KR20240023477A - 프로브 어레이 및 프로브 구조 - Google Patents

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KR20240023477A
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춘 렁 러우
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스타 테크놀로지스, 인코포레이션
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Abstract

본 개시는 프로브 어레이 및 프로브 구조를 제공한다.프로브 어레이는 제1 프로브 구조 및 제2 프로브 구조를 포함한다. 제1 프로브 구조는 제1 단과 제2 단을 가지는 제1 본체를 포함한다. 제2 프로브 구조는 제1 단과 제2 단을 가지는 제2 본체를 포함한다. 제1 본체의 제1 단과 제2 본체의 제1 단은 제1 단면에서 동일한 단면적을 가지고, 제1 본체의 제2 단과 제2 본체의 제2 단은 제2 단면에서 동일한 단면적을 가진다. 제1 본체와 제2 본체는 상이한 형상을 가진다.

Description

프로브 어레이 및 프로브 구조{PROBE ARRAY AND PROBE STRUCTURE}
본 개시는 프로브 어레이 및 프로브 구조에 관한 것이다. 특히, 상이한 신호 유형을 탐지할 수 있는 다양한 프로브 구조를 가지는 프로브 어레이에 관한 것이다.
공지의 기술에서, 다양한 집적 회로 칩은 제조 과정에서 반드시 전기적 테스트를 거쳐야 한다. 특정 테스트 목적을 만족하기 위해, 상이한 테스트 구조가 발전하였다. 예를 들어, 고전류 테스트에 사용되는 프로브 구조는 비교적 두꺼워야 하고, 고주파 테스트에 사용되는 프로브 구조는 비교적 얇아야 한다. 그러나, 기존의 프로브 구조는 대부분 다양한 테스트 목적을 동시에 만족하지 못하였다.
또한, 상이한 테스트 목적을 만족하기 위해 상이한 사이즈의 프로브 구조를 동일한 프로브 어레이에 배열할 경우, 프로브 어레이에서 프로브 구조의 설치에 사용되는 가이드 플레이트의 개구 사이즈를 통일할 수 없게 되어, 이로써 (1) 프로브 어레이의 복수의 프로브 구조가 테스트 대상에 접촉할 때, 접촉력이 평형을 이루기 어려워 테스트 과정이 불안정해지고; (2) 프로브 어레이의 복수의 프로브 구조 간의 간격 조정이 어려워지며; (3) 프로브 어레이의 복수의 프로브 구조가 테스트 대상에 접촉할 때, 테스트 과정의 온도 제어가 어려워지게 된다.
이상의 「선행 기술」에 대한 설명은 단지 배경 기술을 제공하기 위한 것으로서, 이상의 「선행 기술」에 대한 설명이 본 개시의 과제를 개시하였음을 인정하는 것이 아니며, 본 개시의 선행 기술을 구성하지 않고, 이상의 「선행 기술」에 대한 어떠한 설명도 본 개시의 어떠한 일부로 포함되지 않는다.
본 개시의 일 실시예는 제1 프로브 구조와 제2 프로브 구조를 가지는 프로브 어레이를 제공한다. 상기 제1 프로브 구조는 제1 단과 제2 단을 가지는 제1 본체를 포함한다. 상기 제2 프로브 구조는 제1 단과 제2 단을 가지는 제2 본체를 포함한다. 상기 제1 본체의 상기 제1 단과 상기 제2 본체의 상기 제1 단은 제1 단면에서 동일한 단면적을 가지고, 상기 제1 본체의 제2 단과 상기 제2 본체의 상기 제2 단은 제2 단면에서 동일한 단면적을 가지며, 상기 제1 본체와 상기 제2 본체는 상이한 형상을 가진다.
일부 실시예에서, 상기 제1 본체의 상기 제1 단과 상기 제2 본체의 상기 제1 단은 동일한 측에 위치한다.
일부 실시예에서, 상기 제1 단면과 상기 제2 단면은 평행한다.
일부 실시예에서, 상기 제1 본체의 상기 제1 단과 상기 제2 본체의 상기 제1 단은 동일한 형상을 가진다.
일부 실시예에서, 상기 제1 본체의 상기 제2 단과 상기 제2 본체의 상기 제2 단은 동일한 형상을 가진다.
일부 실시예에서, 상기 제1 본체에는 상기 제1 프로브 구조의 제1 단으로부터 상기 제1 프로브 구조의 제2 단으로 연장되는 적어도 하나의 제1 중공부, 적어도 하나의 제1 오목부, 또는 상기 적어도 하나의 제1 중공부와 상기 적어도 하나의 제1 오목부의 조합이 형성된다.
