KR20240047912A - 광학 소자 구동 장치, 카메라 모듈, 카메라 탑재 장치 및 구동 방법 - Google Patents

광학 소자 구동 장치, 카메라 모듈, 카메라 탑재 장치 및 구동 방법 Download PDF

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미쓰미덴기가부시기가이샤
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Abstract

압전 소자에 인가하는 구동 신호의 구동 주파수를 분위기 온도에 따라 적절히 보정하여, 원하는 구동 제어를 행할 수 있는 광학 소자 구동 장치, 카메라 모듈, 카메라 탑재 장치 및 구동 방법을 제공한다.
광학 소자 구동 장치는, 고정체와, 가동체와, 압전 소자의 진동 운동을 직선 운동으로 변환하여 가동체를 구동하는 구동부와, 구동 신호를 구동부에 인가하는 구동 제어부와, 구동부의 구동 상태를 검출하는 구동 검출부와, 분위기 온도를 측정하는 온도 측정부를 구비한다. 구동 제어부는, 구동 검출부에 의하여 검출된 정보로부터 구동부의 구동 에러의 유무를 판단하여, 구동 에러인 경우에, 현재의 구동 주파수에 대응지어져 있는 분위기 온도와, 온도 측정부에 의하여 측정된 현재의 분위기 온도를 비교하여, 비교 결과에 따라 구동 주파수를 보정함과 함께, 당해 보정 후의 구동 주파수와 현재의 분위기 온도를 대응지어 기억한다.

Description

광학 소자 구동 장치, 카메라 모듈, 카메라 탑재 장치 및 구동 방법{OPTICAL ELEMENT DRIVING DEVICE, CAMERA MODULE, CAMERA-MOUNTED DEVICE, AND DRIVING METHOD}
본 발명은, 광학 소자 구동 장치, 카메라 모듈, 카메라 탑재 장치 및 구동 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 스마트폰이나 드론 등의 카메라 탑재 장치에는, 소형의 카메라 모듈이 탑재되어 있다. 드론이란, 원격 조작 또는 자동 제어에 의하여 비행시킬 수 있는 무인 항공기이며, 멀티콥터라고 불리는 것도 있다.
카메라 모듈에는, 렌즈 등의 광학 소자를 구동하는 광학 소자 구동 장치가 사용된다. 광학 소자 구동 장치는, 예를 들면, 광학 소자(예를 들면, 렌즈)를 광축 방향으로 이동시켜, 피사체를 촬영할 때의 초점 맞춤을 자동적으로 행하는 오토 포커스 기능(이하, 「AF 기능」이라고 칭한다, AF: Auto Focus)을 갖는다. AF 기능을 실현하는 구동부로서는, 예를 들면, 압전 소자(피에조 소자)를 갖는 초음파 모터형의 액추에이터가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
그런데, 압전 소자의 공진 주파수는, 온도에 의존하여 변화하는 것이 알려져 있다. 특허문헌 1에 기재된 구동 방법에서는, 현재의 분위기 온도에 근거하여 구동 주파수가 보정되고, 보정된 구동 주파수를 갖는 구동 신호가 압전 소자에 인가되도록 되어 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공보 제5233922호
그러나, 압전 소자의 공진 주파수의 온도 의존성에는 개체차가 있기 때문에, 특허문헌 1과 같이, 구동 주파수와 분위기 온도가 미리 대응지어진 관계를 모든 액추에이터에 대하여 적용한 경우, 구동 주파수가 적절히 보정된다고는 할 수 없어, 원하는 구동 제어가 행해지지 않을 우려가 있다.
본 발명의 목적은, 압전 소자에 인가하는 구동 신호의 구동 주파수를 분위기 온도에 따라 적절히 보정하여, 원하는 구동 제어를 행할 수 있는 광학 소자 구동 장치, 카메라 모듈, 카메라 탑재 장치 및 구동 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명에 관한 광학 소자 구동 장치는,
고정체와,
광학 소자를 지지하고, 상기 고정체에 대하여 이동 가능하게 배치되는 가동체와,
압전 소자를 가지며, 상기 압전 소자의 진동 운동을 직선 운동으로 변환하여 상기 가동체를 구동하는 구동부와,
소정의 구동 주파수를 갖는 구동 신호를 상기 구동부에 인가하는 구동 제어부와,
상기 구동부의 구동 상태를 검출하는 구동 검출부와,
상기 구동부의 분위기 온도를 측정하는 온도 측정부를 구비하고,
상기 구동 제어부는,
복수의 구동 주파수와 분위기 온도를 대응지어 기억 가능하며,
상기 구동 검출부에 의하여 검출된 정보로부터 상기 구동부의 구동 에러의 유무를 판단하여,
상기 구동 에러인 경우에, 현재의 구동 주파수에 대응지어져 있는 분위기 온도와, 상기 온도 측정부에 의하여 측정된 현재의 분위기 온도를 비교하여,
비교 결과에 따라 상기 구동 주파수를 보정함과 함께, 당해 보정 후의 구동 주파수와 현재의 상기 분위기 온도를 대응지어 기억한다.
본 발명에 관한 카메라 모듈은,
상기의 광학 소자 구동 장치와,
상기 광학 소자를 이용하여 피사체상을 촬상하는 촬상부를 구비한다.
본 발명에 관한 카메라 탑재 장치는,
정보 기기 또는 수송 기기인 카메라 탑재 장치로서,
상기의 카메라 모듈을 구비한다.
본 발명에 관한 구동 방법은,
고정체와, 상기 고정체에 대하여 이동 가능하게 배치되는 가동체와, 압전 소자를 갖고 상기 압전 소자의 진동 운동을 직선 운동으로 변환하여 상기 가동체를 구동하는 구동부를 구비하는 광학 소자 구동 장치의 구동 방법으로서,
소정의 구동 주파수를 갖는 구동 신호를 상기 구동부에 인가하는 공정과,
상기 구동부의 구동 상태를 검출하는 공정과,
상기 구동부의 분위기 온도를 측정하는 공정과,
검출된 상기 구동 상태로부터 상기 구동부의 구동 에러의 유무를 판정하는 공정과,
상기 구동 에러인 경우에, 현재의 구동 주파수에 대응지어져 있는 분위기 온도와, 측정된 현재의 분위기 온도를 비교하는 공정과,
비교 결과에 따라 상기 구동 주파수를 보정하는 공정과,
당해 보정 후의 구동 주파수와 현재의 상기 분위기 온도를 대응지어 기억하는 공정을 포함한다.
본 발명에 의하면, 압전 소자에 인가하는 구동 신호의 구동 주파수가 분위기 온도에 따라 적절히 보정되어, 원하는 구동 제어를 행할 수 있다.
