KR20240037148A - Substrate storage container - Google Patents
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Abstract
[과제] 어댑터로부터 레티클 수용 용기가 부상하는 것을 억제하고, 레티클 수용 용기를 상 방향으로 기울여 용이하게 떼어내기 가능한 기판 수납 용기를 제공한다.
[해결 수단] 반도체 웨이퍼 수납용의 용기 본체와, 용기 본체에 수납되는 레티클 수용 용기(30)용의 어댑터(40)와, 어댑터(40)의 탑재면(41)에 배치되어 설치되는 레티클 수용 용기(30)용의 복수의 위치 결정 바(50)를 구비하고, 용기 본체 내의 양측에, 반도체 웨이퍼를 수평으로 지지하는 한 벌의 지지편을 대설하여 상하 방향으로 배열하고, 어댑터(40)를 한 벌의 지지편에 지지되는 원판으로 형성하여 탑재면 후부에 레티클 수용 용기(30)에 간극을 통해 대향하는 경사각 확대 홈(43)을 형성하고, 복수의 위치 결정 바(50)를, 레티클 수용 용기(30)의 주연 전부용의 전부 위치 결정 바(52)와, 주연 후부용의 후부 위치 결정 바(53)와, 주연 측부용의 측부 위치 결정 바(57)로 구성하고, 후부 위치 결정 바(53)를 단면 역 L자형으로서 경사각 확대 홈(43)에 인접시킨다.[Problem] To provide a substrate storage container that prevents a reticle storage container from floating from an adapter and allows the reticle storage container to be easily removed by tilting it upward.
[Solution] A container body for storing semiconductor wafers, an adapter 40 for the reticle storage container 30 stored in the container body, and a reticle storage container disposed and installed on the mounting surface 41 of the adapter 40. It is provided with a plurality of positioning bars 50 for (30), and a set of support pieces for horizontally supporting the semiconductor wafer are arranged on both sides of the container body in the vertical direction, and an adapter 40 is provided. It is formed as a disk supported on the support piece of the bee, and an inclination angle enlarged groove 43 is formed at the rear of the mounting surface to face the reticle accommodating container 30 through a gap, and a plurality of positioning bars 50 are formed in the reticle accommodating container. (30) is composed of a front positioning bar 52 for the front periphery, a rear positioning bar 53 for the rear periphery, and a side positioning bar 57 for the peripheral sides, and the rear positioning bar ( 53) has an inverted L-shaped cross section and is adjacent to the inclination angle enlargement groove 43.
Description
본 발명은 반도체 웨이퍼 외, 레티클(reticle)용의 레티클 수용 용기를 수납 가능한 기판 수납 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate storage container capable of storing a reticle storage container for a reticle as well as a semiconductor wafer.
반도체 제조 라인의 리소그래피(lithography) 공정에 있어서는, 반도체 웨이퍼에 전자 회로를 형성하기 위하여, 복수매의 레티클이 사용되지만, 반도체 웨이퍼와 레티클은, 한 번에 반송할 수 있는 매수가 다르고, 1매의 반도체 웨이퍼에 전자 회로를 형성하기 위하여 복수매의 레티클을 몇 번이나 반송할 필요가 있으므로, 반도체 웨이퍼의 반송 효율의 향상에 지장을 초래하는 일이 있다. 또, 반도체 웨이퍼용의 기판 수납 용기와 레티클용의 수용 용기는, 크기나 반송 형태가 상위하고, 다른 반송 라인이 요구되므로, 복수의 반송 라인을 설치하지 않으면 안되고, 설비나 코스트(cost), 스페이스(space) 점유 등의 점에서 문제가 생긴다.In the lithography process of a semiconductor manufacturing line, multiple reticles are used to form an electronic circuit on a semiconductor wafer, but the number of semiconductor wafers and reticles that can be conveyed at one time is different, and one sheet In order to form an electronic circuit on a semiconductor wafer, it is necessary to transport a plurality of reticles several times, which may hinder the improvement of the transport efficiency of the semiconductor wafer. In addition, the substrate storage container for semiconductor wafers and the storage container for reticles are different in size and transport form, and different transport lines are required, so multiple transport lines must be installed, which requires equipment, cost, and space. Problems arise in terms of space occupancy, etc.
이러한 문제를 해소하기 위하여, 종래에 있어서는, 도시하지 않지만, 반도체 웨이퍼용의 기판 수납 용기의 용기 본체에 레티클용의 레티클 수용 용기를 전용의 어댑터(adapter)를 통해 수납하고, 한 종류의 기판 수납 용기를 이용하여 반송하는 기술이 제안되어 있다(특허 문헌 1, 2, 3, 4 참조).In order to solve this problem, conventionally, although not shown, the reticle storage container for the reticle is stored in the container body of the substrate storage container for semiconductor wafers through a dedicated adapter, and one type of substrate storage container is provided. A conveyance technology using is proposed (see Patent Documents 1, 2, 3, and 4).
어댑터는 반도체 웨이퍼와 대략 같은 크기의 원판으로 형성되고, 레티클 수용 용기를 탑재한다. 이 어댑터의 레티클 수용 용기를 탑재하는 탑재면의 주연부(周緣部) 부근에는, 레티클 수용 용기를 전후 좌우로부터 위치 결정하는 복수의 위치 결정 바(bar)가 직사각형을 그리도록 간격을 두어 배치되어 설치되고, 각 위치 결정 바가 직선적인 대략 I자형, 혹은 평면 대략 반원형으로 형성되어 있다.The adapter is formed of a disk of approximately the same size as the semiconductor wafer and is equipped with a reticle accommodating container. Near the periphery of the mounting surface on which the reticle storage container of this adapter is mounted, a plurality of positioning bars for positioning the reticle storage container from front, back, left and right are arranged and installed at intervals to form a rectangle. , each positioning bar is formed into a straight approximately I-shape or a flat approximately semicircular shape.
그렇지만, 어댑터에 레티클 수용 용기가 단지 탑재되는 경우, 어댑터로부터 레티클 수용 용기가 부상하여 위치 어긋나거나, 탈락하거나 하고, 그 결과, 레티클 수용 용기 내의 레티클이 손상될 우려가 있다. 이 우려를 불식하는 수단으로서는, 예를 들면 후부(後部)의 위치 결정 바를 단면 역(逆) L자형으로 형성하여 레티클 수용 용기의 주연 후부에 간극 없이 위치 결정 계지(係止)시켜, 레티클 수용 용기가 부상하여 위치 어긋나는 것을 방지하는 방법이 생각된다.However, when the reticle storage container is simply mounted on the adapter, there is a risk that the reticle storage container may rise from the adapter and become misaligned or fall off, resulting in damage to the reticle in the reticle storage container. As a means to eliminate this concern, for example, the rear positioning bar is formed into an inverted L-shape in cross section and is positioned and locked to the rear peripheral edge of the reticle housing container without a gap. I think there is a way to prevent it from rising and being misaligned.
그러나, 이 방법의 경우에는, 레티클 수용 용기의 부상을 방지할 수가 있지만, 후부의 위치 결정 바의 간극이 없는 꽉 끼는 계지에 의해, 레티클 수용 용기를 상 방향으로 크게 경사시키는 것이 곤란하므로, 어댑터로부터 레티클 수용 용기를 떼어내는 작업에 지장을 초래한다고 하는 큰 문제가 새롭게 생길 우려가 있다.However, in the case of this method, although it is possible to prevent the reticle housing container from being lifted, it is difficult to tilt the reticle housing container significantly upward due to the tight engagement without a gap in the rear positioning bar, so There is a risk that a new major problem will arise that will interfere with the work of removing the reticle housing container.
본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 어댑터로부터 레티클 수용 용기가 부상하는 것을 억제하고, 레티클 수용 용기를 상 방향으로 기울여 어댑터로부터 용이하게 떼어낼 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.The present invention was made in view of the above, and its purpose is to provide a substrate storage container that prevents the reticle storage container from floating from the adapter and allows the reticle storage container to be easily removed from the adapter by tilting it upward.
본 발명에 있어서는 상기 과제를 해결하기 위하여, 복수매의 반도체 웨이퍼를 상하 방향으로 늘어놓아 수납 가능한 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구한 정면에 착탈이 자유롭게 감합(嵌合)되는 덮개체와, 용기 본체에 수납되는 레티클 수용 용기 탑재용의 어댑터와, 이 어댑터의 레티클 수용 용기용의 탑재면에 배치하여 설치되어 레티클 수용 용기를 위치 결정하는 복수의 위치 결정 부재를 포함하여 이루어지는 것으로서,In order to solve the above problems, the present invention includes a container body capable of storing a plurality of semiconductor wafers arranged in the vertical direction, a cover body that is removably fitted to the open front of the container body, and a container. It includes an adapter for mounting a reticle storage container stored in a main body, and a plurality of positioning members disposed on the mounting surface of the adapter for the reticle storage container and positioning the reticle storage container,
용기 본체의 내부 양측에, 반도체 웨이퍼를 대략 수평으로 지지 가능한 한 벌의 지지편을 대향시켜 설치하고, 이 한 벌의 지지편을 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배열하고,On both sides of the interior of the container body, a set of support pieces capable of supporting a semiconductor wafer are installed facing each other, and a plurality of this set of support pieces are arranged at predetermined intervals in the vertical direction,
어댑터를 용기 본체 내의 한 벌의 지지편에 지지되는 형상으로 형성하고, 이 어댑터의 탑재면 후부에, 레티클 수용 용기의 저면에 간극을 통해 대향하는 경사각 확대 홈을 형성하고,The adapter is formed in a shape supported by a set of support pieces in the container body, and an inclination angle enlarged groove is formed at the rear of the mounting surface of the adapter to face the bottom of the reticle accommodating container through a gap,
복수의 위치 결정 부재는, 레티클 수용 용기의 주연 전부(前部)에 접근하여 위치 결정하는 전부 위치 결정 부재와, 레티클 수용 용기의 주연 후부에 접근하여 위치 결정 계지하는 후부 위치 결정 부재와, 레티클 수용 용기의 주연 측부에 접근하여 위치 결정하는 측부 위치 결정 부재를 포함하고, 후부 위치 결정 부재를 단면 대략 역 L자형으로 형성하여 경사각 확대 홈에 접근시킨 것을 특징으로 하고 있다.The plurality of positioning members includes a front positioning member that approaches and positions the front periphery of the reticle storage container, a rear positioning member that approaches and positions and locks the rear periphery of the reticle storage container, and a reticle accommodating member. It includes a side positioning member that approaches and positions the peripheral side of the container, and is characterized in that the rear positioning member is formed in a substantially inverted L-shape in cross section and approaches the inclination angle enlarged groove.