일부 실시예에서, 상기 제2 본체에는 상기 제2 프로브 구조의 제1 단으로부터 상기 제2 프로브 구조의 제2 단으로 연장되는 적어도 하나의 제2 중공부, 적어도 하나의 제2 오목부, 또는 상기 적어도 하나의 하나의 제2 중공부와 상기 적어도 하나의 제2 오목부의 조합이 형성된다.
일부 실시예에서, 상기 프로브 어레이는 가이드 플레이트를 더 포함한다. 상기 가이드 플레이트는 제1 홀과 제2 홀을 가진다. 상기 제1 홀은 상기 제 1 프로브 구조의 상기 제1 단을 수용한다. 상기 제2 홀은 상기 제2 프로브 구조의 상기 제1 단을 수용한다.
일부 실시예에서, 상기 제1 홀과 상기 제2 홀의 크기와 형상은 동일하다.
본 개시의 다른 일 실시예는 본체를 포함하는 프로브 구조를 제공한다. 상기 본체는 제1 단 및 제2 단을 가진다. 상기 본체에는 상기 제1 단으로부터 상기 제2 단으로 연장되는 적어도 하나의 중공부, 적어도 하나의 오목부 또는 상기 적어도 하나의 중공부와 상기 적어도 하나의 오목부의 조합이 형성된다. 제1 단면에서 상기 제1 단의 단면적과 제2 단면에서 상기 제2 단의 단면적은 동일하고, 상기 제1 단면과 상기 제2 단면은 평행이다.
일부 실시예에서, 상기 제1 단과 상기 제2 단은 동일한 형상을 가진다.
일부 실시예에서, 상기 본체 상에는 상기 적어도 하나의 오목부 또는 상기 적어도 하나의 중공부와 상기 적어도 하나의 오목부의 조합이 형성되고, 상기 적어도 하나의 오목부는 호 형상이나 사다리꼴 형상을 가진다.
일부 실시예에서, 상기 본체는 상기 제1 단으로부터 상기 제2 단까지 동일한 두께를 가진다.
이상, 본 개시의 기술적 특징과 장점을 광범위하게 서술하였으므로, 이하 본 개시의 상세한 설명이 보다 잘 이해될 것이다. 본 개시의 청구 범위의 요지를 구성하는 다른 기술적 특징 및 장점은 후술될 것이다. 본 개시가 속하는 기술 분야의 당업자들은, 아래에 개시되는 개념 및 특정 실시예가 본 개시와 동일한 목적을 구현하기 위해 다른 구조 또는 공정을 변형하거나 설계하는 데에 용이하게 사용될 수 있음을 이해할 것이다. 본 개시가 속하는 기술 분야의 당업자들은, 이와 유사한 등가 구성이 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 개시의 사상 및 범위를 벗어날 수 없음 또한 이해할 것이다.
발명의 실시를 위한 구체적인 내용과 청구범위를 도면과 함께 참조하면, 본 출원의 개시 내용을 보다 완전하게 이해할 수 있을 것이다. 도면에서 동일한 참조 부호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1a는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 정면도이다.
도 1b는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 정면도이다.
도 1c는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 정면도이다.
도 2a는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 정면도이다.
도 2b는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 정면도이다.
도 2c는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 정면도이다.
도 3a는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 정면도이다.
도 3b는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 측면도이다.
도 3c는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 구조를 예시적으로 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 어레이를 예시적으로 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 어레이를 예시적으로 나타낸 개략도이다.
본 개시의 이하 설명은 명세서에 포함되어 그 일부를 구성하는 도면을 동반하며 본 개시의 실시예를 설명하나, 본 개시는 이러한 실시예에 제한되지 않는다. 또한, 이하 실시예는 적절하게 조합되어 다른 실시예를 완성할 수 있다.
「일 실시예」, 「실시예」, 「예시적인 실시예」, 「다른 실시예」, 「또 다른 실시예」 등은 본 개시가 설명하는 실시예들이 특정한 특징, 구조 또는 특성을 포함할 수 있음을 나타내나, 각 실시예가 반드시 이러한 특정한 특징, 구조 또는 실시예를 포함하여야 하는 것은 아니다. 또한, 「실시예에서」의 반복적인 사용은 반드시 동일한 실시예를 나타내는 것은 아니지만, 동일한 실시예를 나타낼 수도 있다.
