KR20240035329A - Substrate storage container - Google Patents

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KR20240035329A
KR20240035329A KR1020230107101A KR20230107101A KR20240035329A KR 20240035329 A KR20240035329 A KR 20240035329A KR 1020230107101 A KR1020230107101 A KR 1020230107101A KR 20230107101 A KR20230107101 A KR 20230107101A KR 20240035329 A KR20240035329 A KR 20240035329A
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reticle
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container
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positioning
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KR1020230107101A
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Inventor
후미야 혼마
히로시 미무라
Original Assignee
신에츠 폴리머 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 용기 본체 내의 어댑터에 탑재된 레티클 수용 용기의 부상이나 탈락을 억제하고, 레티클 수용 용기의 레티클 손상을 방지할 수 있는 기판 수납 용기를 제공한다.
[해결 수단] 복수매의 반도체 웨이퍼를 상하 방향으로 수납 가능한 용기 본체(1)와, 용기 본체(1)의 개구한 정면에 감합되는 덮개체와, 용기 본체(1)에 수납되는 레티클 수용 용기 탑재용의 어댑터(40)를 구비한 FOUP이고, 용기 본체(1)의 내부 양측에, 반도체 웨이퍼를 수평으로 지지 가능한 한 벌의 지지편(2)을 대설하고, 한 벌의 지지편(2)을 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배열하고, 어댑터(40)를 용기 본체(1)의 한 벌의 지지편(2)에 지지되는 원판으로 형성하고, 어댑터(40)의 탑재면(41)에, 레티클 수용 용기를 위치 결정하는 복수의 위치 결정 바(43)를 배치하여 설치함과 아울러, 복수의 위치 결정 바(43)의 일부에, 레티클 수용 용기에 계지하여 고정하는 클램프(50)를 회전 가능하게 지지시킨다.[Problem] To provide a substrate storage container that can prevent the reticle storage container mounted on an adapter in the container body from floating or falling off and prevent damage to the reticle of the reticle container.
[Solution] Equipped with a container body 1 capable of storing a plurality of semiconductor wafers in the vertical direction, a cover body fitted to the open front of the container body 1, and a reticle storage container stored in the container body 1. It is a FOUP equipped with an adapter 40, and a set of support pieces 2 capable of horizontally supporting a semiconductor wafer are provided on both sides of the inside of the container body 1. A plurality of adapters 40 are arranged at predetermined intervals in the vertical direction, and are formed as disks supported by a set of support pieces 2 of the container body 1, and are placed on the mounting surface 41 of the adapter 40, In addition to arranging and installing a plurality of positioning bars 43 for positioning the reticle storage container, a clamp 50 that engages and secures the reticle storage container to a portion of the plurality of positioning bars 43 can be rotated. Support it.

Description

기판 수납 용기{SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}Substrate storage container {SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}

본 발명은 반도체 웨이퍼 외, 레티클(reticle)용의 레티클 수용 용기를 수납 가능한 기판 수납 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate storage container capable of storing a reticle storage container for a reticle as well as a semiconductor wafer.

반도체 제조 라인의 리소그래피(lithography) 공정에 있어서는, 반도체 웨이퍼에 전자 회로를 형성하기 위하여, 복수매의 레티클이 사용되지만, 반도체 웨이퍼와 레티클은, 한 번에 반송할 수 있는 매수가 다르고, 1매의 반도체 웨이퍼에 전자 회로를 형성하기 위하여 복수매의 레티클을 몇 번이나 반송할 필요가 있으므로, 반도체 웨이퍼의 반송 효율의 향상에 지장을 초래하는 일이 있다. 또, 반도체 웨이퍼용의 기판 수납 용기와 레티클용의 수용 용기는, 크기나 반송 형태가 상위하고, 다른 반송 라인이 요구되므로, 복수의 반송 라인을 설치하지 않으면 안되고, 설비나 코스트(cost), 스페이스(space) 점유 등의 점에서 문제가 생긴다.In the lithography process of a semiconductor manufacturing line, multiple reticles are used to form an electronic circuit on a semiconductor wafer, but the number of semiconductor wafers and reticles that can be conveyed at one time is different, and one sheet In order to form an electronic circuit on a semiconductor wafer, it is necessary to transport a plurality of reticles several times, which may hinder the improvement of the transport efficiency of the semiconductor wafer. In addition, the substrate storage container for semiconductor wafers and the storage container for reticles are different in size and transport form, and different transport lines are required, so multiple transport lines must be installed, which requires equipment, cost, and space. Problems arise in terms of space occupancy, etc.

이러한 문제를 해소하기 위하여, 종래에 있어서는, 도시하지 않지만, 반도체 웨이퍼용의 기판 수납 용기의 용기 본체에 레티클용의 레티클 수용 용기를 전용의 어댑터(adapter)를 통해 수납하고, 한 종류의 기판 수납 용기를 이용하여 반송하는 기술이 제안되어 있다(특허 문헌 1, 2, 3, 4 참조).In order to solve this problem, conventionally, although not shown, the reticle storage container for the reticle is stored in the container body of the substrate storage container for semiconductor wafers through a dedicated adapter, and one type of substrate storage container is provided. A conveyance technology using is proposed (see Patent Documents 1, 2, 3, and 4).

일본국 특허공개 1995-58192호 공보Japanese Patent Publication No. 1995-58192 일본국 특허공개 2011-3723호 공보Japanese Patent Publication No. 2011-3723 일본국 특허공개 2013-239507호 공보Japanese Patent Publication No. 2013-239507 일본국 특허공개 2013-239643호 공보Japanese Patent Publication No. 2013-239643

반도체 웨이퍼용의 기판 수납 용기에 레티클 수용 용기를 전용의 어댑터를 통해 수납하는 경우에는, 반도체 웨이퍼의 반송 효율을 향상시키거나, 설비, 코스트, 스페이스 점유 등의 문제를 해소할 수가 있다.When a reticle storage container is stored in a substrate storage container for semiconductor wafers through a dedicated adapter, the transport efficiency of semiconductor wafers can be improved and problems such as equipment, cost, and space occupancy can be eliminated.

그렇지만, 어댑터에 레티클 수용 용기가 단지 탑재되는 경우, 어댑터로부터 레티클 수용 용기가 부상(浮上)하여 위치가 어긋나거나, 탈락하거나 하고, 그 결과, 레티클 수용 용기 내의 레티클이 손상될 우려가 있다.However, when the reticle storage container is simply mounted on the adapter, there is a risk that the reticle storage container may float from the adapter and become misaligned or fall off, resulting in damage to the reticle in the reticle storage container.

본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 용기 본체 내의 어댑터에 탑재된 레티클 수용 용기의 부상이나 탈락을 억제하고, 레티클 수용 용기 내의 레티클이 손상될 우려를 불식할 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.The present invention was made in view of the above, and its purpose is to provide a substrate storage container that prevents the reticle storage container mounted on an adapter in the container body from being lifted or falling off and eliminates the risk of damage to the reticle in the reticle container. It is being done.

본 발명에 있어서는, 상기 과제를 해결하기 위하여, 복수매의 반도체 웨이퍼를 상하 방향으로 늘어놓아 수납 가능한 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구한 정면에 착탈이 자유롭게 감합(嵌合)되는 덮개체와, 용기 본체에 수납되는 레티클 수용 용기 탑재용의 어댑터를 포함하여 이루어지는 것으로서,In the present invention, in order to solve the above problems, there is provided a container body capable of storing a plurality of semiconductor wafers arranged in the vertical direction, a cover body that is removably fitted to the open front of the container body, and It consists of an adapter for mounting a reticle accommodating container stored in the container body,

용기 본체의 내부 양측에, 반도체 웨이퍼를 대략 수평으로 지지 가능한 한 벌의 지지편을 대향시켜 설치하고, 이 한 벌의 지지편을 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배열하고,On both sides of the interior of the container body, a set of support pieces capable of supporting a semiconductor wafer are installed facing each other, and a plurality of this set of support pieces are arranged at predetermined intervals in the vertical direction,

어댑터를 용기 본체 내의 한 벌의 지지편에 지지되는 형상으로 형성하고, 이 어댑터의 레티클 수용 용기를 탑재하는 탑재면에, 레티클 수용 용기를 위치 결정하는 복수의 위치 결정 부재를 배치하여 설치하고, 어댑터의 탑재면과 위치 결정 부재의 적어도 어느 일방에, 레티클 수용 용기에 계지(係止)하는 클램프(clamp) 부재를 부착한 것을 특징으로 하고 있다.An adapter is formed in a shape supported by a set of support pieces in the container body, and a plurality of positioning members for positioning the reticle accommodating container are arranged and installed on the mounting surface of the adapter on which the reticle accommodating container is mounted, and the adapter is provided. It is characterized by attaching a clamp member for fastening the reticle storage container to at least one of the mounting surface and the positioning member.

