이 스스로 발광할 수 있는 발광 소자를 포함함으로써, 표시 패널에 광을 제공하는 백라이트 유닛 없이도 화상을 표시할 수 있다.
표시 장치를 대형 크기로 제조하는 경우, 화소 개수의 증가로 인하여 발광 소자의 불량률이 증가할 수 있고, 생산성 또는 신뢰성이 저하될 수 있다. 이를 해결하기 위해, 타일형 표시 장치는 상대적으로 작은 크기를 갖는 복수의 표시 장치를 연결하여 대형 크기의 화면을 구현할 수 있다. 타일형 표시 장치는 서로 인접한 복수의 표시 장치 각각의 비표시 영역 또는 베젤 영역으로 인하여, 복수의 표시 장치 사이의 심(Seam)이라는 경계 부분을 포함할 수 있다. 복수의 표시 장치 사이의 경계 부분은 전체 화면에 하나의 영상을 표시할 경우 전체 화면에 단절감을 주게 되어 영상의 몰입도를 저하시킨다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 하부 기판의 식각 공정에서 상부 기판 또는 표시층의 손상을 방지할 수 있는 표시 장치, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 타일형 표시 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 복수의 표시 장치 사이의 경계 부분 또는 비표시 영역이 인지되는 것을 방지함으로써, 복수의 표시 장치 사이의 단절감을 제거하고 영상의 몰입도를 향상시킬 수 있는 표시 장치, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 타일형 표시 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치는 개구홀을 포함하는 기판, 상기 기판 상에 배치되고 비정질 실리콘을 포함하며 복수의 제1 컨택홀을 포함하는 레이저 흡수층, 상기 레이저 흡수층 상에 배치되고 상기 제1 컨택홀과 중첩하는 복수의 제2 컨택홀을 포함하는 제1 배리어 절연막, 상기 제1 배리어 절연막 상에 배치되고 일부분이 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 복수의 패드부들, 상기 제1 배리어 절연막 및 상기 복수의 패드부들 상에 배치된 제2 배리어 절연막, 상기 제2 배리어 절연막 상에 배치된 표시층, 및 상기 기판의 하부에 배치되고, 상기 개구홀에 삽입되어 상기 패드부에 전기적으로 연결되는 연성 필름을 포함하고, 상기 제1 배리어 절연막은 일부분이 상기 제1 컨택홀 내에 배치되고, 상기 패드부는 상기 레이저 흡수층과 전기적으로 절연된다.
상기 패드부들은 상기 레이저 흡수층과 직접 접촉하지 않을 수 있다.
상기 제1 배리어 절연막의 상기 제1 컨택홀 내에 배치된 부분은 부분적으로 상기 레이저 흡수층의 하면으로부터 돌출될 수 있다.
상기 패드부들 각각은 상기 제1 배리어 절연막의 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 본체부, 및 상기 본체부의 양 측에 배치되어 상기 제1 배리어 절연막 상에 배치된 확장부를 포함하고, 상기 레이저 흡수층은 적어도 일부분이 상기 패드부와 중첩하도록 배치될 수 있다.
상기 레이저 흡수층의 상기 제1 컨택홀의 폭은 상기 패드부의 최대 폭보다 작고 상기 패드부의 상기 본체부 하단의 폭보다 클 수 있다.
상기 레이저 흡수층의 상기 제1 컨택홀의 폭은 15㎛ 내지 21㎛의 범위를 가질 수 있다.
상기 레이저 흡수층의 두께는 300Å 내지 1000Å의 범위를 가질 수 있다.
상기 레이저 흡수층의 두께는 상기 제1 배리어 절연막의 두께보다 작을 수 있다.
상기 레이저 흡수층은 300 내지 400 nm의 파장을 갖는 광의 투과율이 10% 이하일 수 있다.
상기 레이저 흡수층은 일부분이 결정화된 폴리 실리콘을 포함할 수 있다.
상기 제2 배리어 절연막과 상기 표시층 사이에 배치된 제2 기판, 및 상기 제2 기판과 상기 표시층 사이에 배치된 제3 배리어 절연막을 더 포함하고, 상기 표시층은 상기 제3 배리어 절연막 상에 배치되어 상기 패드부와 전기적으로 연결된 연결부, 상기 제3 배리어 절연막 상에 배치되어 제1 방향으로 연장되는 데이터 라인, 및 상기 제3 배리어 절연막 상에 배치되어 상기 제1 방향으로 연장되는 고전위 라인을 포함할 수 있다.
상기 패드부는 상기 연결부를 통해 상기 복수의 데이터 라인에 데이터 전압을 공급하고, 상기 패드부는 상기 연결부를 통해 고전위 전압을 상기 복수의 고전위 라인에 공급할 수 있다.
상기 표시층은 상기 연결부 상에 배치된 버퍼층, 상기 버퍼층 상에 배치된 액티브층을 포함하는 박막 트랜지스터, 및 상기 액티브층 상에 배치된 연결 전극을 더 포함하고, 상기 연결 전극의 일단은 상기 고전위 라인에 접속되며, 상기 연결 전극의 타단은 상기 박막 트랜지스터에 접속될 수 있다.
상기 표시층은 상기 연결 전극 상에 배치된 발광 소자층을 더 포함하고, 상기 발광 소자층은, 상기 연결 전극에 접속된 제1 전극; 상기 제1 전극과 동일 층에 배치된 제2 전극, 및 상기 제1 전극 및 제2 전극 상에 배치되어 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결된 발광 소자를 포함할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 제1 기판 상에 비정질 실리콘을 포함하는 레이저 흡수층을 형성하고, 상기 레이저 흡수층을 관통하는 복수의 제1 컨택홀들을 형성하는 단계, 상기 레이저 흡수층 상에 제1 배리어 절연막을 형성하고, 상기 제1 배리어 절연막을 관통하며 상기 제1 컨택홀과 중첩하는 복수의 제2 컨택홀들을 형성하는 단계, 상기 제1 배리어 절연막 상에 배치되고 상기 제2 컨택홀 내에 삽입 배치되는 복수의 패드부들을 형성하는 단계, 상기 제1 배리어 절연막 및 상기 패드부들 상에 제2 배리어 절연막을 형성하는 단계, 상기 제2 배리어 절연막 상에 표시층을 형성하는 단계, 상기 제1 기판을 식각하여 개구홀을 형성하고 상기 패드부들, 및 상기 레이저 흡수층의 일부분을 노출하는 단계, 및 연성 필름을 상기 개구홀에 삽입하여 상기 패드부들 각각과 전기적으로 연결하는 단계를 포함하고, 상기 제1 배리어 절연막은 일부분이 상기 제1 컨택홀 내에 배치되고, 상기 패드부는 상기 레이저 흡수층과 전기적으로 절연된다.
상기 레이저 흡수층의 일부 및 상기 패드부를 노출하는 단계는 300nm 내지 400 nm의 파장의 레이저를 상기 제1 기판에 조사하는 단계를 포함하고, 상기 레이저 흡수층은 일부분이 결정화된 폴리 실리콘을 포함할 수 있다.
상기 패드부들은 상기 레이저 흡수층과 직접 접촉하지 않을 수 있다.
상기 제1 배리어 절연막의 상기 제1 컨택홀 내에 배치된 부분은 부분적으로 상기 레이저 흡수층의 하면으로부터 돌출될 수 있다.
상기 패드부들 각각은 상기 제1 배리어 절연막의 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 본체부, 및 상기 본체부의 양 측에 배치되어 상기 제1 배리어 절연막 상에 배치된 확장부를 포함하고, 상기 레이저 흡수층은 적어도 일부분이 상기 패드부와 중첩하도록 배치될 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 타일형 표시 장치는 복수의 화소를 구비한 표시 영역, 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 비표시 영역을 포함하는 복수의 표시 장치, 및 상기 복수의 표시 장치를 결합시키는 결합 부재를 포함하고, 상기 복수의 표시 장치 중 적어도 하나의 표시 장치는, 개구홀을 포함하는 기판, 상기 기판 상에 배치되고 비정질 실리콘을 포함하며 복수의 제1 컨택홀을 포함하는 레이저 흡수층, 상기 레이저 흡수층 상에 배치되고 상기 제1 컨택홀과 중첩하는 복수의 제2 컨택홀을 포함하는 제1 배리어 절연막, 상기 제1 배리어 절연막 상에 배치되고 일부분이 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 복수의 패드부들, 상기 제1 배리어 절연막 및 상기 복수의 패드부들 상에 배치된 제2 배리어 절연막, 상기 제2 배리어 절연막 상에 배치된 표시층, 및 상기 기판의 하부에 배치되고, 상기 개구홀에 삽입되어 상기 패드부에 전기적으로 연결되는 연성 필름을 포함하고, 상기 제1 배리어 절연막은 일부분이 상기 제1 컨택홀 내에 배치되고, 상기 패드부는 상기 레이저 흡수층과 전기적으로 절연된다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치는 패드부와 레이저 흡수층을 포함하여 레이저 조사 공정에서 발생할 수 있는 표시층의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 표시 장치는 레이저 흡수층이 상기 레이저에 의해 전기적 물성이 변하더라도, 패드부와 레이저 흡수층은 전기적으로 절연된 구조를 가질 수 있다. 이에 따라, 표시 장치는 레이저 흡수층에 의해 인접한 패드부들 간에 발생할 수 있는 전기적 불량을 방지할 수 있다.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 타일형 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 선 I-I'을 따라 자른 단면도이다.
도 3은 도 2의 A1 영역의 확대도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 표시 장치에서 광의 파장에 따른 레이저 흡수층의 투과율을 나타내는 그래프이다.
도 5는 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 저면도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 나타내는 저면 확대도이다.
도 7은 일 실시예에 따른 표시 장치의 저면에 배치된 패드부들의 배치를 도시하는 단면도이다.
도 8은 도 7의 A2 영역의 확대도이다.
도 9은 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 패드부, 팬 아웃 라인, 센싱 라인, 및 데이터 라인을 나타내는 도면이다.
도 10은 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 패드부, 전원 연결 라인, 고전위 라인, 및 수평 전압 라인을 나타내는 도면이다.
도 11은 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 패드부, 전원 연결 라인, 저전위 라인, 및 수직 전압 라인을 나타내는 도면이다.
도 12는 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 패드부, 팬 아웃 라인, 및 게이트 라인을 나타내는 도면이다.
도 13은 일 실시예에 따른 표시 장치의 화소들과 라인들을 나타내는 블록도이다.
도 14는 도 13의 화소를 나타내는 회로도이다.
도 15는 도 1의 선 II-II'을 따라 자른 단면도이다.
도 16 내지 도 26은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 과정을 나타내는 단면도이다.
도 27은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일부분을 보여주는 단면도이다.
도 28은 도 27의 표시 장치의 저면에 배치된 패드부들의 배치를 도시하는 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(Elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(On)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 이와 마찬가지로, "하(Below)", "좌(Left)" 및 "우(Right)"로 지칭되는 것들은 다른 소자와 바로 인접하게 개재된 경우 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소재를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 타일형 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 타일형 표시 장치(TD)는 복수의 표시 장치(10)를 포함할 수 있다. 복수의 표시 장치(10)는 격자형으로 배열될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 복수의 표시 장치(10)는 제1 방향(X축 방향) 또는 제2 방향(Y축 방향)으로 연결될 수 있고, 타일형 표시 장치(TD)는 특정 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 복수의 표시 장치(10) 각각은 서로 동일한 크기를 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 다른 예를 들어, 복수의 표시 장치(10)는 서로 다른 크기를 가질 수 있다.
타일형 표시 장치(TD)는 제1 내지 제4 표시 장치(10-1~10-4)를 포함할 수 있다. 표시 장치(10)의 개수 및 결합 관계는 도 1의 실시예에 제한되지 않는다. 표시 장치(10)의 개수는 표시 장치(10) 및 타일형 표시 장치(TD) 각각의 크기에 따라 결정될 수 있다.
복수의 표시 장치(10) 각각은 장변과 단변을 포함하는 직사각형 형상일 수 있다. 복수의 표시 장치(10)는 장변 또는 단변이 서로 연결되며 배치될 수 있다. 일부의 표시 장치(10)는 타일형 표시 장치(TD)의 가장자리에 배치되어, 타일형 표시 장치(TD)의 일변을 이룰 수 있다. 다른 일부의 표시 장치(10)는 타일형 표시 장치(TD)의 모서리에 배치될 수 있고, 타일형 표시 장치(TD)의 인접한 두 개의 변을 형성할 수 있다. 또 다른 일부의 표시 장치(10)는 타일형 표시 장치(TD)의 내부에 배치될 수 있고, 다른 표시 장치들(10)에 의해 둘러싸일 수 있다.
복수의 표시 장치(10) 각각은 표시 영역(DA) 및 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 표시 영역(DA)은 복수의 화소를 포함하여 영상을 표시할 수 있다. 복수의 화소 각각은 유기 발광층을 포함하는 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode), 양자점 발광층을 포함하는 양자점 발광 소자(Quantum Dot LED), 초소형 발광 다이오드(Micro LED), 또는 무기 반도체를 포함하는 무기 발광 다이오드(Inorganic LED)를 포함할 수 있다. 이하에서는, 복수의 화소 각각이 무기 발광 다이오드를 포함하는 것을 중심으로 설명하였으나, 이에 제한되지 않는다. 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)의 주변에 배치되어 표시 영역(DA)을 둘러쌀 수 있고, 영상을 표시하지 않을 수 있다.
표시 장치(10)는 표시 영역(DA)에서 복수의 행과 열을 따라 배열된 복수의 화소를 포함할 수 있다. 복수의 화소 각각은 화소 정의막 또는 뱅크에 의해 정의되는 발광 영역(LA)을 포함할 수 있고, 발광 영역(LA)을 통해 소정의 피크 파장을 갖는 광을 방출할 수 있다. 예를 들어, 표시 장치(10)의 표시 영역(DA)은 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3) 각각은 표시 장치(10)의 발광 소자에서 생성된 광이 표시 장치(10)의 외부로 방출되는 영역일 수 있다.