본 개시의 완전한 이해를 위해, 이하의 설명에서는 상세한 단계와 구조를 제공한다. 본 개시의 실시는 당업자들에게 공지된 특정한 세부 사항을 제한하지 않음은 물론이다. 또한, 본 개시가 불필요하게 제한되지 않도록, 공지의 구조와 단계에 대해서는 자세히 설명하지 않는다. 본 개시의 비교적 바람직한 실시예를 아래와 같이 자세히 설명한다. 그러나, 상세한 설명 외에도, 본 개시는 다른 실시예에서 광범위하게 실시될 수 있다. 본 개시의 범위는 상세한 설명의 내용에 제한되지 않으며, 청구범위에 의해 정의된다.
이하 개시되는 내용은 본 발명의 상이한 특징들을 구현하기 위한 여러 상이한 실시예 또는 예를 제공함이 이해될 것이다. 이하, 본 개시의 내용을 간략히 하기 위하여, 구성요소 및 배열의 구체적인 실시예가 설명될 것이다. 이러한 실시예들은 예시적일 뿐 본 개시를 제한하기 위한 것이 아니다. 예를 들어, 구성요소의 크기는 개시된 범위나 수치에 제한되지 않으며, 공정 조건 및/또는 장치에 요구되는 성질에 의한 것일 수 있다. 또한, 이하 설명에서 제1 특징을 제2 특징의 「위」에 형성하거나 제2 특징 「상」에 형성하는 것은 제1 특징 및 제2 특징이 직접 접촉하도록 형성되는 실시예를 포함할 수 있으며, 제1 특징과 제2 특징 사이에 추가적인 특징이 형성되어 상기 제1 특징과 상기 제2 특징이 직접 접촉하지 않도록 할 수 있는 실시예도 포함할 수 있다. 간명함을 위해, 상이한 비율에 따라 다양한 특징을 임의로 도시할 수 있다. 도면에서, 단순화를 위해, 일부 층/특징을 생략할 수 있다.
또한, 설명의 편의를 위해, 본문에서는 「~ 아래[beneath)」, 「하면(below)」, 「하부의(lower)」, 「위쪽(above)」, 「상부의(upper)」 등 공간 상대적인 관계를 나타내는 용어를 사용하여 도면에 도시된 하나의 구성요소 또는 특징과 다른(그 밖의) 구성요소 또는 특징의 관계를 설명할 수 있다. 상기 공간 상대적인 관계를 나타내는 용어는 도면에 도시된 방향 외에도 사용 또는 작동 중인 요소의 다른 방향을 포함하도록 의도된다. 상기 장치는 다른 방향(90도 회전 또는 다른 방향에 위치)을 가질 수 있으며, 본문에 사용된 공간 상대적인 관계를 나타내는 용어 또한 동일하게 이에 따라 설명될 수 있다.
본 개시의 실시예에 따른 프로브 어레이는 제1 프로브 구조 및 제2 프로브 구조를 포함하며, 제1 프로브 구조의 제1 단 및 제2 프로브 구조의 제1 단은 제1 단면에서 동일한 단면적을 가지고, 제1 프로브 구조의 제2 단 및 제2 프로브 구조의 제2 단은 제2 단면에서 동일한 단면적을 가진다. 여기서, 제1 프로브 구조의 본체와 제2 프로브 구조의 본체는 예를 들어 (1) 적어도 하나의 중공부; (2) 적어도 하나의 오목부; 또는 (3) 적어도 하나의 중공부와 적어도 하나의 오목부의 조합과 같은 상이한 형상을 가질 수 있다.
이로써, 본 개시의 상이한 프로브 구조에 동일한 단부가 설치되어, 고전류 테스트(예를 들어, 프로브 구조의 메인을 비교적 큰 단면적을 갖도록 설치), 고주파 테스트(예를 들어, 프로브 구조의 메인을 비교적 작은 단면적을 갖도록 설치) 등의 상이한 테스트 수요를 동시에 만족하기 위해 상이한 프로브 구조를 동일한 프로브 어레이에 설치할 수 있다. 또한, 프로브 구조의 외부 사이즈가 일치할 수 있으므로, 이러한 프로브 구조를 가지는 프로브 어레이가 테스트 대상에 접촉할 때 접촉력이 평형을 이루어, 프로브의 설치 또는 교체가 용이하고, 프로브 구조 간의 간격 조정도 용이해지며(예를 들어, 비교적 작은 동일한 간격) 테스트 과정의 온도 또한 간단히 제어된다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(11)의 정면도인 도 1a를 참고한다. 구체적으로, 프로브 구조(11)는 본체(111)를 포함하며, 본체(111)는 제1 단(111A) 및 제2 단(111B)을 가진다. 본체(111)에는 적어도 하나의 중공부(1110)가 형성되며, 적어도 하나의 중공부(1110)는 제1 단(111A)으로부터 제2 단(111B)까지 연장된다.