또한, 어댑터의 탑재면, 전부 위치 결정 부재, 및 측부 위치 결정 부재의 적어도 어느 하나에, 레티클 수용 용기의 주연부에 상방으로부터 계지(계합되어 멈춤)하는 클램프(clamp) 부재를 회전 가능하게 부착할 수가 있다.Additionally, a clamp member that locks (engages and stops) the peripheral portion of the reticle storage container from above can be rotatably attached to at least one of the mounting surface of the adapter, the front positioning member, and the side positioning member. there is.
또, 어댑터와 복수의 위치 결정 부재의 적어도 어느 하나를, 수지와 도전 필러(filler) 함유의 성형 재료에 의해 성형할 수가 있다.Additionally, at least one of the adapter and the plurality of positioning members can be molded using a molding material containing resin and a conductive filler.
또, 경사각 확대 홈을, 어댑터의 탑재면 후부에 연접(連接)(이어져 접속하고 있는)되어 서서히 하강하는 경사면과, 이 경사면에 연접되어 후부 위치 결정 부재에 인접하는 평탄면으로 형성하는 것이 가능하다.In addition, it is possible to form the inclination angle expansion groove with a gradually descending inclined surface that is connected (connected) to the rear of the mounting surface of the adapter, and a flat surface that is connected to this inclined surface and adjacent to the rear positioning member. .
또한, 후부 위치 결정 부재를, 경사각 확대 홈의 평탄면에 인접하여 레티클 수용 용기의 주연 후부에 횡 방향으로부터 대향하는 기립부와, 이 기립부에 착탈이 자유롭게 부착되어 레티클 수용 용기의 주연 후부에 상방으로부터 계지하는 계지 피복부로 분할하는 것이 가능하다.In addition, the rear positioning member is provided with a rising portion adjacent to the flat surface of the inclination angle enlargement groove and facing laterally to the rear periphery of the reticle storage container, and this rising portion is removably attached to the rear positioning portion and positioned upwardly to the rear peripheral surface of the reticle storage container. It is possible to divide it into a locking coating part that locks from.
여기서, 특허 청구의 범위에 있어서의 반도체 웨이퍼에는, 적어도 φ300mm나 φ450mm의 실리콘 웨이퍼 등이 포함된다. 또, 용기 본체나 덮개체의 적어도 일부는, 투명, 불투명, 반투명의 어느 하나라도 좋다. 용기 본체에 있어서의 지지편의 표면의 적어도 전부에는, 반도체 웨이퍼나 어댑터용의 스토퍼(stopper)를 형성할 수가 있다. 또, 레티클 수용 용기는, 5~7인치의 레티클을 수용하는 평면 다각형의 상자형으로도 좋고, 카셋트(cassette)형 등이라도 좋다.Here, the semiconductor wafer in the scope of the patent claims includes a silicon wafer of at least ϕ300 mm or ϕ450 mm. Additionally, at least a part of the container body or lid may be transparent, opaque, or translucent. A stopper for a semiconductor wafer or adapter can be formed on at least the entire surface of the support piece in the container body. Additionally, the reticle storage container may be a flat polygonal box that accommodates a 5 to 7 inch reticle, or may be a cassette type.
어댑터는, 평면 원형, 타원형, 직사각형, 다각형, 정방형 등으로 적당히 형성할 수가 있다. 또, 후부 위치 결정 부재의 「단면 대략 역 L자형」에는, 단면 역 L자형과 대체로 단면 역 L자형으로 인정되는 유사형(예를 들면, 단면 역 J자형이나 단면 역 Γ자형 등)의 모두가 포함된다. 클램프 부재의 「회전」이라고 하는 용어에는, 회동이나 요동이 포함된다. 또한, 기판 수납 용기는, 반도체 공장용의 FOUP(Front Opening Unified Pod)가 주된 것이지만, 출하·수송용의 FOSB(Front Opening Shipping Box)라도 좋다.The adapter can be appropriately formed into a flat circular, oval, rectangular, polygonal, square, etc. shape. In addition, the “approximately inverted L-shaped cross section” of the rear positioning member includes both an inverted L-shaped cross section and similar shapes that are generally recognized as an inverted L-shaped cross section (for example, an inverted J-shaped cross section or an inverted Γ-shaped cross section, etc.) Included. The term “rotation” of the clamp member includes rotation and oscillation. Additionally, the substrate storage container is mainly a FOUP (Front Opening Unified Pod) for semiconductor factories, but a FOSB (Front Opening Shipping Box) for shipping and transportation may also be used.
본 발명에 의하면, 어댑터에 탑재되는 레티클 수용 용기의 주연 후부를 후부 위치 결정 부재에 접근시켜 위치 결정하고, 또한 계지시키므로, 어댑터로부터 레티클 수용 용기가 부상하거나, 덜컹거리는 것을 방지할 수가 있다. 또, 경사각 확대 홈에 레티클 수용 용기의 저면이 접촉하면, 레티클 수용 용기의 주연 후부와 후부 위치 결정 부재의 사이에 경사용의 간극을 구획할 수가 있으므로, 레티클 수용 용기를 소정의 각도로 상 방향으로 경사시켜 어댑터로부터 레티클 수용 용기를 비교적 간단하게 떼어낼 수가 있다.According to the present invention, the peripheral rear portion of the reticle accommodating container mounted on the adapter is positioned by approaching the rear positioning member and locked, thereby preventing the reticle accommodating container from floating or shaking from the adapter. In addition, when the bottom of the reticle storage container comes into contact with the inclination angle expansion groove, a gap for tilt can be defined between the peripheral rear part of the reticle storage container and the rear positioning member, so that the reticle storage container is tilted upward at a predetermined angle. By tilting, the reticle housing container can be relatively easily removed from the adapter.
본 발명에 의하면, 후부 위치 결정 부재를 단면 대략 역 L자형으로 형성하고, 경사각 확대 홈에 접근시키므로, 어댑터로부터 레티클 수용 용기가 부상하는 것을 억제하고, 레티클 수용 용기를 상 방향으로 기울여 어댑터로부터 용이하게 떼어낼 수가 있다고 하는 효과가 있다.According to the present invention, the rear positioning member is formed to have a substantially inverted L-shape in cross section and is brought close to the inclination angle enlarged groove, thereby suppressing the reticle accommodating container from rising from the adapter and tilting the reticle accommodating container upward to easily remove it from the adapter. It has the effect of being removable.
청구항 2 기재의 발명에 의하면, 어댑터와 복수의 위치 결정 부재의 적어도 어느 하나를, 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 성형하므로, 도전성을 부여하여 레티클의 정전기 파괴를 방지할 수가 있다.According to the invention described in claim 2, at least one of the adapter and the plurality of positioning members is molded using a molding material containing resin and a conductive filler, so that electroconductivity can be imparted to the reticle to prevent static electricity destruction.
청구항 3 기재의 발명에 의하면, 경사각 확대 홈을, 어댑터의 탑재면 후부에 연접되어 서서히 하강하는 경사면과, 이 경사면에 연접되어 후부 위치 결정 부재에 인접하는 평탄면으로 형성하므로, 경사각 확대 홈의 평탄면에 레티클 수용 용기의 저면이 접촉하면, 레티클 수용 용기의 주연 후부와 후부 위치 결정 부재의 사이에 경사용의 간극을 형성할 수가 있다. 또, 경사면에 레티클 수용 용기의 저면이 안내되면서 어댑터의 전방으로 상승하면서 이동하면, 레티클 수용 용기의 상 방향으로의 경사각을 확대시키는 것이 가능하게 된다.According to the invention described in claim 3, the inclination angle expansion groove is formed by an inclined surface that is connected to the rear of the mounting surface of the adapter and gradually descends, and a flat surface that is connected to this inclined surface and adjacent to the rear positioning member, so that the inclination angle expansion groove is flat. When the bottom of the reticle storage container comes into contact with the surface, an inclined gap can be formed between the peripheral rear portion of the reticle storage container and the rear positioning member. Additionally, if the bottom surface of the reticle storage container is guided by the inclined surface and moves upwardly toward the front of the adapter, it becomes possible to increase the angle of inclination of the reticle storage container in the upward direction.
청구항 4 기재의 발명에 의하면, 후부 위치 결정 부재를, 경사각 확대 홈의 평탄면에 인접하여 레티클 수용 용기의 주연 후부에 횡 방향으로부터 대향하는 기립부와, 이 기립부에 착탈이 자유롭게 부착되어 레티클 수용 용기의 주연 후부에 상방으로부터 계지하는 계지 피복부로 분할하여 조립 가능하게 했으므로, 복잡한 형상의 후부 위치 결정 부재를 용이하게 얻을 수 있다.According to the invention described in claim 4, the rear positioning member is provided with a rising portion adjacent to the flat surface of the inclination angle widening groove and laterally opposed to the peripheral rear portion of the reticle accommodating container, and this rising portion is removably attached to accommodate the reticle. Since the rear peripheral portion of the container can be divided into a locking coating portion that fastens from above to enable assembly, a rear positioning member of a complex shape can be easily obtained.