도 1a, 도 1b는, 본 발명의 일 실시형태에 관한 카메라 모듈을 탑재하는 스마트폰을 나타내는 도이다.
도 2는, 카메라 모듈의 외관 사시도이다.
도 3은, 광학 소자 구동 장치의 외관 사시도이다.
도 4는, 광학 소자 구동 장치에 있어서의 AF 기능을 나타내는 블록도이다.
도 5는, 광학 소자 구동 장치에 있어서의 구동 제어 처리의 일례를 나타내는 플로차트이다.
도 6a~도 6e는, 주파수 테이블의 일례를 나타내는 도이다.
도 7a, 도 7b는, 차재용 카메라 모듈을 탑재하는 카메라 탑재 장치로서의 자동차를 나타내는 도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 상세하게 설명한다.
<스마트폰>
도 1a, 도 1b는, 본 발명의 일 실시형태에 관한 카메라 모듈(A)을 탑재하는 스마트폰(M)(카메라 탑재 장치의 일례)을 나타내는 도이다. 도 1a는 스마트폰(M)의 정면도이며, 도 1b는 스마트폰(M)의 배면도이다.
스마트폰(M)은, 2개의 배면 카메라(OC1, OC2)로 이루어지는 듀얼 카메라를 갖는다. 본 실시형태에서는, 배면 카메라(OC1, OC2)에, 카메라 모듈(A)이 적용되어 있다.
<카메라 모듈>
도 2는, 카메라 모듈(A)의 외관 사시도이다. 본 실시형태에서는, 직교 좌표계(X, Y, Z)를 사용하여 설명한다. 후술하는 도면에 있어서도 공통의 직교 좌표계(X, Y, Z)로 나타내고 있다.
카메라 모듈(A)은, 예를 들면, 스마트폰(M)으로 실제로 촬영이 행해지는 경우에, X축 방향이 상하 방향(또는 좌우 방향), Y축 방향이 좌우 방향(또는 상하 방향), Z축 방향이 전후 방향이 되도록 탑재된다. 즉, Z축 방향이 광축 방향이며, 도면 중 상측(+Z측)이 광축 방향 수광 측, 하측(-Z측)이 광축 방향 결상 측이다. 또, Z축에 직교하는 X축 방향 및 Y축 방향을 「광축 직교 방향」이라고 칭하고, XY면을 「광축 직교면」이라고 칭한다. 또한, 광축 방향은, 광학 소자의 종류에 따라, 광로 방향 또는 초점 방향(초점을 조정하는 방향)이라고 바꾸어 말해도 된다.
카메라 모듈(A)은, AF 기능을 구비하고, 피사체를 촬영할 때의 초점 맞춤을 자동적으로 행할 수 있다. 또한, 카메라 모듈(A)은, 흔들림 보정 기능(이하 「OIS 기능」이라고 칭한다, OIS: Optical Image Stabilization)을 구비하고 있어도 된다. 이 경우, 카메라 모듈(A)은, OIS 기능에 의하여, 촬영 시에 발생하는 흔들림(진동)을 광학적으로 보정하여, 상 흔들림이 없는 화상을 촬영할 수 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 카메라 모듈(A)은, AF 기능을 실현하는 광학 소자 구동 장치(1), 원통 형상의 렌즈 배럴에 렌즈가 수용되어 이루어지는 렌즈부(2) 및 렌즈부(2)에 의하여 결상된 피사체상을 촬상하는 촬상부(3) 등을 구비한다. 즉, 광학 소자 구동 장치(1)는, 광학 소자로서 렌즈부(2)를 구동하는, 이른바 렌즈 구동 장치이다.
본 실시형태의 광학 소자 구동 장치(1)는, 상술한 카메라 모듈(A) 등에 탑재하는 것을 고려하여 설계되어 있고, Z축 방향에 있어서의 길이가, X축 방향 및 Y축 방향에 있어서의 길이보다 짧은 구성, 즉, Z축 방향을 따른 높이를 저배화(低背化)한 구성이다.
촬상부(3)는, 광학 소자 구동 장치(1)의 Z축 방향에 있어서의 결상 측에 배치된다. 촬상부(3)는, 예를 들면, 이미지 센서 기판(301), 이미지 센서 기판(301)에 실장되는 촬상 소자(302) 및 모듈 제어부(303)를 갖는다.
이미지 센서 기판(301)은, 예를 들면, 플렉시블 프린트 회로 기판(FPC; Flexible printed circuits)이며, 촬상 소자(302)로 얻어진 촬상 신호를 스마트폰(M)의 제어 장치(도시 생략)에 송신 가능하게 구성된다. 스마트폰(M)의 제어 장치는, 수신한 촬상 신호를 처리하는 화상 처리부(도시 생략)를 포함한다.
촬상 소자(302)는, 예를 들면, CCD(charge-coupled device)형 이미지 센서, CMOS(complementary metal oxide semiconductor)형 이미지 센서 등에 의하여 구성되고, 렌즈부(2)에 의하여 결상된 피사체상을 촬상한다.
모듈 제어부(303)는, 예를 들면, 제어 IC로 구성되고, 광학 소자 구동 장치(1)의 구동 제어를 행한다. 광학 소자 구동 장치(1)는, 이미지 센서 기판(301)에 탑재되며, 기계적이고 또한 전기적으로 접속된다. 모듈 제어부(303)는, 이미지 센서 기판(301)에 마련되어도 되고, 카메라 모듈(A)이 탑재되는 카메라 탑재 기기(본 실시형태에서는, 스마트폰(M))에 마련되어도 된다.
<광학 소자 구동 장치>
도 3은, 광학 소자 구동 장치(1)의 외관 사시도이다. 도 3에서는, 커버(13)를 제거한 상태를 나타내고 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 광학 소자 구동 장치(1)는, 렌즈 홀더(11), 베이스(12), 커버(13), 지지부(30A~30C), 구동부(40A, 40B), 및 회로 기판부(50) 등을 구비한다.
커버(13)는, 광학 소자 구동 장치(1)의 외장체이며, 구동 장치 본체(부호 생략)의 외측을 덮는다. 커버(13)는, Z축 방향에서 본 평면시에서 대략 직사각형상의 덮개가 있는 사각 통체이다. 커버(13)의 평면시 형상은, 예를 들면, 정사각형상이다. 즉, 광학 소자 구동 장치(1)는, Z축 방향에서 본 평면시에 있어서, X축 방향 및 Y축 방향으로 퍼지는 직사각형 형상을 갖고 있다. 이하의 설명에 있어서, 「평면시」란 Z축 방향에서 본 평면시를 의미한다.