일부 실시예에서, 제1 단(111A)은 제1 단면(CS11)에서 단면적을 가지고, 제2 단(111B)은 제2 단면(CS12)에서 단면적을 가진다. 제1 단면(CS11)에서의 제1 단(111A)의 단면적과 제2 단면(CS12)에서의 제2 단(111B)의 단면적은 동일하며, 제1 단면(CS11)은 제2 단면(CS12)에 평행한다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(12)의 정면도인 도 1b를 참고한다. 구체적으로, 프로브 구조(12)는 본체(121)를 포함하며, 본체(121)는 제1 단(121A) 및 제2 단(121B)을 가진다. 본체(121)에는 적어도 하나의 오목부(1212)가 형성되며, 적어도 하나의 오목부(1212)는 제1 단(121A)으로부터 제2 단(121B)까지 연장된다.
일부 실시예에서, 제1 단(121A)은 제1 단면(CS13)상에서 단면적을 가지고, 제2 단(121B)은 제2 단면(CS14) 상에서 단면적을 가진다. 제1 단면(CS13)에서의 제1 단(121A)의 단면적과 제2 단면(CS14)에서의 제2 단(121B)의 단면적은 동일하며, 제1 단면(CS13)은 제2 단면(CS14)에 평행한다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(13)의 정면도인 도 1c를 참고한다. 구체적으로, 프로브 구조(13)는 본체(131)를 포함하며, 본체(131)는 제1 단(131A) 및 제2 단(131B)을 가진다. 본체(131) 상에는 적어도 하나의 중공부(1310) 및 적어도 하나의 오목부(1312)가 형성되고, 적어도 하나의 중공부(1310) 및 적어도 하나의 오목부(1312)는 각각 제1 단(131A)으로부터 제2 단(131B)까지 연장된다.
일 실시예에서, 제1 단(131A)은 제1 단면(CS15)에서 단면적을 가지고, 제2 단(131B)은 제2 단면(CS16)에서 단면적을 가진다. 제1 단면(CS15)에서의 제1 단(131A)의 단면적과 제2 단면(CS16)에서의 제2 단(131B)의 단면적은 동일하고, 제1 단면(CS15)은 제2 단면(CS16)에 평행한다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(21)의 정면도인 도 2a를 참고한다. 구체적으로, 프로브 구조(21)는 본체(211)를 포함하고, 본체(211)는 제1 단(211A) 및 제2 단(211B)을 가진다. 본체(211)에는 적어도 하나의 중공부(2110)가 형성되며, 적어도 하나의 중공부(2110)는 제1 단(211A)으로부터 제2 단(211B)까지 연장된다. 일부 실시예에서, 복수의 중공부(2110)는 동일한 형상을 가진다(예: 긴 막대형).
일부 실시예에서, 제1 단(211A)은 제1 단면(CS21)에서 단면적을 가지고, 제2 단(211B)은 제2 단면(CS22)에서 단면적을 가진다. 제1 단면(CS21)에서의 제1 단(211A)의 단면적과 제2 단면(CS22)에서의 제2 단(211B)의 단면적은 동일하며, 제1 단면(CS21)은 제2 단면(CS22)에 평행한다. 일부 실시예에서, 제1 단(211A) 및 제2 단(211B)은 동일한 형상을 가진다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(22)의 정면도인 도 2b를 참고한다. 구체적으로, 프로브 구조(22)는 본체(221)를 포함하며, 본체(221)는 제1 단(221A) 및 제2 단(221B)을 가진다. 본체(221) 상에는 제1 오목부(2212A) 및 제2 오목부(2212B)가 형성되고, 제1 오목부(2212A) 및 제2 오목부(2212B)는 제1 단(221A)으로부터 제2 단(221B)까지 연장된다. 일 실시예에서, 제1 오목부(2212A) 및 제2 오목부(2212B)는 정면도 상에서 각각 호 형상을 가지고, 대칭되게 본체(221)에 형성된다.