도 1은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 용기 본체 내에 수납된 복수의 어댑터를 모식적으로 나타내는 단면 설명도이다.
도 3은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 용기 본체 내에 수납된 어댑터를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 4는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 어댑터에 탑재된 레티클 수용 용기를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 5는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 어댑터로부터 레티클 수용 용기를 상방으로 기울여 떼어내는 작업 상태를 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 레티클 수용 용기, 어댑터와 그 경사각 확대 홈, 및 후부 위치 결정 바의 관계를 나타내는 요부 설명도이다.
도 7은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제2의 실시 형태에 있어서의 용기 본체와 어댑터의 관계를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 8은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제3의 실시 형태에 있어서의 어댑터에 탑재된 레티클 수용 용기의 계지 상태를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.1 is an overall perspective view schematically showing an embodiment of a substrate storage container related to the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional explanatory view schematically showing a plurality of adapters stored in the container body in an embodiment of the substrate storage container related to the present invention.
Fig. 3 is a perspective explanatory diagram schematically showing an adapter stored in a container body in an embodiment of a substrate storage container related to the present invention.
Fig. 4 is a perspective explanatory diagram schematically showing a reticle storage container mounted on an adapter in an embodiment of the substrate storage container related to the present invention.
Fig. 5 is an explanatory diagram showing an operation state in which the reticle storage container is tilted upward and removed from the adapter in the embodiment of the substrate storage container related to the present invention.
Fig. 6 is an explanatory diagram showing the main parts of the relationship between the reticle storage container, the adapter, the inclination angle expansion groove, and the rear positioning bar in the embodiment of the substrate storage container according to the present invention.
Fig. 7 is a perspective explanatory diagram schematically showing the relationship between the container body and the adapter in the second embodiment of the substrate storage container according to the present invention.
Fig. 8 is a perspective explanatory diagram schematically showing the locked state of the reticle storage container mounted on the adapter in the third embodiment of the substrate storage container according to the present invention.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시의 형태를 설명하면, 본 실시 형태에 있어서의 기판 수납 용기는, 도 1 내지 도 6에 나타내듯이, 복수매의 반도체 웨이퍼 W를 상하 방향으로 정렬 수납 가능한 용기 본체(1)와, 이 용기 본체(1)의 개구한 정면에 착탈이 자유롭게 감합(嵌合)되는 덮개체(10)와, 용기 본체(1)에 필요 수가 수납되는 레티클 수용 용기(30) 탑재용의 어댑터(adapter)(40)와, 이 어댑터(40)의 레티클 수용 용기(30)용의 탑재면(41)에 배치되어 설치되어 레티클 수용 용기(30)를 위치 결정하는 복수의 위치 결정 바(bar)(50)를 구비한 반도체 공장용의 FOUP이고, 어댑터(40)의 탑재면(41)에, 레티클 수용 용기(30)의 저면에 간극을 통해 대향하는 경사각 확대 홈(groove)(43)을 형성하고, 복수의 위치 결정 바(50)의 후부(後部) 위치 결정 바(53)를 단면 역 L자형으로 형성하여 경사각 확대 홈(43)에 근접시킴으로써, 유엔 서미트에서 채택된 SDGs(Sustainable Development Goals, 유엔의 지속 가능한 개발을 위한 국제 목표이고, 17의 글로벌 목표와 169의 타겟(달성 기준)으로 이루어지는 지속 가능한 개발 목표)의 목표 9의 달성에 공헌한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The substrate storage container according to the present embodiment is capable of storing a plurality of semiconductor wafers W aligned in the vertical direction, as shown in FIGS. 1 to 6. A container body 1, a cover body 10 that is removably fitted to the open front side of the container body 1, and a reticle storage container 30 in which the required number of reticles are stored in the container body 1. An adapter 40 for mounting, and a plurality of positioners disposed and installed on the mounting surface 41 for the reticle accommodating container 30 of the adapter 40 to position the reticle accommodating container 30. It is a FOUP for a semiconductor factory equipped with a bar 50, and the mounting surface 41 of the adapter 40 has a groove with an enlarged inclination angle opposing the bottom of the reticle storage container 30 through a gap ( 43), and the rear positioning bars 53 of the plurality of positioning bars 50 are formed to have an inverted L-shaped cross section and are brought close to the inclination angle enlargement groove 43, thereby complying with the SDGs (SDGs) adopted at the United Nations Summit. Sustainable Development Goals, the UN's international goals for sustainable development, contribute to the achievement of Goal 9 of the Sustainable Development Goals (Sustainable Development Goals), which consists of 17 global goals and 169 targets (achievement criteria).
복수매의 반도체 웨이퍼 W는, 도 1에 나타내듯이, 예를 들면 φ300mm의 둥근 실리콘 웨이퍼로 이루어지고, 용기 본체(1)의 내부에 25매가 상하 방향으로 늘어놓아 정렬 수납되고, 각 반도체 웨이퍼 W가 수평으로 지지된다.As shown in FIG. 1, a plurality of semiconductor wafers W are made of, for example, a round silicon wafer of ϕ300 mm, and 25 of them are aligned and stored inside the container body 1 in the vertical direction, and each semiconductor wafer W is supported horizontally.
용기 본체(1)와 덮개체(10)는, 소정의 수지를 함유하는 성형 재료에 의해 복수의 부품이 각각 사출 성형되고, 이 복수의 부품의 조합으로 구성된다. 이 성형 재료의 수지로서는, 예를 들면 폴리카보네이트(polycarbonate), 시클로올레핀 폴리머(Cycloolefin polymer), 폴리에테르이미드(polyetherimide), 폴리에테르케톤(polyetherketone), 폴리에테르에테르케톤(polyetheretherketone), 폴리부틸렌 테레프탈레이트(polybutylene terephthalate), 폴리아세탈(polyacetal), 액정 폴리머(polymer)라고 하는 열가소성 수지나 이들 알로이(alloy) 등을 들 수 있다. 열가소성 수지에는, 도전성을 부여하기 위하여, 적정량의 카본 블랙(carbon black), 카본 섬유, 카본 나노 파이버(carbon nano fiber), 카본 나노 튜브(carbon nano tube), 도전성 고분자, 금속 섬유, 금속 산화물 등이 첨가된다.The container body 1 and the cover body 10 are each injection-molded as a plurality of parts using a molding material containing a predetermined resin, and are composed of a combination of these parts. Resins for this molding material include, for example, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, polyetheretherketone, and polybutylene terete. Thermoplastic resins such as phthalate (polybutylene terephthalate), polyacetal, liquid crystal polymer, and alloys thereof can be mentioned. In order to provide conductivity, thermoplastic resins contain an appropriate amount of carbon black, carbon fiber, carbon nanofiber, carbon nanotube, conductive polymer, metal fiber, and metal oxide. is added.
용기 본체(1)는, 도 1 내지 도 3에 나타내듯이, 정면이 가로로 긴 개구한 키가 큰 프론트 오픈 박스(front open box)로 성형되고, 내부의 양측, 환언하면, 좌우 양측벽의 내면에, 반도체 웨이퍼 W의 주연(周緣) 측부를 하방으로부터 수평으로 지지하는 한 벌의 지지편(2)이 대설(對設)되어 있고, 이 한 벌의 지지편(2)이 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배열된다. 이 용기 본체(1)는, 예를 들면 25매의 반도체 웨이퍼 W를 상하 방향으로 늘어놓아 정렬 수납 가능한 크기로 형성된다. 또, 각 지지편(2)은, 예를 들면 용기 본체(1)의 전후 방향으로 뻗는 평탄한 선반 널로 형성되고, 표면의 전후부 중, 적어도 전부(前部)에 수납된 반도체 웨이퍼 W가 정면 방향으로 위치 어긋나는 것을 방지하는 스토퍼(stopper)(3)가 융기하여 일체 형성된다.As shown in FIGS. 1 to 3, the container body 1 is formed as a tall front open box with a horizontally long opening, and the inner sides of both sides of the interior, in other words, the left and right sides, are formed. In the semiconductor wafer W, a set of support pieces 2 that horizontally support the peripheral side from below are provided, and this set of support pieces 2 extends in a predetermined vertical direction. They are arranged in multiple rows at intervals. This container body 1 is formed to a size that can accommodate, for example, 25 semiconductor wafers W arranged in the vertical direction. In addition, each support piece 2 is formed, for example, as a flat shelf board extending in the front-back direction of the container body 1, and the semiconductor wafer W stored in at least the front portion among the front-back portions of the surface faces the front direction. A stopper (3) that prevents misalignment is raised and integrally formed.
용기 본체(1)의 저판(底板) 하면에는 보텀 플레이트(bottom plate)(4)가 선택적으로 장착되고, 용기 본체(1)의 천정 중앙부에는, 자동 반송용의 반송구인 평면 직사각형의 로보틱 플랜지(robotic flange)(5)가 착탈이 자유롭게 장착되어 있고, 이 로보틱 플랜지(5)가 반도체 공장의 천정 반송 장치에 파지되어 매달린 후, 기판 수납 용기가 반도체의 제조 라인에 반송된다. 또, 용기 본체(1)의 내부 배면에는, 비상시에 반도체 웨이퍼 W의 주연 후부를 협지 가능한 복수의 리어 서포트(rear support)가 병설된다. 용기 본체(1)의 정면 주연부는 폭 방향 외측으로 굴곡하여 팽출 형성되어 있고, 이 정면 주연부의 내면에 있어서의 상부 양측과 하부 양측에는, 덮개체(10)용의 시정 구멍(6)이 각각 오목하게 형성된다.A bottom plate 4 is selectively mounted on the lower surface of the bottom plate of the container body 1, and a flat rectangular robotic flange ( A robotic flange 5 is attached and detachably attached, and after this robotic flange 5 is held and suspended from a ceiling transport device in a semiconductor factory, the substrate storage container is transported to the semiconductor manufacturing line. Additionally, a plurality of rear supports capable of holding the rear periphery of the semiconductor wafer W in an emergency are provided on the inner rear surface of the container body 1. The front peripheral portion of the container body 1 is bent outward in the width direction and bulged, and on both upper and lower sides of the inner surface of this front peripheral portion, visibility holes 6 for the lid body 10 are recessed, respectively. is formed.
