JP2023085230A - 蒸着反応器用の遠隔固体原料反応物質送達システム - Google Patents

Abstract

【課題】蒸着反応器用の遠隔固体原料反応物質送達システムを提供する。【解決手段】本明細書で開示されるのは、固体原料化学物質バルク充填容器を使用する遠隔送達システムに関連するシステムおよび方法である。送達システムは、蒸着反応器、蒸着反応器から遠隔にある二つ以上のバルク充填容器、相互接続ライン、ラインヒーター、および一つ以上の弁を備えるガスパネルを含みうる。各バルク充填容器は、その中に固体原料化学反応物質を保持するように構成される。バルク充填容器はそれぞれ、流体出口を含みうる。相互接続ラインは、蒸着反応器を各バルク充填容器と流体接続することができる。ラインヒーターは、相互接続ラインのうちの少なくとも一部分を少なくとも最低ライン温度まで加熱することができる。ガスパネルの一つ以上の弁は、相互接続ラインを通した気化化学反応物質の流れを、一つの流体出口からの流れから、別の流体出口からの流れに切り替えることができる。【選択図】図１

Description

固体原料反応物質送達システムは、蒸着反応チャンバーを含む、蒸着反応器に反応物質蒸気を送達する。容器は、気化される化学反応物質を含むことができる。固体原料反応物質は、気化され、反応チャンバーへ、キャリアガスによって運ばれまたは蒸気として単独で引き込まれるのであり、当該反応チャンバーにおいて、反応物質は基材上に堆積される。反応物質が気化されると、その量は枯渇し、再充填または補充が必要となる場合がある。しかしながら、現在、蒸着反応器のダウンタイムを低減しつつ、迅速かつ効果的に固体原料反応物質を補充することができる方法については、一定の制限が存在する。

本出願は、概ね、半導体処理装置を含むシステムおよび方法に関し、具体的には、蒸着反応器用の固体原料反応物質送達システムに関する。

蒸着反応器用の遠隔固体原料反応物質送達システムおよび方法が開示されている。一部の実施形態では、固体原料反応物質送達システムは、蒸着反応器から遠隔である第一のバルク充填容器を含む。第一のバルク充填容器は、その中に第一の固体原料化学反応物質を保持するように構成されうる。第一のバルク充填容器は、第一の気化化学反応物質を第一の容器本体から排出するように構成された第一の流体出口を含みうる。送達システムは、蒸着反応器から遠隔であり、その中に第二の固体原料化学反応物質を保持するように構成された第二のバルク充填容器をさらに含みうる。第二のバルク充填容器は、第二の気化化学反応物質を第二の容器本体から排出するように構成された第二の流体出口を含みうる。送達システムは、蒸着反応器を第一および第二のバルク充填容器のそれぞれと流体接続する相互接続ラインを含みうる。蒸着反応器は、少なくとも最小距離だけ第一および第二のバルク充填容器の両方から分離することができる。送達システムは、相互接続ラインの少なくとも一部分を少なくとも最低ライン温度まで加熱するように構成されたラインヒーターをさらに含みうる。送達システムは、弁を含むガスパネルを含みうる。ガスパネルは、相互接続ラインと第一および第二のバルク充填容器のそれぞれとの間に配置されうる。弁は、第一の気化化学反応物質を第一の流体出口から、および第二の気化化学反応物質を第二の流体出口から相互接続ラインを通して選択的に流すように構成されうる。

これは、例示としてのみ提供されるものであり、本開示をいかなる方法でも限定するものとしてみられるべきではない。他の実施形態は、関連する図面と併せて以下に記載される。

本開示のこれらの態様および他の態様は、本明細書の説明、添付の特許請求の範囲を考慮すれば、および本発明を例示するものであり限定するものではないことが意図されている図面から、当業者には容易に明らかになるであろう。

図１は、一部の構成による、例示的な遠隔固体原料反応物質送達システムを概略的に示す。 図２は、一部の構成による、別の例示的な遠隔固体原料反応物質送達システムを概略的に示す。 図３は、一部の構成による、気化化学反応物質を蒸着反応器に送達するための例示的な方法を示す。

本明細書で提供される見出しがある場合、単に便宜上のものであり、特許請求される発明の範囲または意味に必ずしも影響を与えない。本明細書では、高容量堆積モジュール内に気相反応物質を送達するためのシステムおよび関連する方法論について説明する。

以下の詳細な説明は、特許請求の範囲の理解を助けるために特定の具体的な実施形態を説明している。しかし、特許請求の範囲によって定義されかつ特許請求の範囲が及ぶように、多数の異なる実施形態および方法で本発明を実施することができる。

反応プロセスには、化学蒸着（ＣＶＤ）および原子層堆積（ＡＬＤ）などの蒸着プロセス、蒸気エッチングプロセス、およびシリコンウエハなどの基材上の材料の薄膜を形成およびパターン形成するための半導体業界の他のプロセスを含む、様々なプロセスが含まれうる。蒸着プロセスでは、異なる反応物質の化学物質の反応物質蒸気（「前駆体ガス」を含む）が反応チャンバー内の一つ以上の基材に送達される。場合によっては、反応チャンバーは、基材ホルダー（例えば、サセプタ）上に支持される単一の基材のみを備え、基材および基材ホルダーは所望のプロセス温度に維持される。他の事例では、反応チャンバーは、処理される二つまたは三つ以上の基材を保持してもよい。

典型的なＣＶＤプロセスでは、相互反応性の反応物質蒸気が互いに反応して基材上に薄膜を形成し、成長速度は温度と反応物質ガスの量に関係する。いくつかの変形では、堆積反応物質を駆動するエネルギーは、全体または一部がプラズマによって供給される。生産は、気相反応物質が反応チャンバーに提供される複数の反応物質工程、例えば、前駆体が蒸着プロセスおよび／または一つ以上のエッチング工程に提供される一つ以上の工程を含んでもよい。

反応物質工程中、気化（例えば、ガス状）反応物質は、蒸着反応器の蒸着反応チャンバー内に送達される。反応物質は、反応チャンバー内に導入される前に、固体原料昇華器などの昇華器で気化される固体原料であってもよい。昇華器は、固体原料反応物質を気化させるように構成された最低昇華温度を超えるように、固体原料反応物質を加熱することができる。最低昇華温度は、固体原料反応物質のタイプに依存してもよい。

基材上に薄膜を形成するための別の既知のプロセスは、ＡＬＤである。多くの用途では、ＡＬＤは本明細書に記載の固体および／または液体原料化学物質を使用する。ＡＬＤは、サイクルで実行される自己飽和反応によって膜を堆積させる蒸着の一種である。膜の厚さは、実行されるサイクルの数によって決定される。ＡＬＤプロセスでは、ガス状反応物質が順番におよび／または繰り返して基材またはウエハに供給され、ウエハ上に材料の薄膜を形成する。一つの反応物質は、ウエハ上で自己制御的プロセスにより吸着する。続いて異なるパルス状の反応物質が吸着された材料と反応して、所望の材料の単一分子層を形成する。分解は、例えば配位子交換またはゲッタリング反応で、吸着種間での、および適切に選択された試薬との、相互反応によって発生する場合がある。一部のＡＬＤ反応では、サイクルごとに僅か１分子の単分子層が形成される。より厚い膜は、目標の厚さが達成されるまで繰り返し成長サイクルを経て生成される。