또한, 어댑터의 레티클 수용 용기를 탑재하는 탑재면에, 레티클 수용 용기를 포위하여 그 주연부(周緣部)의 전후 좌우에 근접하는 복수의 위치 결정 부재를 소정의 간격을 두어 배열하고, 어댑터, 복수의 위치 결정 부재, 및 클램프 부재의 적어도 어느 하나를 수지와 도전 필러(filler) 함유의 성형 재료에 의해 성형할 수가 있다.In addition, on the mounting surface on which the reticle storage container of the adapter is mounted, a plurality of positioning members surrounding the reticle storage container and proximate to the front, rear, and left sides of the peripheral portion thereof are arranged at predetermined intervals, and the adapter, the plurality of positioning members are arranged at predetermined intervals. At least one of the positioning member and the clamp member can be molded using a molding material containing resin and a conductive filler.

또, 복수의 위치 결정 부재 중, 레티클 수용 용기의 주연 전부(前部)에 근접하는 전부 위치 결정 부재와, 레티클 수용 용기의 주연 측부에 근접하는 측부 위치 결정 부재의 적어도 어느 일방에, 레티클 수용 용기의 주연부에 상방으로부터 계지하는 클램프 부재를 회전 가능하게 지지시킬 수가 있다.In addition, among the plurality of positioning members, at least one of a front positioning member close to the front periphery of the reticle storage container and a side positioning member close to the peripheral side of the reticle storage container is provided. A clamp member clamped from above can be rotatably supported on the periphery of the .

또, 복수의 위치 결정 부재 중, 레티클 수용 용기의 주연 후부(後部)에 근접하는 후부 위치 결정 부재를 단면 대략 역(逆) L자형으로 형성하고, 이 후부 위치 결정 부재를, 레티클 수용 용기의 주연 후부에 횡 방향으로부터 대향하는 기립부와, 이 기립부에 착탈이 자유롭게 부착되어 레티클 수용 용기의 주연 후부에 상방으로부터 계지하는 계지 피복부로 분할할 수도 있다.In addition, among the plurality of positioning members, a rear positioning member close to the peripheral rear portion of the reticle storage container is formed to have a substantially inverted L-shape in cross section, and this rear positioning member is formed at the peripheral rear portion of the reticle storage container. It can also be divided into a standing portion facing the rear in the horizontal direction, and a locking coating portion that is removably attached to the standing portion and fastens to the peripheral rear of the reticle storage container from above.

여기서, 특허 청구의 범위에 있어서의 반도체 웨이퍼에는, 적어도 φ300mm나 φ450mm의 실리콘 웨이퍼 등이 포함된다. 또, 용기 본체나 덮개체의 적어도 일부는, 투명, 불투명, 반투명의 어느 하나라도 좋다. 용기 본체에 있어서의 지지편의 표면의 적어도 전부에는, 반도체 웨이퍼나 어댑터용의 스토퍼(stopper)를 형성할 수가 있다. 또, 레티클 수용 용기는, 5~7인치의 레티클을 수용하는 평면 다각형의 상자형이라도 좋고, 카셋트(cassette)형 등이라도 좋다.Here, the semiconductor wafer in the scope of the patent claims includes a silicon wafer of at least ϕ300 mm or ϕ450 mm. Additionally, at least a part of the container body or lid may be transparent, opaque, or translucent. A stopper for a semiconductor wafer or adapter can be formed on at least the entire surface of the support piece in the container body. Additionally, the reticle storage container may be a flat polygonal box type that accommodates a 5 to 7 inch reticle, or may be a cassette type, etc.

어댑터는, 평면 원형, 타원형, 직사각형, 다각형, 정방형 등으로 적당히 형성할 수가 있다. 또, 클램프 부재는, 어댑터의 탑재면, 위치 결정 부재, 혹은 어댑터의 탑재면 및 위치 결정 부재에 필요 수를 부착하는 것이 가능하다. 이 클램프 부재의 「회전」이라고 하는 용어에는, 회동이나 요동이 포함된다. 후부 위치 결정 부재의 「단면 대략 역 L자형」에는, 단면 대략 역 L자형과 대체로 단면 역 L자형으로 인정되는 유사형(예를 들면, 단면 역 J자형이나 단면 역 Γ자형 등)의 모두가 포함된다. 또한, 기판 수납 용기는, 반도체 공장용의 FOUP(Front Opening Unified Pod)가 주된 것이지만, 출하·수송용의 FOSB(Front Opening Shipping Box)라도 좋다.The adapter can be appropriately formed into a flat circular, oval, rectangular, polygonal, square, etc. shape. Additionally, the required number of clamp members can be attached to the mounting surface of the adapter, the positioning member, or the mounting surface of the adapter and the positioning member. The term “rotation” of this clamp member includes rotation and rocking. The “approximately inverted L-shaped cross-section” of the rear positioning member includes both the approximately inverted L-shaped cross-section and similar shapes that are generally recognized as an inverted L-shaped cross-section (e.g., inverted J-shaped cross-section, inverted Γ-shaped cross-section, etc.) do. Additionally, the substrate storage container is mainly a FOUP (Front Opening Unified Pod) for semiconductor factories, but a FOSB (Front Opening Shipping Box) for shipping and transportation may also be used.

본 발명에 의하면, 기판 수납 용기의 용기 본체에 레티클 수용 용기를 어댑터를 통해 수납하는 경우에는, 먼저, 어댑터를 준비하여 그 탑재면의 복수의 위치 결정 부재의 사이에 레티클 수용 용기를 끼워 위치 결정한다. 레티클 수용 용기를 끼워 위치 결정하면, 어댑터의 클램프 부재를 레티클 수용 용기에 계지시켜 레티클 수용 용기가 부상하지 않도록 하고, 용기 본체 내에 어댑터를 수납하여 그 양측부를 용기 본체의 대향하는 한 벌의 지지편에 지지시키고, 용기 본체의 개구한 정면에 덮개체를 감합하면, 용기 본체에 레티클 수용 용기를 어댑터를 통해 수납할 수가 있고, 레티클 수용 용기를 안전하게 보관하거나 반송할 수가 있다.According to the present invention, when storing the reticle storage container in the container body of the substrate storage container through an adapter, first, the adapter is prepared and the reticle storage container is positioned between a plurality of positioning members on the mounting surface. . When the reticle housing container is inserted and positioned, the clamp member of the adapter is locked to the reticle housing container to prevent the reticle housing container from floating, and the adapter is stored in the container body and both sides of the adapter are placed on a set of opposing support pieces of the container body. By supporting and fitting the cover body to the open front of the container body, the reticle storage container can be stored in the container body through the adapter, and the reticle storage container can be safely stored or transported.

본 발명에 의하면, 용기 본체 내의 어댑터에 탑재된 레티클 수용 용기의 부상이나 탈락을 억제하고, 레티클 수용 용기 내의 레티클이 손상될 우려를 불식할 수가 있다고 하는 효과가 있다.According to the present invention, there is an effect of preventing the reticle storage container mounted on the adapter in the container body from being lifted or falling off, and eliminating the risk of damage to the reticle in the reticle container.

청구항 2 기재의 발명에 의하면, 어댑터, 복수의 위치 결정 부재, 및 클램프 부재의 적어도 어느 하나를 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 성형하므로, 도전성을 부여하여 레티클의 정전기 파괴를 방지할 수가 있다.According to the invention described in claim 2, at least one of the adapter, the plurality of positioning members, and the clamp member is molded using a molding material containing resin and a conductive filler, so that electroconductivity can be imparted to the reticle to prevent static electricity destruction. .

청구항 3 기재의 발명에 의하면, 어댑터의 탑재면에 탑재한 레티클 수용 용기의 주연 전부와, 주연 측부의 적어도 어느 일방에 클램프 부재를 계지시키므로, 어댑터로부터 레티클 수용 용기가 부상하여 위치가 어긋나거나 탈락하는 것을 유효하게 방지할 수가 있다.According to the invention described in claim 3, the clamp member is clamped to the entire periphery of the reticle accommodating container mounted on the mounting surface of the adapter and at least one of the peripheral side portions, thereby preventing the reticle accommodating container from rising from the adapter and being misaligned or falling off. This can be effectively prevented.

