KR20240013966A - 증착 장치 - Google Patents

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KR20240013966A
KR20240013966A KR1020220090829A KR20220090829A KR20240013966A KR 20240013966 A KR20240013966 A KR 20240013966A KR 1020220090829 A KR1020220090829 A KR 1020220090829A KR 20220090829 A KR20220090829 A KR 20220090829A KR 20240013966 A KR20240013966 A KR 20240013966A
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안정현
문재석
이승진
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

증착 장치는 틀 형상을 갖는 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수개의 마스크들, 상기 마스크들 상에 배치된 마그넷 플레이트, 상기 마그넷 플레이트의 하부에 연결된 복수개의 회전부들, 및 상기 회전부들에 연결되어 상기 회전부들에 의해 회전하는 복수개의 마그넷 유닛들을 포함하고, 상기 마그넷 유닛들의 극성들이 상기 마스크들의 연장 방향과 교차하는 방향으로 배열되도록 상기 마그넷 유닛들은 상기 회전부들에 의해 회전될 수 있다.

Description

증착 장치{DEPISITION APPRATUS}
본 발명은 증착 장치에 관한 것이다.
휘도 특성 및 시야각 특성이 우수하고, 액정표시장치와 달리 별도의 광원부를 요구하지 않는 유기발광 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display: OLED)가 차세대 평판표시장치로 주목받고 있다. 유기발광 표시장치는 별도의 광원을 필요로 하지 않아, 경량화 및 박형으로 제작될 수 있다. 또한, 유기발광 표시장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 특성을 갖는다.
유기 발광 표시 장치는 애노드, 유기 발광층, 및 캐소드를 각각 포함하는 복수 개의 유기 발광 소자들을 포함한다. 애노드와 캐소드로부터 각각 정공 및 전자가 유기 발광층에 주입되어 여기자(exciton)가 형성되고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서 유기 발광 소자가 발광된다.
유기 발광 소자들의 제조시 마스크가 기판 상에 배치되고, 마스크의 오픈부들을 통해 유기 발광층들을 형성하기 위한 유기 물질이 기판 상에 제공된다. 마스크는 금속을 포함하고 매우 얇게 제조되므로, 평평하게 유지되지 않을 수 있다. 마스크를 평평하게 하기 위해 마스크를 고정하는 고정 프레임 및 마스크를 기판에 평평하게 흡착 시키기 위한 마그넷 유닛들이 사용된다. 마그넷 유닛들은 마그넷 플레이트에 고정된다.
그러나, 마스크가 마그넷과 평행하게 배치될 경우. 마그넷 유닛들과 마스크 사이에 척력이 발생할 수 있다. 이러한 경우, 마스크가 정상적으로 기판에 평평하게 흡착되지 않을 수 있다.
본 발명의 목적은 마스크의 배치방향에 따라 마그넷 유닛들이 회전하는 증착 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치는, 틀 형상을 갖는 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수개의 마스크들, 상기 마스크들 상에 배치된 마그넷 플레이트, 상기 마그넷 플레이트의 하부에 연결된 복수개의 회전부들, 및 상기 회전부들에 연결되어 상기 회전부들에 의해 회전하는 복수개의 마그넷 유닛들을 포함하고, 상기 마그넷 유닛들의 극성들이 상기 마스크들의 연장 방향과 교차하는 방향으로 배열되도록 상기 마그넷 유닛들은 상기 회전부들에 의해 회전될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 회전부가 마스크의 배치방향에 따라 마그넷 유닛들을 회전하여, 제1 마그넷 유닛들 및 제2 마그넷 유닛들의 배열이 변경되고, 척력이 발생하지 않게 된다. 이에 따라, 증착 공정시 마스크와 기판의 밀착 약화로 인한 불량이 감소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 사시도 이다.
도 2는 도 1에 도시된I-I'선에 대한 마그넷 플레이트의 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 마그넷 플레이트를 제3 방향에서 바라본 마그넷 플레이트의 하면의 평면도이다.
도 4a 내지 도 4h는 도 1에 도시된 증착 장치를 이용한 기판의 증착 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5는 도 1의 마스크들의 배열 방향이 변경된 증착 장치의 사시도이다.