一部のＡＬＤ反応では、相互反応性の反応物質は、異なる反応物質へ基材を暴露させる間に除去プロセスを介在させることにより、気相で別々に保持される。例えば、時分割ＡＬＤプロセスでは、反応物質がパルスで固定基材に供給され、通常はパージまたは排気フェーズにより分離される。空間分割ＡＬＤプロセスでは、基材は異なる反応物質の区域を移動する。一部のプロセスでは、空間分割ＡＬＤと時分割ＡＬＤの両方の態様を組み合わせることができる。当業者は、いくつかの変形またはハイブリッドプロセスが、通常のＡＬＤパラメータウィンドウ外の堆積条件の選択により、および／または基材への暴露中に相互反応性の反応物質間である程度の重なり合いを可能にすることにより、のいずれかである程度のＣＶＤのような反応を可能にすることを理解するであろう。

昇華器から蒸着反応チャンバーへの気化固体原料反応物質の送達は、反応物質蒸気を送達する送達機構によって制御されうる。一部の実施形態では、昇華器は、例えば、一つ以上の蒸着反応チャンバーの近くなど、蒸着反応器内に配置されてもよい。これにより、反応チャンバーへの反応物質蒸気のより迅速な送達が提供されうる。しかしながら、この配置は、昇華器が固体原料反応物質で再充填される間、反応器にかなりのダウンタイムを必要としうる。

この問題に対処するために、一部の実施形態では、昇華器は蒸着反応器から遠隔に配置されうる。この遠隔性または分離性は、空間に関してより大きな柔軟性を提供することができ、したがって、空間の制約を低減しうる。さらに、本明細書に記載される遠隔送達システムを使用することで、半導体処理を中断する必要なく、昇華器を再充填することが可能となりうる。代わりに、反応器の動作中に昇華器を再充填することができ、この再充填は基材の処理に大きく影響しない可能性がある。したがって、遠隔送達システムは、半導体処理のスループットを改善することができる。

昇華器は、一般に、固体原料反応物質などの反応物質を気化させる任意の入れ物または容器を指すことができる。昇華器は、固体原料反応物質を含むハウジングまたは本体を含みうる。昇華器は、一つ以上のバルク充填容器を含みうる。例えば、遠隔昇華器は、ハウジング内に配置された複数のバルク充填容器を含みうる。他の配置は、可能である。

固体原料反応物質送達システムは、固体および／または液体の充填容器（または原料容器）ならびにヒーター（例えば、放射熱ランプ、抵抗ヒーターおよび／または同種のもの）のうちの一つ以上を備えることができる。例えば、充填容器は、例えば、抵抗性のケーブルおよび／またはロッドヒーターを用いて、真空の筐体内で加熱することができる。充填容器は、化学反応物質（「化学前駆体」または「原料前駆体」と呼ばれる場合もある）を含むことができ、これは固体（例えば、粉末形態）または液体であることができる。ヒーターは容器を加熱し、容器内の反応物質の気化および／または昇華を促進させる。

容器は、容器を通る不活性ガスなどのキャリアガス（例えば、Ｎ_２、Ａｒ、Ｈｅなど）の流れのための入口および出口を有することができる。一般的に、キャリアガスは反応物質蒸気（例えば、蒸発または昇華した化学反応物質）をそれと一緒に容器の出口を通って、最終的に反応チャンバーへ運ぶ。典型的に、容器は容器の内容物を容器の外部から流体的に隔離するための分離弁を備える。分離弁は、充填容器の蓋上またはその近くに配置されてもよい。

いくつかの実施形態の充填容器は、昇華器を備える、それから本質的になる、またはそれからなる。つまり、本明細書で「原料容器」または「充填容器」が言及される場合は常に、昇華器（例えば、「固体原料化学物質昇華器」）も明示的に意図される。

いくつかの用途では、反応物質ガスは反応物質充填容器にガス状形態で貯蔵される。このような用途では、反応物質は多くの場合、約１気圧および室温の標準圧力および温度でガス状である。このようなガスの例としては、窒素、酸素、水素、およびアンモニアが挙げられる。ただし、場合によっては、標準圧力および標準温度で固体（例えば、塩化ハフニウム、酸化ハフニウム、二酸化ジルコニウムなど）である化学反応物質（「前駆体」）の蒸気が使用される。一部の化学反応物質の場合、室温での蒸気圧は非常に低いため、通常は非常に低い圧力で加熱および／または保持され反応プロセスに十分な量の反応物質蒸気を生成する。気化（例えば、昇華または蒸発）した後、気相反応物質を処理システム全体にわたって気化温度以上に保持することで、弁、フィルタ、導管、および気相反応物質の反応チャンバーへの送達に関連する他の構成要素において望ましくない凝縮を防ぐことができる。このような自然に固体または液体の物質からの気相反応物質は、様々な他の産業における化学反応に有用である。

反応物質充填容器には、入口および出口から延在するガスライン、ライン上の分離弁、および弁上のフィッティングが付属し、フィッティングは反応器へのガスフローラインに接続するように構成されている。例えば、相互接続ラインは、昇華器および／または送達システムのいくつかの他の部分を反応器と接続してもよい。多くの場合、反応物質充填容器または昇華器と反応器の間の様々な弁およびガスフローラインを加熱するためにいくつかの追加ヒーターを設けて、反応物質蒸気がこのような構成要素上に凝縮して堆積するのを防ぐことが望ましい。従って、充填容器と反応チャンバーの間のガス輸送構成要素は、温度が反応物質の気化／凝縮／昇華温度よりも高く維持される「ホットゾーン」と呼ばれることがある。反応物質を気化するために必要な温度は、ライン、弁などの中の凝縮を回避するために必要な温度とは異なる場合がある。したがって、許容可能な温度範囲は、以下でより詳細に説明するように、昇華器内でガスライン（例えば、相互接続ライン）内または別の要素内とは異なる場合がある。

遠隔充填容器は、気化反応物質を反応チャンバーに直接送達しうる。しかしながら、一部の実施形態では、遠隔充填容器は、反応器内の反応物質充填容器を、本明細書に記載の化学反応物質で充填するように構成されてもよい。容器は、「中間体充填」容器、「トランスフィル」容器、または「バルク」容器または類似したものを含んでもよい（簡潔にするために、中間体充填容器またはトランスフィル容器は、単に「充填容器」として本明細書で言及されてもよい）。一部のトランスフィル容器の例は、２０２０年９月３日に出願された、「ＦＩＬＬ ＶＥＳＳＥＬＳ ＡＮＤ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲＳ ＦＯＲ ＣＨＥＭＩＣＡＬ ＳＵＢＬＩＭＡＴＯＲＳ」と題する米国特許出願公開第２０２１／００７１３０１号に開示されており、この出願は、あらゆる目的についてその全体が参照により本明細書に組み込まれる。

