KR20240048557A - 기화기 조립체 - Google Patents

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KR20240048557A
KR20240048557A KR1020247010236A KR20247010236A KR20240048557A KR 20240048557 A KR20240048557 A KR 20240048557A KR 1020247010236 A KR1020247010236 A KR 1020247010236A KR 20247010236 A KR20247010236 A KR 20247010236A KR 20240048557 A KR20240048557 A KR 20240048557A
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vaporizer vessel
vaporizer
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KR1020247010236A
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벤자민 카르도조
스콧 엘 배틀
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

조립체는 기화기 용기를 구비한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적을 규정한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적 내에 적어도 하나의 소스 시약을 보유하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 조립체는 히터를 구비한다. 일부 실시예에서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키도록 구성된다. 일부 실시예에서, 히터는 기화기 용기를 가열하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키도록 구성된 복사 열원이다.

Description

기화기 조립체
본 발명은, 2021년 9월 1일에 출원되고 본 명세서에 참조로 원용되는 미국 가특허 제63/239,631호에 대한 우선권을 주장한다.
본 발명은 일반적으로 기화기에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 예를 들어 화학 기상 증착(CVD) 및 원자층 증착(atomic layer deposition: ALD) 공정에 사용되는 소스 시약 재료의 기화를 위한 기화기에 관한 것이다.
고체 전구체용 기화기는 일반적으로 금속 용기 표면으로부터 고체 전구체로의 전도 가열을 이용한다. 고체 전구체를 통해서 열을 분산시키기 위해, 내부 금속 구조가 사용되어 가열을 위한 금속 열 경로를 제공할 수 있다.
일부 실시예에서, 조립체는 기화기 용기를 구비한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적을 규정한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적 내에 적어도 하나의 소스 시약을 보유하도록 구성된다. 일부 실시예에서는, 기화기 용기의 내부 체적 내에 히터가 배치된다. 일부 실시예에서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약이 직접 가열에 의해 기화되게 하는 배열로 기화기 용기의 내부 체적 내에 배치된다.
일부 실시예에서, 히터는 복사 열원이다.
일부 실시예에서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키기에 충분한 파장에서 복사 에너지를 기화기 용기의 내부 체적에 제공하도록 구성된다.
일부 실시예에서, 히터로부터의 복사 에너지는 고체 매질을 통과하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약으로 향하여 적어도 하나의 소스 시약을 기화시킨다.
일부 실시예에서, 조립체는 기화기 용기를 가열하도록 구성된 제2 히터를 구비한다. 일부 실시예에서, 제2 히터는 기화기 용기 외부에 배치된다.
일부 실시예에서, 조립체는 기화기 용기를 구비한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적을 규정하고 투명 뷰포트를 구비한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적 내에 적어도 하나의 소스 시약을 보유하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 히터는 기화기 용기 외부에 배치된다. 일부 실시예에서, 히터는, 적어도 하나의 소스 시약을 투명 뷰포트를 통해서 가열함으로써 적어도 하나의 소스 시약이 기화되게 하는 배열로 기화기 용기 외부에 배치된다.
일부 실시예에서, 히터는 복사 열원이다.
일부 실시예에서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키기에 충분한 파장에서 복사 에너지를 기화기 용기의 내부 체적에 제공하도록 구성된다.
일부 실시예에서, 히터로부터의 복사 에너지는 고체 매질을 통과하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약으로 향하여 적어도 하나의 소스 시약을 기화시킨다.
일부 실시예에서, 조립체는 기화기 용기를 가열하도록 구성된 제2 히터를 구비한다. 일부 실시예에서, 제2 히터는 기화기 용기 외부에 배치된다.
일부 실시예에서, 조립체는 기화기 용기를 구비한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적을 규정한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적 내에 적어도 하나의 소스 시약을 보유하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 조립체는 히터를 구비한다. 일부 실시예에서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약이 전도 가열에 의해 기화되는 것보다 큰 정도로 적어도 하나의 소스 시약을 직접 복사 가열에 의해 기화시키도록 구성된 지향성 복사 열원이다. 일부 실시예에서, 히터는 기화기 용기를 가열하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키도록 구성된다.
일부 실시예에서, 복사 열원은 적어도 하나의 소스 시약을 직접 가열한다.