도 6a 내지 도 6g는 도 5에 도시된 증착 장치를 이용한 기판의 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 7a 내지 7c는 본발명의 다른 실시예에 따른 마그넷 유닛들 및 마그넷 플레이트를 제3 방향에서 바라본 하면의 평면도이다.
도 8a는 마그넷 유닛들의 극성의 방향과 마스크들의 연장 방향이 동일한 상태를 도시한 도면이다.
도 8b는 마그넷 유닛들의 극성의 방향과 마스크들의 연장 방향이 동일한 상태에서 마그넷 유닛들과 마스크들 사이의 자력을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따라, 마그넷 유닛들의 극성의 배열 방향과 마스크들의 연장 방향이 교차하는 상태에서 마그넷 유닛들과 마스크들 사이의 자력을 보여주는 도면이다.
도 10a 내지 도 10c는 다른 실시 예에 따른 증착 장치를 이용하여 기판의 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 11a 내지 도 11c는 다른 실시 예에 따른 증착 장치를 이용하여 기판의 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 도 1 및 도 5에 도시된 마스크들을 이용해 제조된 표시 패널의 평면도이다.
도 13는 도 12에 도시된 어느 한 화소의 단면을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 14은 도 4d에 도시된 증착 공정을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제 1, 제 2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 소자, 제 1 구성요소 또는 제 1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제 2 소자, 제 2 구성요소 또는 제 2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 사시도 이다.
도 1을 참조하면, 증착 장치(PDA)는 마스크 프레임(MFS), 복수개의 마스크들(MM1), 냉각 플레이트(CP), 마그넷 플레이트(SM), 및 구동부(DU)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(MFS)은 제1 방향(DR1)으로 연장하는 측면들 및 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 연장하는 측면들을 갖는 사각형 형상을 가질 수 있다. 마스크 프레임(MFS)은 사각형의 틀 형상을 가질 수 있으나, 마스크 프레임(MFS)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
마스크 프레임(MFS)에는 마스크 개구부(S_OP)가 정의될 수 있다. 마스크 개구부(S_OP)는 사각형 형상을 가질 수 있으나 마스크 개구부(S_OP)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
마스크 프레임(MFS)은 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임(MFS)은 인바(INVAR) 또는 스테인레스강을 포함할 수 있다.
이하, 제1 및 제2 방향들(DR1, DR2)에 의해 정의된 평면과 교차하는 방향은 제3 방향(DR3)으로 정의된다. 제3 방향(DR3)은 실질적으로, 제1 및 제2 방향들(DR1, DR2)에 의해 정의된 평면과 수직하게 교차할 수 있다. 본 명세서에서, "평면 상에서 봤을 때"의 의미는, 제3 방향(DR3)에서 바라본 상태를 의미할 수 있다.
마스크 프레임(MFS) 상에는 마스크들(MM)이 배치될 수 있다. 마스크들(MM)의 양측들은 마스크 프레임(MFS)에 연결될 수 있다. 예시적으로 마스크들(MM)은 레이저 용접에 의해 마스크 프레임(MFS)에 연결될 수 있다.
마스크들(MM)은 제1 방향(DR1)으로 배열되고, 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니고, 마스크들(MM)은 제2 방향(DR2)으로 배열되고, 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다.
이하, 마스크들(MM)은 배치 상태에 따라, 다르게 정의된다, 예를 들어, 제1 방향(DR1)으로 배열되고, 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 배치된 마스크들(MM)은 제1 마스크들(MM1)로 정의될 것이다. 또한, 제2 방향(DR2)으로 배열되고, 제1 방향(DR1)으로 연장되도록 배치된 마스크들(MM)은 제2 마스크들(MM2)로 정의될 것이다. 도 1에 도시된 마스크들(MM)은 제1 마스크들(MM1)로 정의된다. 제2 마스크들(MM2)은 도 5에 도시될 것이다. 이하 하나의 제1 마스크(MM1)의 구조가 예시적으로 설명될 것이다. 도 5에 도시된 제2 마스크(MM2)는 배치 상태만 다를뿐 제1 마스크(MM1)와 동일한 구조를 가질 수 있다.