化学反応物質が枯渇し、交換が必要となった時、充填容器全体を、化学反応物質の全量を有する新しい容器と交換することが通例である。充填容器の交換には、関連する弁を遮断すること、充填容器を切り離して物理的に取り外すこと、新しい充填容器を適切な位置に配置すること、および新しい充填容器のフィッティングを残りの基材処理装置に接続することを必要とする。多くの場合、このプロセスは、様々な熱電対、ラインヒーター、クランプなどを分解することも伴う。これらのプロセスは、いくぶん手間と時間がかかるものでありうる。

充填容器を有する本明細書に記載した送達システムは、有利なことに、反応器内の昇華器を交換または再充填する必要性を低減することができる。代わりに、充填容器を使用して、反応器システムに化学反応物質を自動的かつ／または連続的に供給することができる。追加的または代替的に、流れはパルス状であってもよい。充填チャンバーシステムは、一つ以上の充填容器を含むことができる。さらに、本明細書の実施形態による充填容器は、反応器の近くに、それに隣接して、またはその中に配置されうる。上述したように、充填容器は再充填のために反応器システムから取り外す必要はないため、再充填に関連する手間およびダウンタイムなしに、充填容器は、反応器システムの近位または内部に配置するという利点（比較的短い流路など）を達成することができる。様々な構成を参照して追加の特徴を本明細書に記載する。

図１は、一部の構成による、例示的な遠隔固体原料反応物質送達システム１００を概略的に示す。遠隔固体原料反応物質送達システム１００は、蒸着反応器１０２、複数のバルク充填容器１０８、１１２、および複数のバルク充填容器１０８、１１２を蒸着反応器１０２と流体接続する相互接続ライン１４０を含みうる。

蒸着反応器１０２は、一つ以上の蒸着反応チャンバー１０４を含みうる。各蒸着反応チャンバー１０４は、一つ以上の基材支持体１０６を含みうる。基材支持体１０６は、その中に基材を受容し、上述したように、反応物質ガスがその上を通過することを可能にするように構成されうる。

バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれは、対応する容器本体１１６、１２０、容器蓋１２４、１２８、ならびに対応する容器本体１１６、１２０から、および相互接続ライン１４０に向かって気化化学反応物質を排出するように構成された流体出口１２６、１３０を含みうる。バルク充填容器１０８、１１２は、それぞれ、固体原料化学物質をその中に保持するよう構成されうる。一部の実施形態では、第一のバルク充填容器１０８は、第二のバルク充填容器１１２と同じ化学反応物質を保持するように構成されうる。しかしながら、一部の実施形態では、それぞれが異なる化学反応物質を保持してもよい。

一般的に、バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれは、固体化学反応物質を含むが、液体化学反応物質は、可能である。用語「固体原料前駆体」および「固体原料化学反応物質」は、概して交換可能に使用されてもよく、本開示に照らして、当技術分野におけるそれらの通例かつ通常の意味を有する。これらの用語は、標準的な条件（即ち、室温および大気圧）下で固体である原料化学物質を指す。

容器蓋１２４、１２８のそれぞれは、対応する容器本体１１６、１２０の上部に機械的に取り付けられるように適合される。これは、取付け装置（例えば、ボルト、ネジなど）のうちの一つ以上を使用して行われてもよい。特定の実施形態では、容器蓋１２４、１２８および容器本体１１６、１２０は、気密式で機械的に取り付けられる。容器本体１１６、１２０は、設置面積を低減し、その中にかなりの量の化学反応物質を保持するように成形されうる（以下を参照）。

バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれは、対応するバルク充填容器１０８、１１２を加熱するように構成される、対応する容器ヒーター１３２、１３６を含みうる。第一の容器ヒーター１３２および第二の容器ヒーター１３６は、互いに独立して動作することができる。これにより、他の対応するバルク充填容器１０８、１１２が交換または再充填される間、容器ヒーター１３２、１３６のうち一方の動作が可能になりえ、他方のヒーターは一時的にオフになる。容器ヒーター１３２、１３６は、図１に示すように、対応するバルク充填容器１０８、１１２の下方に配置されうる。しかし、他の構成は、可能である。例えば、容器ヒーター１３２、１３６は、対応する容器本体１１６、１２０内に配置されうる。ヒーターは、加熱パッド、加熱ロッド、加熱ジャケット、加熱ブレード、加熱ランプ、または他のヒーターを含みうる。

バルク充填容器１０８、１１２のうちの一つ以上は、ハウジング１５２内に少なくとも部分的に収容されうる。ハウジング１５２は、金属ハウジングを含みうる。ハウジング１５２は、ハウジングから外への熱の流れを防止しまたは減少させるために断熱されてもよい。これにより、遠隔固体原料反応物質送達システム１００の一つ以上のラインまたは弁内で発生する凝縮の可能性を低減することができる。ハウジング１５２は、化学反応物質を保持するための中央リポジトリ、および化学反応物質にアクセスして再充填するための直感的な中心点として機能しうる。

ハウジングまたはキャビネット１５２の内部は、減圧状態（例えば、１ｍＴｏｒｒから１０Ｔｏｒｒ、および多くの場合、約５００ｍＴｏｒｒ）に維持することができる。この減圧状態は、ハウジング１５２内のバルク充填容器１０８、１１２の放射加熱を促進し、および／またはそれらを互いに熱的に分離するように促進してより均一な温度フィールドを促進することができる。他の変形では、ハウジング１５２は、排出させられず、対流強化装置（例えば、ファン、クロスフローなど）を含む。リフレクタシートが提供されてもよく、これは、ハウジング１５２内の構成要素を囲んで、ハウジング１５２内に配置された構成要素に、加熱装置１３２、１５６によって生成される放射熱を反射するように構成されうる。リフレクタシートは、ハウジング１５２の内壁、ならびにハウジングの天井および床に提供されうる。

遠隔固体原料反応物質送達システム１００は、それを通る、および／またはバルク充填容器１０８、１１２と蒸着反応器１０２との間の、蒸気の流れを制御するための一つ以上の弁を含む、ガスパネル１４８を含みうる。ガスパネル１４８は、相互接続ライン１４０とバルク充填容器１０８、１１２のそれぞれとの間に配置されてもよい。追加的または代替的に、蒸着反応器１０２は、蒸着反応チャンバー１０４へのガスの流れを制御するように構成された一つ以上の対応する弁を含む、反応器ガスパネル１７２を含みうる。反応器ガスパネル１７２は、気化反応物質の流れを、蒸着反応器１０２の一つ以上の蒸着反応チャンバーに向けることができる。