일 실시예에서, 제1 단(221A)은 제1 단면(CS23)에서 단면적을 가지고, 제2 단(221B)은 제2 단면(CS24)에서 단면적을 가진다. 제1 단면(CS23)에서의 제1 단(221A)의 단면적과 제2 단면(CS24)에서의 제2 단(221B)의 단면적은 동일하며, 제1 단면(CS23)은 제2 단면(CS24)에 평행한다.일 실시예에서, 제1 단(221A) 및 제2 단(221B)은 동일한 형상을 가진다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(23)의 정면도인 도 2c를 참고한다. 구체적으로, 프로브 구조(23)는 본체(231)를 포함하고, 본체(231)는 제1 단(231A) 및 제2 단(231B)을 가진다. 본체(231)에는 복수의 중공부(2310), 제1 오목부(2312A) 및 제2 오목부(2312B)가 형성되며 각각의 복수의 중공부(2310), 제1 오목부(2312A) 및 제2 오목부(2312B)는 각각 제1 단(231A)으로부터 제2 단(231B)까지 연장된다. 일 실시예에서, 제1 오목부(2312A) 및 제2 오목부(2312B)는 정면도 상에서 각각 사다리 형상을 가지고, 대칭되게 본체(231)에 형성된다.
일 실시예에서, 제1 단(231A)은 제1 단면(CS25)에서 단면적을 가지고, 제2 단(231B)은 제2 단면(CS26)에서 단면적을 가진다. 제1 단면(CS25)에서의 제1 단(231A)의 단면적과 제2 단면(CS26)에서의 제2 단(231B)의 단면적은 동일하며, 제1 단면(CS25)은 제2 단면(CS26)에 평행한다.일 실시예에서, 제1 단(231A) 및 제2 단(231B)은 동일한 형상을 가진다.
특별히 설명할 것은, 전술한 오목부와 중공의 형태는 본 개시의 오목부의 실시 양태를 제한하기 위한 것이 아니며, 동일한 효과를 달성할 수 있는 오목부와 중공의 형태라면 모두 본 개시의 보호범위에 속할 수 있다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(31)의 정면도인 도 3a를 참고한다. 구체적으로, 프로브 구조(31)는 본체(311)를 포함하고, 본체(311)는 제1 단(311A) 및 제2 단(311B)을 가진다. 보다 자세하게는, 도 3a에 도시된 정면도에서, 제1 단(311A)과 제2 단(311B)은 동일한 폭(W31)을 가지고, 본체(311)의 제1 면(311S1) 상에 본체(311)를 관통하는 복수의 중공부(3110)가 형성된다. 본체(311)는 제1 면(311S1)에 인접한 적어도 하나의 측면(311S1, 311S3)을 가진다. 본체(311)의 측면(311S2, 311S3)에는 각각 제1 오목부(3112A) 및 제2 오목부(3112B)가 형성된다. 일 실시예에서, 각각의 중공부(3110), 제1 오목부(3112A) 및 제2 오목부(3112B)는 각각 제1 단(311A)으로부터 제2 단(311B)까지 연장된다.
일 실시예에서, 제1 단(311A)은 제1 단면(CS31)에서 단면적을 가지고, 제2 단(311B)은 제2 3단면(CS32)에서 단면적을 가진다. 제1 단면(CS31)에서의 제1 단(311A)의 단면적과 제2 단면(CS32)에서의 제2 단(311B)의 단면적은 동일하며, 제1 단면(CS31)은 제2 단면(CS32)에 평행한다. 일 실시예에서, 제1 단(311A) 및 제2 단(311B)은 동일한 형상을 가진다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(31)의 측면도인 도 3b를 참고한다. 구체적으로, 도 3b의 측면도는 제1 오목부(3112A)가 위치하는 측면(311S2)에서 본 도면이며, 본체(311)는 제1단(311A)으로부터 제2단(311B)까지 동일한 두께(T31)를 가진다. 다시 말해, 본체(311)의 측면(S311S2)은 제1 단(311A)으로부터 제2 단(311B)까지 동일한 폭을 가진다. 본 실시예에서, 본체(311)의 폭(W31)은 두께(T31)보다 크다.