커버(13)는, 광축 방향 수광 측의 면(상면)에 대략 원형의 개구(131)를 갖는다. 렌즈부(2)(도 2 참조)는, 커버(13)의 개구(131)로부터 외부에 면한다. 렌즈부(2)는, 커버(13)의 개구면보다 Z축 방향에 있어서의 수광 측으로 돌출되도록 배치되어도 된다. 커버(13)는, 예를 들면, 광학 소자 구동 장치(1)의 베이스(12)에 접착에 의하여 고정된다.
또한, 커버(13)는, 예를 들면, 자성 재료로 형성되고, 외부로부터의 전자파의 입사 또는 외부로의 전자파의 방사를 차단하는 실드 기능을 갖고 있어도 된다.
렌즈 홀더(11)는, 렌즈부(2)(도 2 참조)를 지지하고, 초점 맞춤 시에 Z축 방향으로 이동하는 가동체이다. 렌즈 홀더(11)는, 베이스(12)에 대하여 직경 방향에 있어서의 내측으로 이간하여 배치되고, 지지부(30A~30C)를 개재하여 베이스(12)에 부세된 상태로 지지된다.
렌즈 홀더(11)는, 예를 들면, 폴리아릴레이트(PAR), PAR을 포함하는 복수의 수지 재료를 혼합한 PAR 알로이, 액정 폴리머 등으로 형성된다. 렌즈 홀더(11)는, 통형상의 렌즈 수용부(111)를 갖는다. 렌즈 수용부(111)의 내주면에는, 렌즈부(2)(도 2 참조)가, 예를 들면, 접착에 의하여 고정된다.
렌즈 홀더(11)는, 렌즈 수용부(111)의 외주면에, 구동부(40A, 40B)의 동력이 전달되는 동력 전달부(112A, 112B)를 갖는다. 동력 전달부(112A, 112B)는, 예를 들면, 광축에 관하여 대칭인 위치에 배치된다. 동력 전달부(112A, 112B)는, 렌즈 홀더(11)에 일체적으로 성형되어도 되고, 렌즈 홀더(11)와는 다른 재료로 성형되어 렌즈 홀더(11)에 고정되어도 된다.
렌즈 홀더(11)는, 렌즈 수용부(111)의 외주면에, 지지부(30A~30C)를 지지하는 홀더 측 볼 지지부(부호 생략)를 갖는다. 홀더 측 볼 지지부는, 예를 들면, 광축에 관하여 회전 대칭인 위치(예를 들면, 120° 회전 대칭)에 배치된다.
베이스(12)는, 지지부(30A~30C)를 개재하여, 렌즈 홀더(11)를 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 고정체이다. 베이스(12)는, 예를 들면, Z축 방향에서 본 평면시에서 대략 직사각형상의 사각 통형상을 갖는다.
베이스(12)는, 예를 들면, 폴리아릴레이트(PAR), PAR을 포함하는 복수의 수지 재료를 혼합한 PAR 알로이(예를 들면, PAR/PC), 또는 액정 폴리머로 이루어지는 성형 재료로 형성된다. 베이스(12)는, 평면시에서 대략 직사각형상의 부재이며, 중앙에 원형의 개구(도시 생략)를 갖는다.
베이스(12)는, 측면에, 구동부(40A, 40B)가 배치되는 모터 고정부(부호 생략)를 갖는다. 모터 고정부는, 구동부(40A, 40B)를 지지 가능한 형상을 갖고 있다. 또, 베이스(12)는, 렌즈 홀더(11)의 홀더 측 볼 지지부와 직경 방향에 있어서 대향하는 위치에, 베이스 측 볼 지지부(부호 생략)를 갖는다. 베이스 측 볼 지지부 중 하나(예를 들면, 직사각형의 정점(頂点)에 위치하는 4개의 모퉁이부 중 하나에 형성된 볼 지지부)에는, 렌즈 홀더(11)를 부세하기 위한 부세 부재(도시 생략)가 배치된다.
지지부(30A~30C)는, 베이스(12)에 대하여, 렌즈 홀더(11)를 직경 방향으로 이간한 상태로 지지한다. 지지부(30A~30C)는, 각각, 복수 개(예를 들면, 2개)의 볼로 구성된다. 각각의 볼은, 베이스(12)의 베이스 측 볼 지지부와 렌즈 홀더(11)의 홀더 측 볼 지지부에 의하여, 다점 접촉으로 협지된다.
또한, 둘레 방향에 있어서의 지지부의 배치수 및 각각의 지지부를 구성하는 볼의 수는, 특별히 한정되지 않고, 적절히 변경 가능하다.
구동부(40A, 40B)는, 베이스(12)에 대하여, 렌즈 홀더(11)를 Z축 방향으로 구동하는, 초음파 모터형의 액추에이터이다. 구동부(40A, 40B)는, 능동 측 부재인 베이스(12)의 모터 고정부에 배치되고, 동력 전달부(112A, 112B)를 개재하여, 수동 측 부재인 렌즈 홀더(11)와 연결된다.
구동부(40A, 40B)는, 예를 들면, 광축에 관하여 점대칭인 위치에 배치된다. 본 실시형태에서는, 구동부(40A, 40B)는, 지지부(30A)가 배치된 모퉁이부를 제외한 3개의 모퉁이부 중, 대각 위치가 되는 2개의 모퉁이부(지지부(30B, 30C)의 근방의 모퉁이부)에 배치되어 있다. 이와 같이 배치함으로써, 렌즈 홀더(11)를 안정적으로 구동할 수 있어, 렌즈부(2)(도 2 참조) 등의 광학 소자의 중량이 증가하는 경우에도 대응할 수 있다.
구동부(40A, 40B)는, 각각, 공진 부재(41) 및 압전 소자(42)를 갖는다.
압전 소자(42)는, 예를 들면, 세라믹 재료로 형성된 판상 소자이며, 고주파 전압을 인가함으로써 진동을 발생한다. 공진 부재(41)의 몸체부(부호 생략)를 사이에 두도록, 2매의 압전 소자(42)가 배치된다.
공진 부재(41)는, 도전성 재료로 형성되고, 압전 소자(42)의 진동을 받아 공진한다. 공진 부재(41)는, 소정의 도전성, 전단 강도, 경도, 비중, 영률 등을 갖는 금속이면 되고, 예를 들면, 스테인리스강이 적합하다. 공진 부재(41)는, 예를 들면, 금속판의 레이저 가공, 에칭 가공 또는 프레스 가공 등에 의하여 형성된다.