청구항 4 기재의 발명에 의하면, 후부 위치 결정 부재를, 일체품(一體品)이 아니라, 분해 가능한 기립부와 계지 피복부로 구성하므로, 후부 위치 결정 부재의 조립이 용이하게 된다. 또, 어댑터의 탑재면에 탑재한 레티클 수용 용기의 주연 후부를 후부 위치 결정 부재에 위치 결정하면서 계지시키므로, 레티클 수용 용기가 어댑터의 전후 방향으로 어긋나는 것을 억제할 수가 있고, 게다가, 어댑터로부터 레티클 수용 용기의 후부가 부상하여 위치가 어긋나거나 탈락하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.According to the invention described in claim 4, the rear positioning member is not a single piece but is composed of a disassembleable standing portion and a locking covering portion, making assembly of the rear positioning member easy. In addition, since the peripheral rear portion of the reticle storage container mounted on the mounting surface of the adapter is positioned and locked with the rear positioning member, the reticle storage container can be suppressed from being displaced in the front-back direction of the adapter, and furthermore, the reticle storage container can be separated from the adapter. It is possible to prevent the rear part from rising and being misaligned or falling off.

도 1은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 용기 본체 내에 수납된 복수의 어댑터를 모식적으로 나타내는 단면 설명도이다.
도 3은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 어댑터에 탑재된 레티클 수용 용기를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 4는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 레티클 수용 용기를 모식적으로 나타내는 설명도로서, (a)도는 평면도, (b)도는 측면도이다.
도 5는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 어댑터에 레티클 수용 용기를 탑재하는 작업 상태를 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 어댑터의 후부 위치 결정 바를 모식적으로 나타내는 요부 설명도이다.
도 7은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 어댑터, 복수의 위치 결정 바, 및 복수의 클램프의 관계를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 레티클 수용 용기의 주연부에 클램프가 계지하는 상태를 모식적으로 나타내는 요부 사시도이다.
도 9는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제2의 실시 형태에 있어서의 용기 본체와 어댑터의 관계를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 10은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제3의 실시 형태에 있어서의 용기 본체와 어댑터의 관계를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.1 is an overall perspective view schematically showing an embodiment of a substrate storage container related to the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional explanatory view schematically showing a plurality of adapters stored in the container body in an embodiment of the substrate storage container related to the present invention.
Fig. 3 is a perspective explanatory diagram schematically showing a reticle storage container mounted on an adapter in an embodiment of the substrate storage container related to the present invention.
Fig. 4 is an explanatory diagram schematically showing a reticle storage container in an embodiment of the substrate storage container related to the present invention, where (a) is a top view and (b) is a side view.
Fig. 5 is an explanatory diagram schematically showing the working state of mounting the reticle storage container on the adapter in the embodiment of the substrate storage container related to the present invention.
Fig. 6 is an explanatory diagram schematically showing the rear positioning bar of the adapter in the embodiment of the substrate storage container according to the present invention.
Fig. 7 is an exploded perspective view schematically showing the relationship between an adapter, a plurality of positioning bars, and a plurality of clamps in an embodiment of the substrate storage container related to the present invention.
Fig. 8 is a perspective view of the main part schematically showing a state in which a clamp is clamped to the periphery of a reticle storage container in an embodiment of the substrate storage container according to the present invention.
Fig. 9 is a perspective explanatory diagram schematically showing the relationship between the container body and the adapter in the second embodiment of the substrate storage container according to the present invention.
Fig. 10 is a perspective explanatory diagram schematically showing the relationship between the container body and the adapter in the third embodiment of the substrate storage container according to the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시의 형태를 설명하면, 본 실시 형태에 있어서의 기판 수납 용기는, 도 1 내지 도 8에 나타내듯이, 복수매의 반도체 웨이퍼 W를 수납 가능한 용기 본체(1)와, 이 용기 본체(1)의 개구한 정면에 감합(嵌合)되는 덮개체(10)와, 반도체 웨이퍼 W 대신에 용기 본체(1)에 필요 수가 수납되는 레티클(reticle) 수용 용기 탑재용의 어댑터(adapter)(40)를 구비한 반도체 공장용의 FOUP이고, 어댑터(40)의 레티클 수용 용기(30)를 탑재하는 탑재면(41)에, 레티클 수용 용기(30)를 위치 결정하는 복수의 위치 결정 바(bar)(43)를 배치하여 설치하고, 이 복수의 위치 결정 바(43)에, 레티클 수용 용기(30)에 계지(係止) 가능한 클램프(50)를 지지시킴으로써, 유엔 서미트에서 채택된 SDGs(Sustainable Development Goals, 유엔의 지속 가능한 개발을 위한 국제 목표이고, 17의 글로벌 목표와 169의 타겟(달성 기준)으로 이루어지는 지속 가능한 개발 목표)의 목표 9의 달성에 공헌한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The substrate storage container according to the present embodiment has a container body (1) capable of storing a plurality of semiconductor wafers W, as shown in FIGS. 1 to 8. ), a cover body 10 fitted to the opened front surface of the container body 1, and a reticle storage container for mounting the required number of reticles stored in the container body 1 instead of the semiconductor wafer W. A FOUP for a semiconductor factory equipped with an adapter 40, and a plurality of devices for positioning the reticle storage container 30 on the mounting surface 41 on which the reticle storage container 30 of the adapter 40 is mounted. By arranging and installing positioning bars 43 and supporting clamps 50 that can be fastened to the reticle storage container 30 on the plurality of positioning bars 43, the UN Summit Contributes to the achievement of Goal 9 of the SDGs (Sustainable Development Goals, the UN's international goals for sustainable development, which are comprised of 17 global goals and 169 targets (achievement criteria)) adopted by the UN.

복수매의 반도체 웨이퍼 W는, 도 1에 나타내듯이, 예를 들면 φ300mm의 둥근 실리콘 웨이퍼로 이루어지고, 용기 본체(1)의 내부에 25매가 상하 방향으로 늘어놓아 정렬 수납되고, 각 반도체 웨이퍼 W가 수평으로 지지된다.As shown in FIG. 1, a plurality of semiconductor wafers W are made of, for example, a round silicon wafer of ϕ300 mm, and 25 of them are aligned and stored inside the container body 1 in the vertical direction, and each semiconductor wafer W is supported horizontally.

용기 본체(1)와 덮개체(10)는, 소정의 수지를 함유하는 성형 재료에 의해 복수의 부품이 각각 사출 성형되고, 이 복수의 부품의 조합으로 구성된다. 이 성형 재료의 수지로서는, 예를 들면 폴리카보네이트(polycarbonate), 시클로올레핀 폴리머(Cycloolefin polymer), 폴리에테르이미드(polyetherimide), 폴리에테르케톤(polyetherketone), 폴리에테르에테르케톤(polyetheretherketone), 폴리부틸렌 테레프탈레이트(polybutylene terephthalate), 폴리아세탈(polyacetal), 액정 폴리머(polymer)라고 하는 열가소성 수지나 이들 알로이(alloy) 등을 들 수 있다. 열가소성 수지에는, 도전성을 부여하기 위하여, 적정량의 카본 블랙(carbon black), 카본 섬유, 카본 나노 파이버(carbon nano fiber), 카본 나노 튜브(carbon nano tube), 도전성 고분자, 금속 섬유, 금속 산화물 등이 첨가된다.The container body 1 and the cover body 10 are each injection-molded as a plurality of parts using a molding material containing a predetermined resin, and are composed of a combination of these parts. Resins for this molding material include, for example, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, polyetheretherketone, and polybutylene terete. Thermoplastic resins such as polybutylene terephthalate, polyacetal, and liquid crystal polymer, and alloys thereof, may be included. In order to provide conductivity, thermoplastic resins contain an appropriate amount of carbon black, carbon fiber, carbon nanofiber, carbon nanotube, conductive polymer, metal fiber, metal oxide, etc. is added.

용기 본체(1)는, 도 1이나 도 2에 나타내듯이, 정면이 가로로 긴 개구한 키가 큰 프론트 오픈 박스(front open box)로 성형되고, 내부의 양측, 환언하면, 좌우 양측벽의 내면에, 반도체 웨이퍼 W의 주연(周緣) 측부를 하방으로부터 수평으로 지지하는 한 벌의 지지편(2)이 대설(對設)되어 있고, 이 한 벌의 지지편(2)이 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배열된다. 이 용기 본체(1)는, 예를 들면 25매의 반도체 웨이퍼 W를 상하 방향으로 늘어놓아 정렬 수납 가능한 크기로 형성된다. 또, 각 지지편(2)은, 예를 들면 용기 본체(1)의 전후 방향으로 뻗는 평탄한 선반 널로 형성되고, 표면의 전후부 중, 적어도 전부(前部)에 수납된 반도체 웨이퍼 W가 정면 방향으로 위치 어긋나는 것을 방지하는 스토퍼(stopper)(3)가 융기하여 일체 형성된다.As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the container body 1 is formed as a tall front open box with a horizontally long opening, and has inner surfaces on both sides of the interior, in other words, on the left and right walls. In the semiconductor wafer W, a set of support pieces 2 that horizontally support the peripheral side from below are provided, and this set of support pieces 2 extends in a predetermined vertical direction. They are arranged in multiple rows at intervals. This container body 1 is formed to a size that can accommodate, for example, 25 semiconductor wafers W arranged in the vertical direction. In addition, each support piece 2 is formed, for example, as a flat shelf board extending in the front-back direction of the container body 1, and the semiconductor wafer W stored in at least the front portion among the front-back portions of the surface faces the front direction. A stopper (3) that prevents misalignment is raised and integrally formed.