일부 실시예에서, 히터는 기화기 용기의 내부 체적 내에 배치된다.
일부 실시예에서, 히터로부터의 복사 에너지는 고체 매질을 통과하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약으로 향하여 적어도 하나의 소스 시약을 기화시킨다.
일부 실시예에서, 조립체는 투명 뷰포트를 구비한다.
일부 실시예에서, 히터는 기화기 용기 외부에 배치된다.
일부 실시예에서, 히터로부터의 복사 에너지는 투명 뷰포트를 통해 적어도 하나의 소스 시약으로 향하여 적어도 하나의 소스 시약을 기화시킨다.
일부 실시예에서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키기에 충분한 파장에서 복사 에너지를 기화기 용기의 내부 체적에 제공하도록 구성된다.
일부 실시예에서, 조립체는 제2 히터를 구비한다. 일부 실시예에서, 제2 히터는 기화기 용기를 가열하도록 구성된다.
일부 실시예에서, 조립체는 적어도 하나의 소스 시약을 구비한다.
본 발명의 일부를 형성하고 본 명세서에 기재된 시스템 및 방법이 실행될 수 있는 실시예를 예시하는 첨부 도면을 참조한다.
도 1은 일부 실시예에 따른, 기화기 조립체의 개략도이다.
도 2는 일부 실시예에 따른, 기화기 조립체의 개략도이다.
도 3은 일부 실시예에 따른, 기화기 조립체 제어 방법의 흐름도이다.
유사한 참조번호는 전체적으로 동일하거나 유사한 부분을 나타낸다.
고체 전구체용 기화기는 일반적으로 금속 용기 표면으로부터 고체 전구체 자체로의 전도 가열을 이용한다. 고체 전구체를 통해서 열을 분산시키기 위해, 내부 금속 구조가 사용되어 가열을 위한 금속 열 경로를 제공할 수 있다. 전도 가열은 가열 공정의 제어성 및 응답 시간으로 인해 제한된다. 예를 들어, 제어성은 전도성 열 경로의 높은 열 질량 및 낮은 전도성으로 인해 제한될 수 있다. 예를 들어, 히터가 꺼질 때, 열 경로는 냉각이 시작되기 전에 여전히 열을 제공할 수 있다. 또한, 전도 가열은 히터로부터 열 경로로의 열전달 손실로 인해 비용이 더 많이 들 수 있다. 일부 경우에는, 시간 경과에 따른 부식 및 오염 효과로 인해 성능이 제한될 수 있다.
본 발명의 실시예는 화학 기상 증착 또는 이온 주입과 같은 유체-이용 공정을 위한 증기를 생성하기 위해 소스 시약을 휘발시키는 기화기, 시스템 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시예는 고체 형태 소스 시약 재료, 액체 형태 소스 시약 재료, 소스 시약 재료로부터의 반고체, 슬러리 형태 소스 시약 재료(액체 중에 현탁된 고체 재료를 포함), 및 용매에 용해된 고체 재료의 용액을 포함하는 다양한 형태의 소스 시약과 함께 적용될 수 있다. 일부 실시예에서, 고체 형태 소스 시약 재료는 예를 들어 분말, 과립, 펠릿, 비드, 벽돌, 블록, 시트, 막대, 플레이트, 필름, 코팅 등의 형태일 수 있으며, 특정 용도에서의 요구에 따라 다공질 또는 비다공질 형태를 구현할 수 있다.
본 발명의 실시예는 기화기 용기를 가열하지 않으면서 소스 시약을 직접 가열하기 위한 히터를 제공할 수 있다. 본 명세서에서 사용될 때, "기화기 용기를 가열하지 않으면서" 또는 "직접 복사 가열"은, 소스 시약을 전도 가열하기 위해 히터를 기화기 용기로 지향시키는 대신에, 고체 매질을 통과하지 않으면서 소스 시약에 열을 제공하도록 히터를 지향시키는 것을 포함한다. 소스 시약에 열을 제공하도록 히터를 지향시키면 기화기 용기의 온도가 증가할 수 있으므로, "기화기 용기를 가열하지 않으면서"라는 용어는 소스 시약을 가열한 결과로 기화기 용기를 간접적으로 가열하는 것을 허용한다. "직접 복사 가열" 또는 "기화기 용기를 가열하지 않으면서"는 용기 내부의 히터에 의한 복사 가열 또는 투명 뷰포트를 통해서 소스 시약으로 지향되는 용기 외부의 히터에 의한 복사 가열을 포함한다.