공진 부재(41) 및 압전 소자(42)는, 전원선으로서 기능하는 전극(도시 생략)과 전기적으로 접속된다. 전극은, 회로 기판부(50)에 마련된 배선(도시 생략)과 전기적으로 접속된다.
공진 부재(41)는, 예를 들면, 압전 소자(42)에 협지되는 대략 직사각형상의 몸체부(부호 생략) 및 몸체부로부터 Z축 방향으로 뻗어 있는 2개의 암(부호 생략)을 갖는 구성이다. 2개의 암은 대략 대칭적인 형상을 갖고, 각각의 자유단부(自由端部)가 동력 전달부(112A, 112B)에 맞닿아, 압전 소자(42)의 진동에 공진하여 대칭적으로 변형된다.
본 실시형태에서는, 2개의 암의 자유단부에 의하여, 동력 전달부(112A, 112B)가 부세된 상태로 협지된다. 공진 부재(41)와 동력 전달부(112A, 112B)가 맞닿은 상태로 공진 부재(41)가 공진함으로써, 압전 소자(42)의 진동 운동이 동력 전달부(112A, 112B)의 직선 운동으로 변환된다. 즉, 공진 부재(41)가 직선 방향의 구동력을 발생하는 능동 요소이며, 동력 전달부(112A, 112B)가 구동력을 받아 이동하는 수동 요소이다.
공진 부재(41)는, 적어도 2개의 공진 주파수를 갖고, 각각의 공진 주파수에 대하여, 상이한 거동으로 변형된다. 바꾸어 말하면, 공진 부재(41)는, 2개의 공진 주파수에 대하여 상이한 거동으로 변형되도록, 전체의 형상이 설정되어 있다.
여기에서, 상이한 거동이란, 동력 전달부(112A, 112B)를 광축 방향 수광 측으로 이동(전진)시키는 거동과, 광축 방향 결상 측으로 이동(후퇴)시키는 거동이다. 즉, 공진 부재(41)를 소정의 공진 주파수로 진동시킴으로써, 동력 전달부(112A, 112B)를 Z축 방향으로 전진 또는 후퇴시킬 수 있다.
광학 소자 구동 장치(1)에 있어서, 구동부(40A, 40B)에 전압을 인가하면, 압전 소자(42)가 진동하고, 공진 부재(41)가 주파수에 따른 거동으로 변형된다. 구동부(40A, 40B)의 구동력에 의하여, 동력 전달부(112A, 112B)가 Z축 방향으로 슬라이드된다. 이에 따라, 렌즈 홀더(11)가 Z축 방향으로 이동하고, 초점 맞춤이 행해진다.
회로 기판부(50)는, 플렉시블 프린트 회로 기판(51)(이하, 「FPC(51)」라고 칭한다, FPC: Flexible Printed Circuit), 드라이버 IC(52), 위치 검출 센서(53) 및 온도 센서(54) 등을 갖는다. 본 실시형태에서는, 회로 기판부(50)는, 베이스(12)의 측면을 따라, 대략 일주(一周)하도록 배치되어 있다.
FPC(51)는, 드라이버 IC(52), 위치 검출 센서(53) 및 온도 센서(54)가 실장되는 회로 기판이다. FPC(51)는, 예를 들면, 수지 필름 등의 얇은 절연층과 구리박 등의 금속층이 적층되어 형성된다. 금속층에 의하여, 신호선이나 전원선 등의 회로 배선이 형성된다.
FPC(51)의 회로 배선에는, 구동부(40A, 40B), 드라이버 IC(52), 위치 검출 센서(53), 및 온도 센서(54) 등이 전기적으로 접속된다. 또, 광학 소자 구동 장치(1)를 카메라 모듈(A)에 도입한 경우에, FPC(51)의 회로 배선은, 이미지 센서 기판(301)의 배선과 전기적으로 접속된다.
드라이버 IC(52)는, 구동부(40A, 40B)의 구동 제어를 행하는 하드웨어 프로세서이다. 드라이버 IC(52)는, 예를 들면, 연산/제어 장치로서의 CPU(Central Processing Unit)(521), 주기억장치로서의 ROM(Read Only Memory)(522) 및 RAM(Random Access Memory)(523) 등을 갖는다(도 4 참조).
ROM(522)에는, 기본 프로그램이나 기본적인 설정 데이터가 기억된다. 또, ROM(522)에는, 구동 제어 처리를 실현하기 위한 프로그램이 기억된다. CPU(521)는, ROM(522)으로부터 처리 내용에 따른 프로그램을 독출하여 RAM(523)에 전개하고, 전개한 프로그램을 실행함으로써, 구동부(40A, 40B)의 동작을 제어한다.
또한, 본 실시형태에서는, ROM(522)에는, 구동부(40A, 40B)의 구동 주파수와 분위기 온도의 관계를 나타내는 주파수 테이블의 초깃값(도 6a 참조)이 기억된다. 주파수 테이블은, 분위기 온도의 내용을 기입하거나 또는 개서(改書) 가능하게 구성된다.
드라이버 IC(52)는, 예를 들면, 모듈 제어부(303)로부터의 지시에 따라, 구동부(40A, 40B)에 소정의 구동 주파수를 갖는 구동 신호(전기 신호)를 출력한다(구동 제어 처리). 이 구동 제어 처리에 있어서, 드라이버 IC(52)는, 위치 검출 센서(53) 및 온도 센서(54)의 검출 결과에 근거하여, 적절히, 구동 주파수를 보정한다.
위치 검출 센서(53)는, 예를 들면, 홀 소자 또는 TMR(Tunnel Magneto Resistance) 센서 등의 자기 센서이다. 위치 검출 센서(53)는, 렌즈 홀더(11)에 배치된 위치 검출용 자석(도시 생략)에 의한 자력의 강도를 검출함으로써, Z축 방향에 있어서의 렌즈 홀더(11)와 베이스(12)의 상대 위치를 취득하여, 검출 위치 신호로서 드라이버 IC(52)에 출력한다. 위치 검출 센서(53) 및 위치 검출용 자석은, 예를 들면, 직경 방향으로 대향하도록 배치된다.
또한, 포토 리플렉터 등의 광 센서에 의하여 렌즈 홀더(11)의 Z축 방향의 위치를 검출하도록 해도 된다.
온도 센서(54)는, 예를 들면, 서미스터이다. 온도 센서(54)는, 광학 소자 구동 장치(1)의 분위기 온도를 취득하여, 측정 온도 신호로서 드라이버 IC(52)에 출력한다. 측정 온도 신호는, 필요에 따라, 예를 들면, ROM(522)에 기억된다.