相互接続ライン１４０を介したバルク充填容器１０８、１１２から蒸着反応器１０２への流れは、バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれから同時にではなくてもよく、蒸着反応器１２０への流れが排他的に第一のバルク充填容器１０８から、排他的に第二のバルク充填容器１１２に、およびその逆で切り替えられることができるように、代わりに切り替え可能であってもよい。ガスパネル１４８の一つ以上の弁のそれぞれは、相互接続ライン１４０を通る気化化学反応物質の流れを、第一の流体出口１２６から出る流れから、第二の流体出口１３０を出る流れに切り替えるように構成されうる。切り替え可能であることによって、蒸着反応器１０２が反応物質の中断のない流れを受けることを可能にしうる。したがって、第一のバルク充填容器１０８を化学反応物質で再充填する必要がある場合、ガスパネル１４８は、（例えば、一つ以上の弁を介して）流れを第二のバルク充填容器１１２から来るようにシームレスに切り替えることができる。このシームレスな移行は、ガス流の「ホットスワップ」と呼ばれる場合がある。

容器、弁、ラインなどの中での反応物質の凝縮を回避するために、気化反応物質を閾値温度を超えて維持する必要がある。したがって、蒸着反応器１０２に気化反応物質を供給しているラインは概して加熱される。上述のホットスワップを実施するために、バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれは、化学反応物質を気化させるために、少なくとも最低容器温度まで加熱される必要があることがある。一部の実施形態では、バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれの内部の温度は、ほぼ同じである。最低容器温度は、対応するバルク充填容器１０８、１１２内に保持される化学物質および関連する圧力に依存してもよい。追加的または代替的に、最低容器温度は、バルク充填容器１０８、１１２から外への蒸気の流量に少なくとも部分的に依存してもよい。例えば、最低容器温度は、約８５℃、約９０℃、約９５℃、約１００℃、約１０５℃、約１１０℃、約１１５℃、約１２０℃、約１２５℃、約１３０℃、約１３５℃、約１４０℃、約１４５℃、約１５０℃、約１５５℃、約１６０℃、約１７０℃、約１７５℃、約１８０℃、その間の任意の値でもよく、またはその内に終点を有する任意の範囲内に収まってもよい。例えば、最低容器温度は、約１０５℃～約１５５℃であってもよく、一部の実施例では、約１５０Ｔｏｒｒの蒸気圧および約１００ｓｃｃｍの流量で約１３５℃である。他の温度および圧力は、本明細書に開示されるハードウェア設計によって達成されうる。約１３５℃～約１５０℃の容器温度は、過剰なエネルギーを消費することなく、標準的な圧力および流量で気化化学反応物質を概して維持する有効範囲であるようである。

相互接続ライン１４０は、遠隔固体原料反応物質送達システム１００のラインヒーター１４４によって加熱されてもよい。ラインヒーター１４４は、ラインヒーター１４４を少なくとも部分的に取り囲む加熱ジャケットなど、当技術分野で既知の任意の種類のヒーターとすることができる。ラインヒーター１４４は、相互接続ライン１４０の少なくとも一部分を少なくとも最低ライン温度まで加熱するように構成されてもよい。ラインヒーター１４４は、最低ライン温度を超える温度が達成されると、相互接続ライン１４０の一部を温度変化から断熱するように構成されうる。最低ライン温度は、一般に最低容器温度よりも高くてもよく、対応するバルク充填容器１０８、１１２内に保持される化学物質、相互接続ライン１４０内の関連する圧力、および／またはバルク充填容器１０８、１１２から外への蒸気の流量に依存してもよい。例えば、最低ライン温度は、約１１５℃、約１２０℃、約１２５℃、約１３０℃、約１３５℃、約１４０℃、約１４５℃、約１５０℃、約１５５℃、約１６０℃、約１７０℃、約１７５℃、約１８０℃、約１８５℃、約１９０℃、約１９５℃、約２００℃、約２０５℃、約２１０℃、約２１５℃、その間の任意の値でもよく、またはその内に終点を有する任意の範囲内に収まってもよい。例えば、最低ライン温度は、約１４０℃～約１９０℃であってもよく、一部の実施例では、約１２０Ｔｏｒｒの蒸気圧および１００ｓｃｃｍの流量で約１５５℃である。約１４０℃～約１９０℃のライン温度は、過剰なエネルギーを消費することなく、標準的な圧力および流量で気化化学反応物質を概して維持する有効範囲であるようである。

一部の実施形態では、ハウジング１５２は、ハウジングヒーター１５６を含む。ハウジングヒーター１５６は、ハウジング１５２の近くに、それに隣接して、および／またはその中に配置されてもよい。ハウジングヒーター１５６は、ハウジング１５２を少なくとも最低ハウジング温度まで加熱するように構成されてもよい。最低ハウジング温度は、最低容器温度および／または最低ライン温度を下回ってもよい。

一部の実施形態では、遠隔固体原料反応物質送達システム１００は、相互接続ライン１４０を通して気化化学反応物質の流束を変更するように構成される、流量コントローラ１６０または流量計を含む。流量コントローラ１６０は、相互接続ライン１４０と流体連通しえ、および／または流量コントローラ１６０は、相互接続ライン１４０を通る蒸気の流れを監視してもよい。流量コントローラ１６０は、蒸気の流量を測定することができる。監視は、定期的な間隔にわたってなど、繰り返し（例えば、定期的に）更新されてもよい。流量コントローラ１６０は、相互接続ライン１４０を通る気化化学反応物質の流束を制御できる流量制御弁（例えば、ニードル弁、絞り弁など）に結合されてもよい。流量コントローラ１６０は、相互接続ライン１６０を通る流束の量が多すぎるかまたは少なすぎるという信号を（例えば、相互接続ライン１４０内の流量制御センサから）受信してもよい。次に、流量コントローラ１６０は、流量制御弁に信号を送信して、相互接続ライン１６０を通る蒸気の流束を減少または増加させることができる。

遠隔固体原料反応物質送達システム１００は、バルク充填容器１０８、１１２内の化学反応物質の量を追跡するように構成される容器コントローラ１６４を含みうる。容器コントローラ１６４は、バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれにおける反応物質の量を識別するように構成された一つ以上のセンサを含みうる。追加的または代替的に、容器コントローラ１６４は、バルク充填容器１０８、１１２のうちの一つ以上が、反応物質の閾値量の外側の化学物質量を保持するとき、表示を受信するように構成されうる。例えば、容器コントローラ１６４は、第一のバルク充填容器１０８内の固体原料化学反応物質の体積が最小閾値量を下回ることを示す信号を一つ以上のセンサから取得してもよい。信号に応答して、容器コントローラ１６４は、ガスパネル１４８の一つ以上の弁に、相互接続ラインを通る気化化学反応物質の流れを、第一の流体出口からの流れから、第二の流体出口からの流れに切り替えるように命令してもよい。

一部の実施形態では、容器コントローラ１６４は、バルク充填容器１０８、１１２のうちの一つ以上の中の化学物質量が閾値量の外側にあるという通知をユーザインターフェースに送信することができる。閾値量は、最大閾値（例えば、量が最大閾値を超えると信号が生成される）または最小閾値（例えば、量が最小閾値を下回ると信号が生成される）であってもよい。容器コントローラ１６４は、容器コントローラ接続１６８を介して、ハウジング１５２および／またはその中の任意の要素と通信してもよい。容器コントローラ接続１６８は、有線接続または無線接続であってもよい。