용기 본체(1)의 양측벽의 외면(外面)에는, 수동 조작용의 조작 핸들(7)이 각각 착탈이 자유롭게 장착되고, 각 측벽의 하부에는, 자동 반송구인 반송 레일(8)이 필요에 따라 착탈이 자유롭게 장착되어 전후 방향으로 수평으로 지향한다.On the outer surfaces of both walls of the container body 1, operation handles 7 for manual operation are each removably mounted, and at the lower part of each side wall, a transfer rail 8, which is an automatic transfer port, is provided as needed. It is freely removable and oriented horizontally in the forward and backward directions.
덮개체(10)는, 도 1에 나타내듯이, 용기 본체(1)의 정면에 착탈이 자유롭게 감합되는 단면 대략 접시형의 덮개 본체(11)와, 이 덮개 본체(11)의 개구한 표면을 덮는 커버 플레이트(cover plate)(14)를 구비하고, 이들 덮개 본체(11)와 커버 플레이트(14)의 사이에 시정 기구(16)가 내장된다. 덮개 본체(11)는, 가로로 긴 대략 직사각형으로 형성되고, 이면(裏面)의 중앙부에, 반도체 웨이퍼 W의 주연 전부를 탄성편으로 탄성적으로 보유하는 프론트 리테이너(front retainer)(12)가 착탈이 자유롭게 장착된다. 또, 덮개 본체(11)의 둘레벽에는, 용기 본체(1)의 정면 내주에 압접 변형하는 프레임(frame) 모양의 개스킷(gasket)이 감합되고, 덮개 본체(11)의 둘레벽에 있어서의 상부 양측과 하부 양측에는, 시정 기구(16)용의 출몰 구멍(13)이 각각 관통하여 천공된다.As shown in FIG. 1, the cover body 10 includes a cover body 11 having a substantially dish-shaped cross section that can be freely attached and detached to the front of the container body 1, and a cover body 11 that covers the open surface of the cover body 11. It is provided with a cover plate (14), and a locking mechanism (16) is built between the cover body (11) and the cover plate (14). The cover body 11 is formed in a horizontally elongated substantially rectangular shape, and has a detachable front retainer 12 in the center of the back surface, which elastically holds the entire periphery of the semiconductor wafer W with an elastic piece. It is mounted freely. In addition, a frame-shaped gasket is fitted to the circumferential wall of the lid body 11 to be deformed by pressure contact with the inner periphery of the front of the container main body 1, and the upper portion of the circumferential wall of the lid main body 11 is On both sides and the bottom, emergence holes 13 for the fixing mechanism 16 are respectively drilled through.
커버 플레이트(14)는, 투명, 반투명, 혹은 불투명의 판으로 형성되고, 양측부에, 시정 기구(16)용의 조작 구멍(15)이 각각 관통하여 천공되어 있고, 각 조작 구멍(15)을 덮개 개폐 장치의 회전 가능한 조작 키가 외부로부터 관통한다.The cover plate 14 is formed of a transparent, translucent, or opaque plate, and has operating holes 15 for the locking mechanism 16 perforated through both sides, respectively, and each operating hole 15 is provided. The rotatable operation key of the cover opening and closing device penetrates from the outside.
시정 기구(16)는, 도 1에 나타내듯이, 커버 플레이트(14)의 조작 구멍(15)을 관통한 덮개 개폐 장치의 조작 키로 회전 조작되는 좌우 한 벌의 회전 플레이트(17)와, 각 회전 플레이트(17)의 회전에 따라 상하 방향으로 슬라이드(slide) 하는 복수의 슬라이드 바(19)와, 각 슬라이드 바(19)의 선단부에 연결 축지(軸支)되어 덮개 본체 둘레벽의 출몰 구멍(13)을 관통하여 용기 본체(1)의 시정 구멍(6)에 감합 계지하는 출몰 가능한 복수의 시정조(施錠爪)(20)를 구비하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the locking mechanism 16 includes a set of left and right rotating plates 17 that are rotated by an operation key of the cover opening and closing device that penetrates the operating hole 15 of the cover plate 14, and each rotating plate A plurality of slide bars (19) that slide in the up and down direction according to the rotation of (17), and a protruding hole (13) in the peripheral wall of the cover body that is connected to the tip of each slide bar (19) and supported. It is configured to be provided with a plurality of retractable cisterns 20 that penetrate and fit and lock into the cistern hole 6 of the container body 1.
시정 기구(16)는, 용기 본체(1)나 덮개체(10)와 마찬가지의 성형 재료에 의해 성형된다. 복수의 회전 플레이트(17)와 슬라이드 바(19)는, 덮개 본체(11) 내에 설치되는 지지 리브를 통해 축지되거나, 지지되거나 하고, 각 회전 플레이트(17)의 주연부 가까이의 한 벌의 원호 홈 구멍(18)에 슬라이드 바(19)의 말단부가 핀을 통해 각각 유감(遊嵌)된다. 또, 각 시정조(20)는, 예를 들면 단면 대략 L자형으로 굴곡 형성되고, 자유단부에 마찰 경감용의 롤러(roller)가 회전 가능하게 축지된다.The locking mechanism 16 is molded from the same molding material as the container body 1 and the lid body 10. The plurality of rotation plates 17 and the slide bar 19 are supported or supported by support ribs provided in the cover body 11, and a set of circular groove holes near the periphery of each rotation plate 17. The distal ends of the slide bars 19 are each passed through pins at (18). In addition, each of the correcting tanks 20 is, for example, curved and formed to have a substantially L-shaped cross section, and a roller for reducing friction is rotatably supported at the free end.
이러한 기판 수납 용기는, 용기 본체(1) 내에 복수매의 반도체 웨이퍼 W가 순차 수납되고, 용기 본체(1)의 정면에 덮개체(10)가 덮개 개폐 장치에 의해 압입되어 감합됨과 아울러, 각 반도체 웨이퍼 W의 주연 전부를 프론트 리테이너(12)가 보유하고, 시정 기구(16)가 덮개 개폐 장치로 시정 조작되어 덮개체(10)를 강고하게 고정한다. 덮개체(10)가 강고하게 고정되면, 용기 본체(1)의 로보틱 플랜지(5)가 반도체 공장의 천정 반송 장치에 매달려 다음의 가공 처리 공정으로 반송되어 각 반도체 웨이퍼 W에 가공과 처리가 순차 실시되고, 반도체 웨이퍼 W의 표면에 전자 회로가 형성되게 된다.In this substrate storage container, a plurality of semiconductor wafers W are sequentially stored in the container body 1, a cover body 10 is press-fitted to the front of the container body 1 by a lid opening and closing device, and each semiconductor The front retainer 12 holds the entire periphery of the wafer W, and the locking mechanism 16 is operated by a cover opening and closing device to firmly fix the cover body 10. When the cover body 10 is firmly fixed, the robotic flange 5 of the container body 1 is suspended from the ceiling transport device of the semiconductor factory and transported to the next processing step, where each semiconductor wafer W is processed sequentially. This is carried out, and an electronic circuit is formed on the surface of the semiconductor wafer W.
레티클 수용 용기(30)는, 특히 한정되는 것은 아니지만, 도 4 내지 도 6에 나타내듯이, 예를 들면 6인치의 레티클을 1매 수용하여 어댑터(40)에 탑재되는 평면 직사각형의 저판(31)과, 이 저판(31)에 씰 개스킷(seal gasket)을 통해 상방으로부터 착탈이 자유롭게 감합되는 평면 대략 직사각형의 상 덮개(32)를 구비한 레티클 SMIF 포드(RSP)이다. 이 레티클 수용 용기(30)의 저판(31)과 상 덮개(32)는, 예를 들면 정전기에 의한 레티클의 손상을 방지하는 관점에서, 카본 등의 도전 재료를 함유하는 소정의 성형 재료(예를 들면, 폴리카보네이트 수지, 폴리부틸렌 테레프탈레이트 수지, 폴리아세탈 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지 등의 각종 합성 수지)에 의해 각각 성형된다.The reticle storage container 30 is not particularly limited, but as shown in Figs. 4 to 6, it includes, for example, a flat rectangular bottom plate 31 that accommodates one 6-inch reticle and is mounted on the adapter 40; It is a reticle SMIF pod (RSP) provided with a top cover 32 of a planar substantially rectangular shape that is removably attached to the bottom plate 31 from above via a seal gasket. The bottom plate 31 and the top cover 32 of this reticle storage container 30 are made of a predetermined molding material containing a conductive material such as carbon, for example, from the viewpoint of preventing damage to the reticle due to static electricity. For example, they are each molded with various synthetic resins such as polycarbonate resin, polybutylene terephthalate resin, polyacetal resin, and polyetheretherketone resin.