도 3c는 본 개시의 일 실시예의 프로브 구조(31)의 측면도인 도 3c를 참고한다. 구체적으로, 도 3c의 측면도는 제1 오목부(3112A)가 위치하는 측면(311S2)으로부터 바라본 도면이며, 본체(311)는 제1 단(311A)으로부터 제2 단(311B)까지 동일한 두께(T32)를 가진다. 다시 말해, 본체(311)의 측면(S311S2)은 제1 단(311A)으로부터 제2 단(311B)까지 동일한 폭을 가진다.본 실시예에서, 본체(311)의 폭(W31)은 두께(T31)와 동일하다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 어레이(4)의 개략도인 도 4를 참고한다. 구체적으로, 프로브 어레이(4)는 복수의 프로브 구조(41) 및 가이드 플레이트(43)를 가진다. 가이드 플레이트(43)는 프로브 구조(41)의 일 단을 수용하기 위한 복수의 홀(430)을 구비한다. 일 실시예에서, 프로브 구조(41)는 적어도 하나의 프로브 구조(41A) 및 적어도 하나의 프로브 구조(41B)를 포함한다. 각 프로브 구조(41A)는 제1 본체(411A)를 포함하고, 각각의 제1 본체(411A)는 제1 단(413A) 및 제2 단(415A)을 가진다.각 프로브 구조(41B)는 제1 본체(411B)를 포함하고, 각각의 제1 본체(411B)는 제1 단(413B) 및 제2 단(415B)을 가진다. 제1 본체(411A)의 제1 단(413A)과 제1 본체(411B)의 제1 단(413B)은 프로브 어레이(4)에서 동일한 측에 위치한다.
일 실시예에서, 제1 본체(411A)의 제1 단(413A) 및 제2 본체(411B)의 제1 단(413B)은 제1 단면(CS41)에서 동일한 단면적을 가지고, 제1 본체(411A)의 제2 단(415A) 및 제2 본체(411B)의 제2 단(415B)은 제2 단면(CS42)에서 동일한 단면적을 가진다. 제1 단면(CS41)은 제2 단면(CS42)에 평행한다.
일 실시예에서, 프로브 구조(41A)의 제1 본체(411A)와 프로브 구조(41B)의 제2 본체(411B)는 상이한 형상을 가진다(예를 들어, 제1 본체(411A)가 한 가지 형상을 가지고, 제2 본체(411B)가 다른 한 가지 형상을 가진다). 일 실시예에서, 프로브 어레이(41)는 전술한 실시예의 프로브 구조(11, 12, 13, 21, 22, 23, 31) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있으나, 이는 프로브 구조(41)의 실시 양태를 제한하지 않는다.
본 개시의 일 실시예의 프로브 어레이(5)의 개략도인 도 5를 참고한다. 구체적으로, 프로브 어레이(5)는 복수의 프로브 구조(51) 및 가이드 플레이트(53)를 포함한다. 가이드 플레이트(53)는 프로브 구조(51)의 일 단을 수용하기 위한 복수의 홀(530)을 구비한다. 일 실시예에서, 프로브 구조(51)는 적어도 하나의 프로브 구조(51A) 및 적어도 하나의 프로브 구조(51B)를 포함한다. 각각의 프로브 구조(51A)는 제1 본체(511A)를 포함하고, 각각의 제1 본체(511A)는 제1 단(513A) 및 제2 단(515A)을 포함한다. 각각의 프로브 구조(51B)는 제1 본체(511B)를 포함하고, 각각의 제1 본체(511B)는 제1 단(513B) 및 제2 단(515B)을 포함한다. 제1 본체(511A)의 제1 단(513A)과 제1 본체(511B)의 제1 단(513B)은 프로브 어레이(5)에서 동일한 측에 위치한다.
일 실시예에서, 제1 본체(511A)의 제1 단(513A) 및 제2 본체(511B)의 제1 단(513B)은 제1 단면(CS51)에서 동일한 단면적을 가지고, 제1 본체(511A)의 제2 단(515A) 및 제2 본체(511B)의 제2 단(515B)은 제2 단면(CS52)에서 동일한 단면적을 가진다. 일 실시예에서, 제1 단면(CS51)에서의 제1 본체(511A)의 제1 단(513A)의 단면적은 제2 단면(CS52)에서의 제1 본체(511A)의 제2 단(515A)의 단면적과 동일하다. 제1 단면(CS51)에서의 제2 본체(511B)의 제1 단(513B)의 단면적은 제2 단면(CS52)에서의 제2 본체(511B)의 제2 단(515B)의 단면적과 동일하다. 제1 단면(CS51)은 제2 단면(CS52)에 평행한다.