제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3)은 소정의 피크 파장을 갖는 광을 표시 장치(10)의 외부로 방출할 수 있다. 제1 발광 영역(LA1)은 제1 색의 광을 방출할 수 있고, 제2 발광 영역(LA2)은 제2 색의 광을 방출할 수 있으며, 제3 발광 영역(LA3)은 제3 색의 광을 방출할 수 있다. 예를 들어, 제1 색의 광은 약 610nm 내지 650nm 범위의 피크 파장을 갖는 적색 광일 수 있고, 제2 색의 광은 약 510nm 내지 550nm 범위의 피크 파장을 갖는 녹색 광일 수 있으며, 제3 색의 광은 약 440nm 내지 480nm 범위의 피크 파장을 갖는 청색 광일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3)은 표시 영역(DA)의 제1 방향(X축 방향)을 따라 순차적으로 반복 배치될 수 있다. 예를 들어, 제3 발광 영역(LA3)의 면적은 제1 발광 영역(LA1)의 면적보다 넓을 수 있고, 제1 발광 영역(LA1)의 면적은 제2 발광 영역(LA2)의 면적보다 넓을 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 다른 예를 들어, 제1 발광 영역(LA1)의 면적, 제2 발광 영역(LA2)의 면적, 및 제3 발광 영역(LA3)의 면적은 실질적으로 동일할 수 있다.
표시 장치(10)의 표시 영역(DA)은 복수의 발광 영역(LA)을 둘러싸는 차광 영역(BA)을 포함할 수 있다. 차광 영역(BA)은 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3)에서 방출되는 광들의 혼색을 방지할 수 있다.
타일형 표시 장치(TD)는 전체적으로 평면적 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 타일형 표시 장치(TD)는 입체적 형상을 가짐으로써, 사용자에게 입체감을 줄 수 있다. 예를 들어, 타일형 표시 장치(TD)가 입체적 형상을 갖는 경우, 복수의 표시 장치(10) 중 적어도 일부의 표시 장치(10)는 커브드(Curved) 형상을 가질 수 있다. 다른 예를 들어, 복수의 표시 장치(10) 각각은 평면 형상을 갖고 서로 소정의 각도로 연결됨으로써, 타일형 표시 장치(TD)는 입체적 형상을 가질 수 있다.
타일형 표시 장치(TD)는 복수의 표시 영역(DA) 사이에 배치되는 결합 영역(SM)을 포함할 수 있다. 타일형 표시 장치(TD)는 인접한 표시 장치들(10)의 비표시 영역(NDA)이 연결되어 형성될 수 있다. 복수의 표시 장치(10)는 결합 영역(SM)에 배치되는 결합 부재 또는 접착 부재를 통해 서로 연결될 수 있다. 결합 영역(SM)은 패드부 또는 패드부에 부착되는 연성 필름을 포함하지 않을 수 있다. 따라서, 복수의 표시 장치(10) 각각의 표시 영역들(DA) 사이의 거리는 결합 영역(SM)이 사용자에게 인지되지 않을 정도로 가까울 수 있다. 또한, 복수의 표시 장치(10) 각각의 표시 영역(DA)의 외광 반사율과 결합 영역(SM)의 외광 반사율은 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 타일형 표시 장치(TD)는 복수의 표시 장치(10) 사이의 결합 영역(SM)이 사용자에게 인지되는 것을 방지함으로써, 복수의 표시 장치(10) 사이의 단절감을 개선하고 영상의 몰입도를 향상시킬 수 있다.
도 2는 도 1의 선 I-I'을 따라 자른 단면도이고, 도 3은 도 2의 A1 영역의 확대도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 표시 장치(10)의 표시 영역(DA)은 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3) 각각은 표시 장치(10)의 발광 소자(ED)에서 생성된 광이 표시 장치(10)의 외부로 방출되는 영역일 수 있다.
표시 장치(10)는 제1 기판(SUB1), 레이저 흡수층(LAL), 제1 배리어 절연막(BIL1), 제1 금속층(MTL1), 제2 배리어 절연막(BIL2), 제2 기판(SUB2), 제3 배리어 절연막(BIL3), 표시층(DPL), 봉지층(TFE), 반사 방지막(ARF), 연성 필름(FPCB), 및 표시 구동부(DIC)를 포함할 수 있다.
제1 기판(SUB1)은 표시 장치(10)를 지지할 수 있다. 제1 기판(SUB1)은 베이스 기판 또는 베이스 부재일 수 있다. 제1 기판(SUB1)은 벤딩(Bending), 폴딩(Folding), 롤링(Rolling) 등이 가능한 플렉서블(Flexible) 기판일 수 있다. 예를 들어, 제1 기판(SUB1)은 폴리이미드(PI)와 같은 고분자 수지 등의 절연 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 다른 예를 들어, 제1 기판(SUB1)은 글라스 재질을 포함하는 리지드 기판일 수 있다.
제1 기판(SUB1)은 개구홀(OP)을 포함할 수 있다. 개구홀(OP)은 제1 기판(SUB1)의 하면에서부터 식각되어 제1 기판(SUB1)의 상면까지 관통할 수 있다. 예를 들어, 개구홀(OP)의 하부 폭은 개구홀(OP)의 상부 폭보다 클 수 있다. 표시 장치(10)의 제조 과정에서, 컨택홀(CNT)에 삽입된 패드부(PAD)는 개구홀(OP)에 의해 노출될 수 있고, 패드부(PAD)는 개구홀(OP)에 삽입된 접속 필름(ACF)을 통해 연성 필름(FPCB)의 리드 전극(LDE)에 전기적으로 연결될 수 있다.
레이저 흡수층(LAL)은 제1 기판(SUB1) 상에 배치될 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)은 제1 기판(SUB1)의 식각 공정에서 자외선 레이저를 흡수하여 자외선 레이저의 투과를 방지할 수 있다. 여기에서, 자외선 레이저는 약 300 내지 400 nm의 파장, 바람직하게는 약 340 내지 350 nm의 파장을 가질 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)은 제1 기판(SUB1)의 식각 공정에서 자외선 레이저를 흡수함으로써, 제2 기판(SUB2) 또는 표시층(DPL)의 손상을 방지할 수 있다. 예를 들어, 레이저 흡수층(LAL)은 비정질 실리콘(a-Si)을 포함할 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)의 두께는 약 300Å 내지 1000Å, 바람직하게는 약 500Å일 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)의 두께는 제1 또는 제2 배리어 절연막(BIL1, BIL2)의 두께보다 작을 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)의 두께는 팬 아웃 라인(FOL)의 두께보다 작을 수 있다.
제1 배리어 절연막(BIL1)은 레이저 흡수층(LAL) 상에 배치될 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)은 공기 또는 수분의 침투를 방지할 수 있는 무기막을 포함할 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄 옥사이드층, 알루미늄 옥사이드층, 및 비정질 실리콘층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 약 50 이하의 두께를 갖는 비정질 실리콘(a-Si) 및 약 3000 이상의 두께를 갖는 실리콘 옥사이드(SiOx)를 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
레이저 흡수층(LAL)은 및 제1 배리어 절연막(BIL1)은 서로 중첩하는 컨택홀(CNT1, CNT2)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 레이저 흡수층(LAL)은 제1 컨택홀(CNT1)을 포함하고, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 제1 컨택홀(CNT1)과 중첩하는 제2 컨택홀(CNT2)을 포함할 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)은 일부분이 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치되고, 제2 컨택홀(CNT2)은 제1 컨택홀(CNT1) 내에서 제1 배리어 절연막(BIL1)을 관통할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제1 컨택홀(CNT1)의 폭은 제2 컨택홀(CNT2)의 폭보다 클 수 있다.
제1 금속층(MTL1)은 제1 배리어 절연막(BIL1) 상에 배치될 수 있다. 제1 금속층(MTL1)은 팬 아웃 라인(FOL)을 포함할 수 있다. 제1 금속층(MTL1)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 인듐(In), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 적어도 하나를 포함하는 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 금속층(MTL1)은 약 1500 이상의 두께를 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
패드부(PAD)는 팬 아웃 라인(FOL)과 일체로 형성되어 제1 컨택홀(CNT1) 및 제2 컨택홀(CNT2)에 삽입될 수 있다. 패드부(PAD)는 연성 필름(FPCB) 및 연결부(CWL)를 전기적으로 연결할 수 있다. 패드부(PAD)는 제1 기판(SUB1)의 개구홀(OP)에 의해 노출될 수 있다. 패드부(PAD)는 접속 필름(ACF)을 통해 연성 필름(FPCB)의 리드 전극(LDE)과 전기적으로 연결될 수 있다. 팬 아웃 라인(FOL)은 연결부(CWL)를 통해 데이터 라인, 전원 라인, 또는 게이트 라인에 전기적으로 연결될 수 있다. 데이터 라인 또는 전원 라인은 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인 전극(DE)에 접속될 수 있다. 게이트 라인은 박막 트랜지스터(TFT)의 게이트 전극(GE)에 접속될 수 있다. 따라서, 팬 아웃 라인(FOL)은 연성 필름(FPCB)의 표시 구동부(DIC)로부터 수신된 데이터 전압, 전원 전압, 또는 게이트 신호를 연결부(CWL)를 통해 화소의 박막 트랜지스터(TFT)에 공급할 수 있다. 표시 장치(10)는 표시 영역(DA)에 배치된 팬 아웃 라인(FOL)을 포함함으로써, 비표시 영역(NDA)의 면적을 최소화할 수 있다.
패드부(PAD)와 제1 금속층(MTL1)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 인듐(In), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 적어도 하나를 포함하는 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 패드부(PAD)와 제1 금속층(MTL1)은 티타늄(Ti)을 포함하는 하부 금속층(PL1)과 하부 금속층(PL1) 상에 배치되고 구리(Cu)를 포함하는 상부 금속층(PL2)을 포함할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않는다.
패드부(PAD)는 레이저 흡수층(LAL)이 배치되지 않은 영역에서 자외선 레이저를 흡수할 수 있고, 제1 기판(SUB1)의 식각 공정에서 제2 기판(SUB2) 또는 표시층(DPL)의 손상을 방지할 수 있다. 따라서, 표시 장치(10)는 레이저 흡수층(LAL) 및 패드부(PAD)를 포함함으로써, 제1 기판(SUB1)의 식각 공정에서 제2 기판(SUB2) 또는 표시층(DPL)의 손상을 방지할 수 있다.
제2 배리어 절연막(BIL2)은 제1 배리어 절연막(BIL1) 및 제1 금속층(MTL1) 상에 배치될 수 있다. 제2 배리어 절연막(BIL2)은 공기 또는 수분의 침투를 방지할 수 있는 무기막을 포함할 수 있다. 제2 배리어 절연막(BIL2)은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄 옥사이드층, 알루미늄 옥사이드층, 및 비정질 실리콘층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 배리어 절연막(BIL2)은 약 500 이하의 두께를 갖는 실리콘 나이트라이드(SiNx) 및 약 1500 이상의 두께를 갖는 실리콘 옥시 나이트라이드(SiON)를 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제2 기판(SUB2)은 제2 배리어 절연막(BIL2) 상에 배치될 수 있다. 제2 기판(SUB2)은 베이스 기판 또는 베이스 부재일 수 있다. 제2 기판(SUB2)은 벤딩(Bending), 폴딩(Folding), 롤링(Rolling) 등이 가능한 플렉서블(Flexible) 기판일 수 있다. 예를 들어, 제2 기판(SUB2)은 폴리이미드(PI)와 같은 고분자 수지 등의 절연 물질을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제3 배리어 절연막(BIL3)은 제2 기판(SUB2) 상에 배치될 수 있다. 제3 배리어 절연막(BIL3)은 공기 또는 수분의 침투를 방지할 수 있는 무기막을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제3 배리어 절연막(BIL3)은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄 옥사이드층, 알루미늄 옥사이드층, 및 비정질 실리콘층 중 적어도 하나를 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제3 배리어 절연막(BIL3), 제2 기판(SUB2), 및 제2 배리어 절연막(BIL2)은 제3 컨택홀(CNT3)을 포함할 수 있다. 제3 컨택홀(CNT3)은 제3 배리어 절연막(BIL3)의 상면에서부터 식각되어 제2 배리어 절연막(BIL2)의 하면까지 관통할 수 있다. 예를 들어, 제3 컨택홀(CNT3)의 상부 폭은 제3 컨택홀(CNT3)의 하부 폭보다 클 수 있다. 표시 장치(10)의 제조 과정에서, 팬 아웃 라인(FOL)의 상면은 제3 컨택홀(CNT3)에 의해 노출될 수 있고, 팬 아웃 라인(FOL)은 제3 컨택홀(CNT3)에 삽입된 연결부(CWL)에 컨택될 수 있다.
표시층(DPL)은 제3 배리어 절연막(BIL3) 상에 배치될 수 있다. 표시층(DPL)은 박막 트랜지스터층(TFTL), 발광 소자층(EML), 파장 변환층(WLCL), 및 컬러 필터층(CFL)을 포함할 수 있다. 박막 트랜지스터층(TFTL)은 제2 금속층(MTL2), 버퍼층(BF), 액티브층(ACTL), 게이트 절연막(GI), 제3 금속층(MTL3), 층간 절연막(ILD), 제4 금속층(MTL4), 제1 보호층(PV1), 및 제1 평탄화층(OC1)을 포함할 수 있다.
제2 금속층(MTL2)은 제3 배리어 절연막(BIL3) 상에 배치될 수 있다. 제2 금속층(MTL2)은 연결부(CWL), 제1 및 제2 전압 라인(VL1, VL2)을 포함할 수 있다. 연결부(CWL), 제1 및 제2 전압 라인(VL1, VL2)은 동일 층에서 동일 물질로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제2 금속층(MTL2)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 인듐(In), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 적어도 하나를 포함하는 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.