또한, 온도 센서(54)는, 구동부(40A, 40B)에 가까운 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 구동부(40A, 40B)가 열원이 되기 때문에, 보다 분위기 온도의 취득을 고정밀도로 행할 수 있다.
광학 소자 구동 장치(1)에 있어서 오토 포커스를 행하는 경우에는, 드라이버 IC(52)(구동 제어부)에 의하여, 구동부(40A, 40B)로의 구동 제어가 행해진다. 이하에, 도 5를 참조하여, 광학 소자 구동 장치(1)에 있어서의 구동 제어 처리에 대하여 구체적으로 설명한다.
도 5는, 광학 소자 구동 장치(1)에 있어서의 구동 제어 처리의 일례를 나타내는 플로차트이다. 도 5에 나타내는 플로차트는, 예를 들면, 스마트폰(M)에 있어서의 촬영 조작(예를 들면, 셔터 버튼의 누름 조작)에 의하여, 모듈 제어부(303)로부터 오토 포커스 구동을 지시하는 제어 신호(AF 스트로크를 포함한다)가 입력됨에 따라, 드라이버 IC(52)에 의하여 실행된다.
또한, 위치 검출 센서(53) 및 온도 센서(54)의 검출 결과는, 상시, 드라이버 IC(52)에 대하여 출력되고 있는 것으로 한다. 또, 구동 제어 처리는, 예를 들면, 구동부(40A, 40B)의 구동 양태마다 실행된다. 구체적으로는, 렌즈 홀더(11)를 광축 방향 수광 측으로 이동시키는 거동으로 공진 부재(41)를 변형시키는 구동 제어 처리와, 렌즈 홀더(11)를 광축 방향 수광 측으로 이동시키는 거동으로 공진 부재(41)를 변형시키는 구동 제어 처리로, 별도의 주파수 테이블에 따라 구동 제어가 행해진다.
또, ROM(522)에는, 주파수 테이블의 초깃값으로서, 도 6a에 나타내는 주파수 테이블이 기억되어 있는 것으로 한다. 도 6a에 나타내는 주파수 테이블에서는, 구동 제어 처리에 있어서 설정 가능한 구동 주파수로서, 기준 주파수(f0)와, 기준 주파수(f0)에 대하여 소정의 시프트 폭(fc)(예를 들면, 20kHz)으로 단계적으로 증감시킨 4개의 보정 주파수(f0±fc, f0±2fc)가 기억되어 있다. 여기에서는, 분위기 온도가 높아짐에 따라, 적합한 구동 주파수가 증대하는 것으로 한다.
구동 주파수의 상한값(도 6a에서는 「f0+2fc」) 및 하한값(도 6a에서는 「f0-2fc」)은, 구동부(40A, 40B)에 있어서 원하는 구동 동작(렌즈 홀더(11)를 전진 또는 후퇴시키는 동작)이 정상적으로 행해지는 범위에서 설정된다. 또, 기준 주파수(f0)에 대하여 구동 주파수를 변화시키는 단수(도 6a에서는 상하 2단계)는 특별히 제한되지 않고, 구동 주파수를 상하 3단계 이상으로 변화시키도록(시프트 폭(fc)을 작게 하도록) 해도 된다.
도 6a에 나타내는 주파수 테이블에서는, 초깃값으로서, 기준 주파수(f0)와 기준 온도(T0)가 대응지어 기억되어 있다. 기준 주파수(f0)에 대한 기준 온도(T0)는, 예를 들면, 광학 소자 구동 장치(1)의 제조 시에, 제품마다 미리 설정된다. 구동 제어 처리의 개시 직후는, 기준 주파수(f0)가 구동 주파수로서 설정된다.
도 5의 스텝 S101에 있어서, 드라이버 IC(52)는, 오토 포커스 처리로서, 모듈 제어부(303)로부터의 제어 신호로 지시된 AF 스트로크만큼 렌즈 홀더(11)가 이동하도록, 구동부(40A, 40B)에 구동 신호를 출력한다. 예를 들면, 구동 제어 처리의 개시 직후는, 기준 주파수(f0)의 구동 신호가 구동부(40A, 40B)에 출력된다. 이로써, 렌즈 홀더(11)가 Z축 방향으로 이동하여, 초점 맞춤이 행해진다.
스텝 S102에 있어서, 드라이버 IC(52)는, 위치 검출 센서(53)의 검출 결과에 근거하여, 구동 에러가 발생하고 있는지 아닌지를 판정한다. 구동 에러가 발생하고 있는 경우(스텝 S102에서 "YES"), 스텝 S103의 처리로 이행한다. 구동 에러가 발생하고 있지 않은 경우(스텝 S102에서 "NO"), 구동 제어 처리를 종료한다. 다음의 구동 제어 처리에 있어서의 스텝 S101에서는, 현재의 구동 주파수가 유지된다.
구체적으로는, 드라이버 IC(52)는, 예를 들면, 소정 시간(예를 들면, 30ms) 이내에, 지시된 AF 스트로크만큼 렌즈 홀더(11)가 이동하여 목표 위치에 수렴했는지 아닌지에 근거하여, 구동 에러의 발생의 유무를 판정한다. 렌즈 홀더(11)가 소정 시간 이내에 목표 위치에 수렴하지 않는 경우가, 구동 에러가 된다.
스텝 S103에 있어서, 드라이버 IC(52)는, 온도 센서(54)로 측정된 현재의 분위기 온도(이하, 「측정 온도」라고 칭한다)와, 현재의 구동 주파수에 대응지어져 있는 분위기 온도(이하, 「설정 온도」라고 칭한다)를 비교한다. 예를 들면, 구동 제어 처리의 개시 직후는, 기준 주파수(f0)에 대응지어져 있는 기준 온도(T0)가 설정 온도가 된다.
스텝 S104에 있어서, 드라이버 IC(52)는, 비교 결과(측정 온도와 설정 온도의 온도차)에 따라, 구동 주파수를 보정 가능한지 아닌지를 판정한다. 구동 주파수를 보정 가능한 경우(스텝 S104에서 "YES"), 스텝 S105의 처리로 이행한다. 구동 주파수를 보정 불능인 경우(스텝 S104에서 "NO"), 스텝 S107의 처리로 이행한다.
구체적으로는, 드라이버 IC는, 주파수 테이블(예를 들면, 도 6a 참조)에, 구동 주파수로서 설정 가능한 보정 주파수가 있는 경우는 보정 가능하다고 판정하고, 구동 주파수로서 설정 가능한 보정 주파수가 없는 경우는 보정 불능이라고 판정한다. 예를 들면, 보정 주파수의 상한값(예를 들면, 도 6a에 있어서의 보정 주파수(f0+2fc))에 의한 구동 제어에 있어서 구동 에러가 발생하여, 구동 주파수를 더 증대시키게 되는 경우, 구동 주파수로서 설정 가능한 보정 주파수가 없으므로 보정 불능이 된다.