용기 본체(1)의 저판(底板) 하면에는 보텀 플레이트(bottom plate)(4)가 선택적으로 장착되고, 용기 본체(1)의 천정 중앙부에는, 자동 반송용의 반송구인 평면 직사각형의 로보틱 플랜지(robotic flange)(5)가 착탈이 자유롭게 장착되어 있고, 이 로보틱 플랜지(5)가 반도체 공장의 천정 반송 장치에 파지되어 매달린 후, 기판 수납 용기가 반도체의 제조 라인에 반송된다. 또, 용기 본체(1)의 내부 배면에는, 비상시에 반도체 웨이퍼 W의 주연 후부(後部)를 협지 가능한 복수의 리어 서포트(rear support)가 병설된다. 용기 본체(1)의 정면 주연부는 폭 방향 외측으로 굴곡하여 팽출 형성되어 있고, 이 정면 주연부의 내면에 있어서의 상부 양측과 하부 양측에는, 덮개체(10)용의 시정(施錠) 구멍(6)이 각각 오목하게 형성된다.A bottom plate 4 is selectively mounted on the lower surface of the bottom plate of the container body 1, and a flat rectangular robotic flange ( A robotic flange 5 is attached and detachably attached, and after this robotic flange 5 is held and suspended from a ceiling transport device in a semiconductor factory, the substrate storage container is transported to the semiconductor manufacturing line. Additionally, a plurality of rear supports capable of holding the peripheral rear portion of the semiconductor wafer W in an emergency are provided on the inner rear surface of the container body 1. The front peripheral portion of the container body 1 is bent outward in the width direction and bulged, and on both upper and lower sides of the inner surface of the front peripheral portion, there are fixing holes 6 for the lid body 10. Each of these is formed concavely.

용기 본체(1)의 양측벽의 외면(外面)에는, 수동 조작용의 조작 핸들(7)이 각각 착탈이 자유롭게 장착되고, 각 측벽의 하부에는, 자동 반송구인 반송 레일(8)이 필요에 따라 착탈이 자유롭게 장착되어 전후 방향으로 수평으로 지향한다.On the outer surfaces of both walls of the container body 1, operation handles 7 for manual operation are each removably mounted, and at the lower part of each side wall, a transfer rail 8, which is an automatic transfer port, is provided as needed. It is freely removable and oriented horizontally in the forward and backward directions.

덮개체(10)는, 도 1에 나타내듯이, 용기 본체(1)의 정면에 착탈이 자유롭게 감합되는 단면 대략 접시형의 덮개 본체(11)와, 이 덮개 본체(11)의 개구한 표면을 덮는 커버 플레이트(cover plate)(14)를 구비하고, 이들 덮개 본체(11)와 커버 플레이트(14)의 사이에 시정 기구(16)가 내장된다. 덮개 본체(11)는, 가로로 긴 대략 직사각형으로 형성되고, 이면(裏面)의 중앙부에, 반도체 웨이퍼 W의 주연 전부를 탄성편으로 탄력적으로 보유하는 프론트 리테이너(front retainer)(12)가 착탈이 자유롭게 장착된다. 또, 덮개 본체(11)의 둘레벽에는, 용기 본체(1)의 정면 내주에 압접 변형하는 프레임(frame) 모양의 개스킷(gasket)이 감합되고, 덮개 본체(11)의 둘레벽에 있어서의 상부 양측과 하부 양측에는, 시정 기구(16)용의 출몰 구멍(13)이 각각 관통하여 천공된다.As shown in FIG. 1, the cover body 10 includes a cover body 11 having a substantially dish-shaped cross section that can be freely attached and detached to the front of the container body 1, and a cover body 11 that covers the open surface of the cover body 11. It is provided with a cover plate (14), and a locking mechanism (16) is built between the cover body (11) and the cover plate (14). The cover body 11 is formed in a horizontally elongated substantially rectangular shape, and has a detachable front retainer 12 in the center of the back surface, which elastically holds the entire periphery of the semiconductor wafer W with an elastic piece. It is mounted freely. In addition, a frame-shaped gasket is fitted to the circumferential wall of the lid body 11 to be deformed by pressure contact with the inner periphery of the front of the container main body 1, and the upper portion of the circumferential wall of the lid main body 11 is On both sides and the bottom, emergence holes 13 for the fixing mechanism 16 are respectively drilled through.

커버 플레이트(14)는, 투명, 반투명, 혹은 불투명의 판으로 형성되고, 양측부에, 시정 기구(16)용의 조작 구멍(15)이 각각 관통하여 천공되어 있고, 각 조작 구멍(15)을 덮개체 개폐 장치의 회전 가능한 조작키가 외부로부터 관통한다.The cover plate 14 is formed of a transparent, translucent, or opaque plate, and has operating holes 15 for the locking mechanism 16 perforated through both sides, respectively, and each operating hole 15 is provided. The rotatable operation key of the cover opening and closing device penetrates from the outside.

시정 기구(16)는, 도 1에 나타내듯이, 커버 플레이트(14)의 조작 구멍(15)을 관통한 덮개체 개폐 장치의 조작키로 회전 조작되는 좌우 한 벌의 회전 플레이트(17)와, 각 회전 플레이트(17)의 회전에 따라 상하 방향으로 슬라이드(slide) 하는 복수의 슬라이드 바(19)와, 각 슬라이드 바(19)의 선단부에 연결 축지(軸支)되고, 덮개 본체 둘레벽의 출몰 구멍(13)을 관통하여 용기 본체(1)의 시정 구멍(6)에 감합 계지하는 출몰 가능한 복수의 시정조(施錠爪)(20)를 구비하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the locking mechanism 16 includes a set of left and right rotation plates 17 that are rotated by an operation key of the cover opening and closing device that penetrates the operation hole 15 of the cover plate 14, and each rotation A plurality of slide bars 19 that slide in the up and down direction according to the rotation of the plate 17, are connected and pivoted to the tip of each slide bar 19, and have a recessed hole in the peripheral wall of the cover body ( 13), and is provided with a plurality of retractable fixing bars 20 that fit and lock into the fixing holes 6 of the container body 1.

시정 기구(16)는 용기 본체(1)나 덮개체(10)와 마찬가지의 성형 재료에 의해 성형된다. 복수의 회전 플레이트(17)와 슬라이드 바(19)는, 덮개 본체(11) 내에 설치되는 지지 리브를 통해 축지되거나 지지되거나 하고, 각 회전 플레이트(17)의 주연부 가까이의 한 벌의 원호 홈 구멍(18)에 슬라이드 바(19)의 말단부가 핀을 통해 각각 유감(遊嵌)된다. 또, 각 시정조(20)는, 예를 들면 단면 대략 L자형으로 굴곡 형성되고, 자유단부에 마찰 경감용의 롤러(roller)가 회전 가능하게 축지된다.The locking mechanism 16 is molded from the same molding material as the container body 1 and the lid body 10. The plurality of rotation plates 17 and the slide bar 19 are supported or supported by support ribs provided in the cover body 11, and a set of circular groove holes ( 18), the distal ends of the slide bars 19 are each pushed through pins. In addition, each of the correcting tanks 20 is, for example, curved and formed to have a substantially L-shaped cross section, and a roller for reducing friction is rotatably supported at the free end.

이러한 기판 수납 용기는, 용기 본체(1) 내에 복수매의 반도체 웨이퍼 W가 순차 수납되고, 용기 본체(1)의 정면에 덮개체(10)가 덮개체 개폐 장치에 의해 압입되어 감합됨과 아울러, 각 반도체 웨이퍼 W의 주연 전부를 프론트 리테이너(12)가 보유하고, 시정 기구(16)가 덮개체 개폐 장치로 시정 조작되어 덮개체(10)를 강고하게 고정한다. 덮개체(10)가 강고하게 고정되면, 용기 본체(1)의 로보틱 플랜지(5)가 반도체 공장의 천정 반송 장치에 매달려 다음의 가공 처리 공정으로 반송되어 각 반도체 웨이퍼 W에 가공과 처리가 순차 실시되고, 반도체 웨이퍼 W의 표면에 전자 회로가 형성되게 된다.In this substrate storage container, a plurality of semiconductor wafers W are sequentially stored in the container body 1, and a cover body 10 is press-fitted to the front of the container body 1 by a cover opening and closing device, and each The entire periphery of the semiconductor wafer W is held by the front retainer 12, and the locking mechanism 16 is operated by the cover opening and closing device to firmly fix the cover body 10. When the cover body 10 is firmly fixed, the robotic flange 5 of the container body 1 is suspended from the ceiling transport device of the semiconductor factory and transported to the next processing step, where each semiconductor wafer W is processed sequentially. This is carried out, and an electronic circuit is formed on the surface of the semiconductor wafer W.