연결부(CWL)는 제3 컨택홀(CNT3)에 삽입되어 팬 아웃 라인(FOL)에 접속될 수 있다. 예를 들어, 연결부(CWL)는 데이터 라인에 전기적으로 연결되어 박막 트랜지스터(TFT)에 데이터 전압을 공급할 수 있다. 연결부(CWL)는 전원 라인에 전기적으로 연결되어 박막 트랜지스터(TFT)에 전원 전압을 공급할 수 있다. 연결부(CWL)는 게이트 라인에 전기적으로 연결되어 박막 트랜지스터(TFT)의 게이트 전극(GE)에 게이트 신호를 공급할 수 있다. 따라서, 연결부(CWL)는 팬 아웃 라인(FOL)을 통해 표시 구동부(DIC)로부터 수신된 데이터 전압, 전원 전압, 또는 게이트 신호를 화소의 박막 트랜지스터(TFT)에 공급할 수 있다.
제1 및 제2 전압 라인(VL1, VL2)은 표시 영역(DA)에서 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 제1 및 제2 전압 라인(VL1, VL2) 각각은 팬 아웃 라인(FOL)에 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 및 제2 전압 라인(VL1, VL2) 각각은 박막 트랜지스터(TFT) 또는 발광 소자(ED)에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 전압 라인(VL1, VL2) 각각은 데이터 라인, 고전위 라인, 저전위 라인, 또는 센싱 라인일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
버퍼층(BF)은 제2 금속층(MTL2) 및 제3 배리어 절연막(BIL3) 상에 배치될 수 있다. 버퍼층(BF)은 공기 또는 수분의 침투를 방지할 수 있는 무기 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 버퍼층(BF)은 교번하여 적층된 복수의 무기막을 포함할 수 있다.
액티브층(ACTL)은 버퍼층(BF) 상에 배치될 수 있다. 액티브층(ACTL)은 박막 트랜지스터(TFT)의 반도체 영역(ACT), 드레인 전극(DE), 및 소스 전극(SE)을 포함할 수 있다. 반도체 영역(ACT)은 게이트 전극(GE)과 두께 방향(Z축 방향)으로 중첩할 수 있고, 게이트 절연막(GI)에 의해 게이트 전극(GE)과 절연될 수 있다. 드레인 전극(DE) 및 소스 전극(SE)은 반도체 영역(ACT)의 물질을 도체화하여 형성될 수 있다. 박막 트랜지스터(TFT)는 복수의 화소 각각의 화소 회로를 구성할 수 있다. 예를 들어, 박막 트랜지스터(TFT)는 화소 회로의 구동 트랜지스터 또는 스위칭 트랜지스터일 수 있다.
게이트 절연막(GI)은 액티브층(ACTL) 및 버퍼층(BF) 상에 배치될 수 있다. 게이트 절연막(GI)은 박막 트랜지스터(TFT)의 반도체 영역(ACT)과 게이트 전극(GE)을 절연시킬 수 있다. 게이트 절연막(GI)은 제1 및 제2 연결 전극(CNE1, CNE2) 각각이 관통하는 컨택홀을 포함할 수 있다.
제3 금속층(MTL3)은 게이트 절연막(GI) 상에 배치될 수 있다. 제3 금속층(MTL3)은 박막 트랜지스터(TFT)의 게이트 전극(GE)을 포함할 수 있다. 게이트 전극(GE)은 게이트 절연막(GI)을 사이에 두고, 반도체 영역(ACT)과 중첩할 수 있다. 게이트 전극(GE)은 게이트 라인으로부터 게이트 신호를 수신할 수 있다. 예를 들어, 제3 금속층(MTL3)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 인듐(In), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 적어도 하나를 포함하는 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.
층간 절연막(ILD)은 제3 금속층(MTL3) 상에 배치될 수 있다. 층간 절연막(ILD)은 제3 및 제4 금속층(MTL3, MTL4)을 절연시킬 수 있다. 층간 절연막(ILD)은 제1 및 제2 연결 전극(CNE1, CNE2) 각각이 관통하는 컨택홀을 포함할 수 있다.
제4 금속층(MTL4)은 층간 절연막(ILD) 상에 배치될 수 있다. 제4 금속층(MTL4)은 제1 및 제2 연결 전극(CNE1, CNE2)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 연결 전극(CNE1, CNE2)은 동일 층에서 동일 물질로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제4 금속층(MTL4)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 인듐(In), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 적어도 하나를 포함하는 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.
제1 연결 전극(CNE1)은 제1 전압 라인(VL1)과 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인 전극(DE)을 전기적으로 연결할 수 있다. 제1 연결 전극(CNE1)의 일단은 제2 금속층(MTL2)의 제1 전압 라인(VL1)에 컨택될 수 있고, 제1 연결 전극(CNE1)의 타단은 액티브층(ACTL)의 드레인 전극(DE)에 컨택될 수 있다.
제2 연결 전극(CNE2)은 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 전극(SE)과 제1 전극(RME1)을 전기적으로 연결할 수 있다. 제2 연결 전극(CNE2)의 일단은 액티브층(ACTL)의 소스 전극(SE)에 컨택될 수 있고, 발광 소자층(EML)의 제1 전극(RME1)은 제2 연결 전극(CNE2)의 타단에 컨택될 수 있다.
제1 보호층(PV1)은 제4 금속층(MTL4) 및 층간 절연막(ILD) 상에 배치될 수 있다. 제1 보호층(PV1)은 박막 트랜지스터(TFT)를 보호할 수 있다. 제1 보호층(PV1)은 제1 전극(RME1)이 관통하는 컨택홀을 포함할 수 있다.
제1 평탄화층(OC1)은 제1 보호층(PV1) 상에 배치되어, 박막 트랜지스터층(TFTL)의 상단을 평탄화시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 평탄화층(OC1)은 제1 전극(RME1)이 관통하는 컨택홀을 포함할 수 있다. 여기에서, 제1 평탄화층(OC1)의 컨택홀은 제1 보호층(PV1)의 컨택홀과 연결될 수 있다. 제1 평탄화층(OC1)은 폴리이미드(PI)와 같은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.
발광 소자층(EML)은 박막 트랜지스터층(TFTL) 상에 배치될 수 있다. 발광 소자층(EML)은 격벽(BP), 제1 전극(RME1), 제2 전극(RME2), 제1 절연막(PAS1), 서브 뱅크(SB), 발광 소자(ED), 제2 절연막(PAS2), 제1 접촉 전극(CTE1), 제2 접촉 전극(CTE2), 및 제3 절연막(PAS3)을 포함할 수 있다.
격벽(BP)은 제1 평탄화층(OC1) 상에 배치될 수 있다. 격벽(BP)은 제1 평탄화층(OC1)의 상면으로부터 돌출될 수 있다. 복수의 격벽(BP)은 복수의 화소 각각의 발광 영역(LA) 또는 개구 영역에 배치될 수 있다. 복수의 발광 소자(ED)는 복수의 격벽(BP) 사이에 배치될 수 있다. 격벽(BP)은 경사진 측면을 가질 수 있고, 복수의 발광 소자(ED)에서 방출된 광은 격벽(BP) 상에 배치된 제1 및 제2 전극(RME1, RME2)에 의해 반사될 수 있다. 예를 들어, 격벽(BP)은 폴리이미드(PI)와 같은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.
제1 전극(RME1)은 제1 평탄화층(OC1) 및 격벽(BP) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극(RME1)은 발광 소자(ED)의 일측에 배치된 격벽(BP) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극(RME1)은 격벽(BP)의 경사진 측면 상에 배치되어 발광 소자(ED)에서 방출된 광을 반사시킬 수 있다. 제1 전극(RME1)은 제1 평탄화층(OC1) 및 제1 보호층(PV1)에 형성된 컨택홀에 삽입되어 제2 연결 전극(CNE2)에 접속될 수 있다. 제1 전극(RME1)은 제1 접촉 전극(CTE1)을 통해 발광 소자(ED)의 일단에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(RME1)은 화소의 박막 트랜지스터(TFT)로부터 발광 소자(ED)의 휘도에 비례하는 전압을 수신할 수 있다.
제2 전극(RME2)은 제1 평탄화층(OC1) 및 격벽(BP) 상에 배치될 수 있다. 제2 전극(RME2)은 발광 소자(ED)의 타측에 배치된 격벽(BP) 상에 배치될 수 있다. 제2 전극(RME2)은 격벽(BP)의 경사진 측면 상에 배치되어 발광 소자(ED)에서 방출된 광을 반사시킬 수 있다. 제2 전극(RME2)은 제2 접촉 전극(CTE2)을 통해 발광 소자(ED)의 타단에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제2 전극(RME2)은 저전위 라인으로부터 전체 화소에 공급되는 저전위 전압을 수신할 수 있다.
제1 및 제2 전극(RME1, RME2)은 반사율이 높은 전도성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 전극(RME1, RME2)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 란타늄(La) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다른 예를 들어, 제1 및 제2 전극(RME1, RME2)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등과 같은 물질을 포함할 수 있다. 또 다른 예를 들어, 제1 및 제2 전극(RME1, RME2)은 투명 전도성 물질층 및 반사율이 높은 금속층을 갖는 복수의 층을 포함하거나, 투명 전도성 물질 및 반사율이 높은 금속을 포함하는 하나의 층을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 전극(RME1, RME2)은 ITO/Ag/ITO/, ITO/Ag/IZO, 또는 ITO/Ag/ITZO/IZO 등의 적층 구조를 가질 수 있다.
제1 절연막(PAS1)은 제1 평탄화층(OC1), 제1 및 제2 전극(RME1, RME2) 상에 배치될 수 있다. 제1 절연막(PAS1)은 제1 및 제2 전극(RME1, RME2)을 보호하면서 상호 절연시킬 수 있다. 제1 절연막(PAS1)은 발광 소자(ED)의 정렬 과정에서, 발광 소자(ED)와 제1 및 제2 전극(RME1, RME2)이 직접 접촉하여 손상되는 것을 방지할 수 있다.
서브 뱅크(SB)는 제1 절연막(PAS1) 상에서 차광 영역(BA)에 배치될 수 있다. 서브 뱅크(SB)는 복수의 화소의 경계에 배치되어 복수의 화소 각각의 발광 소자들(ED)을 구분할 수 있다. 서브 뱅크(SB)는 소정의 높이를 가질 수 있고, 폴리이미드(PI)와 같은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.
복수의 발광 소자(ED)는 제1 절연막(PAS1) 상에 배치될 수 있다. 복수의 발광 소자(ED)는 제1 및 제2 전극(RME1, RME2) 사이에서 서로 평행하게 정렬될 수 있다. 발광 소자(ED)의 길이는 제1 및 제2 전극(RME1, RME2) 사이의 거리보다 길 수 있다. 발광 소자(ED)는 복수의 반도체층을 포함하여, 제1 반도체층을 기준으로 일단이 정의되고, 제2 반도체층을 기준으로 일단에 반대되는 타단이 정의될 수 있다. 발광 소자(ED)의 일단은 제1 전극(RME1) 상에 배치되고, 발광 소자(ED)의 타단은 제2 전극(RME2) 상에 배치될 수 있다. 발광 소자(ED)의 일단은 제1 접촉 전극(CTE1)을 통해 제1 전극(RME1)에 전기적으로 연결될 수 있고, 발광 소자(ED)의 타단은 제2 접촉 전극(CTE2)을 통해 제2 전극(RME2)에 전기적으로 연결될 수 있다.
발광 소자(ED)는 마이크로 미터(Micro-meter) 내지 나노 미터(Nano-meter) 단위의 크기를 가질 수 있고, 무기물을 포함하는 무기 발광 다이오드일 수 있다. 발광 소자(ED)는 서로 대향하는 제1 및 제2 전극(RME1, RME2) 사이에 특정 방향으로 형성된 전계에 따라 제1 및 제2 전극(RME1, RME2) 사이에서 정렬될 수 있다.
예를 들어, 복수의 발광 소자(ED)는 동일 물질을 갖는 활성층을 포함하여, 동일 파장대의 광, 또는 동일 색의 광을 방출할 수 있다. 발광 소자층(EML)의 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3) 각각에서 방출되는 광은 동일 색을 가질 수 있다. 예를 들어, 복수의 발광 소자(ED)는 약 440nm 내지 480nm 범위의 피크 파장을 갖는 제3 색의 광 또는 청색 광을 방출할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제2 절연막(PAS2)은 복수의 발광 소자(ED) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 절연막(PAS2)은 복수의 발광 소자(ED)를 부분적으로 감쌀 수 있고, 복수의 발광 소자(ED) 각각의 양 단을 덮지 않을 수 있다. 제2 절연막(PAS2)은 복수의 발광 소자(ED)를 보호할 수 있고, 표시 장치(10)의 제조 공정에서 복수의 발광 소자(ED)를 고정시킬 수 있다. 제2 절연막(PAS2)은 발광 소자(ED)와 제1 절연막(PAS1) 사이의 공간을 채울 수 있다.
제1 접촉 전극(CTE1)은 제1 절연막(PAS1) 상에 배치될 수 있고, 제1 절연막(PAS1)에 형성된 컨택홀에 삽입되어 제1 전극(RME1)에 접속될 수 있다. 예를 들어, 제1 절연막(PAS1)의 컨택홀은 격벽(BP) 상에 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 제1 접촉 전극(CTE1)의 일단은 격벽(BP) 상에서 제1 전극(RME1)에 접속될 수 있고, 제1 접촉 전극(CTE1)의 타단은 발광 소자(ED)의 일단에 접속될 수 있다.