도 1은 일부 실시예에 따른, 기화기 조립체(10)의 개략도이다. 기화기 조립체(10)는 기화된 소스 시약을 예를 들어 화학 기상 증착(CVD) 및 원자층 증착(ALD) 공정에서 전달하기 위해 사용될 수 있다. 이들 용도는 예이고 기화기 조립체(10)에 대한 추가 사용이 본 발명의 범위 내에서 가능하다는 것을 알아야 한다.
기화기 조립체(10)는 기화기 용기(12)를 구비한다. 기화기 용기(12)는 내부 체적(14)을 구비한다. 내부 체적(14)에는 소스 시약(16)이 보유된다. 소스 시약(16)을 가열하기 위해 히터(18)가 구비된다. 가열된 소스 시약(16)은 기화기 용기(12)로부터 출구를 거쳐서, 기화된 소스 시약으로서 제공될 수 있다.
일부 실시예에서, 기화기 용기(12)는 열전도성 재료로 형성된다. 일부 실시예에서, 열전도성 재료는 은, 은 합금, 구리, 구리 합금, 알루미늄, 알루미늄 합금, 납, 니켈 클래드, 스테인리스 스틸, 흑연, 탄화 규소 코팅된 흑연, 질화 붕소, 세라믹 재료, 그 임의의 조합 등일 수 있지만 이것에 한정되지 않는다. 일 실시예에서, 기화기 용기(12)는 코팅을 포함할 수 있다. 코팅은 기화기 용기(12)의 화학적 비활성성을 강화하도록 선택될 수 있다. 일 예에서, 코팅은 산화알루미늄, 이산화규소, 또는 산화이트륨을 포함할 수 있다. 기화기 용기(12)는 부동태화 처리를 포함할 수 있다. 부동태화 처리는 예를 들어 불소 부동태화일 수 있다. 기화기 용기(12)는 임의의 형상을 가질 수 있다. 일부 실시예에서, 기화기 용기(12)는 원통형 형상일 수 있다.
기화기 용기(12)는 기화된 소스 시약을 지지할 가스를 제공하기 위한 캐리어 가스 입구 및 기화된 소스 시약을 위한 출구와 같은, 그러나 이것에 한정되지 않는 추가 요소를 구비할 수 있다는 것을 알아야 한다.
내부 체적(14) 내에 소스 시약(16)을 보유하기 위한 목적으로 하나 이상의 추가 구조체가 구비될 수 있다. 일부 실시예에서는, 히터(18)를 소스 시약(16)으로 지향시키는 위치에 히터(18)를 유지하기 위해 하나 이상의 구조체가 존재할 수 있다. 일부 실시예에서는, 열을 소스 시약(16) 쪽으로 향하게 하기 위해 하나 이상의 구조체가 존재할 수 있다. 이러한 구조체는 예를 들어 열반사성 재료 등일 수 있다. 일부 실시예에서는, 히터(18)로부터의 열이 내부 체적(14)의 의도치 않은 영역에 제공되는 것을 방지하기 위해 열흡수성 재료가 내부 체적(14)에 구비될 수 있다. 일부 실시예에서, 내부 체적(14)은 복사열에 더하여 전도열을 소스 시약(16)에 제공하기 위해 소스 시약(16)과 접촉하는 열흡수성 재료를 구비할 수 있다.
일부 실시예에서, 기화기 조립체(10)는 기화기 용기(12)에 캐리어 가스를 공급하기 위한 라인; 기화기 용기(12)로부터 소스 시약(16) 증기를 배출하기 위한 라인; 유동 제어 밸브, 질량 유량 제어기, 조절기, 제한된 유동 오리피스 요소, 열전쌍, 압력 변환기, 모니터링 및 제어 장치, 기화기 용기와 그 내용물에 열에너지를 입력하기 위한 히터, 캐리어 가스 공급 라인과 소스 시약 증기 배출 라인 내의 온도를 유지하기 위한 히터, 그 임의의 조합 등과 같은 유동 회로 콤포넌트를 추가로 구비할 수 있다.