일 실시예에서, 제1 본체(511A)의 제1 단(513A), 제1 본체(511A)의 제2 단(515A), 제2 본체(511B)의 제1 단(513B) 및 제2 본체(511B)의 제2 단(515B)은 동일한 형상을 가지며, 가이드 플레이트(53)의 복수의 홀(530)의 크기 및 형상은 모두 동일하다. 이에 따라, 복수의 홀(530)은 제1 본체(511A)의 제1 단(513A) 및 제2 본체(511B)의 제1 단(513B)을 동시에 수용할 수 있다.
일 실시예에서, 프로브 구조(51A)의 제1 본체(511A)와 프로브 구조(51B)의 제2 본체(511B)는 상이한 형상을 가진다(예를 들어, 제1 본체(511A)가 한 가지 형상을 가지고, 제2 본체(511B)가 다른 한 가지 형상을 가진다). 일부 실시예에서, 프로브 구조(51)는 전술한 실시예의 프로브 구조(11, 12, 13, 21, 22, 23, 31) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있으나, 이는 프로브 구조(51)의 실시 양태를 제한하지 않는다.
전술한 본 개시의 프로브 어레이 구조를 통해, 상이한 테스트 목적을 만족시키기 위해 상이한 크기와 형상을 가지는 프로브 구조를 동일한 프로브 어레이에 배열할 수 있다. 나아가, 본 개시의 프로브 어레이의 다양한 프로브 구조의 단부는 그 형상이 일치하며, 프로브 어레이 중 프로브 구조의 설치에 사용되는 가이드 플레이트의 개구는 그 크기가 일치하므로, 적어도 (1) 프로브 어레이의 복수의 프로브 구조가 테스트 대상에 접촉할 때 접촉력이 평형을 이루고, 테스트 과정이 안정화되며; (2) 프로브 어레이의 복수의 프로브 구조 간의 간격 조정이 편리해지며; (3) 프로브 어레이의 복수의 프로브 구조가 테스트 대상에 접촉할 때, 접촉면과 일치하여, 테스트 과정의 온도가 쉽게 제어되도록 할 수 있다.
이미 본 개시와 그 장점을 상세히 서술하였으나, 청구범위에 의해 정의되는 본 개시의 사상과 범위를 벗어나지 않으면서 다양한 변형, 대체가 가능함이 이해될 것이다. 예를 들어, 상술한 여러 공정은 다른 방법으로도 구현될 수 있으며, 다른 공정 또는 그 조합으로도 대체될 수 있다.
또한, 본 출원의 범위는 명세서에서 기술한 공정, 기계, 제조, 물질 조성물, 수단, 방법 및 단계의 특정 실시예에 제한되지 않는다. 당업자들은 본 개시의 개시 내용에 대한 이해에 기반하여, 본 개시에 따라, 본문에 기술된 대응적 실시예와 동일한 기능을 가지거나 실질적으로 동일한 효과를 구현할 수 있는 기존의 또는 앞으로 발전할 공정, 기계, 제조, 물질 조성물, 수단, 방법 및 단계를 사용할 수 있다. 따라서, 이러한 공정, 기계, 제조, 물질 조성물, 수단, 방법 또는 단계는 본 출원의 청구범위에 포함된다.
4: 프로브 어레이
5: 프로브 어레이
11: 프로브 구조
12: 프로브 구조
13: 프로브 구조
21: 프로브 구조
22: 프로브 구조
23: 프로브 구조
31: 프로브 구조
41: 프로브 구조
41A: 프로브 구조
41B: 프로브 구조
43: 가이드 플레이트
51: 프로브 구조
51A: 프로브 구조
51B: 프로브 구조
53: 가이드 플레이트
111: 본체
111A: 제1 단
111B: 제2 단
121: 본체
121A: 제1 단
121B: 제2 단
131: 본체
131A: 제1 단
131B: 제2 단
211: 본체
211A: 제1 단
211B: 제2 단
221: 본체
221A: 제1 단
221B: 제2 단
231: 본체
231A: 제1 단
231B: 제2 단
311: 본체
311A: 제1 단
311B: 제2 단
311S1: 제1 면
311S2: 측면
311S3: 측면
411A: 제1 본체
411B: 제1 본체
413A: 제1 단
413B: 제1 단
415A: 제2 단
415B: 제2 단
430: 홀
511A: 제1 본체
511B: 제1 본체
513A: 제1 단
513B: 제1 단
515A: 제2 단
515B: 제2 단
530: 홀
1110: 중공부
1212: 오목부
1310: 중공부
1312: 오목부
2110: 중공부
2212A: 제1 오목부
2212B: 제2 오목부
2310: 중공부
2312A: 제1 오목부
2312B: 제2 오목부
3110: 중공부
3112A: 제1 오목부
3112B: 제1 오목부
CS11: 제1 단면
CS12: 제2 단면
CS13: 제1 단면
CS14: 제2 단면
CS15: 제1 단면
CS16: 제2 단면
CS21: 제1 단면
CS22: 제2 단면
CS23: 제1 단면
CS24: 제2 단면
CS25: 제1 단면
CS26: 제2 단면