제2 접촉 전극(CTE2)은 제1 절연막(PAS1) 상에 배치될 수 있고, 제1 절연막(PAS1)에 형성된 컨택홀에 삽입되어 제2 전극(RME2)에 접속될 수 있다. 예를 들어, 제1 절연막(PAS1)의 컨택홀은 격벽(BP) 상에 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 제2 접촉 전극(CTE2)의 일단은 발광 소자(ED)의 타단에 접속될 수 있고, 제2 접촉 전극(CTE2)의 타단은 격벽(BP) 상에서 제2 전극(RME2)에 접속될 수 있다.
제3 절연막(PAS3)은 제1 및 제2 접촉 전극(CTE1, CTE2), 서브 뱅크(SB), 제1 및 제2 절연막(PAS1, PAS2) 상에 배치될 수 있다. 제3 절연막(PAS3)은 발광 소자층(EML)의 상단에 배치되어 발광 소자층(EML)을 보호할 수 있다.
파장 변환층(WLCL)은 발광 소자층(EML) 상에 배치될 수 있다. 파장 변환층(WLCL)은 제1 차광 부재(BK1), 제1 파장 변환부(WLC1), 제2 파장 변환부(WLC2), 광 투과부(LTU), 제2 보호층(PV2), 및 제2 평탄화층(OC2)을 포함할 수 있다.
제1 차광 부재(BK1)는 제3 절연막(PAS3) 상에서 차광 영역(BA)에 배치될 수 있다. 제1 차광 부재(BK1)는 서브 뱅크(SB)와 두께 방향(Z축 방향)으로 중첩할 수 있다. 제1 차광 부재(BK1)는 광의 투과를 차단할 수 있다. 제1 차광 부재(BK1)는 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3) 간에 광이 침범하여 혼색되는 것을 방지함으로써, 표시 장치(10)의 색 재현율을 향상시킬 수 있다. 제1 차광 부재(BK1)는 평면 상에서 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3)을 둘러싸는 격자 형태로 배치될 수 있다.
제1 파장 변환부(WLC1)는 제3 절연막(PAS3) 상의 제1 발광 영역(LA1)에 배치될 수 있다. 제1 파장 변환부(WLC1)는 제1 차광 부재(BK1)에 의해 둘러싸일 수 있다. 제1 파장 변환부(WLC1)는 입사광의 피크 파장을 제1 피크 파장으로 변환 또는 시프트시킬 수 있다. 제1 파장 변환부(WLC1)는 제1 베이스 수지(BS1), 제1 산란체(SCT1) 및 제1 파장 시프터(WLS1)를 포함할 수 있다.
제1 베이스 수지(BS1)는 광 투과율이 상대적으로 높은 물질을 포함할 수 있다. 제1 베이스 수지(BS1)는 투명 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 베이스 수지(BS1)는 에폭시계 수지, 아크릴계 수지, 카도계 수지 및 이미드계 수지 등의 유기 물질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
제1 산란체(SCT1)는 제1 베이스 수지(BS1)와 상이한 굴절률을 가질 수 있고, 제1 베이스 수지(BS1)와 광학 계면을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1 산란체(SCT1)는 투과광의 적어도 일부를 산란시키는 광 산란 물질 또는 광 산란 입자를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 산란체(SCT1)는 산화 티타늄(TiO2), 산화 지르코늄(ZrO2), 산화 알루미늄(Al2O3), 산화 인듐(In2O3), 산화 아연(ZnO) 또는 산화 주석(SnO2) 등과 같은 금속 산화물을 포함하거나, 아크릴계 수지 또는 우레탄계 수지 등의 유기 입자를 포함할 수 있다. 제1 산란체(SCT1)는 입사광의 피크 파장을 실질적으로 변환시키지 않으면서, 입사광의 입사 방향과 무관하게 광을 랜덤 방향으로 산란시킬 수 있다.
제1 파장 시프터(WLS1)는 입사광의 피크 파장을 제1 피크 파장으로 변환 또는 시프트시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 파장 시프터(WLS1)는 표시 장치(10)에서 제공된 청색 광을 약 610nm 내지 650nm 범위의 단일 피크 파장을 갖는 적색 광으로 변환하여 방출할 수 있다. 제1 파장 시프터(WLS1)는 양자점, 양자 막대 또는 형광체일 수 있다. 양자점은 전자가 전도대에서 가전자대로 전이하면서 특정한 색을 방출하는 입자상 물질일 수 있다.
발광 소자층(EML)에서 제공된 청색 광의 일부는 제1 파장 시프터(WLS1)에 의해 적색 광으로 변환되지 않고 제1 파장 변환부(WLC1)를 투과할 수 있다. 발광 소자층(EML)에서 제공된 청색 광 중 제1 파장 변환부(WLC1)에 의해 변환되지 않고 제1 컬러 필터(CF1)에 입사한 광은 제1 컬러 필터(CF1)에 의해 차단될 수 있다. 발광 소자층(EML)에서 제공된 청색 광 중 제1 파장 변환부(WLC1)에 의해 변환된 적색 광은 제1 컬러 필터(CF1)를 투과하여 외부로 출사될 수 있다. 따라서, 제1 발광 영역(LA1)은 적색 광을 방출할 수 있다.
제2 파장 변환부(WLC2)는 제3 절연막(PAS3) 상의 제2 발광 영역(LA2)에 배치될 수 있다. 제2 파장 변환부(WLC2)는 제1 차광 부재(BK1)에 의해 둘러싸일 수 있다. 제2 파장 변환부(WLC2)는 입사광의 피크 파장을 제2 피크 파장으로 변환 또는 시프트시킬 수 있다. 제2 파장 변환부(WLC2)는 제2 베이스 수지(BS2), 제2 산란체(SCT2) 및 제2 파장 시프터(WLS2)를 포함할 수 있다.
제2 베이스 수지(BS2)는 광 투과율이 상대적으로 높은 물질을 포함할 수 있다. 제2 베이스 수지(BS2)는 투명 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제2 베이스 수지(BS2)는 제1 베이스 수지(BS1)와 동일 물질로 이루어지거나, 제1 베이스 수지(BS1)에서 예시된 물질로 이루어질 수 있다.
제2 산란체(SCT2)는 제2 베이스 수지(BS2)와 상이한 굴절률을 가질 수 있고, 제2 베이스 수지(BS2)와 광학 계면을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제2 산란체(SCT2)는 투과광의 적어도 일부를 산란시키는 광 산란 물질 또는 광 산란 입자를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 산란체(SCT2)는 제1 산란체(SCT1)와 동일 물질로 이루어지거나, 제1 산란체(SCT1)에서 예시된 물질로 이루어질 수 있다.
제2 파장 시프터(WLS2)는 입사광의 피크 파장을 제1 파장 시프터(WLS1)의 제1 피크 파장과 다른 제2 피크 파장으로 변환 또는 시프트시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 파장 시프터(WLS2)는 표시 장치(10)에서 제공된 청색 광을 약 510nm 내지 550nm 범위의 단일 피크 파장을 갖는 녹색 광으로 변환하여 방출할 수 있다. 제2 파장 시프터(WLS2)는 양자점, 양자 막대 또는 형광체일 수 있다. 제2 파장 시프터(WLS2)는 제1 파장 시프터(WLS1)에서 예시된 물질을 포함할 수 있다. 제2 파장 시프터(WLS2)의 파장 변환 범위는 제1 파장 시프터(WLS1)의 파장 변환 범위와 다르도록 양자점, 양자 막대 또는 형광체로 이루어질 수 있다.
광 투과부(LTU)는 제3 절연막(PAS3) 상의 제3 발광 영역(LA3)에 배치될 수 있다. 광 투과부(LTU)는 제1 차광 부재(BK1)에 의해 둘러싸일 수 있다. 광 투과부(LTU)는 입사광의 피크 파장을 유지하여 투과시킬 수 있다. 광 투과부(LTU)는 제3 베이스 수지(BS3) 및 제3 산란체(SCT3)를 포함할 수 있다.
제3 베이스 수지(BS3)는 광 투과율이 상대적으로 높은 물질을 포함할 수 있다. 제3 베이스 수지(BS3)는 투명 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제3 베이스 수지(BS3)는 제1 또는 제2 베이스 수지(BS1, BS2)와 동일 물질로 이루어지거나, 제1 베이스 수지(BS1)에서 예시된 물질로 이루어질 수 있다.
제3 산란체(SCT3)는 제3 베이스 수지(BS3)와 상이한 굴절률을 가질 수 있고, 제3 베이스 수지(BS3)와 광학 계면을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제3 산란체(SCT3)는 투과광의 적어도 일부를 산란시키는 광 산란 물질 또는 광 산란 입자를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제3 산란체(SCT3)는 제1 또는 제2 산란체(SCT1, SCT2)와 동일 물질로 이루어지거나, 제1 산란체(SCT1)에서 예시된 물질로 이루어질 수 있다.
파장 변환층(WLCL)은 발광 소자층(EML)의 제3 절연막(PAS3) 상에 직접 배치됨으로써, 표시 장치(10)는 제1 및 제2 파장 변환부(WLC1, WLC2)와 광 투과부(LTU)를 위한 별도의 기판을 필요로 하지 않을 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 파장 변환부(WLC1, WLC2)와 광 투과부(LTU)는 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3) 각각에 용이하게 얼라인될 수 있고, 표시 장치(10)의 두께가 상대적으로 감소될 수 있다.
제2 보호층(PV2)은 제1 및 제2 파장 변환부(WLC1, WLC2), 광 투과부(LTU), 및 제1 차광 부재(BK1)를 덮을 수 있다. 예를 들어, 제2 보호층(PV2)은 제1 및 제2 파장 변환부(WLC1, WLC2)와 광 투과부(LTU)를 밀봉하여 제1 및 제2 파장 변환부(WLC1, WLC2)와 광 투과부(LTU)의 손상 또는 오염을 방지할 수 있다. 예를 들어, 제2 보호층(PV2)은 무기 물질을 포함할 수 있다.
제2 평탄화층(OC2)은 제2 보호층(PV2) 상에 배치되어, 제1 및 제2 파장 변환부(WLC1, WLC2)와 광 투과부(LTU)의 상단을 평탄화시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 평탄화층(OC2)은 폴리이미드(PI)와 같은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.
컬러 필터층(CFL)은 파장 변환층(WLCL) 상에 배치될 수 있다. 컬러 필터층(CFL)은 제2 차광 부재(BK2), 제1 내지 제3 컬러 필터(CF1, CF2, CF3), 및 제3 보호층(PV3)을 포함할 수 있다.
제2 차광 부재(BK2)는 파장 변환층(WLCL)의 제2 평탄화층(OC2) 상에서 차광 영역(BA)에 배치될 수 있다. 제2 차광 부재(BK2)는 제1 차광 부재(BK1) 또는 서브 뱅크(SB)와 두께 방향(Z축 방향)으로 중첩할 수 있다. 제2 차광 부재(BK2)는 광의 투과를 차단할 수 있다. 제2 차광 부재(BK2)는 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3) 간에 광이 침범하여 혼색되는 것을 방지함으로써, 표시 장치(10)의 색 재현율을 향상시킬 수 있다. 제2 차광 부재(BK2)는 평면 상에서 제1 내지 제3 발광 영역(LA1, LA2, LA3)을 둘러싸는 격자 형태로 배치될 수 있다.
제1 컬러 필터(CF1)는 제2 평탄화층(OC2) 상의 제1 발광 영역(LA1)에 배치될 수 있다. 제1 컬러 필터(CF1)는 제2 차광 부재(BK2)에 의해 둘러싸일 수 있다. 제1 컬러 필터(CF1)는 제1 파장 변환부(WLC1)와 두께 방향(Z축 방향)으로 중첩할 수 있다. 제1 컬러 필터(CF1)는 제1 색의 광(예를 들어, 적색 광)을 선택적으로 투과시키고, 제2 색의 광(예를 들어, 녹색 광) 및 제3 색의 광(예를 들어, 청색 광)을 차단하거나 흡수할 수 있다. 예를 들어, 제1 컬러 필터(CF1)는 적색 컬러 필터일 수 있으며, 적색의 색재(Red Colorant)를 포함할 수 있다.
제2 컬러 필터(CF2)는 제2 평탄화층(OC2) 상의 제2 발광 영역(LA2)에 배치될 수 있다. 제2 컬러 필터(CF2)는 제2 차광 부재(BK2)에 의해 둘러싸일 수 있다. 제2 컬러 필터(CF2)는 제2 파장 변환부(WLC2)와 두께 방향(Z축 방향)으로 중첩할 수 있다. 제2 컬러 필터(CF2)는 제2 색의 광(예를 들어, 녹색 광)을 선택적으로 투과시키고, 제1 색의 광(예를 들어, 적색 광) 및 제3 색의 광(예를 들어, 청색 광)을 차단하거나 흡수할 수 있다. 예를 들어, 제2 컬러 필터(CF2)는 녹색 컬러 필터일 수 있으며, 녹색의 색재(Green Colorant)를 포함할 수 있다.
제3 컬러 필터(CF3)는 제2 평탄화층(OC2) 상의 제3 발광 영역(LA3)에 배치될 수 있다. 제3 컬러 필터(CF3)는 제2 차광 부재(BK2)에 의해 둘러싸일 수 있다. 제3 컬러 필터(CF3)는 광 투과부(LTU)와 두께 방향(Z축 방향)으로 중첩할 수 있다. 제3 컬러 필터(CF3)는 제3 색의 광(예를 들어, 청색 광)을 선택적으로 투과시키고, 제1 색의 광(예를 들어, 적색 광) 및 제2 색의 광(예를 들어, 녹색 광)을 차단하거나 흡수할 수 있다. 예를 들어, 제3 컬러 필터(CF3)는 청색 컬러 필터일 수 있으며, 청색의 색재(Blue Colorant)를 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 컬러 필터(CF1, CF2, CF3)는 표시 장치(10)의 외부에서 유입되는 광의 일부를 흡수하여 외광에 의한 반사광을 저감시킬 수 있다. 따라서, 제1 내지 제3 컬러 필터(CF1, CF2, CF3)는 외광 반사에 의한 색의 왜곡을 방지할 수 있다.