저판(31)은, 서로 대향하는 평면 대략 직사각형의 상판과 하판을 구비하고, 이들 상판과 하판의 사이에 간극이 구획 형성되어 있고, 이 간극에 시정용의 로크(lock) 기구가 내장된다. 상판의 상면에는, 1매의 레티클의 주연부를 수평으로 지지하는 한 벌의 지지 부재가 간격을 두어 부설되고, 각 지지 부재가 레일로 형성되어 있고, 상판의 상면 주연부 부근에는, 탄성 변형 가능한 평면 프레임 모양의 씰 개스킷이 장착된다.The bottom plate 31 has an upper plate and a lower plate of substantially rectangular planes opposing each other, and a gap is defined between the upper plate and the lower plate, and a locking mechanism for locking is built into this gap. On the upper surface of the upper plate, a set of support members for horizontally supporting the periphery of one reticle are installed at intervals, each support member is formed as a rail, and near the upper periphery of the upper plate, an elastically deformable flat frame is provided. A shaped seal gasket is installed.
상 덮개(32)는, 예를 들면 투명 혹은 반투명의 단면 대략 모자 모양으로 형성되고, 저판(31)과의 감합시에 폭 방향 외측으로 수평하게 돌출하는 플랜지(flange)에 의해, 씰 개스킷을 압접 변형하여 씰(seal)성을 확보한다. 이 상 덮개(32)의 내부 천정에는, 레티클의 상면 주연부에 접촉하여 보유하는 한 벌의 보유 부재가 간격을 두어 대설되고, 각 보유 부재가 예를 들면 레일로 형성되어 지지 부재에 상방으로부터 대향한다.The upper cover 32 is formed, for example, in a transparent or semi-transparent cross-section approximately in the shape of a hat, and when fitted with the base plate 31, the seal gasket is pressure-welded by a flange that protrudes horizontally outward in the width direction. Transform to secure sealability. On the inner ceiling of the image cover 32, a set of holding members are placed at intervals to hold and contact the upper surface periphery of the reticle, and each holding member is formed as a rail, for example, and faces the support member from above. .
상 덮개(32)의 폭 방향 외측으로 돌출하는 플랜지는, 그 주연부(33)의 선단이 하방으로 짧게 굴곡 형성되어 저판(31)의 둘레면에 대향하고, 이 선단의 내면에, 로크 기구의 출몰 바의 선단부에 감합되는 로크 홈이 각각 오목하게 형성된다. 또, 상 덮개(32)의 외면 천정에는, 반송 장치 등에 파지되는 반송용 플랜지(34)가 장착된다.The flange projecting outward in the width direction of the upper cover 32 has a tip of its peripheral portion 33 that is briefly curved downward to face the peripheral surface of the base plate 31, and on the inner surface of this tip, a locking mechanism appears. Each lock groove that fits into the tip of the bar is formed concavely. Additionally, a transport flange 34 that is held by a transport device or the like is mounted on the outer surface ceiling of the upper cover 32.
레티클 수용 용기(30)의 제품예로서는, RSP-150, RSP-200〔다이니치 상사 주식회사제：제품명〕, 레티클 케이스〔나가세 엔지니어링 주식회사제：제품명〕, 레티클 카셋트〔산요 머티리얼 주식회사제：제품명〕등을 들 수 있다.Examples of products of the reticle storage container 30 include RSP-150, RSP-200 [manufactured by Dainichi Corporation: product name], reticle case [manufactured by Nagase Engineering Co., Ltd.: product name], reticle cassette [manufactured by Sanyo Materials Co., Ltd.: product name], etc. I can hear it.
어댑터(40)는, 도 2 내지 도 6에 나타내듯이, 용기 본체(1) 내의 한 벌의 지지편(2)에 지지되는 대략 판형으로 성형되고, 레티클 수용 용기(30)를 탑재하는 평탄한 상면인 탑재면(41)의 후부에, 레티클 수용 용기(30)의 저판 후부에 간극을 통해 대향하는 도피(relief)가 경사각 확대 홈(43)에 오목하게 형성되어 있고, 이 경사각 확대 홈(43)이 좌우 횡 방향으로 신장된다. 어댑터(40)는, 소정의 성형 재료에 의해, 기본적으로는 용기 본체(1)의 인접하는 지지편(2)과 지지편(2)의 사이에 삽입 가능한 두께와 크기를 가지는 원판으로 성형되고, 용기 본체(1)의 정면 측에 위치하는 전부(42)가 위치 방향을 나타내는 관점에서 좌우 방향으로 직선적으로 절결(切缺)되어 있고, 좌우의 양측부가 용기 본체(1)의 한 벌의 지지편(2)에 수평으로 지지된다.As shown in FIGS. 2 to 6, the adapter 40 is formed into a substantially plate shape supported by a set of support pieces 2 in the container body 1, and is a flat upper surface on which the reticle storage container 30 is mounted. At the rear of the mounting surface 41, a relief facing the rear of the bottom plate of the reticle storage container 30 through a gap is formed concavely in an inclination angle enlargement groove 43, and this inclination angle enlargement groove 43 is formed concavely. It expands in the left and right transverse directions. The adapter 40 is basically formed into a disk with a thickness and size that can be inserted between the adjacent support pieces 2 of the container body 1 using a predetermined molding material, The front 42 located on the front side of the container body 1 is cut linearly in the left and right directions from the viewpoint of indicating the position direction, and the left and right sides are a set of support pieces of the container body 1. It is supported horizontally at (2).
어댑터(40)의 소정의 성형 재료로서는, 예를 들면 내약품성·내마모성·내충격성·범용성 등이 뛰어나는 경량의 폴리프로필렌 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리부틸렌 테레프탈레이트 수지, 폴리아세탈 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지 등의 각종 합성 수지, 폴리에스테르(polyester)계, 폴리스티렌(polystyrene)계, 폴리올레핀(polyolefin)계 등의 열가소성 엘라스토머(elastomer)를 들 수 있다. 이 성형 재료에는, 도전성을 부여하여 레티클의 정전기 파괴를 방지하기 위해, 적정량의 카본 블랙, 카본 섬유, 카본 나노 파이버, 카본 나노 튜브, 도전성 고분자, 금속 섬유, 금속 산화물 등이 바람직하게는 첨가된다.Predetermined molding materials for the adapter 40 include, for example, lightweight polypropylene resin, polycarbonate resin, polybutylene terephthalate resin, polyacetal resin, and polyether, which are excellent in chemical resistance, abrasion resistance, impact resistance, and versatility. Examples include various synthetic resins such as ether ketone resin, and thermoplastic elastomers such as polyester, polystyrene, and polyolefin. An appropriate amount of carbon black, carbon fiber, carbon nanofiber, carbon nanotube, conductive polymer, metal fiber, metal oxide, etc. is preferably added to this molding material to provide conductivity and prevent electrostatic destruction of the reticle.
경사각 확대 홈(43)은, 도 5나 도 6에 나타내듯이, 어댑터(40)의 탑재면 후부에 연접되어 서서히 하강하면서 기우는 경사면(44)과, 이 경사면(44)의 단부에 수평으로 연접되어 후부 위치 결정 바(53)에 인접하는 평탄면(45)으로 일체 형성되고, 레티클 수용 용기(30)를 떼어낼 때에 레티클 수용 용기(30)를 상 방향으로 크게 경사시켜, 레티클 수용 용기(30)의 떼어내기 작업에 도움이 되도록 기능한다. 이 경사각 확대 홈(43)은, 예를 들면 경사면(44)이 10°정도의 경사 각도로 경사져 레티클 수용 용기(30)의 저면 후부에 슬라이드 접촉되고, 경사면(44)의 후방에 위치하는 평탄면(45)이 어댑터(40)의 탑재면(41)으로부터 1mm 정도의 깊이로 절결되어 경사면(44)보다 저위(低位)에 위치한다.As shown in FIGS. 5 and 6, the inclination angle enlargement groove 43 is connected to the rear of the mounting surface of the adapter 40 and horizontally connected to an inclined surface 44 that gradually descends and inclines, and to the end of this inclined surface 44. is formed integrally with the flat surface 45 adjacent to the rear positioning bar 53, and when the reticle storage container 30 is removed, the reticle storage container 30 is greatly inclined upward, and the reticle storage container 30 ) functions to assist in the removal work. This inclination angle enlargement groove 43 is, for example, a flat surface located behind the inclined surface 44 where the inclined surface 44 is inclined at an inclination angle of about 10° and slides into contact with the rear bottom of the reticle storage container 30. (45) is cut to a depth of about 1 mm from the mounting surface (41) of the adapter (40) and is located at a lower level than the inclined surface (44).
복수의 위치 결정 바(50)는, 도 2 내지 도 4에 나타내듯이, 어댑터(40)의 탑재면(41)의 주연부 부근에 나착(螺着)되어 평면 직사각형의 탑재 영역(51)을 그리도록 간격을 두어 배열되고, 각 위치 결정 바(50)가 평면 대략 반원형 등으로 형성되어 있고, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개 주연부(33)에 전후 좌우로부터 근접하여 위치 결정하도록 기능한다. 이 복수의 위치 결정 바(50)는, 어댑터(40)와 마찬가지의 성형 재료에 의해 성형되고, 이 성형 재료에는 도전성을 부여하여 레티클의 정전기 파괴를 방지하기 위해, 적정량의 카본 블랙, 카본 섬유, 카본 나노 파이버, 카본 나노 튜브, 도전성 고분자, 금속 섬유, 금속 산화물 등이 바람직하게는 첨가된다.As shown in FIGS. 2 to 4, the plurality of positioning bars 50 are screwed around the periphery of the mounting surface 41 of the adapter 40 to create a planar rectangular mounting area 51. Arranged at intervals, each positioning bar 50 is formed in a planar, approximately semicircular shape, etc., and functions to position the bar 50 by approaching the upper cover peripheral portion 33 of the reticle storage container 30 from front, back, left and right. The plurality of positioning bars 50 are molded from the same molding material as the adapter 40, and in order to impart conductivity to this molding material and prevent electrostatic destruction of the reticle, an appropriate amount of carbon black, carbon fiber, Carbon nanofibers, carbon nanotubes, conductive polymers, metal fibers, metal oxides, etc. are preferably added.