스텝 S105에 있어서, 드라이버 IC(52)는, 스텝 S104에 있어서의 비교 결과(온도차)에 따라, 구동 주파수를 보정한다. 다음 이후의 구동 제어 처리의 스텝 S102에 있어서 다시 구동 에러가 발생할 때까지는, 보정 후의 구동 주파수를 갖는 구동 신호에 의하여 구동 제어가 행해진다.
스텝 S106에 있어서, 드라이버 IC(52)는, 보정 시의 측정 온도를, 보정 주파수에 대응지어 RAM(523)에 기억한다. 다음 이후의 구동 제어 처리에 있어서 구동 에러가 발생한 경우는, 기억된 측정 온도(보정 온도)가 「설정 온도」가 되어, 스텝 S103, S104의 처리가 행해진다.
스텝 S104에서 보정 불능이라고 판정된 경우, 스텝 S107에 있어서, 드라이버 IC(52)는, 구동 주파수를 기준 주파수(f0)로 되돌린다. 다음 이후의 구동 제어 처리에서는, 기준 주파수(f0)의 구동 신호에 의하여 구동 제어가 행해진다.
도 5에 나타내는 플로차트에 따르면, 예를 들면, 구동 제어 처리의 개시 후, 기준 주파수(f0)에 의한 구동 제어가 행해지고 있는 경우에 구동 에러가 발생하여, 기준 온도(T0)보다 측정 온도 쪽이 높은 경우에는, 구동 주파수가 보정 주파수(f0+fc)로 보정된다. 또, 보정 시의 측정 온도가 보정 온도(T1)로서 주파수 테이블에 기억된다(도 6b 참조). 이후의 구동 제어 처리에서는, 보정 주파수(f0+fc)가 구동 주파수로서 사용된다(스텝 S101). 또, 이후의 구동 제어 처리에 있어서 구동 에러가 발생한 경우에는, 보정 온도(T1)를 설정 온도로 하여, 현재의 측정 온도와의 비교가 행해진다(스텝 S103).
또 예를 들면, 구동 제어 처리의 개시 후, 기준 주파수(f0)에 의한 구동 제어가 행해지고 있는 경우에 구동 에러가 발생하여, 기준 온도(T0)보다 측정 온도 쪽이 낮은 경우에는, 구동 주파수가 보정 주파수(f0-fc)로 보정된다. 또, 보정 시의 측정 온도가 보정 온도(T3)로서 주파수 테이블에 기억된다(도 6c 참조). 이후의 구동 제어 처리에서는, 보정 주파수(f0-fc)가 구동 주파수로서 사용된다(스텝 S101). 또, 이후의 구동 제어 처리에 있어서 구동 에러가 발생한 경우에는, 보정 온도(T3)를 설정 온도로 하여, 현재의 측정 온도와의 비교가 행해진다(스텝 S103).
또 예를 들면, 보정 주파수(f0+fc)에 의한 구동 제어가 행해지고 있는 경우에 구동 에러가 발생하여, 보정 주파수(f0+fc)에 대응지어져 있는 보정 온도(T1)보다 측정 온도 쪽이 높은 경우에는, 구동 주파수가 보정 주파수(f0+2fc)로 보정된다. 또, 보정 시의 측정 온도가 보정 온도(T2)로서 주파수 테이블에 기억된다(도 6d 참조). 이후의 구동 제어 처리에서는, 보정 주파수(f0+2fc)가 구동 주파수로서 사용된다(스텝 S101). 또, 이후의 구동 제어 처리에 있어서 구동 에러가 발생한 경우에는, 보정 온도(T2)를 설정 온도로 하여, 현재의 측정 온도와의 비교가 행해진다(스텝 S103).
또 예를 들면, 보정 주파수(f0+2fc)에 의한 구동 제어가 행해지고 있는 경우에 구동 에러가 발생하여, 보정 주파수(f0+2fc)에 대응지어져 있는 보정 온도(T2)보다 측정 온도 쪽이 낮은 경우에는, 구동 주파수가 보정 주파수(f0+fc)로 보정된다. 또, 보정 시의 측정 온도가 보정 온도(T1)로서 주파수 테이블에 덮어쓰기된다(도 6e 참조). 이후의 구동 제어 처리에서는, 보정 주파수(f0+fc)가 구동 주파수로서 사용된다(스텝 S101). 또, 이후의 구동 제어 처리에 있어서 구동 에러가 발생한 경우에는, 덮어쓰기된 보정 온도(T1)를 설정 온도로 하여, 현재의 측정 온도와의 비교가 행해진다(스텝 S103).
또 예를 들면, 보정 주파수(f0+2fc)에 의한 구동 제어가 행해지고 있는 경우에 구동 에러가 발생하여, 보정 주파수(f0+2fc)에 대응지어져 있는 보정 온도(T2)보다 측정 온도 쪽이 높은 경우에는, 보정 불능이 되므로, 구동 주파수가 기준 주파수(f0)로 변경된다(스텝 S107). 이후의 구동 제어 처리에서는, 구동 에러의 유무에 관계없이 구동 주파수의 보정은 행해지지 않는다. 즉, 이후의 구동 제어 처리에서는, 구동 주파수는 기준 주파수(f0)로 유지되고, 기준 주파수(f0)의 구동 신호가 구동부(40A, 40B)에 출력된다.
또 예를 들면, 보정 주파수(f0+fc)에 의한 구동 제어가 행해지고 있는 경우에 구동 에러가 발생하여, 보정 주파수(f0+fc)에 대응지어져 있는 보정 온도(T1)보다 측정 온도 쪽이 낮은 경우에는, 구동 주파수가 기준 주파수(f0)로 보정된다. 이 경우, 보정 시의 측정 온도는 주파수 테이블에 기억되지 않고, 기준 온도(T0)는 유지된다. 즉, 기준 주파수(f0)와 기준 온도(T0)의 관계는, 제조 시에 실험적으로 구해진 최적인 것이므로, 덮어쓰기되지 않는 것이 바람직하다. 이로써, 이후의 구동 제어 처리의 안정화를 도모할 수 있다.
이와 같이, 본 실시형태에 관한 광학 구동 장치(1), 카메라 모듈(A), 스마트폰(M)(카메라 탑재 장치) 및 구동 방법은, 이하의 특징 사항을 단독으로, 또는, 적절히 조합하여 구비하고 있다.