제1 내지 제3 컬러 필터(CF1, CF2, CF3)는 파장 변환층(WLCL)의 제2 평탄화층(OC2) 상에 직접 배치됨으로써, 표시 장치(10)는 제1 내지 제3 컬러 필터(CF1, CF2, CF3)를 위한 별도의 기판을 필요로 하지 않을 수 있다. 따라서, 표시 장치(10)의 두께가 상대적으로 감소될 수 있다.
제3 보호층(PV3)은 제1 내지 제3 컬러 필터(CF1, CF2, CF3), 및 제2 차광 부재(BK2)를 덮을 수 있다. 제3 보호층(PV3)은 제1 내지 제3 컬러 필터(CF1, CF2, CF3)를 보호할 수 있다.
봉지층(TFE)은 컬러 필터층(CFL)의 제3 보호층(PV3) 상에 배치될 수 있다. 봉지층(TFE)은 표시층(DPL)의 상면 및 측면을 덮을 수 있다. 예를 들어, 봉지층(TFE)은 적어도 하나의 무기막을 포함하여 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 봉지층(TFE)은 적어도 하나의 유기막을 포함하여 표시 장치(10)를 먼지와 같은 이물질로부터 보호할 수 있다.
반사 방지막(ARF)은 봉지층(TFE) 상에 배치될 수 있다. 반사 방지막(ARF)은 외부 광의 반사를 방지함으로써, 외부 광의 반사로 인한 시인성의 저하를 감소시킬 수 있다. 반사 방지막(ARF)은 표시 장치(10)의 상면을 보호할 수 있다. 반사 방지막(ARF)은 생략될 수 있다. 다른 예를 들어, 반사 방지막(ARF)은 편광 필름으로 대체될 수 있다.
연성 필름(FPCB)은 제1 기판(SUB1)의 하부에 배치될 수 있다. 연성 필름(FPCB)은 표시 장치(10)의 하면 가장자리에 배치될 수 있다. 연성 필름(FPCB)은 접착 부재(ADM)를 이용하여 제1 기판(SUB1)의 하면에 부착될 수 있다. 연성 필름(FPCB)은 일측 상면에 배치된 리드 전극(LDE)을 포함할 수 있다. 리드 전극(LDE)은 개구홀(OP)에 삽입되어, 접속 필름(ACF)을 통해 패드부(PAD)와 전기적으로 연결될 수 있다. 연성 필름(FPCB)은 타측 하면에 배치된 표시 구동부(DIC)를 지지할 수 있다. 리드 전극(LDE)은 연성 필름(FPCB)의 하면에 배치된 리드 라인(미도시)을 통해 표시 구동부(DIC)에 전기적으로 연결될 수 있다. 연성 필름(FPCB)의 타측은 제1 기판(SUB1)의 하부에서 소스 회로 보드(미도시)에 접속될 수 있다. 연성 필름(FPCB)은 표시 구동부(DIC)의 신호 및 전압을 표시 장치(10)에 전송할 수 있다.
접속 필름(ACF)은 연성 필름(FPCB)의 리드 전극(LDE)을 패드부(PAD)에 부착시킬 수 있다. 접속 필름(ACF)의 일면은 패드부(PAD)에 부착되고, 접속 필름(ACF)의 타면은 리드 전극(LDE)에 부착될 수 있다. 예를 들어, 접속 필름(ACF)은 이방성 도전 필름(Anisotropic Conductive Film)을 포함할 수 있다. 접속 필름(ACF)이 이방성 도전 필름을 포함하는 경우, 접속 필름(ACF)은 패드부(PAD)와 리드 전극(LDE)이 접촉되는 영역에서 도전성을 가질 수 있고, 연성 필름(FPCB)을 팬 아웃 라인(FOL)에 전기적으로 연결할 수 있다.
표시 구동부(DIC)는 연성 필름(FPCB) 상에 실장될 수 있다. 표시 구동부(DIC)는 집적 회로(Integrated Circuit, IC)일 수 있다. 표시 구동부(DIC)는 타이밍 제어부(미도시)로부터 수신된 데이터 제어 신호를 기초로 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터 전압으로 변환할 수 있고, 연성 필름(FPCB)을 통해 표시 영역(DA)의 데이터 라인에 공급할 수 있다. 표시 구동부(DIC)는 전원 공급부(미도시)로부터 수신된 전원 전압을 연성 필름(FPCB)을 통해 표시 영역(DA)의 전원 라인에 공급할 수 있다. 표시 구동부(DIC)는 게이트 제어 신호를 기초로 복수의 게이트 신호를 생성할 수 있고, 복수의 게이트 신호를 설정된 순서에 따라 복수의 게이트 라인에 순차적으로 공급할 수 있다. 표시 장치(10)는 제1 기판(SUB1) 상에 배치된 팬 아웃 라인(FOL)과 제1 기판(SUB1)의 하부에 배치된 표시 구동부(DIC)를 포함함으로써, 비표시 영역(NDA)의 면적을 최소화할 수 있다.
도 4는 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 광의 파장에 따른 레이저 흡수층의 투과율을 나타내는 그래프이다.
도 4를 참조하면, 레이저 흡수층(LAL)의 두께가 30nm 또는 300 Å인 경우, 약 300nm 이하의 파장을 갖는 광의 투과율이 0에 가까울 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)의 두께가 60nm 또는 600 Å인 경우, 약 360nm 이하의 파장을 갖는 광의 투과율이 0에 가까울 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)의 두께가 150nm 또는 1500 Å인 경우, 약 550nm 이하의 파장을 갖는 광의 투과율이 0에 가까울 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)의 두께가 200nm 또는 2000 Å인 경우, 약 640nm 이하의 파장을 갖는 광의 투과율이 0에 가까울 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)의 두께가 400nm 또는 4000 Å인 경우, 약 640nm 이하의 파장을 갖는 광의 투과율이 0에 가까울 수 있다.
표시 장치(10)는 약 300 내지 1000 Å, 바람직하게는 약 500 Å의 두께를 갖는 레이저 흡수층(LAL)을 포함함으로써, 제1 기판(SUB1)의 식각 공정에서 자외선 레이저를 흡수하여 제2 기판(SUB2) 또는 표시층(DPL)의 손상을 방지할 수 있다.
도 5는 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 저면도이다. 도 6은 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 나타내는 저면 확대도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 연성 필름(FPCB), 패드부(PAD), 및 팬 아웃 라인(FOL)은 표시 영역(DA)에 배치될 수 있다.
연성 필름(FPCB)은 제1 기판(SUB1)의 하부에 배치될 수 있다. 연성 필름(FPCB)은 표시 장치(10)의 하면 가장자리에 배치될 수 있다. 예를 들어, 연성 필름(FPCB) 중 일부는 표시 장치(10)의 장변의 가장자리에 배치될 수 있고, 연성 필름(FPCB) 중 다른 일부는 표시 장치(10)의 단변 가장자리에 배치될 수 있다. 표시 장치(10)의 장변의 가장자리에 배치된 연성 필름(FPCB)은 데이터 전압 및 전원 전압을 공급하고, 표시 장치(10)의 단변 가장자리에 배치된 연성 필름(FPCB)은 게이트 신호를 공급할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
연성 필름(FPCB)은 리드 전극(LDE)을 포함할 수 있다. 복수의 패드부(PAD) 각각은 복수의 리드 전극(LDE) 각각에 대응될 수 있다. 리드 전극(LDE)은 접속 필름(ACF)을 통해 패드부(PAD)에 전기적으로 연결될 수 있다.
패드부(PAD)는 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 및 제1 배리어 절연막(BIL1)의 제2 컨택홀(CNT2)에 삽입될 수 있고, 개구홀(OP)을 통해 노출될 수 있다. 표시 장치(10)의 장변의 가장자리에 배치된 패드부들(PAD)은 제1 방향(X축 방향)으로 배열될 수 있다. 표시 장치(10)의 단변 가장자리에 배치된 패드부들(PAD)은 제2 방향(Y축 방향)으로 배열될 수 있다.
팬 아웃 라인(FOL)은 패드부(PAD)와 일체로 형성될 수 있다. 팬 아웃 라인(FOL)은 패드부(PAD)로부터 표시 장치(10)의 가장자리까지 연장될 수 있다. 예를 들어, 표시 장치(10)의 장변의 가장자리에 배치된 팬 아웃 라인(FOL)은 연성 필름(FPCB)의 제2 방향(Y축 방향)의 반대 방향으로 연장될 수 있다. 표시 장치(10)의 단변 가장자리에 배치된 팬 아웃 라인(FOL)은 연성 필름(FPCB)의 제1 방향(X축 방향)의 반대 방향으로 연장될 수 있다. 팬 아웃 라인(FOL)은 연결부(CWL)를 통해 표시 영역(DA)의 데이터 라인 또는 게이트 라인에 전기적으로 연결될 수 있다.
도 7은 일 실시예에 따른 표시 장치의 저면에 배치된 패드부들의 배치를 도시하는 단면도이다. 도 8은 도 7의 A2 영역의 확대도이다.
도 7은 표시 장치(10)의 단면도로서 제1 기판(SUB1)부터 제3 배리어 절연막(BIL3)까지의 적층 구조를 보여주고 있다. 도 8은 도 7에 도시된 패드부(PAD)들 중 일부를 확대하여 도시하고 있다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 표시 장치(10)는 제1 기판(SUB1)의 저면에 형성된 개구홀(OP)을 통해 노출된 복수의 패드부(PAD)들을 포함할 수 있다. 패드부(PAD)들은 서로 이격되어 배치될 수 있고, 상술한 바와 같이 제1 기판(SUB1)의 저면에 배치되는 연성 필름(FPCB)과 전기적으로 연결될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 레이저 흡수층(LAL)은 복수의 제1 컨택홀(CNT1)들을 포함하고, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 제1 컨택홀(CNT1)과 중첩하는 복수의 제2 컨택홀(CNT2)을 포함하며, 패드부(PAD)는 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1), 및 제1 배리어 절연막(BIL1)의 제2 컨택홀(CNT2) 내에 배치될 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)은 제2 컨택홀(CNT2)의 폭이 제1 컨택홀(CNT1)의 폭보다 작게 형성되고, 제1 배리어 절연막(BIL1)의 일부분은 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내측 측벽 상에 배치될 수 있다.
제1 배리어 절연막(BIL1)은 일부분이 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치될 수 있고, 패드부(PAD)는 레이저 흡수층(LAL) 및 제1 배리어 절연막(BIL1) 상에 배치되되, 제1 배리어 절연막(BIL1)에 의해 레이저 흡수층(LAL)과 전기적으로 절연될 수 있다. 예를 들어, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내측 측벽 상에 배치되고, 패드부(PAD)는 제2 컨택홀(CNT2) 내에 배치되며, 외면이 제1 배리어 절연막(BIL1)과 접촉할 수 있다. 패드부(PAD)는 레이저 흡수층(LAL)과 직접 접촉하지 않을 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 배리어 절연막(BIL1) 중 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치된 부분은 부분적으로 레이저 흡수층(LAL)의 하면으로부터 돌출될 수 있다. 패드부(PAD)는 하단부 일부분이 레이저 흡수층(LAL)의 하면으로부터 돌출될 수 있고, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 패드부(PAD)와 레이저 흡수층(LAL)을 서로 전기적으로 절연하기 위해 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내측 측벽을 완전하게 커버할 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)은 제1 컨택홀(CNT1)의 내측 측벽을 커버하면서, 일부분이 레이저 흡수층(LAL)의 하면으로부터 돌출됨에 따라, 레이저 흡수층(LAL)과 패드부(PAD) 사이를 완전하게 절연시킬 수 있다.
패드부(PAD)는 제1 컨택홀(CNT1) 또는 제2 컨택홀(CNT2) 내에 삽입 배치된 본체부(PBP)와 제1 배리어 절연막(BIL1) 상에 배치되어 본체부(PBP)의 양 측으로 확장된 확장부(PWP)를 포함할 수 있다. 제1 컨택홀(CNT1) 또는 제2 컨택홀(CNT2)이 상부에서 하부로 갈수록 폭이 좁아지는 형상을 가짐에 따라, 패드부(PAD)들의 본체부(PBP)도 그에 맞춰 하단으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상을 가질 수 있다. 패드부(PAD)들은 확장부(PWP)들을 더 포함하여 본체부(PBP) 하단의 폭(W1)이 패드부(PAD)의 상단, 또는 최대 폭(WP)보다 작을 수 있다. 패드부(PAD)의 상단, 또는 최대 폭(WP)은 본체부(PBP)의 폭(W1)과 양 측으로 확장된 확장부(PWP)들의 폭(W2)의 합(W1+2W2)과 동일할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1)의 폭(WL)은 패드부(PAD)의 본체부(PBP)의 하단의 폭(W1)보다 크되, 패드부(PAD)의 상단의 폭, 또는 최대 폭(W2)보다 작을 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)은 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치된 패드부(PAD)와 직접 접촉하지 않고 전기적으로 절연되나, 제1 컨택홀(CNT1)이 형성되지 않은 부분이 패드부(PAD)와 두께 방향인 제3 방향(Z축 방향)으로 중첩할 수 있다. 예를 들어, 레이저 흡수층(LAL)은 패드부(PAD)의 확장부(PWP)와 두께 방향으로 중첩할 수 있다.
예시적인 실시예에서, 패드부(PAD)의 하단부가 갖는 제1 폭(W1)은 15㎛ 내외의 크기를 갖고, 인접한 다른 패드부(PAD)와의 간격은 16㎛ 내외의 크기를 가질 수 있다. 패드부(PAD)들의 일 측 확장부(PWP)의 제2 폭(W2)은 3㎛ 내외의 크기를 가질 수 있고, 패드부(PAD)의 상단의 폭, 또는 최대 폭(WP)은 21㎛ 내외의 크기를 가질 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1)의 폭(WL)은 15㎛ 내지 21㎛의 범위를 가질 수 있고, 패드부(PAD)가 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치될 수 있으면서 일부분이 패드부(PAD)와 두께 방향으로 중첩할 수 있다.