복수의 위치 결정 바(50)는, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개의 주연 전부에 근접하여 위치 결정하는 전부 위치 결정 바(52)와, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개(32)의 주연 후부에 근접하여 위치 결정 계지하는 후부 위치 결정 바(53)와, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개(32)의 주연 측부에 근접하여 위치 결정하는 좌우 한 벌의 측부 위치 결정 바(57)를 구비하여 레티클 수용 용기(30)의 네 모퉁이부 이외의 대부분을 포위하고, 전부 위치 결정 바(52)에 레티클 수용 용기(30)용의 클램프(58)가 회전 가능하게 지지된다. 전부 위치 결정 바(52), 후부 위치 결정 바(53), 및 좌우 한 벌의 측부 위치 결정 바(57)의 사이에는 간극이 각각 구획 형성되고, 후부 위치 결정 바(53)가 약간 키가 큰 단면 역 L자형으로 굴곡 형성된다.The plurality of positioning bars 50 include a front positioning bar 52 positioned close to the entire periphery of the image cover of the reticle storage container 30, and an upper positioning bar 52 of the reticle storage container 30. A rear positioning bar 53 positioned close to the rear periphery, and a pair of left and right side positioning bars 57 positioned close to the peripheral side of the top cover 32 of the reticle storage container 30. It surrounds most of the reticle storage container 30 except the four corners, and the clamp 58 for the reticle storage container 30 is rotatably supported on the entire positioning bar 52. A gap is formed between the front positioning bar 52, the rear positioning bar 53, and the left and right side positioning bars 57, and the rear positioning bar 53 is slightly taller. The cross section is curved into an inverted L shape.
후부 위치 결정 바(53)는, 제조 작업이나 조립 작업을 용이하게 하는 관점에서, 도 5나 도 6에 나타내듯이, 상 덮개(32)의 주연 후부에 횡 방향으로부터 대향 근접하는 블록(block) 모양의 기립부(54)와, 이 기립부(54)에 나사 등의 복수의 체결구(55)를 통해 착탈이 자유롭게 나착되어 상 덮개(32)의 주연 후부에 상방으로부터 계지하는 평면 대략 반원형으로 대략 L자형의 계지 피복부(56)로 분할되고, 기립부(54)가 경사각 확대 홈(43)의 평탄면(45)에 인접하고 있어, 위치 결정 기능 외, 계지 기능을 발휘한다.From the viewpoint of facilitating manufacturing or assembly work, the rear positioning bar 53 has a block shape that approaches the rear periphery of the upper cover 32 from the lateral direction, as shown in Figures 5 and 6. A rising portion 54, which is removably attached to the rising portion 54 through a plurality of fasteners 55 such as screws, is secured to the rear periphery of the upper cover 32 from above, and has a substantially semicircular shape. It is divided into an L-shaped locking coating portion 56, and the standing portion 54 is adjacent to the flat surface 45 of the inclination angle widening groove 43, and exerts a locking function in addition to a positioning function.
클램프(58)는, 도 2 내지 도 5에 나타내듯이, 전부 위치 결정 바(52)의 중앙부에 볼트(60)를 통해 지지되어 수평 횡 방향으로 회전한다. 이 클램프(58)는, 어댑터(40)나 위치 결정 바(50)와 마찬가지의 성형 재료에 의해 대략 넘어진 L자형으로 성형되고, 레티클 수용 용기(30)의 상 덮개 주연부(33)에 장편(長片)부를 상방으로부터 계지하여 Z방향으로의 부상을 방지하거나, 장편부의 계지를 해제하여 레티클 수용 용기(30)의 떼어내기를 가능하도록 기능한다.As shown in FIGS. 2 to 5 , the clamp 58 is supported by a bolt 60 at the center of the front positioning bar 52 and rotates in the horizontal and lateral direction. This clamp 58 is molded into a roughly flipped L shape using the same molding material as the adapter 40 and the positioning bar 50, and is attached to the upper cover peripheral portion 33 of the reticle storage container 30. It functions to prevent levitation in the Z direction by locking the long portion from above, or to enable removal of the reticle containing container 30 by releasing the locking of the long portion.
클램프(58)의 성형 재료에는, 레티클의 정전기 파괴를 방지하는 관점에서, 바람직하게는 적정량의 카본 블랙, 카본 섬유, 카본 나노 파이버, 카본 나노 튜브, 도전성 고분자, 금속 섬유, 금속 산화물 등이 첨가된다. 또, 볼트(60)는, 특히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 내열성이나 기계 특성 등이 뛰어나는 고기능의 폴리에테르에테르케톤 수지 등에 의해 성형되고, 클램프(58)의 단편(短片) 통부(59)에 상방으로부터 나사 삽입된다.From the viewpoint of preventing electrostatic destruction of the reticle, an appropriate amount of carbon black, carbon fiber, carbon nanofiber, carbon nanotube, conductive polymer, metal fiber, metal oxide, etc. is preferably added to the molding material of the clamp 58. . In addition, the bolt 60 is not particularly limited, but is, for example, molded from a high-performance polyetheretherketone resin with excellent heat resistance and mechanical properties, etc., and is attached to the single cylinder portion 59 of the clamp 58. The screw is inserted from above.
상기 구성에 있어서, 기판 수납 용기의 용기 본체(1)에 레티클을 수용한 레티클 수용 용기(30)를 어댑터(40)를 통해 수납하는 경우에는, 먼저, 어댑터(40)를 준비하여 그 클램프(58)의 장편부를 전부 위치 결정 바(52)의 좌우 긴 방향을 향하게 하고, 어댑터(40)의 탑재면(41)에 기울인 레티클 수용 용기(30)의 후부를 접촉시키고, 이 레티클 수용 용기(30)를 후방으로 슬라이드시켜 상 덮개(32)의 주연 후부를 후부 위치 결정 바(53)의 계지 피복부(56)에 계지시킴(도 5 참조)과 아울러, 전부 위치 결정 바(52), 후부 위치 결정 바(53), 및 한 벌의 측부 위치 결정 바(57)의 사이의 탑재 영역(51)에 레티클 수용 용기(30)를 감입(嵌入)하여 위치 결정한다.In the above configuration, when the reticle storage container 30 containing the reticle is stored in the container body 1 of the substrate storage container through the adapter 40, the adapter 40 is first prepared and the clamp 58 ) are oriented in the left and right longitudinal directions of the positioning bar 52, and the rear part of the inclined reticle storage container 30 is brought into contact with the mounting surface 41 of the adapter 40, and the reticle storage container 30 is slid rearward to lock the peripheral rear portion of the upper cover 32 to the locking covering portion 56 of the rear positioning bar 53 (see Fig. 5), and the front positioning bar 52 and the rear positioning bar are The reticle storage container 30 is inserted into the mounting area 51 between the bar 53 and the set of side positioning bars 57 and is positioned.
레티클 수용 용기(30)를 감입하여 탑재하면, 클램프(58)의 장편부를 어댑터(40)의 중심부 방향으로 회전시키고, 클램프(58)의 장편부를 레티클 수용 용기(30)의 주연부에 계지시켜 레티클 수용 용기(30)가 Z방향으로 부상하지 않도록 하고(도 4 참조), 빈 용기 본체(1) 내에 복수의 어댑터(40)를 순차 수납하여 그 양측부를 용기 본체(1)의 대향하는 한 벌의 지지편(2)에 각각 지지시켜 어댑터(40)의 위치나 자세를 안정시킨 후, 용기 본체(1)의 개구한 정면에 덮개체(10)를 압입하여 감합하면, 용기 본체(1)에 레티클 수용 용기(30)를 어댑터(40)를 통해 안전하게 수납할 수가 있다. 이 때, 어댑터(40)와 어댑터(40)의 간격을 비우고, 어댑터(40)의 하면에 레티클 수용 용기(30)가 충돌하지 않도록 하는 것이 바람직하다.When the reticle storage container 30 is inserted and mounted, the long portion of the clamp 58 is rotated toward the center of the adapter 40, and the long portion of the clamp 58 is locked to the peripheral portion of the reticle storage container 30 to accommodate the reticle. To prevent the container 30 from floating in the Z direction (see FIG. 4), a plurality of adapters 40 are sequentially stored in the empty container body 1 to support both sides of the container body 1. After stabilizing the position and posture of the adapter 40 by supporting it on each piece 2, the cover body 10 is press-fitted into the open front of the container body 1 to accommodate the reticle in the container body 1. The container 30 can be safely stored through the adapter 40. At this time, it is desirable to leave a gap between the adapters 40 and prevent the reticle containing container 30 from colliding with the lower surface of the adapter 40.
다음에, 기판 수납 용기의 용기 본체(1)로부터 어댑터(40)를 뽑아내어 레티클 수용 용기(30)를 떼어내는 경우에는, 먼저, 용기 본체(1)의 정면으로부터 덮개체(10)를 뽑아내어 떼어내고, 용기 본체(1)의 개구한 정면으로부터 어댑터(40)를 뽑아낸다. 이렇게 하여 용기 본체(1)로부터 어댑터(40)를 뽑아내면, 클램프(58)를 회전시켜 그 장편부를 어댑터(40)의 중심부 방향으로부터 전부 위치 결정 바(52)의 좌우 긴 방향을 향하게 함으로써, 클램프(58)의 장편부의 레티클 수용 용기(30)에 대한 계지를 해제하고, 레티클 수용 용기(30)의 전부 양측을 집어 서서히 끌어올림(도 5 참조)과 아울러, 이 레티클 수용 용기(30)를 전부(42) 방향으로 서서히 슬라이드(도 5 참조)시켜 이 상 덮개(32)의 주연 후부에 대한 후부 위치 결정 바(53)의 계지 피복부(56)의 계지를 해제한다.Next, when the adapter 40 is pulled out from the container body 1 of the substrate storage container and the reticle storage container 30 is removed, the cover body 10 is first pulled out from the front of the container body 1. It is removed, and the adapter 40 is pulled out from the opened front side of the container body 1. When the adapter 40 is pulled out from the container body 1 in this way, the clamp 58 is rotated so that its long portion is directed from the central direction of the adapter 40 toward the left and right longitudinal directions of the positioning bar 52, thereby forming the clamp. Release the lock on the reticle accommodating container 30 of the long part of (58), pick up both front sides of the reticle accommodating container 30 and gradually lift it up (see FIG. 5), and then lift the entire reticle accommodating container 30. By gradually sliding in the direction (42) (see FIG. 5), the locking covering portion 56 of the rear positioning bar 53 with respect to the peripheral rear portion of the upper cover 32 is released.