레티클 수용 용기(30)는, 특히 한정되는 것은 아니지만, 도 3 내지 도 5에 나타내듯이, 예를 들면 6인치의 레티클을 1매 수용하여 어댑터(40)에 탑재되는 평면 직사각형의 저판(31)과, 이 저판(31)에 씰 개스킷(seal gasket)을 통해 상방으로부터 착탈이 자유롭게 감합되는 평면 대략 직사각형의 상(上) 덮개(32)를 구비한 레티클 SMIF 포드(RSP)이다. 이 레티클 수용 용기(30)의 저판(31)과 상 덮개(32)는, 예를 들면 정전기에 의한 레티클의 손상을 방지하는 관점에서, 카본 등의 도전 재료를 함유하는 소정의 성형 재료(예를 들면, 폴리카보네이트 수지, 폴리부틸렌 테레프탈레이트 수지, 폴리아세탈 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지 등의 각종 합성수지)에 의해 각각 성형된다.The reticle storage container 30 is not particularly limited, but as shown in FIGS. 3 to 5, for example, a flat rectangular base plate 31 that accommodates one 6-inch reticle and is mounted on the adapter 40; It is a reticle SMIF pod (RSP) provided with a top cover 32 of a planar substantially rectangular shape that is removably attached to the bottom plate 31 from above via a seal gasket. The bottom plate 31 and the top cover 32 of this reticle storage container 30 are made of a predetermined molding material containing a conductive material such as carbon, for example, from the viewpoint of preventing damage to the reticle due to static electricity. For example, they are each molded with various synthetic resins such as polycarbonate resin, polybutylene terephthalate resin, polyacetal resin, and polyetheretherketone resin.

저판(31)은 서로 대향하는 평면 대략 직사각형의 상판과 하판을 구비하고, 이들 상판과 하판의 사이에 간극이 구획 형성되어 있고, 이 간극에 시정용의 로크(lock) 기구가 내장된다. 상판의 상면에는, 1매의 레티클의 주연부를 수평으로 지지하는 한 벌의 지지 부재가 간격을 두어 부설되고, 각 지지 부재가 레일로 형성되어 있고, 상판의 상면 주연부 부근에는, 탄성 변형 가능한 평면 프레임 모양의 씰 개스킷이 장착된다.The bottom plate 31 has an upper plate and a lower plate of substantially rectangular planes opposing each other, and a gap is defined between the upper plate and the lower plate, and a locking mechanism for locking is built into this gap. On the upper surface of the upper plate, a set of support members for horizontally supporting the periphery of one reticle are installed at intervals, each support member is formed as a rail, and near the upper periphery of the upper plate, an elastically deformable flat frame is provided. A shaped seal gasket is installed.

상 덮개(32)는, 예를 들면 투명 혹은 반투명의 단면 대략 모자 모양으로 형성되고, 저판(31)과의 감합시에 폭 방향 외측으로 수평하게 돌출하는 플랜지(flange)에 의해, 씰 개스킷을 압접 변형하여 씰(seal)성을 확보한다. 이 상 덮개(32)의 내부 천정에는, 레티클의 상면 주연부에 접촉하여 보유하는 한 벌의 보유 부재가 간격을 두어 대설되고, 각 보유 부재가 예를 들면 레일로 형성되어 지지 부재에 상방으로부터 대향한다.The upper cover 32 is formed, for example, in a transparent or semi-transparent cross-section approximately in the shape of a hat, and when fitted with the base plate 31, the seal gasket is pressure-welded by a flange that protrudes horizontally outward in the width direction. Transform to secure sealability. On the inner ceiling of the image cover 32, a set of holding members are placed at intervals to hold and contact the upper surface periphery of the reticle, and each holding member is formed as a rail, for example, and faces the support member from above. .

상 덮개(32)의 폭 방향 외측으로 돌출하는 플랜지는, 그 주연부(33)의 선단이 하방으로 짧게 굴곡 형성되어 저판(31)의 둘레면에 대향하고, 이 선단의 내면에, 로크 기구의 출몰 바의 선단부에 감합되는 로크 홈이 각각 오목하게 형성된다. 또, 상 덮개(32)의 외면 천정에는, 반송 장치 등에 파지되는 반송용 플랜지(34)가 장착된다.The flange projecting outward in the width direction of the upper cover 32 has a tip of its peripheral portion 33 that is briefly curved downward to face the peripheral surface of the base plate 31, and on the inner surface of this tip, a locking mechanism appears. Each lock groove that fits into the tip of the bar is formed concavely. Additionally, a transport flange 34 that is held by a transport device or the like is mounted on the outer surface ceiling of the upper cover 32.

레티클 수용 용기(30)의 제품 예로서는, RSP-150, RSP-200〔다이니치 상사 주식회사제：제품명〕, 레티클 케이스〔나가세 엔지니어링 주식회사제：제품명〕, 레티클 카셋트〔산요 머티리얼 주식회사제：제품명〕등을 들 수 있다.Examples of products of the reticle storage container 30 include RSP-150, RSP-200 [manufactured by Dainichi Corporation: product name], reticle case [manufactured by Nagase Engineering Co., Ltd.: product name], reticle cassette [manufactured by Sanyo Materials Co., Ltd.: product name], etc. I can hear it.

어댑터(40)는, 도 2, 도 3, 도 5 내지 도 8에 나타내듯이, 용기 본체(1) 내의 한 벌의 지지편(2)에 지지되는 대략 판형으로 성형되고, 레티클 수용 용기(30)를 탑재하는 평탄한 상면의 탑재면(41)에, 레티클 수용 용기(30)의 네 모퉁이부 이외의 대부분을 포위하는 복수의 위치 결정 바(43)가 배치되어 설치되어 있고, 이 복수의 위치 결정 바(43)의 일부에, 레티클 수용 용기(30)에 계지하는 복수의 클램프(50)가 회전 가능하게 지지된다. 이 어댑터(40)는, 소정의 성형 재료에 의해, 기본적으로는 용기 본체(1)의 인접하는 지지편(2)과 지지편(2)의 사이에 삽입 가능한 두께와 크기를 가지는 원판으로 성형되고, 용기 본체(1)의 정면 측에 위치하는 전부(42)가 위치 방향을 나타내는 관점에서 좌우 방향으로 직선적으로 절결(切缺)되어 있고, 양측부가 용기 본체(1)의 한 벌의 지지편(2)에 수평으로 지지된다.As shown in FIGS. 2, 3, and 5 to 8, the adapter 40 is formed into a substantially plate shape supported on a set of support pieces 2 within the container body 1, and is formed into a reticle storage container 30. A plurality of positioning bars 43 surrounding most of the reticle storage container 30 other than the four corners are arranged and installed on the flat upper mounting surface 41 on which the reticle storage container 30 is mounted. In a portion of 43, a plurality of clamps 50 fastened to the reticle storage container 30 are rotatably supported. This adapter 40 is basically formed into a disk with a thickness and size that can be inserted between the adjacent support pieces 2 of the container body 1 using a predetermined molding material. , the front 42 located on the front side of the container body 1 is cut linearly in the left and right directions from the viewpoint of indicating the position direction, and both sides are a set of support pieces of the container body 1 ( 2) is supported horizontally.

어댑터(40)의 소정의 성형 재료로서는, 예를 들면 내약품성·내마모성·내충격성·범용성 등이 뛰어나는 경량의 폴리프로필렌 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리부틸렌 테레프탈레이트 수지, 폴리아세탈 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지 등의 각종 합성 수지, 폴리에스테르(polyester)계, 폴리스티렌(polystyrene)계, 폴리올레핀(polyolefin)계 등의 열가소성 엘라스토머(elastomer)를 들 수 있다. 이 성형 재료에는, 도전성을 부여하여 레티클의 정전기 파괴를 방지하기 위해, 적정량의 카본 블랙, 카본 섬유, 카본 나노 파이버, 카본 나노 튜브, 도전성 고분자, 금속 섬유, 금속 산화물 등이 바람직하게는 첨가된다.Predetermined molding materials for the adapter 40 include, for example, lightweight polypropylene resin, polycarbonate resin, polybutylene terephthalate resin, polyacetal resin, and polyether, which are excellent in chemical resistance, abrasion resistance, impact resistance, and versatility. Examples include various synthetic resins such as ether ketone resin, and thermoplastic elastomers such as polyester, polystyrene, and polyolefin. To this molding material, an appropriate amount of carbon black, carbon fiber, carbon nanofiber, carbon nanotube, conductive polymer, metal fiber, metal oxide, etc. is preferably added to provide conductivity and prevent electrostatic destruction of the reticle.