표시 장치(10)의 제조 공정에서 제1 기판(SUB1)의 개구홀(OP)은 자외선 레이저를 조사하여 식각하는 공정으로 수행될 수 있다. 제1 기판(SUB1)의 하면에서 조사된 레이저는 패드부(PAD) 및 레이저 흡수층(LAL)에 의해 흡수될 수 있다. 패드부(PAD)들이 이격된 간격은 레이저 흡수층(LAL)에 의해 커버되고, 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1)은 패드부(PAD)에 의해 커버되며, 레이저 흡수층(LAL)과 패드부(PAD)가 서로 두께 방향으로 중첩하도록 배치됨에 따라, 자외선 레이저가 레이저 흡수층(LAL) 및 패드부(PAD)를 통과하지 못할 수 있다. 표시 장치(10)는 제1 기판(SUB1)을 식각하는 레이저 공정에서 상기 레이저가 패드부(PAD) 및 레이저 흡수층(LAL)에 모두 흡수되도록 이들의 배치를 설계할 수 있고, 그에 따라 제2 기판(SUB2)이 들뜨거나 제2 기판(SUB2) 및 표시층(DPL)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
다만, 상술한 바와 같이, 레이저 흡수층(LAL)은 비정질 실리콘(a-Si)을 포함할 수 있는데, 비정질 실리콘은 조사된 자외선 레이저에 의해 폴리 실리콘(p-Si)으로 결정화가 진행될 수도 있고, 레이저 흡수층(LAL) 중 적어도 일부분은 결정화된 폴리 실리콘(p-Si)을 포함할 수 있다. 패드부(PAD)가 레이저 흡수층(LAL)과 직접 접촉하도록 배치되는 경우, 결정화된 레이저 흡수층(LAL)을 통해 인접한 다른 패드부(PAD)와의 통전 가능성이 있을 수 있다. 이를 방지하기 위해, 일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 제1 배리어 절연막(BIL1)이 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치되고, 패드부(PAD)는 제1 배리어 절연막(BIL1)에 의해 레이저 흡수층(LAL)과 전기적으로 절연될 수 있다. 패드부(PAD)는 레이저 흡수층(LAL)과 전기적으로 절연, 또는 직접 접촉하지 않도록 배치됨에 따라, 조사된 자외선 레이저에 의해 레이저 흡수층(LAL) 일부가 결정화 되더라도 이를 통한 전기적 불량이 방지될 수 있다.
도 9는 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 패드부, 팬 아웃 라인, 센싱 라인, 및 데이터 라인을 나타내는 도면이고, 도 10은 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 패드부, 전원 연결 라인, 고전위 라인, 및 수평 전압 라인을 나타내는 도면이다. 도 11은 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 패드부, 전원 연결 라인, 저전위 라인, 및 수직 전압 라인을 나타내는 도면이고, 도 12는 일 실시예에 따른 표시 장치에서, 패드부, 팬 아웃 라인, 및 게이트 라인을 나타내는 도면이다.
도 9 내지 도 12를 참조하면, 표시 영역(DA)은 센싱 라인(SL), 데이터 라인(DL), 고전위 라인(VDL), 수평 전압 라인(HVDL), 저전위 라인(VSL), 수직 전압 라인(VVSL), 및 게이트 라인(GL)을 포함할 수 있다.
복수의 센싱 라인(SL)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장되고, 제1 방향(X축 방향)으로 서로 이격될 수 있다. 도 2를 결부하면, 센싱 라인(SL)은 제2 금속층(MTL2)에 배치되어 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 센싱 라인(SL)은 연결부(CWL)를 통해 제1 금속층(MTL1)의 팬 아웃 라인(FOL)에 전기적으로 연결될 수 있다. 센싱 라인(SL)은 팬 아웃 라인(FOL)과 평면 상에서 교차할 수 있다. 센싱 라인(SL)은 패드부(DPD)를 통해 초기화 전압을 수신할 수 있다. 센싱 라인(SL)은 패드부(DPD)에 센싱 신호를 제공할 수 있다.
데이터 라인(DL)은 제1 내지 제3 데이터 라인(DL1, DL2, DL3)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 데이터 라인(DL1, DL2, DL3)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장되고, 제1 방향(X축 방향)으로 서로 이격될 수 있다. 도 2를 결부하면, 데이터 라인(DL)은 제2 금속층(MTL2)에 배치되어 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 데이터 라인(DL)은 연결부(CWL)를 통해 제1 금속층(MTL1)의 팬 아웃 라인(FOL)에 전기적으로 연결될 수 있다. 데이터 라인(DL)은 팬 아웃 라인(FOL)과 평면 상에서 교차할 수 있다. 데이터 라인(DL)은 패드부(DPD)를 통해 데이터 전압을 수신할 수 있다.
복수의 고전위 라인(VDL)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장되고, 제1 방향(X축 방향)으로 서로 이격될 수 있다. 고전위 라인들(VDL)은 교차하는 수평 전압 라인들(HVDL)에 접속될 수 있고, 수평 전압 라인들(HVDL)에 고전위 전압을 공급할 수 있다. 도 2를 결부하면, 고전위 라인(VDL)은 제2 금속층(MTL2)에 배치되어 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 고전위 라인(VDL)은 연결부(CWL)를 통해 제1 금속층(MTL1)의 전원 연결 라인(VCL)에 전기적으로 연결될 수 있다. 고전위 라인(VDL)은 패드부(PAD)를 통해 고전위 전압을 수신할 수 있다.
복수의 수평 전압 라인(HVDL)은 제1 방향(X축 방향)으로 연장되고, 제2 방향(Y축 방향)으로 서로 이격될 수 있다. 수평 전압 라인들(HVDL)은 교차하는 고전위 라인들(VDL)에 접속될 수 있고, 고전위 라인들(VDL)로부터 고전위 전압을 수신할 수 있다. 도 2를 결부하면, 수평 전압 라인(HVDL)은 제4 금속층(MTL4)에 배치되어 제1 방향(X축 방향)으로 연장될 수 있다.
복수의 수직 전압 라인(VVSL)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장되고, 제1 방향(X축 방향)으로 서로 이격될 수 있다. 수직 전압 라인들(VVSL)은 교차하는 저전위 라인들(VSL)에 접속될 수 있고, 저전위 라인들(VSL)에 저전위 전압을 공급할 수 있다. 도 2를 결부하면, 수직 전압 라인(VVSL)은 제2 금속층(MTL2)에 배치되어 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 수직 전압 라인(VVSL)은 연결부(CWL)를 통해 제1 금속층(MTL1)의 전원 연결 라인(VCL)에 전기적으로 연결될 수 있다. 수직 전압 라인(VVSL)은 패드부(PAD)를 통해 저전위 전압을 수신할 수 있다.
복수의 저전위 라인(VSL)은 제1 방향(X축 방향)으로 연장되고, 제2 방향(Y축 방향)으로 서로 이격될 수 있다. 저전위 라인들(VSL)은 교차하는 수직 전압 라인들(VVSL)에 접속될 수 있고, 수직 전압 라인들(VVSL)로부터 저전위 전압을 수신할 수 있다. 도 2를 결부하면, 저전위 라인(VSL)은 제4 금속층(MTL4)에 배치되어 제1 방향(X축 방향)으로 연장될 수 있다.
복수의 게이트 라인(GL)은 제1 방향(X축 방향)으로 연장되고, 제2 방향(Y축 방향)으로 서로 이격될 수 있다. 도 2를 결부하면, 게이트 라인(GL)은 제3 금속층(MTL3) 또는 제4 금속층(MTL4)에 배치되어 제1 방향(X축 방향)으로 연장될 수 있다. 게이트 라인(GL)은 연결부(CWL)를 통해 제1 금속층(MTL1)의 팬 아웃 라인(FOL)에 전기적으로 연결될 수 있다. 게이트 라인(GL)은 팬 아웃 라인(FOL)과 평면 상에서 교차할 수 있다. 게이트 라인(GL)은 패드부(PAD)를 통해 게이트 신호를 수신할 수 있다.
도 13은 일 실시예에 따른 표시 장치의 화소들과 라인들을 나타내는 블록도이고, 도 14는 도 13의 화소를 나타내는 회로도이다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 화소(SP)는 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3)를 포함할 수 있다. 제1 화소(SP1)의 화소 회로, 제3 화소(SP3)의 화소 회로, 및 제2 화소(SP2)의 화소 회로는 제2 방향(Y축 방향)의 반대 방향으로 배열될 수 있으나, 화소 회로의 순서는 이에 제한되지 않는다.
제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3) 각각은 고전위 라인(VDL), 센싱 라인(SL), 게이트 라인(GL), 및 데이터 라인(DL)에 접속될 수 있다.
고전위 라인(VDL)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 고전위 라인(VDL)은 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3)의 화소 회로의 좌측에 배치될 수 있다. 고전위 라인(VDL)은 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3) 각각의 트랜지스터에 고전위 전압을 공급할 수 있다.
수평 전압 라인(HVDL)은 제1 방향(X축 방향)으로 연장될 수 있다. 수평 전압 라인(HVDL)은 제1 화소(SP1)의 화소 회로의 상측에 배치될 수 있다. 수평 전압 라인(HVDL)은 고전위 라인(VDL)에 접속될 수 있다. 수평 전압 라인(HVDL)은 고전위 라인(VDL)으로부터 고전위 전압을 수신할 수 있다.
센싱 라인(SL)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 센싱 라인(SL)은 고전위 라인(VDL)의 좌측에 배치될 수 있다. 센싱 라인(SL)은 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3) 각각의 화소 회로에 초기화 전압을 공급할 수 있다. 센싱 라인(SL)은 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3) 각각의 화소 회로로부터 센싱 신호를 수신하여 표시 구동부(DIC)에 공급할 수 있다.
게이트 라인(GL)은 제1 방향(X축 방향)으로 연장될 수 있다. 도 2를 결부하면, 게이트 라인(GL)은 제3 금속층(MTL3) 또는 제4 금속층(MTL4)에 배치될 수 있다. 게이트 라인(GL)은 제2 화소(SP2)의 화소 회로의 하측에 배치될 수 있다. 게이트 라인(GL)은 저전위 라인(VSL)의 상측에 배치될 수 있다. 게이트 라인(GL)은 게이트 신호를 보조 게이트 라인(BGL)에 공급할 수 있다.
보조 게이트 라인(BGL)은 게이트 라인(GL)으로부터 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 도 2를 결부하면, 보조 게이트 라인(BGL)은 제3 금속층(MTL3)에 배치될 수 있다. 보조 게이트 라인(BGL)의 일부는 제2 트랜지스터(ST2)의 게이트 전극(GE)일 수 있고, 보조 게이트 라인(BGL)의 다른 일부는 제3 트랜지스터(ST3)의 게이트 전극(GE)일 수 있다. 보조 게이트 라인(BGL)은 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3)의 화소 회로의 우측에 배치될 수 있다. 보조 게이트 라인(BGL)은 게이트 라인(GL)으로부터 수신된 게이트 신호를 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3)의 화소 회로에 공급할 수 있다.
데이터 라인(DL)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 데이터 라인(DL)은 화소(SP)에 데이터 전압을 공급할 수 있다. 데이터 라인(DL)은 제1 내지 제3 데이터 라인(DL1, DL2, DL3)을 포함할 수 있다.
제1 데이터 라인(DL1)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 제1 데이터 라인(DL1)은 보조 게이트 라인(BGL)의 우측에 배치될 수 있다. 제1 데이터 라인(DL1)은 표시 구동부(DIC)로부터 수신된 데이터 전압을 제1 화소(SP1)의 화소 회로에 공급할 수 있다.
제2 데이터 라인(DL2)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 제2 데이터 라인(DL2)은 제1 데이터 라인(DL1)의 우측에 배치될 수 있다. 제2 데이터 라인(DL2)은 표시 구동부(DIC)로부터 수신된 데이터 전압을 제2 화소(SP2)의 화소 회로에 공급할 수 있다.
제3 데이터 라인(DL3)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 제3 데이터 라인(DL3)은 제2 데이터 라인(DL2)의 우측에 배치될 수 있다. 제3 데이터 라인(DL3)은 표시 구동부(DIC)로부터 수신된 데이터 전압을 제3 화소(SP3)의 화소 회로에 공급할 수 있다.
수직 전압 라인(VVSL)은 제2 방향(Y축 방향)으로 연장될 수 있다. 수직 전압 라인(VVSL)은 제3 데이터 라인(DL3)의 우측에 배치될 수 있다. 수직 전압 라인(VVSL)은 저전위 라인(VSL)에 접속될 수 있고, 저전위 전압을 저전위 라인(VSL)에 공급할 수 있다.
저전위 라인(VSL)은 제1 방향(X축 방향)으로 연장될 수 있다. 저전위 라인(VSL)은 게이트 라인(GL)의 하측에 배치될 수 있다. 저전위 라인(VSL)은 수직 전압 라인(VVSL)으로부터 수신된 저전위 전압을 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3)의 발광 소자(ED)에 공급할 수 있다.
제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3) 각각은 화소 회로 및 발광 소자(ED)를 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 화소(SP1, SP2, SP3) 각각의 화소 회로는 제1 내지 제3 트랜지스터(ST1, ST2, ST3) 및 제1 커패시터(C1)를 포함할 수 있다.