즉, 광학 소자 구동 장치(1)는, 베이스(12)(고정체)와, 렌즈부(2)(광학 소자)를 지지하고 베이스(12)에 대하여 이동 가능하게 배치되는 렌즈 홀더(11)(가동체)와, 압전 소자(42)를 가지며 압전 소자(42)의 진동 운동을 직선 운동으로 변환하여 렌즈 홀더(11)를 구동하는 구동부(40A, 40B)와, 소정의 구동 주파수를 갖는 구동 신호를 구동부(40A, 40B)에 인가하는 드라이버 IC(52)(구동 제어부)와, 구동부(40A, 40B)의 구동 상태를 검출하는 위치 검출 센서(53)(구동 검출부)와, 구동부(40A, 40B)의 분위기 온도를 측정하는 온도 센서(54)(온도 측정부)를 구비한다. 드라이버 IC(52)(구동 제어부)는, 복수의 구동 주파수와 분위기 온도를 대응지어 기억 가능하며, 위치 검출 센서(53)에 의하여 검출된 정보로부터 구동부(40A, 40B)의 구동 에러의 유무를 판정하여, 구동 에러인 경우에, 현재의 구동 주파수에 대응지어져 있는 분위기 온도와, 온도 센서(54)에 의하여 측정된 현재의 분위기 온도를 비교하여, 비교 결과에 따라 구동 주파수를 보정함과 함께, 당해 보정 후의 구동 주파수와 현재의 상기 분위기 온도를 대응지어 기억한다.
또, 광학 소자 구동 장치(1)의 구동 방법은, 베이스(12)(고정체)와, 베이스(12)에 대하여 이동 가능하게 배치되는 렌즈 홀더(11)(가동체)와, 압전 소자(42)를 갖고 압전 소자(42)의 진동 운동을 직선 운동으로 변환하여 렌즈 홀더(11)를 구동하는 구동부(40A, 40B)를 구비하는 광학 소자 구동 장치(1)의 구동 방법이며, 소정의 구동 주파수를 갖는 구동 신호를 구동부(40A, 40B)에 인가하는 공정(도 5의 스텝 S101)과, 구동부(40A, 40B)의 구동 상태를 검출하는 공정과, 구동부(40A, 40B)의 분위기 온도를 측정하는 공정과, 검출된 구동 상태로부터 구동부(40A, 40B)의 구동 에러의 유무를 판정하는 공정(도 5의 스텝 S102)과, 구동 에러인 경우에, 설정 온도(현재의 구동 주파수에 대응지어져 있는 분위기 온도)와, 측정 온도(측정된 현재의 분위기 온도)를 비교하는 공정(도 5의 스텝 S103)과, 비교 결과에 따라 구동 주파수를 보정하는 공정(도 5의 스텝 S104, S105)과, 당해 보정 후의 구동 주파수와 현재의 분위기 온도를 대응지어 기억하는 공정(도 5의 스텝 S106)을 포함한다.
광학 소자 구동 장치(1) 및 구동 방법에 의하면, 제품마다의 구동 시에, 구동 주파수와 분위기 온도의 관계를 나타내는 주파수 테이블의 내용이 갱신되고, 갱신된 관계에 근거하여 구동 제어가 행해진다. 따라서, 압전 소자(42)의 온도 의존성을 고려하여, 압전 소자(42)에 인가하는 구동 신호의 구동 주파수를 분위기 온도에 따라 적절히 보정하여, 원하는 구동 제어를 행할 수 있다.
또, 광학 소자 구동 장치(1)에 있어서, 복수의 구동 주파수는, 미리 기준 온도(T0)에 대응지어져 있는 기준 주파수(f0)와, 기준 주파수(f0)보다 큰 측으로 설정된 보정 주파수(f0+fc, f0+2fc)(제1 보정 주파수)와, 기준 주파수(f0)보다 작은 측으로 설정된 보정 주파수(f0-fc, f0-2fc)(제2 보정 주파수)를 포함하고, 드라이버 IC(구동 제어부)는, 기준 온도(T0)와 측정 온도(현재의 분위기 온도)를 비교하여, 비교 결과에 따라, 제1 보정 주파수 및 제2 보정 주파수 중 어느 하나를 선택한다. 이로써, 측정 온도와 기준 온도의 비교 결과에 따라, 압전 소자(42)에 인가하는 구동 신호의 구동 주파수를 적절히 보정할 수 있다.
또, 광학 소자 구동 장치(1)에 있어서, 보정 주파수(f0+fc, f0+2fc)(제1 보정 주파수)와, 보정 주파수(f0-fc, f0-2fc)(제2 보정 주파수)는, 각각, 단계적으로 복수 설정되어 있다. 이로써, 구동 제어 처리에 있어서 보정 주파수를 설정하기 위한 처리 부하를 경감할 수 있어, 구동 제어 처리의 고속화를 도모할 수 있다.
또, 광학 소자 구동 장치(1)에 있어서, 드라이버 IC(52)(구동 제어부)는, 구동 주파수가 보정 불능인 경우에, 구동 주파수를 기준 주파수(f0)로 되돌려, 당해 기준 주파수(f0)를 유지한다. 이로써, 구동 주파수가 적정 범위로부터 벗어나, 렌즈 홀더(11)가 구동하지 않게 되는 트러블의 발생을 방지할 수 있다.
또, 광학 소자 구동 장치(1)에 있어서, 구동부(40A, 40B)는, 구동 방향이 상이한 복수의 구동 양태를 갖고 있고, 드라이버 IC(52)(구동 제어부)는, 복수의 구동 양태마다 구동 주파수를 제어한다. 이로써, 복수의 공진 주파수를 갖고, 공진 주파수마다 상이한 거동(렌즈 홀더(11)를 광축 방향 결상 측으로 이동시키는 거동과 광축 방향 수광 측으로 이동시키는 거동)으로 변형하는 구동부(40A, 40B)에 대하여, 각각의 거동을 적절히 제어할 수 있다.
이상, 본 발명자에 의하여 이루어진 발명을 실시형태에 근거하여 구체적으로 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 변경 가능하다.
예를 들면, 상기 실시형태에서는, 스마트폰(M)을 예로 들어 설명했지만, 본 발명은, 카메라 모듈과 카메라 모듈로 얻어진 화상 정보를 처리하는 화상 처리부를 갖는 카메라 탑재 장치에 적용할 수 있다. 카메라 탑재 장치는, 정보 기기 및 수송 기기를 포함한다. 정보 기기는, 예를 들면, 카메라 장착 휴대전화기, 노트북 컴퓨터, 태블릿 단말, 휴대형 게임기, web 카메라, 카메라 장착 차재 장치(예를 들면, 백 모니터 장치, 드라이브 레코더 장치) 등을 포함한다. 또, 수송 기기는, 예를 들면, 자동차나 드론(무인 항공기) 등을 포함한다.