어댑터(40)는, 예를 들면 반도체 웨이퍼 W와 대략 같은 크기로 형성되고, 탑재면(41)의 주연부 부근에, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개 주연부(33)에 전후 좌우로부터 근접하여 위치 결정하는 복수의 위치 결정 바(43)가 평면 직사각형의 탑재 영역(49)을 그리도록 간격을 두어 나착(螺着)되어 있고, 각 위치 결정 바(43)가 평면 대략 반원형 등으로 형성된다. 복수의 위치 결정 바(43)는 어댑터(40)와 마찬가지의 성형 재료에 의해 성형되고, 이 성형 재료에는 도전성을 부여하여 레티클의 정전기 파괴를 방지하기 위해, 적당량의 카본 블랙, 카본 섬유, 카본 나노 파이버, 카본 나노 튜브, 도전성 고분자, 금속 섬유, 금속 산화물 등이 바람직하게는 첨가된다.The adapter 40 is, for example, formed to have approximately the same size as the semiconductor wafer W, and is positioned near the periphery of the mounting surface 41 and close to the periphery of the upper cover 33 of the reticle storage container 30 from the front, left, and right. A plurality of positioning bars 43 are screwed together at intervals to form a mounting area 49 having a rectangular shape in plan, and each positioning bar 43 is formed in a substantially semicircular shape in plan. The plurality of positioning bars 43 are molded using the same molding material as the adapter 40, and this molding material contains an appropriate amount of carbon black, carbon fiber, and carbon nano to impart conductivity and prevent electrostatic destruction of the reticle. Fibers, carbon nanotubes, conductive polymers, metal fibers, metal oxides, etc. are preferably added.

복수의 위치 결정 바(43)는, 도 3, 도 5, 도 7에 나타내듯이, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개(32)의 주연 전부에 근접하여 위치 결정하는 전부 위치 결정 바(44)와, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개(32)의 주연 후부에 근접하여 위치 결정하는 후부 위치 결정 바(45)와, 레티클 수용 용기(30)의 주연 양측부에 근접하여 위치 결정하는 좌우 한 벌의 측부 위치 결정 바(48)를 구비하고, 이들 44·45·48의 사이에 간극이 각각 구획 형성되어 있고, 후부 위치 결정 바(45)가 약간 키가 큰 단면 대략 역 L자형으로 굴곡 형성된다.As shown in FIGS. 3, 5, and 7, the plurality of positioning bars 43 are front positioning bars 44 positioned close to the entire periphery of the top cover 32 of the reticle storage container 30. and a rear positioning bar 45 positioned close to the rear periphery of the top cover 32 of the reticle housing container 30, and left and right bars positioned close to both sides of the periphery of the reticle housing container 30. It is provided with a bee's side positioning bar 48, and a gap is formed between these 44, 45, and 48, respectively, and the rear positioning bar 45 is slightly tall and curved in an approximately inverted L-shape in cross section. do.

복수의 위치 결정 바(43) 중, 후부 위치 결정 바(45)는, 제조 작업이나 조립 작업을 용이하게 하는 관점에서, 도 5나 도 6에 나타내듯이, 상 덮개(32)의 주연 후부에 횡 방향으로부터 대향 근접하는 블록(block) 모양의 기립부(46)와, 이 기립부(46)에 나사 등의 복수의 체결구를 통해 착탈이 자유롭게 나착되고, 상 덮개(32)의 주연 후부에 상방으로부터 계지하는 평면 대략 반원형으로 L자형의 계지 피복부(47)로 분할되어, 위치 결정 기능 외, 계지 기능을 발휘한다.Among the plurality of positioning bars 43, the rear positioning bar 45 is horizontally located at the rear of the periphery of the upper cover 32, as shown in Figures 5 and 6, from the viewpoint of facilitating manufacturing work and assembly work. A block-shaped rising portion 46 is oppositely approached from the opposite direction, and is removably attached to the rising portion 46 through a plurality of fasteners such as screws, and is attached to the rear peripheral surface of the upper cover 32 upwardly. It is divided into an L-shaped locking coating portion 47 in a substantially semicircular locking plane, and exerts a locking function in addition to a positioning function.

복수(본 실시 형태에서는 3개)의 클램프(50)는, 도 3, 도 5, 도 7, 도 8에 나타내듯이, 전부 위치 결정 바(44)와, 한 벌의 측부 위치 결정 바(48)의 중앙부에 각각 볼트(52)를 통해 지지되고, 수평 횡 방향으로 회전한다. 각 클램프(50)는, 어댑터(40)나 위치 결정 바(43)와 마찬가지의 성형 재료에 의해 대략 넘어진 L자형으로 성형되고, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개 주연부(33)에 장편(長片)부를 상방으로부터 계지하여 Z방향으로의 부상을 방지하거나, 장편부의 계지를 해제하여 레티클 수용 용기(30)의 떼어내기를 가능하도록 기능한다.As shown in FIGS. 3, 5, 7, and 8, the plurality of clamps 50 (three in this embodiment) include a front positioning bar 44 and a set of side positioning bars 48. Each is supported by a bolt 52 in the central part and rotates in the horizontal and transverse direction. Each clamp 50 is molded into a substantially flipped L-shape using the same molding material as the adapter 40 and the positioning bar 43, and is attached to the upper cover peripheral portion 33 of the reticle storage container 30. It functions to prevent levitation in the Z direction by locking the long portion from above, or to enable removal of the reticle containing container 30 by releasing the locking of the long portion.

클램프(50)의 성형 재료에는, 레티클의 정전기 파괴를 방지하는 관점에서, 바람직하게는 적정량의 카본 블랙, 카본 섬유, 카본 나노 파이버, 카본 나노 튜브, 도전성 고분자, 금속 섬유, 금속 산화물 등이 첨가된다. 또, 볼트(52)는, 특히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 내열성이나 기계 특성 등이 뛰어나는 고기능의 폴리에테르에테르케톤 수지 등에 의해 성형되고, 클램프(50)의 단편(短片) 통부(51)에 상방으로부터 나사 삽입된다.From the viewpoint of preventing electrostatic destruction of the reticle, an appropriate amount of carbon black, carbon fiber, carbon nanofiber, carbon nanotube, conductive polymer, metal fiber, metal oxide, etc. is preferably added to the molding material of the clamp 50. . In addition, the bolt 52 is not particularly limited, but is, for example, molded from a high-performance polyetheretherketone resin with excellent heat resistance and mechanical properties, etc., and is used as a single cylinder portion 51 of the clamp 50. The screw is inserted from above.

상기 구성에 있어서, 기판 수납 용기의 용기 본체(1)에 레티클을 수용한 레티클 수용 용기(30)를 어댑터(40)를 통해 수납하는 경우에는, 먼저, 어댑터(40)를 준비하여 그 복수의 클램프(50)의 장편부를 위치 결정 바(43)의 긴 방향을 향하게 하고(도 5 참조), 어댑터(40)의 탑재면(41)에 기울인 레티클 수용 용기(30)의 후부를 접촉시키고, 이 레티클 수용 용기(30)를 후방으로 슬라이드시켜 그 상 덮개(32)의 주연 후부를 후부 위치 결정 바(45)의 계지 피복부(47)에 계지시킴과 아울러, 전부 위치 결정 바(44), 후부 위치 결정 바(45), 및 한 벌의 측부 위치 결정 바(48)의 사이의 탑재 영역(49)에 레티클 수용 용기(30)를 감입(嵌入)하여 위치 결정한다.In the above configuration, when the reticle storage container 30 containing the reticle is stored in the container body 1 of the substrate storage container through the adapter 40, the adapter 40 is first prepared and the plurality of clamps are connected. The long part of 50 is oriented in the long direction of the positioning bar 43 (see Fig. 5), the rear part of the inclined reticle storage container 30 is brought into contact with the mounting surface 41 of the adapter 40, and this reticle The container 30 is slid rearward and the rear peripheral portion of the top cover 32 is locked to the locking coating portion 47 of the rear positioning bar 45, and the front positioning bar 44 is positioned at the rear position. The reticle storage container 30 is inserted into the mounting area 49 between the decision bar 45 and the set of side positioning bars 48 and is positioned.