제1 트랜지스터(ST1)는 게이트 전극, 드레인 전극, 및 소스 전극을 포함할 수 있다. 제1 트랜지스터(ST1)의 게이트 전극은 제1 노드(N1)에 접속되고, 드레인 전극은 고전위 라인(VDL)에 접속되며, 소스 전극은 제2 노드(N2)에 접속될 수 있다. 제1 트랜지스터(ST1)는 게이트 전극에 인가되는 데이터 전압을 기초로 드레인-소스 간 전류(또는, 구동 전류)를 제어할 수 있다.
발광 소자(ED)는 적어도 하나의 발광 소자(ED)를 포함할 수 있다. 발광 소자(ED)가 복수의 발광 소자(ED)를 포함하는 경우, 복수의 발광 소자(ED)는 직렬 또는 병렬로 연결될 수 있다. 발광 소자(ED)는 제1 트랜지스터(ST1)로부터 구동 전류를 수신하여 발광할 수 있다. 발광 소자(ED)의 발광량 또는 휘도는 구동 전류의 크기에 비례할 수 있다. 발광 소자(ED)는 무기 반도체를 포함하는 무기 발광 소자일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
발광 소자(ED)의 제1 전극은 제2 노드(N2)에 접속되고 발광 소자(ED)의 제2 전극은 저전위 라인(VSL)에 접속될 수 있다. 발광 소자(ED)의 제1 전극은 제2 노드(N2)를 통해 제1 트랜지스터(ST1)의 소스 전극, 제3 트랜지스터(ST3)의 드레인 전극, 및 제1 커패시터(C1)의 제2 커패시터 전극에 접속될 수 있다.
제2 트랜지스터(ST2)는 게이트 라인(GL)의 게이트 신호에 의해 턴-온되어 데이터 라인(DL)과 제1 트랜지스터(ST1)의 게이트 전극인 제1 노드(N1)를 전기적으로 연결할 수 있다. 제2 트랜지스터(ST2)는 게이트 신호를 기초로 턴-온됨으로써, 데이터 전압을 제1 노드(N1)에 공급할 수 있다. 제2 트랜지스터(ST2)의 게이트 전극은 게이트 라인(GL)에 접속되고, 드레인 전극은 데이터 라인(DL)에 접속되며, 소스 전극은 제1 노드(N1)에 접속될 수 있다.
제3 트랜지스터(ST3)는 게이트 라인(GL)의 게이트 신호에 의해 턴-온되어 센싱 라인(SL)과 제1 트랜지스터(ST1)의 소스 전극인 제2 노드(N2)를 전기적으로 연결할 수 있다. 제3 트랜지스터(ST3)는 게이트 신호를 기초로 턴-온됨으로써, 초기화 전압을 제2 노드(N2)에 공급할 수 있고, 센싱 신호를 센싱 라인(SL)에 공급할 수 있다. 제3 트랜지스터(ST3)의 게이트 전극은 게이트 라인(GL)에 접속되고, 드레인 전극은 제2 노드(N2)에 접속되며, 소스 전극은 센싱 라인(SL)에 접속될 수 있다.
도 15는 도 1의 선 II-II'을 따라 자른 단면도이다.
도 15를 참조하면, 타일형 표시 장치(TD)는 복수의 표시 장치(10) 및 결합 부재(20)를 포함할 수 있다. 타일형 표시 장치(TD)는 제1 내지 제4 표시 장치(10-1~10-4)를 포함할 수 있다. 표시 장치(10)의 개수 및 결합 관계는 도 1의 실시예에 제한되지 않는다. 표시 장치(10)의 개수는 표시 장치(10) 및 타일형 표시 장치(TD) 각각의 크기에 따라 결정될 수 있다.
표시 장치(10)는 표시 영역(DA) 및 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 표시 영역(DA)은 복수의 화소(SP)를 포함하여 영상을 표시할 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)의 주변에 배치되어 표시 영역(DA)을 둘러쌀 수 있고, 영상을 표시하지 않을 수 있다.
타일형 표시 장치(TD)는 복수의 표시 영역(DA) 사이에 배치되는 결합 영역(SM)을 포함할 수 있다. 타일형 표시 장치(TD)는 인접한 표시 장치들(10) 각각의 비표시 영역(NDA)이 연결되어 형성될 수 있다. 복수의 표시 장치(10)는 결합 영역(SM)에 배치되는 결합 부재(20) 또는 접착 부재를 통해 서로 연결될 수 있다. 복수의 표시 장치(10) 각각의 결합 영역(SM)은 패드부 또는 패드부에 연결된 팬 아웃 라인을 포함하지 않을 수 있다. 따라서, 복수의 표시 장치(10) 각각의 표시 영역들(DA) 사이의 거리는 결합 영역(SM)이 사용자에게 인지되지 않을 정도로 가까울 수 있다. 또한, 복수의 표시 장치(10) 각각의 표시 영역(DA)의 외광 반사율과 결합 영역(SM)의 외광 반사율은 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 타일형 표시 장치(TD)는 복수의 표시 장치(10) 사이의 결합 영역(SM)이 사용자에게 인지되는 것을 방지함으로써, 복수의 표시 장치(10) 사이의 단절감을 개선하고 영상의 몰입도를 향상시킬 수 있다.
타일형 표시 장치(TD)는 복수의 표시 장치(10)의 사이마다 배치된 결합 부재(20)를 이용하여 인접한 표시 장치들(10)의 측면을 서로 결합시킬 수 있다. 결합 부재(20)는 격자 형태로 배열된 제1 내지 제4 표시 장치(10-1~10-4)를 측면끼리 연결함으로써, 타일형 표시 장치(TD)를 구현할 수 있다. 결합 부재(20)는 서로 인접한 표시 장치들(10)의 제1 기판(SUB1)의 측면, 제1 내지 제3 배리어 절연막(BIL1, BIL2, BIL3)의 측면, 제2 기판(SUB2)의 측면, 제3 배리어 절연막(BIL3)의 측면, 표시층(DPL)의 측면, 봉지층(TFE)의 측면, 및 반사 방지막(ARF)의 측면을 결합시킬 수 있다.
예를 들어, 결합 부재(20)는 상대적으로 얇은 두께를 갖는 접착제 또는 양면 테이프로 이루어짐으로써, 복수의 표시 장치(10) 사이의 간격을 최소화할 수 있다. 다른 예를 들어, 결합 부재(20)는 상대적으로 얇은 두께를 갖는 결합 프레임으로 이루어짐으로써, 복수의 표시 장치(10) 사이의 간격을 최소화할 수 있다. 따라서, 타일형 표시 장치(TD)는 복수의 표시 장치(10) 사이의 결합 영역(SM)이 사용자에게 인지되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 다른 도면들을 참조하여 표시 장치(10)의 제조 공정에 대하여 설명하기로 한다.
도 16 내지 도 26은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 과정을 나타내는 단면도이다. 도 16 내지 도 21에서는 패드부(PAD)들의 형성 공정을 개략적으로 도시하고 있고, 도 22 내지 도 26에서는 표시층(DPL)의 형성 공정과 제1 기판(SUB1)에 개구홀(OP)을 형성하는 레이저 공정에 대하여 개략적으로 도시하고 있다. 이하에서는 표시 장치(10)의 제조 공정에 대하여 각 층의 형성 공정에 대한 설명은 생략하고, 각 층별 형성 순서에 대하여 설명하기로 한다.
도 16 및 도 17을 참조하면, 제1 기판(SUB1), 및 레이저 흡수층(LAL)이 배치된 제1 캐리어 기판(CG1)을 준비하고, 레이저 흡수층(LAL)을 관통하는 제1 컨택홀(CNT1)을 형성한다.
제1 캐리어 기판(CG1)은 표시 장치(10)의 제조 과정에서 표시 장치(10)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 제1 캐리어 기판(CG1)은 캐리어 글라스일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 제1 기판(SUB1)은 제1 캐리어 기판(CG1) 상에 배치되고, 레이저 흡수층(LAL)은 제1 기판(SUB1) 상에 배치될 수 있다. 이들의 재료, 및 두께 등에 관한 설명은 상술한 바와 동일하므로, 생략하기로 한다.
제1 컨택홀(CNT1)은 레이저 흡수층(LAL)을 관통하고 제1 기판(SUB1)의 상면 일부가 함몰되도록 형성될 수 있다. 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치되는 제1 배리어 절연막(BIL1) 및 패드부(PAD)들은 일부분이 레이저 흡수층(LAL)의 하면으로부터 돌출되도록 형성될 수 있다.
이어, 도 18 및 도 19를 참조하면, 레이저 흡수층(LAL) 상에 제1 배리어 절연막(BIL1)을 형성하고, 제1 배리어 절연막(BIL1)을 관통하는 제2 컨택홀(CNT2)을 형성한다. 제2 컨택홀(CNT2)들은 각각 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1)에 대응하여 형성될 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)은 제1 컨택홀(CNT1)에 의해 노출된 제1 기판(SUB1) 상면에도 형성되고, 제1 기판(SUB1)은 제2 컨택홀(CNT2)이 형성되면서 상면 일부가 다시 노출될 수 있다.
제1 컨택홀(CNT1)이 레이저 흡수층(LAL)을 관통하고 제1 기판(SUB1)의 상면 일부가 함몰되도록 형성됨에 따라, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 일부분이 레이저 흡수층(LAL)의 하면으로부터 하측으로 돌출되도록 형성될 수 있다. 제2 컨택홀(CNT2)도 제1 배리어 절연막(BIL1)을 관통하고 제1 기판(SUB1)의 상면 일부가 함몰되도록 형성됨에 따라, 제2 컨택홀(CNT2) 내에 배치되는 패드부(PAD)도 일부분이 레이저 흡수층(LAL)의 하면으로부터 돌출되도록 형성될 수 있다.
이어, 도 20을 참조하면, 제1 컨택홀(CNT1) 및 제2 컨택홀(CNT2) 내에 복수의 패드부(PAD)들을 형성한다. 패드부(PAD)들은 하부 금속층 및 상부 금속층을 포함한 이중층으로 형성되고, 본체부가 제2 컨택홀(CNT2) 내에 삽입 배치되고, 확장부는 제1 배리어 절연막(BIL1) 상에 직접 배치될 수 있다.
제1 컨택홀(CNT1) 및 제2 컨택홀(CNT2)이 각각 제1 기판(SUB1)의 상면 일부가 함몰되도록 형성됨에 따라, 패드부(PAD)들 각각은 제1 기판(SUB1)의 함몰된 부분에 접촉하도록 형성될 수 있다. 패드부(PAD)들 각각은 하면이 레이저 흡수층(LAL)의 하면으로부터 돌출되도록 형성될 수 있다.
다음으로 도 21을 참조하면, 제1 배리어 절연막(BIL1) 및 패드부(PAD)들 상에 제2 배리어 절연막(BIL2)을 형성하고, 제2 배리어 절연막(BIL2) 상에 제2 기판(SUB2) 및 제3 배리어 절연막(BIL3)을 형성한 뒤 제3 컨택홀(CNT3)을 형성한다.
제2 배리어 절연막(BIL2)은 제1 배리어 절연막(BIL1) 및 팬 아웃 라인(FOL) 상에 배치될 수 있다. 제2 배리어 절연막(BIL2)은 공기 또는 수분의 침투를 방지할 수 있는 무기막을 포함할 수 있다. 팬 아웃 라인(FOL)은 패드부(PAD)에 대응하여 그와 동일한 층에 배치될 수 있다. 예를 들어, 팬 아웃 라인(FOL)은 패드부(PAD)들과 일체화되어 제1 배리어 절연막(BIL1) 상에 배치될 수 있다.
제2 기판(SUB2) 및 제3 배리어 절연막(BIL3)은 제2 배리어 절연막(BIL2) 상에 순차적으로 적층될 수 있다. 제3 컨택홀(CNT3)은 제3 배리어 절연막(BIL3)의 상면에서부터 식각되어 제2 배리어 절연막(BIL2)의 하면까지 관통할 수 있다. 예를 들어, 제3 배리어 절연막(BIL3) 및 제2 기판(SUB2)은 건식 식각(Dry Etching) 공정 또는 습식 식각(Wet Etching) 공정을 통해 관통될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 팬 아웃 라인(FOL)의 상면은 제3 컨택홀(CNT3)에 의해 노출될 수 있다.
도 22를 참조하면, 표시층(DPL)은 제3 배리어 절연막(BIL3) 상에 적층될 수 있다. 박막 트랜지스터층(TFTL), 발광 소자층(EML), 파장 변환층(WLCL), 및 컬러 필터층(CFL)은 제3 배리어 절연막(BIL3) 상에 순차적으로 적층될 수 있다. 봉지층(TFE)은 표시층(DPL)의 상면 및 측면을 덮을 수 있다. 반사 방지막(ARF)은 봉지층(TFE) 상에 형성될 수 있다.
도 23 및 도 24를 참조하면, 제조 중인 표시 장치(10)는 연성 필름(FPCB)을 부착하기 위하여 상하 반전될 수 있다. 제1 캐리어 기판(CG1)은 제1 기판(SUB1)으로부터 제거될 수 있다. 예를 들어, 제1 캐리어 기판(CG1)은 제1 캐리어 기판(CG1)과 제1 기판(SUB1) 사이에 배치된 희생층(미도시)을 이용하여 제1 기판(SUB1)의 하면으로부터 제거될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제2 캐리어 기판(CG2)은 반사 방지막(ARF)의 일면에 배치될 수 있다. 제2 캐리어 기판(CG2)은 상하 반전된 표시 장치(10)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 제2 캐리어 기판(CG2)은 캐리어 글라스일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
제1 기판(SUB1)의 일면은 레이저 식각(Laser Etching) 공정을 수행할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 자외선 레이저는 약 300 내지 400 nm의 파장, 바람직하게는 약 340 내지 350 nm의 파장을 가질 수 있다. 개구홀(OP)은 제1 기판(SUB1)에 형성됨으로써, 레이저 흡수층(LAL)의 일부 및 패드부(PAD)를 노출시킬 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)과 패드부(PAD)들은 제1 기판(SUB1)의 식각 공정에서 자외선 레이저를 흡수하여 자외선 레이저의 투과를 방지할 수 있다. 패드부(PAD)들은 일부분이 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치되되, 패드부(PAD)의 최대 폭이 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1)의 폭보다 크게 형성됨에 따라 패드부(PAD)와 레이저 흡수층(LAL)은 서로 두께 방향으로 중첩할 수 있다. 그에 따라, 제1 기판(SUB1)에 조사된 상기 레이저는 레이저 흡수층(LAL)과 패드부(PAD)에 흡수되어 적어도 제2 배리어 절연막(BIL2)은 투과하지 못할 수 있다. 레이저 흡수층(LAL)과 패드부(PAD)들은 제1 기판(SUB1)의 식각 공정에서 자외선 레이저를 흡수함으로써, 제2 기판(SUB2) 또는 표시층(DPL)의 손상을 방지할 수 있다.