ハウジング１５２および／またはバルク充填容器１０８、１１２のうちの一つ以上は、蒸着反応器１０２から遠隔に配置されてもよい。遠隔にできることで、バルク充填容器１０８、１１２を配置する場所に、さらなる柔軟性を提供することができる。追加的または代替的に、これは、蒸着反応器１０２に送達するために、ハウジング１５２内に化学反応物質の量を再充填するために必要な時間量を減少させるために、バルク充填容器１０８、１１２のうちの少なくとも一つがその中に十分な化学反応物質を有することを可能にしうる。一部の実施形態では、相互接続ライン１４０は、蒸着反応器１０２をハウジング１５２および／またはバルク充填容器１０８、１１２から最小距離だけ分離する。最小距離は、相互接続ライン１４０内の化学反応物質、流量、および／または圧力によって部分的に決定されてもよい。最小距離は、約３ｍ、約５ｍ、約８ｍ、約１０ｍ、約１５ｍ、約１８ｍ、約２０ｍ、約２５ｍ、約３０ｍ、約３５ｍ、約４０ｍ、その間の任意の値、またはその中に終点を有する任意の範囲内であってもよい。例えば、一部の実施形態では、最小距離は約１５ｍである。一部の実施形態では、総分離距離は約３０ｍである。

バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれの高さと、その幅／直径との比は、遠隔固体原料反応物質送達システム１００の設置面積が低減されるような比にすることができる。高さと幅との比は、約１よりも大きく、約１．５よりも大きく、約２よりも大きく、約３よりも大きく、約４よりも大きく、約５よりも大きく、約６よりも大きく、その間の任意の値よりも大きく、またはその中の終点を有する任意の範囲内にありうる。例えば、一部の実施形態では、高さと幅との比は約１．５４である。一部の実施形態では、バルク充填容器１０８、１１２の高さは約８５ｃｍであり、幅は約５５ｃｍである。バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれは、かなりの量の固体原料化学反応物質を保持するように構成されうる。それほど多くの化学反応物質を保持するこの能力は、各バルク充填容器を再充填する必要性を低減することができ、それによって再充填におけるエラーの可能性を低減し、ヒトの介入を低減することができる。バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれは、その中に約１６Ｌの化学反応物質を保持するように構成されうる。化学物質に基づいて、バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれは、少なくとも１８ｋｇの化学反応物質を保持することができる。例えば、必要に応じて、より多くの位置に配置されうるように、バルク充填容器１０８、１１２が必要とするであろう体積または設置面積を最小化することが有利でありうる。コンパクトな容器アセンブリは、このような設置面積を削減できる。特定の実施形態では、バルク充填容器１０８、１１２のそれぞれは、約２０００ｃｍ^２～約３５００ｃｍ^２の、（例えば、対応するバルク充填容器１０８、１１２が配置される）領域を有しうる。

容器蓋１２４、１２８のそれぞれは、それを通したキャリアガスの流れを可能にすることができる対応するキャリアガス入口（図示せず）を含みうる。キャリアガス入口は、ガスパネル１４８に含まれうる対応する弁を含みうる。キャリアガスは、バルク充填容器１０８、１１２内で昇華または蒸発した化学物質と結合することができる。次に、バルク充填容器１０８、１１２からの流出物は、キャリアガスおよびバルク充填容器１０８、１１２の内部から気化した反応物質ガスを含む。一部の実施形態では、バルク充填容器１０８、１１２の内部は、化学反応物質で充填された後、ヘッドスペースを含むように構成される。ヘッドスペースは、対応するキャリアガス入口および／または流体出口１２６、１３０と流体連通することができ、ヘッドスペース内の流体（例えば、キャリアガス）による化学反応物質の昇華のために構成されることができる。

上述したように、気化化学反応物質用のキャリアガスとして、非活性または不活性ガスを使用することが好ましい。不活性ガス（例えば、窒素、アルゴン、ヘリウムなど）は、対応するキャリアガス入口を通してバルク充填容器１０８、１１２に供給されてもよい。図示されていない追加の弁および／または他の流体制御要素を備えうることが理解されよう。

流出物（例えば、キャリアガス＋蒸発した化学物質）は、流体出口１２６、１３０を通過し、ガスパネル１４８および相互接続ライン１４０を通過し、および蒸着反応器１０２に移動することができる。一部の実施形態では、流体出口１２６、１３０のそれぞれは、それを通した粒子状物質の通過を防止するように構成される、対応するフィルタ（図１には図示せず）を備える。フィルタは、粒子状物質が通過して、蒸着反応器１０２（例えば、蒸着反応チャンバー１０４）内に入り込まないことを保証するのに役立ちうる。一部の実施形態では、相互接続ライン１４０は、蒸着反応チャンバー１０４に直接接続する。例示的な固体原料化学物質昇華器および／またはその流体工学に関する追加の情報は、２０１２年３月２０日に発行され、「ＰＲＥＣＵＲＳＯＲ ＤＥＬＩＶＥＲＹ ＳＹＳＴＥＭ」と題する米国特許第８，１３７，４６２号において見つけることができ、この出願は、ここに、あらゆる目的についてその全体が参照により本明細書に組み込まれる。図示されていない追加の弁および／または他の流体要素を備えることができることが理解されよう。バルク充填容器１０８、１１２は、例えば、２０１６年９月３０日に出願され、「ＲＥＡＣＴＡＮＴ ＶＡＰＯＲＩＺＥＲ ＡＮＤ ＲＥＬＡＴＥＤ ＳＹＳＴＥＭＳ ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ」と題する米国特許第１０，８７６，２０５号に開示された追加的または代替的な特徴を有することができ、この出願は、ここに、あらゆる目的についてその全体が参照により本明細書に組み込まれる。

図２は、一つの実施形態による、別の例示的な遠隔固体原料反応物質送達システム２００を概略的に示す。遠隔固体原料反応物質送達システム２００は、ハウジング２５２内の複数のバルク充填容器２０８、２１２、および蒸着反応器２０２を含みうる。蒸着反応器２０２は、基材ハンドリングチャンバー２１０および一つ以上のハウジングモジュール２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄを含みうる。図示したように、相互接続ライン２４０は、ハウジング２５２（またはその任意の要素）と、一つ以上のハウジングモジュール２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄとを直接接続することができる。一部の実施形態では、相互接続ライン２４０は、中間固体原料昇華器（図示せず）を介してハウジングモジュール２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄを間接的に接続してもよい。追加的または代替的に、蒸着反応器２０２の反応器ガスパネル（図示せず）は、相互接続ライン２４０からのガスの流れを、一つ以上のハウジングモジュール２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄに向けてもよい。したがって、バルク充填容器２０８、２１２は、複数のハウジングモジュール２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄに、相互接続ライン２４０を介した距離からのハウジング２５２から受けられる気化化学反応物質を供給することができる。図示したように、ハウジングモジュール２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄのそれぞれは、一つ以上の蒸着反応器２０６ａ、２０６ｂを含みうる。相互接続ライン２４０は、ハウジングモジュール２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄのうちの一つのみを接続して示されているが、ハウジングモジュール２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄの任意の組み合わせは、反応器ガスパネルを介して気化反応物質を受けてもよい。