소스 시약(16)은 임의의 적합한 형태의 고체 전구체를 포함할 수 있다. 이러한 고체 전구체의 예로는 고체상 금속 할로겐화물, 유기금속 고체, 그 임의의 조합 등이 포함되지만 이것에 한정되지 않는다. 이용될 수 있는 소스 시약(16)의 예로는 디메틸 히드라진, 트리메틸 알루미늄(TMA), 염화하프늄(HfCl4), 염화지르코늄(ZrCl4), 삼염화인듐, 삼염화알루미늄, 요드화티탄, 텅스텐 카르보닐, Ba(DPM)2, 비스 디 피발로일메타나토 스트론튬(Sr(DPM)2), TiO(DPM)2, 테트라 디 피발로일메타나토 지르코늄(Zr(DPM)4), 데카보란, 붕소, 마그네슘, 갈륨, 인듐, 안티몬, 구리, 인, 비소, 리튬, 테트라플루오로붕산나트륨, 알킬-아미디네이트 리간드가 통합된 전구체, 유기금속 전구체, 지르코늄 터셔리 부톡사이드(Zr(t-OBu)4), 테트라키스디에틸아미노지르코늄(Zr(Net2)4), 테트라키스디에틸아미노하프늄(Hf(Net2)4), 테트라키스(디메틸아미노)티타늄(TDMAT), tert부틸이미노트리스(디에틸아미노)탄탈륨(TBTDET), 펜타키스(데메틸아미노)탄탈륨(PDMAT), 펜타키스(에틸메틸아미노)탄탈륨(PEMAT), 테트라키스디메틸아미노지르코늄(Zr(NMe2)4), 하프늄터셔리부톡사이드(Hf(tOBu)4), 이불화 크세논(XeF2), 사불화 크세논(XeF4), 육불화 크세논(XeF6), MoO2Cl2, MoO2, MoOCl4, MoCl5, Mo(CO)6을 포함하지만 이것에 한정되지 않는 몰리브덴 제제, WCl5, WCl6, W(CO)6,를 포함하지만 이것에 한정되지 않는 텅스텐 제제, 및 전술한 것 중 두 개 이상의 호환성있는 조합물 및 혼합물을 포함하지만 이것에 한정되지 않는다.
히터(18)는 복사를 통해서 열을 전달할 수 있는 임의의 히터를 구비한다. 일부 실시예에서, 복사를 통한 열전달은 적외선 형태로 열에너지를 방출할 수 있는 임의의 히터를 구비할 수 있다. 일부 실시예에서, 히터(18)는 지향성 복사 열원이다. 이러한 실시예에서, 히터(18)는 소스 시약(16)이 전도 가열에 의해 기화되는 것보다 큰 정도로 복사 가열을 유도하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 히터(18)는 광원을 구비할 수 있다. 일부 실시예에서, 광원은 전구일 수 있다. 일부 실시예에서, 히터(18)는 특정 소스 시약(16)에 대응하도록 선택될 수 있다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 소스 시약(16)은 특정 파장[즉 적어도 하나의 소스 시약(16)을 기화시키기에 충분한 파장]을 갖는 복사 에너지에 의해 보다 효율적으로 가열될 수 있다. 이러한 실시예에서, 히터(18)는 소스 시약(16)에 대응하는 특정 파장을 제공하도록 선택될 수 있다.
일부 실시예에서, 히터(18)는 하나 초과의 파장에서 열에너지를 제공할 수 있다. 예를 들어, 히터(18)는 소스 시약(16)에 적합한 특정 파장에서 열에너지가 제공되게 하는 복수의 가열 설정을 가질 수 있다. 일부 실시예에서, 특정 파장은 내부 체적(14) 내의 소스 시약(16)의 형태 또는 양에 기초하여 선택될 수 있다.