레티클 수용 용기(30)를 감입하여 탑재하면, 각 클램프(50)의 장편부를 어댑터(40)의 중심부 방향으로 회전시키고(도 8 참조), 클램프(50)의 장편부를 레티클 수용 용기(30)의 주연부(33)에 계지시켜 레티클 수용 용기(30)가 Z방향으로 부상하지 않도록 하고(도 3 참조), 빈 용기 본체(1) 내에 복수의 어댑터(40)를 순차 수납하여 그 양측부를 용기 본체(1)의 대향하는 한 벌의 지지편(2)에 각각 지지시켜 어댑터(40)의 위치나 자세를 안정시킨 후, 용기 본체(1)의 개구한 정면에 덮개체(10)를 압입하여 감합하면, 용기 본체(1)에 레티클 수용 용기(30)를 어댑터(40)를 통해 안전하게 수납할 수가 있다. 이때, 어댑터(40)와 어댑터(40)의 간격을 비우고, 어댑터(40)의 하면에 레티클 수용 용기(30)가 충돌하지 않도록 하는 것이 바람직하다.When the reticle housing container 30 is inserted and mounted, the long part of each clamp 50 is rotated toward the center of the adapter 40 (see FIG. 8), and the long part of the clamp 50 is placed in the reticle housing container 30. It is fastened to the peripheral part 33 to prevent the reticle storage container 30 from floating in the Z direction (see FIG. 3), and a plurality of adapters 40 are sequentially stored in the empty container body 1, and both sides of the container body ( After stabilizing the position and posture of the adapter 40 by supporting it on a set of opposing support pieces 2 in 1), the cover body 10 is press-fitted into the open front of the container body 1. , the reticle storage container 30 can be safely stored in the container body 1 through the adapter 40. At this time, it is desirable to leave a gap between the adapters 40 and prevent the reticle accommodating container 30 from colliding with the lower surface of the adapter 40.

상기 구성에 의하면, 어댑터(40)의 탑재면(41)에 레티클 수용 용기(30)를 안정되게 탑재하는 것만이 아니고, 레티클 수용 용기(30)의 주연부(33)에 복수의 클램프(50)를 각각 계지시키므로, 비록 기판 수납 용기가 충돌하여 외력이 작용해도, 어댑터(40)로부터 레티클 수용 용기(30)가 부상하여 Z방향으로 위치 어긋나거나, 덜컹거리거나, 탈락하는 것을 유효하게 방지할 수가 있다. 따라서, 레티클 수용 용기(30) 내의 레티클의 손상 방지를 크게 기대할 수 있다. 또, 어댑터(40), 복수의 위치 결정 바(43), 및 복수의 클램프(50)를 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 각각 성형하므로, 도전성의 부여에 의해 레티클의 정전기 파괴를 방지할 수가 있다.According to the above configuration, not only is the reticle storage container 30 stably mounted on the mounting surface 41 of the adapter 40, but also a plurality of clamps 50 are attached to the peripheral portion 33 of the reticle storage container 30. Since they are each locked, even if the substrate storage container collides and an external force is applied, it is possible to effectively prevent the reticle storage container 30 from rising from the adapter 40 and being misaligned, rattling, or falling off in the Z direction. . Therefore, it is possible to greatly prevent damage to the reticle in the reticle storage container 30. In addition, since the adapter 40, the plurality of positioning bars 43, and the plurality of clamps 50 are each molded from a molding material containing resin and a conductive filler, electrostatic destruction of the reticle can be prevented by imparting conductivity. There is a number.

또, 어댑터(40)의 탑재면(41)에 탑재된 레티클 수용 용기(30)의 주연 후부에 후부 위치 결정 바(45)의 기립부(46)를 근접시켜 위치 결정함과 아울러, 후부 위치 결정 바(45)의 계지 피복부(47)를 계지시키므로, 레티클 수용 용기(30)가 어댑터(40)의 전후 방향으로 어긋나는 것을 억제할 수가 있고, 게다가, 어댑터(40)로부터 레티클 수용 용기(30)의 후부가 부상하여 위치 어긋나거나, 덜컹거리거나, 탈락하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 또한 별체(別體)의 기립부(46)와 계지 피복부(47)를 조립하여 후부 위치 결정 바(45)를 구성하므로, 형상이 복잡한 후부 위치 결정 바(45)를 용이하게 조립하여 사용할 수가 있다.In addition, the rising portion 46 of the rear positioning bar 45 is positioned close to the peripheral rear of the reticle storage container 30 mounted on the mounting surface 41 of the adapter 40, and the rear positioning is determined. By locking the locking coating portion 47 of the bar 45, it is possible to prevent the reticle storage container 30 from being displaced in the front-back direction of the adapter 40, and furthermore, the reticle storage container 30 can be separated from the adapter 40. It is possible to prevent the rear part from floating, being misaligned, rattling, or falling off. In addition, since the rear positioning bar 45 is formed by assembling the separate stand portion 46 and the locking covering portion 47, the rear positioning bar 45 with a complex shape can be easily assembled and used. there is.

다음에, 도 9는 본 발명의 제2의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는, 전부 위치 결정 바(44)의 중앙부에만, 수평 횡 방향으로 회전 가능한 클램프(50)를 볼트(52)를 통해 지지시키도록 하고 있다. 그 외의 부분에 대해서는, 상기 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.Next, Figure 9 shows a second embodiment of the present invention. In this case, a clamp 50 rotatable in the horizontal and lateral direction is attached only to the central portion of the front positioning bar 44 through a bolt 52. We are trying to support it. As for other parts, they are the same as the above embodiment, so description is omitted.

본 실시 형태에 있어서도, 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 게다가, 각 측부 위치 결정 바(48)의 클램프(50)를 생략하므로, 부품 점수의 삭감을 크게 기대할 수 있는 것은 분명하다.It is clear that in this embodiment, the same effects as those in the above embodiment can be expected, and in addition, since the clamp 50 of each side positioning bar 48 is omitted, a significant reduction in the number of parts can be expected. .

다음에, 도 10은 본 발명의 제3의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는, 전부 위치 결정 바(44)에, 수평 횡 방향으로 회전 가능한 좌우 한 벌의 클램프(50)를 볼트(52)를 통해 각각 지지시켜, 전부 위치 결정 바(44)에 있어서의 클램프(50)의 수를 늘리도록 하고 있다. 그 외의 부분에 대해서는, 상기 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.Next, Figure 10 shows the third embodiment of the present invention. In this case, a set of left and right clamps 50 rotatable in the horizontal and lateral direction are attached to the front positioning bar 44 with bolts 52. The number of clamps 50 on each positioning bar 44 is increased by supporting them respectively. As for other parts, they are the same as the above embodiment, so description is omitted.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 게다가, 각 측부 위치 결정 바(48)의 클램프(50)를 생략하므로, 부품 점수의 삭감을 기대할 수 있다. 또, 한 벌의 클램프(50)를 이용하므로, 비록 일방의 클램프(50)가 빠져도, 타방의 클램프(50)에 의해, 레티클 수용 용기(30)의 위치 어긋남이나 덜컹거림, 탈락 등을 확실하게 방지할 수가 있다.In this embodiment, the same effects as those in the above embodiment can be expected, and since the clamp 50 of each side positioning bar 48 is omitted, the number of parts can be expected to be reduced. In addition, since a set of clamps 50 are used, even if one clamp 50 falls off, the other clamp 50 ensures that the reticle storage container 30 is not misaligned, rattles, falls, etc. It can be prevented.

또한, 상기 실시 형태에서는 어댑터(40), 복수의 위치 결정 바(43), 및 복수의 클램프(50)를 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 성형하였지만, 이들 적어도 어느 하나를 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 성형해도 좋다. 또, 어댑터(40)의 하면에 있어서의 양측부 주연에, 지지편(2)의 스토퍼(3)에 근접하는 절결을 다른 부분보다도 두께가 얇게 되도록 각각 형성하고, 각 절결을 지지편(2)의 스토퍼(3)에 접촉시켜 어댑터(40)가 전후 방향, 특히 전 방향으로 위치 어긋나거나, 덜컹거리는 것을 방지하도록 해도 좋다.In addition, in the above embodiment, the adapter 40, the plurality of positioning bars 43, and the plurality of clamps 50 were molded using a molding material containing resin and a conductive filler, but at least one of these is made of a resin and a conductive filler. It may be molded using containing molding materials. In addition, on the periphery of both sides of the lower surface of the adapter 40, cutouts approaching the stopper 3 of the support piece 2 are formed so as to have a thinner thickness than other parts, and each cutout is formed on the support piece 2. You may contact the stopper 3 to prevent the adapter 40 from being misaligned or rattling in the front-to-back direction, especially in the front direction.