遠隔固体原料反応物質送達システム２００は、上述の遠隔固体原料反応物質送達システム１００の一つ以上の特徴を含みうる。ただし、不必要な反復を避けるために、ここでは詳細を繰り返さない。例えば、バルク充填容器２０８、２１２は、上述のバルク充填容器１０８、１１２の一つ以上の特徴を含みうる。

図３は、いくつかの構成に従って、気化化学反応物質を蒸着反応器（例えば、蒸着反応器１０２、蒸着反応器２０２）に送達するための例示的な方法３００を示す。ブロック３０４で、方法３００は、固体原料化学反応物質を、それぞれの第一および第二のバルク充填容器（例えば、バルク充填容器１０８、１１２、バルク充填容器２０８、２１２）の第一および第二の容器本体（例えば、容器本体１１６、１２０）内に貯蔵することを含む。ブロック３０８で、方法３００は、第一および第二の容器本体のそれぞれを少なくとも最低容器温度まで加熱することを含む。最低容器温度は、バルク充填容器内で固体原料化学反応物質を気化化学反応物質に気化させるように構成される。上述のように、最低容器温度は、少なくとも部分的に、固体原料化学物質およびバルク充填容器内の圧力に基づいてもよい。ブロック３１２で、相互接続ライン（例えば、相互接続ライン１４０、相互接続ライン２４０）が加熱されてもよい。相互接続ラインは、蒸着反応器を第一および第二の容器本体のそれぞれと流体接続することができる。ブロック３１６で、方法３００は、相互接続ラインを介して、第一の容器本体から蒸着反応器に気化化学反応物質を移動させることを含みうる。一部の実施形態では、方法３００は、弁を第一の向きから第二の向きに切り替えることを含む。この切り替えによって、気化化学反応物質の流れ源を変えることができる。例えば、第一の向きでは、第一の容器本体は、蒸着反応器と流体連通してもよく、第二の向きでは、第二の容器本体は、蒸着反応器と流体連通してもよい。バルク充填容器のそれぞれは、化学反応物質を気化させるために、少なくとも最低容器温度まで加熱されてもよい。したがって、容器は、上述のホットスワップを実施するように構成されうる。容器コントローラ（例えば、容器コントローラ１６４）は、切り替えをもたらす、および／または蒸着反応器に移動する反応物質の連続的な流れを維持するように構成されうる。ブロック３２０で、気化化学反応物質は、相互接続ラインを介して、第二の容器本体から蒸着反応器に移動されてもよい。二つのバルク充填容器のこの切り替え可能性および／または使用は、一つの容器から蒸着反応器への気化化学反応物質の流れの中断を低減することを可能にし、したがって基材の堆積を改善し、および／またはスループットを改善しうる。

例示的な例
以下は、上述の実施形態の一連の非限定的な例である。

第１の例では、蒸着反応器用の遠隔固体原料反応物質送達システムは、蒸着反応器から遠隔にあり、かつその中に第一の固体原料化学反応物質を保持するように構成された第一のバルク充填容器であって、第一のバルク充填容器が、第一の容器本体から第一の気化化学反応物質を排出するように構成された第一の流体出口を含む、第一のバルク充填容器と、蒸着反応器から遠隔にあり、かつその中に第二の固体原料化学反応物質を保持するように構成された第二のバルク充填容器であって、第二のバルク充填容器が、第二の容器本体から第二の気化化学反応物質を排出するように構成された第二の流体出口を含む、第二のバルク充填容器と、蒸着反応器を第一および第二のバルク充填容器のそれぞれと流体接続する相互接続ラインであって、蒸着反応器が第一および第二のバルク充填容器の両方から少なくとも最小距離だけ分離される、相互接続ラインと、相互接続ラインの少なくとも一部分を少なくとも最低ライン温度まで加熱するように構成されたラインヒーターと、弁を備えるガスパネルであって、ガスパネルが、相互接続ラインと第一および第二のバルク充填容器のそれぞれとの間に配置され、弁が、第一の気化化学反応物質を第一の流体出口から、および第二の気化化学反応物質を第二の流体出口から、相互接続ラインを通して選択的に流すように構成されている、ガスパネルと、を備える。

第２の例では、弁が、相互接続ラインを通して、第一の気化化学反応物質または第二の気化化学反応物質のうちの少なくとも一つを蒸着反応器に連続的に流し、および／またはパルスで流すように構成される、例１に記載の送達システム。

第３の例では、最低ライン温度が約１４０℃～約１９０℃である、例２に記載の送達システム。

第４の例では、ラインヒーターが、相互接続ラインの一部分を少なくとも部分的に取り囲むように構成された加熱ジャケットを備える、例１～３のいずれかに記載の送達システム。

第５の例では、第一および第二のバルク充填容器のそれぞれが、それぞれの第一および第二のバルク充填容器の内部を少なくとも最低容器温度まで加熱するように構成された対応する容器ヒーターを備える、例１～４のいずれかに記載の送達システム。

第６の例では、最低容器温度が約１０５℃～約１５５℃である、例５に記載の送達システム。

第７の例では、相互接続ラインが、蒸着反応器を第一および第二のバルク充填容器のそれぞれと流体接続する、例１～６のいずれかに記載の送達システム。

第８の例では、第一および第二のバルク充填容器を含むハウジングをさらに備える、例１～７のいずれかに記載の送達システム。

第９の例では、第一および第二のバルク充填容器のそれぞれが、第一および第二の固体原料化学反応物質をそれぞれ少なくとも１５ｋｇ保持するよう構成される、例１～８のいずれかに記載の送達システム。

第１０の例では、相互接続ラインと流体連通する流量コントローラをさらに備え、流量コントローラが、相互接続ラインを通る気化化学反応物質の流束を変更するように構成される、例１～９のいずれかに記載の送達システム。

第１１の例では、第一のバルク充填容器内の固体原料化学反応物質の体積が最小閾値量を下回ることを示す信号を受信し、弁に対して、相互接続ラインを通した第一の気化化学反応物質の流れを停止し、相互接続ラインを通した第二の化学反応物質の流れを開始するように命令するように構成される、容器コントローラをさらに備える、例１～１０のいずれかに記載の送達システム。

第１２の例では、第一および第二の流体出口のそれぞれが、それを通るガスの流れを制御するように構成された対応する弁を備える、例１～１１のいずれかに記載の送達システム。