이때, 레티클 수용 용기(30)의 저면 후부는, 경사각 확대 홈(43)의 평탄면(45)에 낙하하여 레티클 수용 용기(30)의 주연 후부와 후부 위치 결정 바(53)의 계지 피복부(56)의 사이에 동작용의 간극을 형성한 후, 경사각 확대 홈(43)의 경사면(44)에 안내되면서 어댑터(40)의 전부(42) 방향으로 상승하면서 슬라이드 하므로, 계지 피복부(56)의 존재에도 불구하고, 계지 피복부(56)의 계지가 원활하고 또한 확실하게 해제되고, 레티클 수용 용기(30)의 상 방향으로의 경사각이 확대된다.At this time, the bottom rear portion of the reticle storage container 30 falls on the flat surface 45 of the inclination angle widening groove 43, and the engaging coating portion between the peripheral rear portion of the reticle storage container 30 and the rear positioning bar 53 ( 56), the locking coating portion 56 is guided to the inclined surface 44 of the inclination angle enlargement groove 43 and slides upward in the direction of the front 42 of the adapter 40. Despite the presence of , the locking of the locking coating portion 56 is released smoothly and reliably, and the upward inclination angle of the reticle housing container 30 is expanded.
후부 위치 결정 바(53)의 계지를 해제하면, 레티클 수용 용기(30)의 전부 양측을 움켜쥐고 전부 위치 결정 바(52), 후부 위치 결정 바(53), 및 한 벌의 측부 위치 결정 바(57)의 사이의 탑재 영역(51)으로부터 들어올리면, 어댑터(40)로부터 레티클 수용 용기(30)를 떼어내고, 이 레티클 수용 용기(30)로부터 레티클을 꺼낼 수가 있다.When the rear positioning bar 53 is unlocked, both front sides of the reticle housing container 30 are grasped and the front positioning bar 52, the rear positioning bar 53, and a set of side positioning bars ( 57), the reticle storage container 30 can be removed from the adapter 40 and the reticle can be taken out from the reticle storage container 30.
상기 구성에 의하면, 어댑터(40)에 탑재된 레티클 수용 용기(30)의 주연 후부와 후부 위치 결정 바(53)의 기립부(54)를 근접시켜 위치 결정함과 아울러, 후부 위치 결정 바(53)의 계지 피복부(56)를 계지시키므로, 레티클 수용 용기(30)가 어댑터(40)의 전후 방향으로 어긋나는 것을 억제할 수가 있고, 게다가, 어댑터(40)로부터 레티클 수용 용기(30)가 Z방향으로 부상하여 위치 어긋나거나, 덜컹거리거나, 탈락하는 것을 방지할 수가 있다. 또, 별체(別體)의 기립부(54)와 계지 피복부(56)를 조립하여 후부 위치 결정 바(53)를 구성하므로, 형상이 복잡한 후부 위치 결정 바(53)를 용이하게 조립하여 사용할 수가 있다.According to the above configuration, the peripheral rear portion of the reticle storage container 30 mounted on the adapter 40 and the rising portion 54 of the rear positioning bar 53 are positioned by approaching each other, and the rear positioning bar 53 is positioned. ) By locking the locking coating portion 56, it is possible to prevent the reticle storage container 30 from being displaced in the front-back direction of the adapter 40, and furthermore, the reticle storage container 30 can be moved from the adapter 40 in the Z direction. This can prevent it from floating, being misaligned, rattling, or falling off. In addition, since the rear positioning bar 53 is formed by assembling the separate standing portion 54 and the locking covering portion 56, the rear positioning bar 53 with a complex shape can be easily assembled and used. There is a number.
또, 레티클 수용 용기(30)에 후부 위치 결정 바(53)를 계지시키는 외, 클램프(58)도 계지시켜, 레티클 수용 용기(30)를 전후 2개소에서 계지하므로, 비록 기판 수납 용기가 충돌하여 외력이 작용해도, 어댑터(40)로부터 레티클 수용 용기(30)가 부상하여 위치 어긋나거나, 덜컹거리거나, 탈락하는 것을 유효하게 방지할 수가 있다. 따라서, 레티클 수용 용기(30) 내의 레티클의 손상 방지를 크게 기대할 수 있다.In addition, in addition to locking the rear positioning bar 53 to the reticle storage container 30, the clamp 58 is also locked to lock the reticle storage container 30 at two locations front and rear, so that even if the substrate storage container collides, Even if an external force is applied, the reticle storage container 30 can be effectively prevented from rising from the adapter 40 and being misaligned, shaking, or falling off. Therefore, it is possible to greatly prevent damage to the reticle in the reticle storage container 30.
또, 경사각 확대 홈(43)의 평탄면(45)에 레티클 수용 용기(30)의 저면 후부가 접촉하면, 레티클 수용 용기(30)의 주연 후부와 후부 위치 결정 바(53)의 계지 피복부(56)의 사이에 요동용의 간극을 구획 형성할 수가 있으므로, 계지 피복부(56)의 존재에도 불구하고, 레티클 수용 용기(30)를 상 방향으로 크게 경사시키는 것이 가능하게 된다. 따라서, 어댑터(40)로부터 레티클 수용 용기(30)을 떼어내는 작업에 아무런 지장을 초래하는 일이 없다. 또한, 어댑터(40), 복수의 위치 결정 바(50), 및 클램프(58)를 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 각각 성형하면, 도전성의 부여에 의해 레티클의 정전기 파괴를 방지하는 것이 가능하게 된다.Additionally, when the bottom rear portion of the reticle storage container 30 contacts the flat surface 45 of the inclination angle enlargement groove 43, the engaging coating portion between the peripheral rear portion of the reticle storage container 30 and the rear positioning bar 53 ( Since the gap for rocking can be defined between the reticle container 30 (56), it is possible to tilt the reticle storage container 30 significantly upward despite the presence of the locking coating portion 56. Therefore, there is no problem in removing the reticle housing container 30 from the adapter 40. Additionally, if the adapter 40, the plurality of positioning bars 50, and the clamp 58 are each molded using a molding material containing resin and conductive filler, electrostatic destruction of the reticle can be prevented by imparting conductivity. I do it.
다음에, 도 7은 본 발명의 제2의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는, 전부 위치 결정 바(52)에, 수평 횡 방향으로 회전 가능한 좌우 한 벌의 클램프(58)를 볼트(60)를 통해 각각 지지시켜 클램프(58)의 수를 늘리도록 하고 있다. 그 외의 부분에 대해서는, 상기 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.Next, Figure 7 shows the second embodiment of the present invention. In this case, a set of left and right clamps 58 rotatable in the horizontal and lateral direction are attached to the front positioning bar 52 with bolts 60. The number of clamps 58 is increased by supporting each through . As for other parts, they are the same as the above embodiment, so description is omitted.
본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 게다가, 한 벌의 클램프(58)를 이용하므로, 비록 일방의 클램프(58)가 빠져도, 타방의 클램프(58)에 의해, 레티클 수용 용기(30)의 위치 어긋남이나 덜컹거림, 탈락 등을 확실하게 방지할 수가 있다.In this embodiment, the same effects as those in the above embodiment can be expected, and in addition, since one set of clamps 58 is used, even if one clamp 58 is missing, the other clamp 58 It is possible to reliably prevent the reticle housing container 30 from being misaligned, rattling, or falling off.
다음에, 도 8은 본 발명의 제3의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는, 전부 위치 결정 바(52)와 한 벌의 측부 위치 결정 바(57)의 중앙부에 클램프(58)를 볼트(60)를 통해 각각 회전 가능하게 지지시키고, 클램프(58)의 수를 한층 더 늘리도록 하고 있다. 그 외의 부분에 대해서는, 상기 실시 형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.Next, Figure 8 shows a third embodiment of the present invention. In this case, the clamp 58 is bolted to the central portion of the front positioning bar 52 and the set of side positioning bars 57. Each is rotatably supported through 60), and the number of clamps 58 is further increased. As for other parts, they are the same as the above embodiment, so description is omitted.
본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 게다가, 클램프(58)의 수를 늘려 후부 위치 결정 바(53)와 함께 전후 좌우의 4개소에서 계지하므로, 레티클 수용 용기(30)가 부상하여 위치 어긋나거나, 덜컹거리거나, 탈락하는 것을 확실하게 방지할 수가 있는 것은 분명하다.In this embodiment, the same effects as those in the above embodiment can be expected, and in addition, the number of clamps 58 is increased and they are clamped at four locations on the front, rear, left, and right together with the rear positioning bar 53, so that the reticle housing container ( It is clear that it is possible to reliably prevent 30) from rising, being misaligned, rattling, or falling off.