일부 실시예에서, 히터(20)는 기화기 조립체(10)와 열적으로 연통할 수 있다. 이러한 실시예에서, 히터(20)는 기화기 용기(12)를 가열할 수 있고 임의의 적합한 방식으로 수행될 수 있다. 일 실시예에서는, 리본 히터가 기화기 용기(12) 주위에 권취된다. 다른 실시예에서는, 기화기 용기(12)의 외표면의 적어도 대부분을 커버하는 형상을 갖는 블록 히터가 기화기 용기(12)를 가열하기 위해 사용된다. 또 다른 실시예에서는, 상승된 온도의 열전달 유체가 기화기 용기(12)의 외표면과 접촉하여 기화기 용기를 가열할 수 있다. 추가 실시예는 기화기 용기(12)에 충돌하는 적외선 또는 기타 복사 에너지에 의한 가열을 수반한다.
히터(20)로 기화기 용기(12)를 가열하는 방법은 기화기 용기(12)가 소망 온도 레벨에 도달하고 이러한 온도 레벨에서 정확하고 확실하게 유지되는 한 특별히 한정되지 않는다.
도 2는 일부 실시예에 따른, 기화기 조립체(50)의 개략도이다. 기화기 조립체(50)의 특징부는 도 1의 기화기 조립체(10)의 특징부와 동일하거나 유사할 수 있다. 일반적으로, 기화기 조립체(50)는 투명 뷰포트(52)를 추가로 구비할 수 있다. 기화기 조립체(50)에서, 히터(18)는 기화기 용기(12) 외부에 배치될 수 있고, 투명 뷰포트(52)를 통해서 소스 시약(16)을 가열하도록 구성될 수 있다.
일부 실시예에서는, 히터(18)가 기화기 용기(12) 외부에 배치되기 때문에 기화기 조립체(50)가 히터(18)로 개조될 수 있다. 일부 실시예에서는, 투명 뷰포트(52)가 약간의 열을 보유하여, 기화기 조립체(10)에 비해 기화기 조립체(50)의 효율을 저하시킬 수 있다. 그러나, 손실되는 열은 무시할 수 있다. 일부 실시예에서, 투명 뷰포트(52)는 셀렌화아연, 브롬화칼륨, 석영(SiO2), 그 적절한 조합 등과 같은 그러나 이것에 한정되지 않는 재료로 제조될 수 있다.
도 3은 일부 실시예에 따른, 기화기 조립체 제어 방법(100)의 흐름도이다. 방법(100)은 도 1의 기화기 조립체(10) 또는 도 2의 기화기 조립체(50)에 적용될 수 있다.
블록 102에서, 기화기 조립체[예를 들어, 도 1의 기화기 조립체(10) 또는 도 2의 기화기 조립체(50)]에 대한 제어기는 압력 센서[예를 들어, 기화기 조립체(10) 또는 기화기 조립체(50)의 출구 또는 그 근처에 배치됨]로부터 출구 압력 판독치를 수신할 수 있다.
블록 104에서, 출구 압력이 목표 출구 압력보다 낮으면, 제어기는 히터[예를 들어, 히터(18)]를 활성화하여 소스 시약[예를 들어, 소스 시약(16)]의 온도를 상승시킬 수 있다.
블록 106에서, 출구 압력이 목표 출구 압력보다 높으면, 제어기는 히터를 비활성화하여 소스 시약의 온도를 저하시킬 수 있다. 전술했듯이, 히터[예를 들어, 히터(18)]가 소스 시약[예를 들어, 소스 시약(16)]을 직접 가열하기 때문에, 응답 시간이 전도 가열 시스템에 비해 단축될 수 있는데 이는 열전도성 구조체 대신에 열원이 소스 시약을 직접 가열하기 때문이다.
전구체로 채워지고 100와트 및 200와트 복사 열원이 구비된 기화기 용기를 사용하여 시험이 수행되었다. 복사 열원은 전구체를 향한 직접 시선을 갖는다. 기화기 용기로부터의 전구체 유량을 모니터링하였다. 기화기 용기는 전구체 유동을 생성하는 외부 가열을 사용하여 가열되었다. 복사 열원이 켜지면, 전구체의 유량은 복사 열원이 없는 베이스라인보다 큰 유량으로 증가했다. 복사 열원이 꺼지면, 유량 증가가 느려졌다.