第１３の例では、最小距離が約１５ｍである、例１～１２のいずれかに記載の送達システム。

第１４の例では、送達システムであって、複数のバルク充填容器であって、それぞれ、第一の固体原料化学反応物質をその中に保持するように構成された容器本体と、第一の気化化学反応物質を第一の容器本体から排出するように構成された第一の流体出口を含む蓋と、容器本体の内部を、約１０５℃～約１５５℃の少なくとも容器温度まで加熱するように構成された容器ヒーターと、を備える複数のバルク充填容器と、蒸着反応器をバルク充填容器のそれぞれと流体接続する相互接続ラインであって、蒸着反応器が、少なくとも、少なくとも５ｍの最小距離だけ、バルク充填容器のそれぞれから分離する、相互接続ラインと、相互接続ラインのうちの少なくとも一部分を、およそ約１４０℃～約１９０℃の間の少なくともライン温度まで加熱するように構成されたラインヒーターと、を備える、送達システム。

第１５の例では、第二のバルク充填容器をさらに備え、当該第二のバルク充填容器が、第二の固体原料化学反応物質をその中に保持するように構成された第二の容器本体と、第二の気化化学反応物質を第二の容器本体から排出するように構成された第二の流体出口を含む第二の蓋と、を備える、例１４に記載の送達システム。

第１６の例では、相互接続ラインと第一および第二のバルク充填容器のそれぞれとの間に配置される弁を備える第二のバルク充填容器をさらに備え、弁が、第一の気化化学反応物質および第二の気化化学反応物質を相互接続ラインを通して選択的に流すように構成された、例１４～１５のいずれかに記載の送達システム。

第１７の例では、気化化学反応物質を蒸着反応器に送達するための方法であって、方法が、固体原料化学反応物質を、それぞれの第一および第二のバルク充填容器の第一および第二の容器本体内に貯蔵することと、第一および第二の容器本体のそれぞれを、固体原料化学反応物質が気化される少なくとも最低容器温度まで加熱することと、相互接続ラインを少なくとも最低ライン温度まで流体的に加熱することであって、相互接続ラインが蒸着反応器を第一および第二の容器本体のそれぞれと接続する、加熱することと、相互接続ラインを介して、第一の容器本体から蒸着反応器に気化化学反応物質を移動させることと、相互接続ラインを介して、第二の容器本体から蒸着反応器に気化化学反応物質を移動させることと、を含む、方法。

第１８の例では、弁を第一の向きから第二の向きに切り替えることをさらに含み、第一の向きでは第一の容器本体が蒸着反応器と流体連通し、第二の向きでは第二の容器本体が蒸着反応器と流体連通する、例１７に記載の方法。

第１９の例では、最低容器温度が約１０５℃～約１５５℃である、例１７～１８のいずれかに記載の方法。

第２０の例では、最低ライン温度が約１４０℃～約１９０℃である、例１７～１９のいずれかに記載の方法。

他の考察
前述の明細書では、その特定の実施形態を参照して本発明を説明した。しかし、本発明のより広い趣旨および範囲から逸脱することなく、様々な修正および変更がそれになされることができることは明らかであろう。したがって、明細書と図面は、制限的な意味ではなく、例示的な意味でみなされるべきである。

実際、本開示のシステムおよび方法はそれぞれいくつかの革新的な態様を有し、そのうちの単一の態様が本明細書に開示された望ましい属性に対して単独で責任を負うまたは必要とされるものではないことが理解されよう。本明細書に記載の様々な特徴およびプロセスは、互いに独立して使用されることができ、または様々な方法で組み合わされることができる。全ての可能な組み合わせおよび部分的組み合わせは、本開示の範囲内に含まれることが意図される。

別々の実施形態に関連して本明細書に記載されている特定の特徴はまた、単一の実施形態に組み合わせて実施されてもよい。逆に、単一の実施形態に関連して説明される様々な特徴も、別々に、または任意の好適な部分的組合せで複数の実施形態で実施されてもよい。更に、特徴は特定の組み合わせで機能するものとして本明細書で説明され、最初はそのように特許請求される場合があるが、特許請求される組み合わせからの一つ以上の特徴は、場合により組み合わせから削除されることができ、特許請求される組み合わせは、部分的組合せまたは部分的組み合わせの変形を対象としてもよい。単一の特徴も特徴の群も、あらゆる実施形態に必要でも不可欠でもない。

本明細書で使用される条件付き言語、例えば特に「できる（ｃａｎ）」、「できるであろう（ｃｏｕｌｄ）」、「かもしれない（ｍｉｇｈｔ）」、「してもよい（ｍａｙ）」、「例えば」などは、特に別途記載のない限り、または使用中の文脈内で別途理解されている場合を除き、特定の実施形態は特定の特徴、要素および／または工程を含むが、他の実施形態は含まないことを伝えることを一般的に意図していることが理解されよう。したがって、このような条件付き言語は、特徴、要素、および／もしくは工程が一つ以上の実施形態になんらかの形で必要とされること、または一つ以上の実施形態は、著者の入力もしくは指示の有無にかかわらず、これらの特徴、要素および／もしくは工程が任意の特定の実施形態に含まれるか実行されるかを決定するためのロジックを必ず含むことを示唆することを一般的に意図していない。用語「備える」、「含む」、「有する」などは同義語であり、包括的に、オープンエンド様式で使用され、追加の要素、特徴、動作、操作などを除外しない。また、用語「または」は包括的な意味で使用され（および排他的な意味で使用されない）ため、例えば要素のリストを連結するために使用される場合、用語「または」はリスト内の要素の一つ、いくつか、または全てを意味する。更に、本出願および添付の特許請求の範囲で使用される冠詞「ａ」、「ａｎ」、および「ｔｈｅ」は、特に別途明記しない限り、「一つ以上」または「少なくとも一つ」を意味すると解釈されるべきである。同様に、操作は特定の順序で図面に描かれてもよいが、このような操作は、望ましい結果を達成するために、示される特定の順序もしくは逐次的な順序で実行される必要はなく、例示されるすべての操作が実行される必要もないことを認識されるべきである。更に、図面は、フローチャートの形式でもう一つの例示的なプロセスを概略的に示すことができる。しかし、図示されていない他の操作は、概略的に例示されている例示的な方法およびプロセスに組み込まれてもよい。例えば、一つ以上の追加の操作が、例示される操作のいずれかの前、後、同時、または間に実行されてもよい。更に、他の実施形態では、操作を再編成または並べ替えることができる。特定の状況では、マルチタスクと並列処理が有利な場合がある。更に、本明細書に記載した実施形態における様々なシステムの構成要素の分離は、全ての実施形態においてこのような分離を必要とするものとして理解されるべきではなく、記載された構成要素およびシステムは、一般的に、単一の製品に一緒に統合されるか、または複数の製品にパッケージ化されてもよいことは言うまでもない。更に、他の実施形態は、以下の特許請求の範囲内にある。場合によっては、特許請求の範囲に記載されている行為を異なる順序で実行してもよく、依然として望ましい結果を達成する。