도 7a, 도 7b는, 차재용 카메라 모듈(VC)(Vehicle Camera)을 탑재하는 카메라 탑재 장치로서의 자동차(V)를 나타내는 도이다. 도 7a는 자동차(V)의 정면도이며, 도 7b는 자동차(V)의 후방 사시도이다. 자동차(V)는, 차재용 카메라 모듈(VC)로서, 상기 실시형태에서 설명한 카메라 모듈(A)을 탑재한다. 도 7a, 도 7b에 나타내는 바와 같이, 차재용 카메라 모듈(VC)은, 예를 들면, 전방을 향하여 프런트 유리에 장착되거나, 후방을 향하여 리어 게이트에 장착되거나 한다. 이 차재용 카메라 모듈(VC)은, 백 모니터용, 드라이브 레코더용, 충돌 회피 제어용, 자동 운전 제어용 등으로서 사용된다.
또, 상기 실시형태에서는, 광학 소자로서 렌즈부(2)를 구동하는 광학 소자 구동 장치(1)에 대하여 설명했지만, 구동 대상이 되는 광학 소자는, 미러나 프리즘 등의 렌즈 이외의 광학 소자여도 된다. 또, 본 발명은, 예를 들면, 광학 소자로서 촬상 소자를 구동하는 광학 소자 구동 장치에 적용할 수도 있다.
또, 상기 실시형태에서는, 광학 소자 구동 장치(1)는 AF 기능을 갖고 있지만, AF 기능뿐만 아니라, 줌 기능 등, 렌즈부(2)를 Z축 방향으로 이동시키는 기능을 갖는 것이어도 된다. 또, 실시형태에서는, AF 기능을 구비하는 광학 소자 구동 장치(1)를 예시하여 설명했지만, 본 발명은, AF 기능 및 OIS 기능 중 적어도 일방을 구비하는 광학 소자 구동 장치에 대하여 적용할 수 있다.
이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 특허청구의 범위에 의하여 나타나고, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.
2022년 10월 5일 출원된 특원 2022-161094의 일본 출원에 포함되는 명세서, 도면 및 요약서의 개시 내용은, 모두 본원에 원용된다.
1 광학 소자 구동 장치
11 렌즈 홀더(가동체)
12 베이스(고정체)
40A, 40B 구동부
41 공진 부재
42 압전 소자
51 드라이버 IC(구동 제어부)
52 위치 검출 센서(구동 검출부)
53 온도 센서(온도 검출부)
A 카메라 모듈
M 스마트폰(카메라 탑재 장치)

Claims (10)

  1. 고정체와,
    광학 소자를 지지하고, 상기 고정체에 대하여 이동 가능하게 배치되는 가동체와,
    압전 소자를 가지며, 상기 압전 소자의 진동 운동을 직선 운동으로 변환하여 상기 가동체를 구동하는 구동부와,
    소정의 구동 주파수를 갖는 구동 신호를 상기 구동부에 인가하는 구동 제어부와,
    상기 구동부의 구동 상태를 검출하는 구동 검출부와,
    상기 구동부의 분위기 온도를 측정하는 온도 측정부를 구비하고,
    상기 구동 제어부는,
    복수의 구동 주파수와 분위기 온도를 대응지어 기억 가능하며,
    상기 구동 검출부에 의하여 검출된 정보로부터 상기 구동부의 구동 에러의 유무를 판단하여,
    상기 구동 에러인 경우에, 현재의 구동 주파수에 대응지어져 있는 분위기 온도와, 상기 온도 측정부에 의하여 측정된 현재의 분위기 온도를 비교하여,
    비교 결과에 따라 상기 구동 주파수를 보정함과 함께, 당해 보정 후의 구동 주파수와 현재의 상기 분위기 온도를 대응지어 기억하는, 광학 소자 구동 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 구동 주파수는, 미리 기준 온도에 대응지어져 있는 기준 주파수와, 상기 기준 주파수보다 큰 측으로 설정된 제1 보정 주파수와, 상기 기준 주파수보다 작은 측으로 설정된 제2 보정 주파수를 포함하고,
    상기 구동 제어부는, 상기 기준 온도와 현재의 상기 분위기 온도를 비교하여, 상기 비교 결과에 따라, 상기 제1 보정 주파수 및 상기 제2 보정 주파수 중 어느 하나를 선택하는, 광학 소자 구동 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 보정 주파수 및 상기 제2 보정 주파수는, 각각, 단계적으로 복수 설정되어 있는, 광학 소자 구동 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 구동 제어부는, 상기 구동 주파수가 보정 불능인 경우에, 상기 구동 주파수를 상기 기준 주파수로 되돌려 당해 기준 주파수를 유지하는, 광학 소자 구동 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는, 구동 방향이 상이한 복수의 구동 양태를 갖고 있고,
    상기 구동 제어부는, 복수의 상기 구동 양태마다 상기 구동 주파수를 제어하는, 광학 소자 구동 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동 검출부는, 자기 센서인, 광학 소자 구동 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 온도 측정부는, 서미스터인, 광학 소자 구동 장치.
  8. 제1항에 기재된 광학 소자 구동 장치와,
    상기 광학 소자를 이용하여 피사체상을 촬상하는 촬상부를 구비하는, 카메라 모듈.
  9. 정보 기기 또는 수송 기기인 카메라 탑재 장치로서,
    제8항에 기재된 카메라 모듈을 구비하는, 카메라 탑재 장치.
  10. 고정체와, 상기 고정체에 대하여 이동 가능하게 배치되는 가동체와, 압전 소자를 갖고 상기 압전 소자의 진동 운동을 직선 운동으로 변환하여 상기 가동체를 구동하는 구동부를 구비하는 광학 소자 구동 장치의 구동 방법으로서,
    소정의 구동 주파수를 갖는 구동 신호를 상기 구동부에 인가하는 공정과,
    상기 구동부의 구동 상태를 검출하는 공정과,
    상기 구동부의 분위기 온도를 측정하는 공정과,
    검출된 상기 구동 상태로부터 상기 구동부의 구동 에러의 유무를 판정하는 공정과,
    상기 구동 에러인 경우에, 현재의 구동 주파수에 대응지어져 있는 분위기 온도와, 측정된 현재의 분위기 온도를 비교하는 공정과,
    비교 결과에 따라 상기 구동 주파수를 보정하는 공정과,
    당해 보정 후의 구동 주파수와 현재의 상기 분위기 온도를 대응지어 기억하는 공정을 포함하는, 구동 방법.
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