본 명세서에서 사용되는 용어는 실시예를 설명하도록 의도된 것이며, 제한적이도록 의도된 것이 아니다. 용어 관사 및 정관사는 달리 명시되지 않는 한 복수형도 포함한다. 본 명세서에서 사용되는 용어 "포함하다" 및/또는 "포함하는"은 언급된 특징부, 정수, 단계, 작동, 요소 및/또는 콤포넌트의 존재를 특정하지만, 하나 이상의 다른 특징부, 정수, 단계, 작동, 요소 및/또는 콤포넌트의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서, 특히 사용되는 구성 재료 및 부품의 형상, 크기 및 배열과 관련하여 변경이 상세하게 이루어질 수 있음이 이해되어야 한다. 본 명세서 및 기재된 실시예는 예이며, 본 발명의 진정한 범위와 취지는 이하의 청구범위에 의해 나타난다.

Claims (20)

  1. 조립체이며,
    내부 체적을 구비하고 적어도 하나의 소스 시약을 보유하는 기화기 용기, 및
    기화기 용기의 내부 체적 내에 배치되는 히터를 포함하며,
    히터는 적어도 하나의 소스 시약이 직접 가열에 의해 기화되게 하는 배열로 기화기 용기의 내부 체적 내에 배치되는 조립체.
  2. 제1항에 있어서, 히터는 복사 열원인 조립체.
  3. 제2항에 있어서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키기에 충분한 파장에서 복사 에너지를 기화기 용기의 내부 체적에 제공하도록 구성되는 조립체.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 히터로부터의 복사 에너지는 고체 매질을 통과하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약으로 향하여 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키는 조립체.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 기화기 용기를 가열하도록 구성된 제2 히터를 추가로 포함하며, 제2 히터는 기화기 용기 외부에 배치되는 조립체.
  6. 조립체이며,
    내부 체적을 구비하고 투명 뷰포트를 구비하며 적어도 하나의 소스 시약을 보유하는 기화기 용기, 및
    기화기 용기 외부에 배치되는 히터를 포함하며,
    히터는, 적어도 하나의 소스 시약을 투명 뷰포트를 통해서 가열함으로써 적어도 하나의 소스 시약이 기화되게 하는 배열로 기화기 용기 외부에 배치되는 조립체.
  7. 제6항에 있어서, 히터는 복사 열원인 조립체.
  8. 제7항에 있어서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키기에 충분한 파장에서 복사 에너지를 기화기 용기의 내부 체적에 제공하도록 구성되는 조립체.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 히터로부터의 복사 에너지는 투명 뷰포트를 통과함으로써 적어도 하나의 소스 시약으로 향하여 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키는 조립체.
  10. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 기화기 용기를 가열하도록 구성된 제2 히터를 추가로 포함하며, 제2 히터는 기화기 용기 외부에 배치되는 조립체.
  11. 조립체이며,
    내부 체적을 구비하고 적어도 하나의 소스 시약을 보유하는 기화기 용기, 및
    히터를 포함하며,
    히터는 적어도 하나의 소스 시약이 전도 가열에 의해 기화되는 것보다 큰 정도로 적어도 하나의 소스 시약을 직접 복사 가열에 의해 기화시키도록 구성된 지향성 복사 열원이고,
    히터는 기화기 용기를 가열하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키도록 구성되는 조립체.
  12. 제11항에 있어서, 지향성 복사 열원은 적어도 하나의 소스 시약을 직접 가열하는 조립체.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서, 히터는 기화기 용기의 내부 체적 내에 배치되는 조립체.
  14. 제13항에 있어서, 히터로부터의 복사 에너지는 고체 매질을 통과하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약으로 향하여 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키는 조립체.
  15. 제11항에 있어서, 투명 뷰포트를 추가로 포함하는 조립체.
  16. 제15항에 있어서, 히터는 기화기 용기 외부에 배치되는 조립체.
  17. 제16항에 있어서, 히터로부터의 복사 에너지는 투명 뷰포트를 통해서 적어도 하나의 소스 시약으로 향하여 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키는 조립체.
  18. 제11항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키기에 충분한 파장에서 복사 에너지를 기화기 용기의 내부 체적에 제공하도록 구성되는 조립체.
  19. 제11항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 제2 히터를 추가로 포함하며, 제2 히터는 기화기 용기를 가열하도록 구성되는 조립체.
  20. 제11항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 소스 시약을 추가로 포함하는 조립체.
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