したがって、特許請求の範囲は、本明細書に示される実施形態に限定されることを意図されるものではなく、本開示、本明細書に開示される原理および特徴と一致する最も広い範囲に一致する。例えば、本開示内の多くの例は、半導体製造のための堆積チャンバーに供給するための固体原料から蒸気を供給することに関して提供されているが、本明細書で説明される特定の実施形態は、多種多様な他の用途および／または多数の他の状況で実施されることができる。

Claims (20)

1. 蒸着反応器用の遠隔固体原料反応物質送達システムであって、前記送達システムが、
   前記蒸着反応器から遠隔にあり、かつその中に第一の固体原料化学反応物質を保持するように構成された第一のバルク充填容器であって、前記第一のバルク充填容器が、第一の容器本体から第一の気化化学反応物質を排出するように構成された第一の流体出口を含む、第一のバルク充填容器と、
   前記蒸着反応器から遠隔にあり、かつその中に第二の固体原料化学反応物質を保持するように構成された第二のバルク充填容器であって、前記第二のバルク充填容器が、第二の容器本体から第二の気化化学反応物質を排出するように構成された第二の流体出口を含む、第二のバルク充填容器と、
   前記蒸着反応器を前記第一および第二のバルク充填容器のそれぞれと流体接続する相互接続ラインであって、前記蒸着反応器が前記第一および第二のバルク充填容器の両方から少なくとも最小距離だけ分離される、相互接続ラインと、
   前記相互接続ラインの少なくとも一部分を少なくとも最低ライン温度まで加熱するように構成されたラインヒーターと、
   弁を備えるガスパネルであって、前記ガスパネルが、前記相互接続ラインと前記第一および第二のバルク充填容器のそれぞれとの間に配置され、前記弁が、前記第一の気化化学反応物質を前記第一の流体出口から、および前記第二の気化化学反応物質を前記第二の流体出口から、前記相互接続ラインを通して選択的に流すように構成されている、ガスパネルと、を備える、遠隔固体原料反応物質送達システム。
2. 前記弁が、前記相互接続ラインを通して、前記第一の気化化学反応物質または前記第二の気化化学反応物質のうちの少なくとも一つを前記蒸着反応器に連続的に流し、および／またはパルスで流すように構成される、請求項１に記載の送達システム。
3. 前記最低ライン温度が約１４０℃～約１９０℃である、請求項２に記載の送達システム。
4. 前記ラインヒーターが、前記相互接続ラインの前記一部分を少なくとも部分的に取り囲むように構成された加熱ジャケットを備える、請求項１に記載の送達システム。
5. 前記第一および第二のバルク充填容器のそれぞれが、それぞれの前記第一および第二のバルク充填容器の内部を少なくとも最低容器温度まで加熱するように構成された対応する容器ヒーターを備える、請求項１に記載の送達システム。
6. 前記最低容器温度が約１０５℃～約１５５℃である、請求項５に記載の送達システム。
7. 前記相互接続ラインが、前記蒸着反応器を前記第一および第二のバルク充填容器のそれぞれと流体接続する、請求項１に記載の送達システム。
8. 前記第一および第二のバルク充填容器を含むハウジングをさらに備える、請求項１に記載の送達システム。
9. 前記第一および第二のバルク充填容器のそれぞれが、前記第一および第二の固体原料化学反応物質をそれぞれ少なくとも１５ｋｇ保持するよう構成される、請求項１に記載の送達システム。
10. 前記相互接続ラインと流体連通する流量コントローラをさらに備え、前記流量コントローラが、前記相互接続ラインを通る気化化学反応物質の流束を変更するように構成される、請求項１に記載の送達システム。
11. 前記第一のバルク充填容器内の固体原料化学反応物質の体積が最小閾値量を下回ることを示す信号を受信し、
    前記弁に対して、前記相互接続ラインを通した前記第一の気化化学反応物質の流れを停止し、前記相互接続ラインを通した前記第二の化学反応物質の流れを開始するように命令するように構成される、容器コントローラをさらに備える、請求項１に記載の送達システム。
12. 前記第一および第二の流体出口のそれぞれが、それを通るガスの流れを制御するように構成された対応する弁を備える、請求項１に記載の送達システム。
13. 前記最小距離が約１５ｍである、請求項１に記載の送達システム。
14. 送達システムであって、
    複数のバルク充填容器であって、それぞれ、
    第一の固体原料化学反応物質をその中に保持するように構成された容器本体と、
    第一の気化化学反応物質を前記第一の容器本体から排出するように構成された第一の流体出口を含む蓋と、
    前記容器本体の内部を、約１０５℃～約１５５℃の少なくとも容器温度まで加熱するように構成された容器ヒーターと、を備える複数のバルク充填容器と、
    蒸着反応器を前記バルク充填容器のそれぞれと流体接続する相互接続ラインであって、前記蒸着反応器が、少なくとも、少なくとも５ｍの最小距離だけ、前記バルク充填容器のそれぞれから分離する、相互接続ラインと、
    前記相互接続ラインのうちの少なくとも一部分を、およそ約１４０℃～約１９０℃の間の少なくともライン温度まで加熱するように構成されたラインヒーターと、を備える、送達システム。
15. 第二のバルク充填容器をさらに備え、前記第二のバルク充填容器が、
    第二の固体原料化学反応物質をその中に保持するように構成された第二の容器本体と、
    第二の気化化学反応物質を前記第二の容器本体から排出するように構成された第二の流体出口を含む第二の蓋と、を備える、請求項１４に記載の送達システム。
16. 前記相互接続ラインと第一および第二の前記バルク充填容器のそれぞれとの間に配置される弁を備える第二のバルク充填容器をさらに備え、前記弁が、前記第一の記気化化学反応物質および第二の気化化学反応物質を前記相互接続ラインを通して選択的に流すように構成された、請求項１４に記載の送達システム。
17. 気化化学反応物質を蒸着反応器に送達するための方法であって、前記方法が、
    固体原料化学反応物質を、それぞれの第一および第二のバルク充填容器の第一および第二の容器本体内に貯蔵することと、
    前記第一および第二の容器本体のそれぞれを、前記固体原料化学反応物質が気化される少なくとも最低容器温度まで加熱することと、
    相互接続ラインを少なくとも最低ライン温度まで流体的に加熱することであって、前記相互接続ラインが前記蒸着反応器を前記第一および第二の容器本体のそれぞれと接続する、加熱することと、
    前記相互接続ラインを介して、前記第一の容器本体から前記蒸着反応器に気化化学反応物質を移動させることと、
    前記相互接続ラインを介して、前記第二の容器本体から前記蒸着反応器に気化化学反応物質を移動させることと、を含む、方法。
18. 弁を第一の向きから第二の向きに切り替えることをさらに含み、前記第一の向きでは前記第一の容器本体が前記蒸着反応器と流体連通し、前記第二の向きでは前記第二の容器本体が前記蒸着反応器と流体連通する、請求項１７に記載の方法。
19. 前記最低容器温度が約１０５℃～約１５５℃である、請求項１７に記載の方法。
20. 前記最低ライン温度が約１４０℃～約１９０℃である、請求項１７に記載の方法。

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