또, 어댑터(40)의 직경 방향에 복수의 위치 결정 바(43)용의 부착 구멍을 복수 천공하고, 레티클 수용 용기(30)의 크기에 따라 복수의 부착 구멍에 위치 결정 바(43)를 선택적으로 나착해도 좋다. 또, 상기 실시 형태에서는 어댑터(40)의 전부 위치 결정 바(44)와 한 벌의 측부 위치 결정 바(48) 중, 적어도 전부 위치 결정 바(44)에 클램프(50)를 지지시켰지만, 한 벌의 측부 위치 결정 바(48)에만 필요 수의 클램프(50)를 회전 가능하게 지지시켜도 좋다. 또, 특히 지장을 초래하지 않으면, 어댑터(40)의 탑재면(41)에 복수의 클램프(50)를 회전 가능하게 지지시킬 수가 있다.In addition, a plurality of attachment holes for a plurality of positioning bars 43 are drilled in the radial direction of the adapter 40, and the positioning bars 43 are selectively installed in the plurality of attachment holes according to the size of the reticle storage container 30. You can also start with . In addition, in the above embodiment, the clamp 50 is supported on at least the front positioning bar 44 among the front positioning bar 44 and the set of side positioning bars 48 of the adapter 40. The required number of clamps 50 may be rotatably supported only on the side positioning bars 48. Additionally, if it does not cause any particular trouble, the plurality of clamps 50 can be rotatably supported on the mounting surface 41 of the adapter 40.

또, 어댑터(40)의 탑재면(41)에 필요 수의 요철을 배열 형성하여 레티클 수용 용기(30)의 저면과의 사이에 간극을 형성 가능하게 하여, 레티클 수용 용기(30)의 부착, 떼어내기를 용이하게 할 수가 있다. 또, 어댑터(40)의 탑재면(41)에, 레티클 수용 용기(30)용의 얕은 바닥의 수용 구멍 등을 선택적으로 천공할 수도 있다. 또, 후부 위치 결정 바(45)의 계지 피복부(47)의 레티클 수용 용기(30)에 대향하는 기립면을 경사지게 하여 레티클 수용 용기(30)의 상방으로의 경사각을 확대 가능하게 하여, 레티클 수용 용기(30)의 떼어내기를 원활하게 하는 것이 가능하다. 또한, 각 위치 결정 바(43)에 가요성이나 스프링성을 부여하여 레티클 수용 용기(30)의 주연부(33)에 밀접시켜, 레티클 수용 용기(30)의 위치 어긋남이나 탈락을 방지하는 것도 가능하다.In addition, by arranging the required number of irregularities on the mounting surface 41 of the adapter 40, a gap can be formed between the bottom surface of the reticle storage container 30 and the reticle storage container 30 can be attached and removed. Betting can be made easily. Additionally, a shallow bottom receiving hole for the reticle storage container 30, etc. can be selectively drilled into the mounting surface 41 of the adapter 40. In addition, the standing surface of the locking coating portion 47 of the rear positioning bar 45 facing the reticle accommodating container 30 is inclined to enable the upward inclination angle of the reticle accommodating container 30 to be expanded, enabling reticle accommodating. It is possible to smoothly remove the container 30. In addition, it is also possible to provide flexibility and spring properties to each positioning bar 43 and bring it into close contact with the peripheral portion 33 of the reticle storage container 30 to prevent the reticle storage container 30 from being misaligned or falling off. .

본 발명과 관련되는 기판 수납 용기는 반도체나 레티클을 취급하는 분야에서 사용할 수가 있다.The substrate storage container related to the present invention can be used in fields that handle semiconductors or reticles.

1 : 용기 본체 2 : 지지편
5 : 로보틱 플랜지(robotic flange)
8 : 반송 레일 10 : 덮개체
11 : 덮개 본체
14 : 커버 플레이트(cover plate)
16 : 시정 기구
30 : 레티클(reticle) 수용 용기
31 : 저판(底板) 32 : 상 덮개
33 : 주연부(周緣部) 40 : 어댑터(adapter)
41 : 탑재면
43 : 위치 결정 바(위치 결정 부재)
44 : 전부 위치 결정 바(위치 결정 부재, 전부 위치 결정 부재)
45 : 후부 위치 결정 바(위치 결정 부재, 후부 위치 결정 부재)
46 : 기립부 47 : 계지 피복부
48 : 측부 위치 결정 바(위치 결정 부재, 측부 위치 결정 부재)
49 : 탑재 영역 50 : 클램프(클램프 부재)
W : 반도체 웨이퍼1: container body 2: support piece
5: robotic flange
8: conveyance rail 10: cover body
11: cover body
14: cover plate
16: Municipal governing body
30: Reticle receiving container
31: Bottom plate 32: Top cover
33: Peripheral part 40: Adapter
41: Mounting surface
43: Positioning bar (positioning member)
44: All positioning bars (positioning member, all positioning members)
45: rear positioning bar (positioning member, rear positioning member)
46: Standing part 47: Closure covering part
48: side positioning bar (positioning member, side positioning member)
49: Mounting area 50: Clamp (clamp member)
W: semiconductor wafer

Claims (4)

복수매의 반도체 웨이퍼를 상하 방향으로 늘어놓아 수납 가능한 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구한 정면에 착탈이 자유롭게 감합되는 덮개체와, 용기 본체에 수납되는 레티클 수용 용기 탑재용의 어댑터를 포함하여 이루어지는 기판 수납 용기로서,
용기 본체의 내부 양측에, 반도체 웨이퍼를 대략 수평으로 지지 가능한 한 벌의 지지편을 대향시켜 설치하고, 이 한 벌의 지지편을 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배열하고,
어댑터를 용기 본체 내의 한 벌의 지지편에 지지되는 형상으로 형성하고, 이 어댑터의 레티클 수용 용기를 탑재하는 탑재면에, 레티클 수용 용기를 위치 결정하는 복수의 위치 결정 부재를 배치하여 설치하고, 어댑터의 탑재면과 위치 결정 부재의 적어도 어느 일방에, 레티클 수용 용기에 계지하는 클램프 부재를 부착한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.It includes a container body capable of storing a plurality of semiconductor wafers arranged in the vertical direction, a cover body that can be freely attached and detached to the open front of the container body, and an adapter for mounting a reticle accommodating container stored in the container body. As a substrate storage container,
On both sides of the interior of the container body, a set of support pieces capable of supporting a semiconductor wafer are installed facing each other, and a plurality of this set of support pieces are arranged at predetermined intervals in the vertical direction,
An adapter is formed in a shape supported by a set of support pieces in the container body, and a plurality of positioning members for positioning the reticle accommodating container are arranged and installed on the mounting surface of the adapter on which the reticle accommodating container is mounted, and the adapter is provided. A substrate storage container characterized in that a clamp member for fastening the reticle storage container is attached to at least one of the mounting surface and the positioning member. 제1항에 있어서,
어댑터의 레티클 수용 용기를 탑재하는 탑재면에, 레티클 수용 용기를 포위하여 그 주연부의 전후 좌우에 근접하는 복수의 위치 결정 부재를 소정의 간격을 두어 배열하고, 어댑터, 복수의 위치 결정 부재, 및 클램프 부재의 적어도 어느 하나를 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 성형한 기판 수납 용기.According to paragraph 1,
On the mounting surface on which the reticle accommodating container of the adapter is mounted, a plurality of positioning members surrounding the reticle accommodating container and proximate to the front, rear, and left and right sides of the periphery thereof are arranged at predetermined intervals, and an adapter, a plurality of positioning members, and a clamp are provided. A substrate storage container in which at least one of the members is molded using a molding material containing resin and conductive filler. 제2항에 있어서,
복수의 위치 결정 부재 중, 레티클 수용 용기의 주연 전부에 근접하는 전부 위치 결정 부재와, 레티클 수용 용기의 주연 측부에 근접하는 측부 위치 결정 부재의 적어도 어느 일방에, 레티클 수용 용기의 주연부에 상방으로부터 계지하는 클램프 부재를 회전 가능하게 지지시킨 기판 수납 용기.According to paragraph 2,
Among the plurality of positioning members, at least one of a front positioning member adjacent to the entire periphery of the reticle accommodating container and a side positioning member adjacent to a peripheral side of the reticle accommodating container is fastened from above to the periphery of the reticle accommodating container. A substrate storage container in which a clamp member is rotatably supported. 제2항 또는 제3항에 있어서,
복수의 위치 결정 부재 중, 레티클 수용 용기의 주연 후부에 근접하는 후부 위치 결정 부재를 단면 대략 역 L자형으로 형성하고, 이 후부 위치 결정 부재를, 레티클 수용 용기의 주연 후부에 횡 방향으로부터 대향하는 기립부와, 이 기립부에 착탈이 자유롭게 부착되어 레티클 수용 용기의 주연 후부에 상방으로부터 계지하는 계지 피복부로 분할한 기판 수납 용기.
According to paragraph 2 or 3,
Among the plurality of positioning members, a rear positioning member close to the peripheral rear of the reticle storage container is formed to have a substantially inverted L-shape in cross section, and this rear positioning member is erected to face the peripheral rear of the reticle storage container in the lateral direction. A substrate storage container divided into a portion and a locking coating portion that is removably attached to the standing portion and fastened from above to the rear periphery of the reticle storage container.
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