CS31: 제1 단면
CS32: 제2 단면
CS41: 제1 단면
CS42: 제2 단면
CS51: 제1 단면
CS52: 제2 단면
T31: 두께
T32: 두께
W31: 폭

Claims (15)

  1. 프로브 어레이에 있어서,
    제1 단 및 제2 단을 가지는 제1 본체를 포함하는 제1 프로브 구조; 및
    제1 단 및 제2 단을 구비하는 제2 본체를 포함하는 제2 프로브 구조;를 포함하며,
    상기 제1 본체의 상기 제1 단과 상기 제2 본체의 상기 제1 단은 제1 단면에서 동일한 단면적을 가지고, 상기 제1 본체의 상기 제2 단과 상기 제2 본체의 상기 제2 단은 제2 단면에서 동일한 단면적을 가지며, 상기 제1 본체와 상기 제2 본체는 상이한 형상을 가지는, 프로브 어레이.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 본체의 상기 제1 단 및 상기 제2 본체의 상기 제1 단은 동일한 측에 위치하는, 프로브 어레이.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 단면과 상기 제2 단면은 평행인, 프로브 어레이.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 본체의 상기 제1 단과 상기 제2 본체의 상기 제1 단은 동일한 형상을 가지는, 프로브 어레이.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1 본체의 제2 단과 상기 제2 본체의 상기 제2 단은 동일한 형상을 가지는, 프로브 어레이.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 본체의 제2 단과 상기 제2 본체의 상기 제2 단은 동일한 형상을 가지는, 프로브 어레이.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1 본체에는 상기 제1 프로브 구조의 상기 제1 단으로부터 상기 제1 프로브 구조의 상기 제2 단으로 연장되는 적어도 하나의 제1 중공부, 적어도 하나의 제1 오목부 또는 상기 적어도 하나의 제1 중공부와 상기 적어도 하나의 제1 오목부의 조합이 형성되는, 프로브 어레이.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제2 본체에는 상기 제2 프로브 구조의 상기 제1 단으로부터 상기 제2 프로브 구조의 상기 제2 단으로 연장되는 적어도 하나의 제2 중공부, 적어도 하나의 제2 오목부 또는 상기 적어도 하나의 제2 중공부와 상기 적어도 하나의 제2 오목부의 조합이 형성되는, 프로브 어레이.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제2 본체에는 상기 제2 프로브 구조의 상기 제1 단으로부터 상기 제2 프로브 구조의 상기 제2 단으로 연장되는 적어도 하나의 제2 중공부, 적어도 하나의 제2 오목부 또는 상기 적어도 하나의 제2 중공부와 상기 적어도 하나의 제2 오목부의 조합이 형성되는, 프로브 어레이.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 본체의 상기 제1 단을 수용하는 제1 홀; 및
    상기 제2 본체의 상기 제1 단을 수용하는 제2 홀을 가지는 가이드 플레이트를 더 포함하는, 프로브 어레이.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1 홀과 상기 제2 홀의 크기 및 형상은 동일한, 프로브 어레이.
  12. 프로브 구조에 있어서,
    제1 단 및 제2 단을 가지는 본체를 포함하고, 상기 본체 상에는 상기 제1 단으로부터 상기 제2 단으로 연장되는 적어도 하나의 중공부, 적어도 하나의 오목부 또는 상기 적어도 하나의 중공부와 상기 적어도 하나의 오목부의 조합이 형성되며;
    제1 단면에서 상기 제1 단의 단면적과 제2 단면에서 상기 제2 단의 단면적은 동일하고, 상기 제1 단면과 상기 제2 단면은 평행인, 프로브 구조.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제1 단과 상기 제2 단은 동일한 형상을 가지는, 프로브 구조.
  14. 제12항에 있어서, 상기 적어도 하나의 오목부는 호 형상 또는 사다리 형상을 가지는, 프로브 구조.
  15. 제12항에 있어서, 상기 본체는 상기 제1 단으로부터 상기 제2 단까지 동일한 두께를 가지는, 프로브 구조.
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