본 레이저 조사 공정에서, 비정질 실리콘을 포함하는 레이저 흡수층(LAL)은 일부분이 결정화되어 폴리 실리콘을 포함할 수 있다. 다만, 폴리 실리콘을 포함한 레이저 흡수층(LAL)은 제1 배리어 절연막(BIL1)에 의해 패드부(PAD)와 전기적으로 절연될 수 있고, 인접한 다른 패드부(PAD)들 간에 생길 수 있는 전기적 불량이 방지될 수 있다.
도 25 및 도 26에서, 연성 필름(FPCB)은 제1 기판(SUB1)의 일면에 배치될 수 있다. 연성 필름(FPCB) 및 리드 전극(LDE)은 얼라인 공정을 통해 패드부(PAD) 상에 정렬될 수 있다. 예를 들어, 연성 필름(FPCB)의 리드 전극(LDE)은 초음파 본딩 또는 열압착 본딩을 통해 패드부(PAD)에 부착될 수 있으나, 본딩 방법은 이에 제한되지 않는다. 접속 필름(ACF)은 패드부(PAD)와 리드 전극(LDE)이 접촉되는 영역에서 도전성을 가질 수 있고, 연성 필름(FPCB)을 패드부(PAD)에 전기적으로 연결할 수 있다.
이하, 다른 도면들을 참조하여 표시 장치(10)의 다른 실시예들에 대하여 설명하기로 한다.
도 27은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 일부분을 보여주는 단면도이다. 도 28은 도 27의 표시 장치의 저면에 배치된 패드부들의 배치를 도시하는 단면도이다. 도 28은 표시 장치(10)의 단면도로서 제1 기판(SUB1)부터 제3 배리어 절연막(BIL3)까지의 적층 구조를 보여주고 있다.
도 27 및 도 28을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치(10)는 패드부(PAD)들이 레이저 흡수층(LAL)과 이격되어 이와 전기적으로 연결되지 않되, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치되지 않을 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)은 패드부(PAD)의 주변에서 패드부(PAD)와 이격되도록 일부분이 제거된 패턴부(PTS)를 포함할 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)의 패턴부(PTS)는 제2 컨택홀(CNT2)과 달리 제1 배리어 절연막(BIL1)을 관통하지는 않을 수 있다. 표시 장치(10)는 제1 기판(SUB1)의 개구홀(OP) 형성 공정 이후에 제1 배리어 절연막(BIL1)의 패턴부(PTS)를 형성하는 공정이 수행될 수 있고, 본 공정에서 레이저 흡수층(LAL) 중 패드부(PAD)와 접촉하는 부분이 제거될 수 있다.
도 5 내지 도 8의 표시 장치(10)와 달리, 본 실시예에 따른 표시 장치(10)는 제1 배리어 절연막(BIL1)이 레이저 흡수층(LAL)의 제1 컨택홀(CNT1) 내에 배치되지 않을 수 있다. 제1 배리어 절연막(BIL1)과 레이저 흡수층(LAL)은 동일한 공정에서 식각되어 동일한 컨택홀에 의해 관통될 수 있다. 그에 따라, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 레이저 흡수층(LAL)의 컨택홀 내에 배치되지 않을 수 있다. 이후, 패드부(PAD)는 제1 배리어 절연막(BIL1)과 레이저 흡수층(LAL)을 관통하는 컨택홀 내에 배치되고, 일부분이 레이저 흡수층(LAL)과 접촉할 수 있다.
상술한 바와 같이, 제1 기판(SUB1)의 개구홀(OP)을 형성하는 레이저 공정에서, 레이저 흡수층(LAL)은 일부분이 결정화되어 폴리 실리콘을 포함할 수 있고, 패드부(PAD)와 접촉하는 레이저 흡수층(LAL)은 패드부(PAD)와 전기적으로 연결될 수 있다. 이를 방지하기 위해, 표시 장치(10)는 제1 기판(SUB1)의 개구홀(OP)을 형성한 이후의 공정에서, 패드부(PAD)의 주변을 따라 레이저 흡수층(LAL) 및 제1 배리어 절연막(BIL1)의 일부를 제거하는 패터닝 공정이 수행될 수 있다. 본 공정에서, 레이저 흡수층(LAL)이 부분적으로 제거되어 제1 컨택홀(CNT1)의 폭이 증가하고 패드부(PAD)와 이격되고, 제1 배리어 절연막(BIL1)은 일부분이 식각되어 패턴부(PTS)가 형성될 수 있다. 본 실시예에 따른 표시 장치(10)는 레이저 흡수층(LAL)과 패드부(PAD) 사이를 제1 배리어 절연막(BIL1)이 전기적으로 절연하지 않으나 패드부(PAD)와 레이저 흡수층(LAL)이 이격되도록 형성되고, 인접한 패드부(PAD)들 사이에서 결정화된 레이저 흡수층(LAL)에 의해 전기적 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 전자 기기
TD: 타일형 표시 장치 10: 표시 장치
20: 결합 부재 SUB1, SUB2: 제1 및 제2 기판
BIL1, BIL2, BIL3: 제1 내지 제3 배리어 절연막
LAL: 레이저 흡수층
FOL: 팬 아웃 라인 PAD: 패드부
DPAD1, DPAD2: 더미 패드부
CWL: 연결부 DPL: 표시층
TFTL: 박막 트랜지스터층 EML: 발광 소자층
WLCL: 파장 변환층 CFL: 컬러 필터층
TFE: 봉지층 ARF: 반사 방지막
FPCB: 연성 필름 LDE: 리드 전극
DIC: 표시 구동부

Claims (20)

  1. 개구홀을 포함하는 기판;
    상기 기판 상에 배치되고 비정질 실리콘을 포함하며 복수의 제1 컨택홀을 포함하는 레이저 흡수층;
    상기 레이저 흡수층 상에 배치되고 상기 제1 컨택홀과 중첩하는 복수의 제2 컨택홀을 포함하는 제1 배리어 절연막;
    상기 제1 배리어 절연막 상에 배치되고 일부분이 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 복수의 패드부들;
    상기 제1 배리어 절연막 및 상기 복수의 패드부들 상에 배치된 제2 배리어 절연막;
    상기 제2 배리어 절연막 상에 배치된 표시층; 및
    상기 기판의 하부에 배치되고, 상기 개구홀에 삽입되어 상기 패드부에 전기적으로 연결되는 연성 필름을 포함하고,
    상기 제1 배리어 절연막은 일부분이 상기 제1 컨택홀 내에 배치되고, 상기 패드부는 상기 레이저 흡수층과 전기적으로 절연된 표시 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 패드부들은 상기 레이저 흡수층과 직접 접촉하지 않는 표시 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 배리어 절연막의 상기 제1 컨택홀 내에 배치된 부분은 부분적으로 상기 레이저 흡수층의 하면으로부터 돌출된 표시 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 패드부들 각각은 상기 제1 배리어 절연막의 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 본체부, 및 상기 본체부의 양 측에 배치되어 상기 제1 배리어 절연막 상에 배치된 확장부를 포함하고,
    상기 레이저 흡수층은 적어도 일부분이 상기 패드부와 중첩하도록 배치된 표시 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 레이저 흡수층의 상기 제1 컨택홀의 폭은 상기 패드부의 최대 폭보다 작고 상기 패드부의 상기 본체부 하단의 폭보다 큰 표시 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 레이저 흡수층의 상기 제1 컨택홀의 폭은 15㎛ 내지 21㎛의 범위를 갖는 표시 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 레이저 흡수층의 두께는 300Å내지 1000Å의 범위를 갖는 표시 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 레이저 흡수층의 두께는 상기 제1 배리어 절연막의 두께보다 작은 표시 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 레이저 흡수층은 300 내지 400 nm의 파장을 갖는 광의 투과율이 10% 이하인 표시 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 레이저 흡수층은 일부분이 결정화된 폴리 실리콘을 포함하는 표시 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 배리어 절연막과 상기 표시층 사이에 배치된 제2 기판, 및 상기 제2 기판과 상기 표시층 사이에 배치된 제3 배리어 절연막을 더 포함하고,
    상기 표시층은 상기 제3 배리어 절연막 상에 배치되어 상기 패드부와 전기적으로 연결된 연결부,
    상기 제3 배리어 절연막 상에 배치되어 제1 방향으로 연장되는 데이터 라인, 및
    상기 제3 배리어 절연막 상에 배치되어 상기 제1 방향으로 연장되는 고전위 라인을 포함하는 표시 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 패드부는 상기 연결부를 통해 상기 복수의 데이터 라인에 데이터 전압을 공급하고,
    상기 패드부는 상기 연결부를 통해 고전위 전압을 상기 복수의 고전위 라인에 공급하는 표시 장치.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 표시층은 상기 연결부 상에 배치된 버퍼층, 상기 버퍼층 상에 배치된 액티브층을 포함하는 박막 트랜지스터, 및 상기 액티브층 상에 배치된 연결 전극을 더 포함하고,
    상기 연결 전극의 일단은 상기 고전위 라인에 접속되며,
    상기 연결 전극의 타단은 상기 박막 트랜지스터에 접속되는 표시 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 표시층은 상기 연결 전극 상에 배치된 발광 소자층을 더 포함하고,
    상기 발광 소자층은,
    상기 연결 전극에 접속된 제1 전극;
    상기 제1 전극과 동일 층에 배치된 제2 전극; 및
    상기 제1 전극 및 제2 전극 상에 배치되어 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결된 발광 소자를 포함하는 표시 장치.
  15. 제1 기판 상에 비정질 실리콘을 포함하는 레이저 흡수층을 형성하고, 상기 레이저 흡수층을 관통하는 복수의 제1 컨택홀들을 형성하는 단계;
    상기 레이저 흡수층 상에 제1 배리어 절연막을 형성하고, 상기 제1 배리어 절연막을 관통하며 상기 제1 컨택홀과 중첩하는 복수의 제2 컨택홀들을 형성하는 단계;
    상기 제1 배리어 절연막 상에 배치되고 상기 제2 컨택홀 내에 삽입 배치되는 복수의 패드부들을 형성하는 단계;
    상기 제1 배리어 절연막 및 상기 패드부들 상에 제2 배리어 절연막을 형성하는 단계;
    상기 제2 배리어 절연막 상에 표시층을 형성하는 단계;
    상기 제1 기판을 식각하여 개구홀을 형성하고 상기 패드부들, 및 상기 레이저 흡수층의 일부분을 노출하는 단계; 및
    연성 필름을 상기 개구홀에 삽입하여 상기 패드부들 각각과 전기적으로 연결하는 단계를 포함하고,
    상기 제1 배리어 절연막은 일부분이 상기 제1 컨택홀 내에 배치되고, 상기 패드부는 상기 레이저 흡수층과 전기적으로 절연된 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 레이저 흡수층의 일부 및 상기 패드부를 노출하는 단계는 300 nm 내지 400 nm의 파장의 레이저를 상기 제1 기판에 조사하는 단계를 포함하고,
    상기 레이저 흡수층은 일부분이 결정화된 폴리 실리콘을 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 패드부들은 상기 레이저 흡수층과 직접 접촉하지 않는 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 배리어 절연막의 상기 제1 컨택홀 내에 배치된 부분은 부분적으로 상기 레이저 흡수층의 하면으로부터 돌출된 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 패드부들 각각은 상기 제1 배리어 절연막의 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 본체부, 및 상기 본체부의 양 측에 배치되어 상기 제1 배리어 절연막 상에 배치된 확장부를 포함하고,
    상기 레이저 흡수층은 적어도 일부분이 상기 패드부와 중첩하도록 배치된 표시 장치의 제조 방법.
  20. 복수의 화소를 구비한 표시 영역, 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 비표시 영역을 포함하는 복수의 표시 장치; 및
    상기 복수의 표시 장치를 결합시키는 결합 부재를 포함하고,
    상기 복수의 표시 장치 중 적어도 하나의 표시 장치는,
    개구홀을 포함하는 기판;
    상기 기판 상에 배치되고 비정질 실리콘을 포함하며 복수의 제1 컨택홀을 포함하는 레이저 흡수층;
    상기 레이저 흡수층 상에 배치되고 상기 제1 컨택홀과 중첩하는 복수의 제2 컨택홀을 포함하는 제1 배리어 절연막;
    상기 제1 배리어 절연막 상에 배치되고 일부분이 상기 제2 컨택홀 내에 배치된 복수의 패드부들;
    상기 제1 배리어 절연막 및 상기 복수의 패드부들 상에 배치된 제2 배리어 절연막;
    상기 제2 배리어 절연막 상에 배치된 표시층; 및
    상기 기판의 하부에 배치되고, 상기 개구홀에 삽입되어 상기 패드부에 전기적으로 연결되는 연성 필름을 포함하고,
    상기 제1 배리어 절연막은 일부분이 상기 제1 컨택홀 내에 배치되고, 상기 패드부는 상기 레이저 흡수층과 전기적으로 절연된 타일형 표시 장치.
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