또한, 상기 실시 형태에서는 어댑터(40), 복수의 위치 결정 바(50), 및 클램프(58)를 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 성형하였지만, 이들 적어도 어느 하나를 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 성형해도 좋다. 또, 어댑터(40)의 직경 방향에, 복수의 위치 결정 바(50)용의 부착 구멍을 복수 천공하고, 레티클 수용 용기(30)의 크기에 따라 복수의 부착 구멍에 위치 결정 바(50)를 선택적으로 나착해도 좋다. 또, 어댑터(40)의 하면에 있어서의 양측부 주연에, 지지편의 스토퍼(3)에 근접하는 절결을 다른 부분보다도 두께가 얇게 되도록 각각 형성하고, 각 절결을 지지편의 스토퍼(3)에 접촉시켜 어댑터(40)가 전후 방향, 특히 전(前) 방향으로 위치 어긋나거나 덜컹거리는 것을 방지하도록 해도 좋다.In addition, in the above embodiment, the adapter 40, the plurality of positioning bars 50, and the clamp 58 were molded using a molding material containing resin and a conductive filler, but at least one of these is made of a molding material containing resin and a conductive filler. It may be molded using molding materials. In addition, a plurality of attachment holes for a plurality of positioning bars 50 are drilled in the radial direction of the adapter 40, and positioning bars 50 are installed in the plurality of attachment holes according to the size of the reticle storage container 30. You can optionally stick to it. In addition, on the periphery of both sides of the lower surface of the adapter 40, notches close to the stopper 3 of the support piece are formed so that the thickness is thinner than that of other parts, and each notch is brought into contact with the stopper 3 of the support piece. The adapter 40 may be prevented from being misaligned or rattling in the front-to-back direction, especially the forward direction.
또, 어댑터(40)의 탑재면(41)에 필요 수의 요철을 배열 형성하여 레티클 수용 용기(30)의 저면과의 사이에 약간의 간극을 형성 가능하게 하여, 레티클 수용 용기(30)의 부착, 떼어내기를 용이하게 해도 좋다. 또, 단차인 경사각 확대 홈(43)의 경사면(44)을 후방으로 연장하고, 평탄면(45)을 생략해도 좋다. 또, 상기 실시 형태에서는 전부 위치 결정 바(52)와 한 벌의 측부 위치 결정 바(57) 중, 적어도 전부 위치 결정 바(52)에 클램프(58)를 지지시켰지만, 한 벌의 측부 위치 결정 바(57)에만 필요 수의 클램프(58)를 회전 가능하게 지지시킬 수가 있다.In addition, by arranging the necessary number of irregularities on the mounting surface 41 of the adapter 40, a slight gap can be formed between the bottom surface of the reticle storage container 30 and the attachment of the reticle storage container 30. , it may be easy to remove. Additionally, the inclined surface 44 of the inclined angle enlarging groove 43, which is a step, may be extended rearward and the flat surface 45 may be omitted. In addition, in the above embodiment, the clamp 58 is supported on at least the front positioning bar 52 among the front positioning bar 52 and the set of side positioning bars 57. However, the clamp 58 is supported on at least the front positioning bar 52. The required number of clamps 58 can be rotatably supported only at (57).
또, 특히 지장을 초래하지 않으면, 어댑터(40)의 탑재면(41)에 필요 수의 클램프(58)를 회전 가능하게 지지시킬 수가 있다. 또, 각 위치 결정 바(50)에 가요성이나 스프링성을 부여하여 레티클 수용 용기(30)의 주연부에 밀접시키고, 레티클 수용 용기(30)의 위치 어긋남이나 탈락을 방지할 수도 있다. 또, 후부 위치 결정 바(53)의 계지 피복부(56)의 레티클 수용 용기(30)에 대향하는 기립면을 경사시켜 레티클 수용 용기(30)의 상방으로의 경사각을 확대시키는 것이 가능하다. 또한, 후부 위치 결정 바(53)의 체결구(55)는, 클램프(58)의 볼트(60)와 마찬가지라도 좋고, 다른 결합구로 하는 것도 가능하다.Moreover, if it does not cause any particular trouble, the required number of clamps 58 can be rotatably supported on the mounting surface 41 of the adapter 40. Additionally, flexibility and spring properties are provided to each positioning bar 50 so that it is brought into close contact with the periphery of the reticle storage container 30, thereby preventing the reticle storage container 30 from being misaligned or falling off. Additionally, it is possible to increase the upward inclination angle of the reticle storage container 30 by inclining the standing surface of the locking coating portion 56 of the rear positioning bar 53 that faces the reticle storage container 30. Additionally, the fastener 55 of the rear positioning bar 53 may be the same as the bolt 60 of the clamp 58, or it may be a different fastener.
본 발명과 관련되는 기판 수납 용기는 반도체나 레티클을 취급하는 분야에서 사용할 수가 있다.The substrate storage container related to the present invention can be used in fields that handle semiconductors or reticles.
1 : 용기 본체
2 : 지지편
5 : 로보틱 플랜지(robotic flange)
8 : 반송 레일
10 : 덮개체
11 : 덮개 본체
14 : 커버 플레이트(cover plate)
16 : 시정 기구
30 : 레티클 수용 용기
31 : 저판(底板)
32 : 상 덮개
33 : 주연부(周緣部)
40 : 어댑터(adapter)
41 : 탑재면
42 : 전부(前部)
43 : 경사각 확대 홈
44 : 경사면
45 : 평탄면
50 : 위치 결정 바(위치 결정 부재)
51 : 탑재 영역
52 : 전부 위치 결정 바(위치 결정 부재, 전부 위치 결정 부재)
53 : 후부 위치 결정 바(위치 결정 부재, 후부 위치 결정 부재)
54 : 기립부
56 : 계지 피복부
57 : 측부 위치 결정 바(위치 결정 부재, 측부 위치 결정 부재)
58 : 클램프(클램프 부재)
W : 반도체 웨이퍼1: container body 2: support piece
5: robotic flange
8: conveyance rail 10: cover body
11: cover body
14: cover plate
16: Municipal governing body
30: Reticle receiving container
31: Bottom plate 32: Top cover
33: Peripheral part 40: Adapter
41: Mounting surface 42: Front part
43: Incline angle enlargement groove 44: Inclined surface
45: flat surface
50: Positioning bar (positioning member)
51: Mounting area
52: All positioning bars (positioning member, all positioning members)
53: rear positioning bar (positioning member, rear positioning member)
54: Standing portion 56: Locking covering portion
57: side positioning bar (positioning member, side positioning member)
58: Clamp (clamp member)
W: semiconductor wafer
Claims (4)
용기 본체의 내부 양측에, 반도체 웨이퍼를 대략 수평으로 지지 가능한 한 벌의 지지편을 대향시켜 설치하고, 이 한 벌의 지지편을 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배열하고,
어댑터를 용기 본체 내의 한 벌의 지지편에 지지되는 형상으로 형성하고, 이 어댑터의 탑재면 후부에, 레티클 수용 용기의 저면에 간극을 통해 대향하는 경사각 확대 홈을 형성하고,
복수의 위치 결정 부재는, 레티클 수용 용기의 주연 전부에 접근하여 위치 결정하는 전부 위치 결정 부재와, 레티클 수용 용기의 주연 후부에 접근하여 위치 결정 계지하는 후부 위치 결정 부재와, 레티클 수용 용기의 주연 측부에 접근하여 위치 결정하는 측부 위치 결정 부재를 포함하고, 후부 위치 결정 부재를 단면 대략 역 L자형으로 형성하여 경사각 확대 홈에 접근시킨 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.A container body capable of storing a plurality of semiconductor wafers arranged in the vertical direction, a cover body that can be freely attached and detached to the open front of the container body, an adapter for mounting a reticle accommodating container stored in the container body, and this adapter. A substrate storage container comprising a plurality of positioning members disposed and installed on the mounting surface for the reticle storage container to position the reticle storage container,
On both sides of the interior of the container body, a set of support pieces capable of supporting a semiconductor wafer are installed facing each other, and a plurality of this set of support pieces are arranged at predetermined intervals in the vertical direction,
The adapter is formed in a shape supported by a set of support pieces in the container body, and an inclination angle enlarged groove is formed at the rear of the mounting surface of the adapter to face the bottom of the reticle accommodating container through a gap,
The plurality of positioning members includes a front positioning member that approaches and positions the entire periphery of the reticle storage container, a rear positioning member that approaches and positions the rear periphery of the reticle storage container, and a peripheral side portion of the reticle storage container. A substrate storage container comprising a side positioning member that approaches and positions the rear positioning member, wherein the rear positioning member is formed to have a substantially inverted L-shape in cross section and approaches the inclination angle widening groove.
어댑터와 복수의 위치 결정 부재의 적어도 어느 하나를, 수지와 도전 필러 함유의 성형 재료에 의해 성형한 기판 수납 용기.According to paragraph 1,
A substrate storage container in which at least one of an adapter and a plurality of positioning members is molded using a molding material containing resin and a conductive filler.
경사각 확대 홈을, 어댑터의 탑재면 후부에 연접되어 서서히 하강하는 경사면과, 이 경사면에 연접되어 후부 위치 결정 부재에 인접하는 평탄면으로 형성한 기판 수납 용기.According to claim 1 or 2,
A substrate storage container in which the inclination angle expansion groove is formed by a gradually descending inclined surface connected to the rear of the mounting surface of the adapter, and a flat surface connected to the inclined surface and adjacent to the rear positioning member.
후부 위치 결정 부재를, 경사각 확대 홈의 평탄면에 인접하여 레티클 수용 용기의 주연 후부에 횡 방향으로부터 대향하는 기립부와, 이 기립부에 착탈이 자유롭게 부착되어 레티클 수용 용기의 주연 후부에 상방으로부터 계지하는 계지 피복부로 분할한 기판 수납 용기.
According to paragraph 3,
The rear positioning member is provided with a rising portion adjacent to the flat surface of the inclination angle enlarging groove and laterally opposed to the peripheral rear portion of the reticle storage container, and is removably attached to this erect portion and fastened to the peripheral rear portion of the reticle storage container from above. A substrate storage container divided into a locking covering section.
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