제 1 마스크(MM1)는 금속을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 마스크는 파인 메탈 마스크로 정의될 수 있다. 제1 마스크(MM1)는 제1 방향(DR1)으로 단변들을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 장변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다.
제1 마스크(MM1)의 상면에는 복수개의 제1 셀 영역들(CEA1)이 정의될 수 있다. 예를 들어 제1 마스크(MM1)의 상면에는 3개의 제1 셀 영역들(CEA1)이 정의될 수 있으나, 제1 셀 영역들(CEA1)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 셀 영역들(CEA1)은 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 제1 셀 영역들(CEA1)은 마스크 개구부(S_OP)에 중첩하도록 배치될 수 있다.
제1 셀 영역들(CEA1)은 다각형 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 셀 영역들(CEA1)은 제2 방향(DR2)으로 장변들을 가지고, 제1 방향(DR1)으로 단변들을 가지는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 제1 셀 영역들(CEA1) 각각에는 복수개의 제1 셀 개구부들(M_OP1)이 정의될 수 있다. 제1 셀 개구부들(M_OP1)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 제1 셀 개구부들(M_OP1)은, 평면 상에서 봤을 때, 마스크 개구부(S_OP)에 중첩할 수 있다.
제1 마스크들(MM1)의 상부에는 기판(SUB)이 배치될 수 있다. 기판(SUB)은 제1 마스크들(MM1)에 의해 지지될 수 있다.
도시하지 않았으나, 마스크 프레임(MFS) 하부에 증착 물질이 수용된 도가니가 배치될 수 있다. 도가니가 가열되어 증착 물질이 기화되고, 기화된 증착 물질은 마스크 개구부(S_OP)를 통해 기판(SUB)에 제공될 수 있다. 이에 대한 설명은 도 14에서 상세히 설명될 것이다.
마스크 프레임(MFS) 및 제1 마스크(MM1)의 상부에는 냉각 플레이트(CP)가 배치될 수 있다. 냉각 플레이트(CP)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의해 정의된 평판 형상을 가질 수 있다. 냉각 플레이트(CP)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의해 정의된 상면 및 하면을 포함하는 육면체 형상일 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 냉각 플레이트(CP)의 형상은 다양할 수 있다.
도시 하지 않았으나, 냉각 플레이트(CP)의 내부에는 냉각수가 흐르는 파이프가 배치될 수 있다. 증착 공정시, 기판(SUB)은 마스크들(MM) 및 냉각 플레이트(CP) 사이에 배치되어, 마스크들(MM) 및 냉각 플레이트(CP)에 접촉될 수 있다. 증착 공정시, 가열된 증착 물질에 의해 기판(SUB)이 가열될 경우, 기판(SUB)이 열 변형될 수 있다. 그러나, 기판(SUB)에 접촉된 냉각 플레이트(CP)에 냉각수가 공급되고, 냉각수에 의해 가열된 기판(SUB)이 냉각될 수 있다. 따라서, 가열된 증착 물질에 의해 기판(SUB)이 열변형 되는 것을 방지할 수 있다.
냉각 플레이트(CP)의 상부에는 마그넷 플레이트(SM)가 배치될 수 있다. 마그넷 플레이트(SM)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의해 정의된 평탄 형상을 가질 수 있다. 마그넷 플레이트(SM)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의해 정의된 상면 및 하면을 포함하는 육면체 형상일 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 마그넷 플레이트(SM)의 형상은 다양할 수 있다.
마그넷 플레이트(SM)의 하면에는 도 2에서 설명될 마그넷 유닛들(MG) 및 회전부들(RP)이 배치될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG) 및 회전부들(RP)은 도 2에서 상세히 설명될 것이다.
마그넷 플레이트(SM)의 상부에는 구동부(DU)가 배치될 수 있다. 마그넷 플레이트(SM)는 구동부(DU)에 연결될 수 있다. 구동부(DU)는 제3 방향(DR3)으로 연장하는 원통형 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정되지 않고 다양한 형상을 가질 수 있다. 구동부(DU)는 제3 방향(DR3)으로 왕복 이동하여 마그넷 플레이트(SM)를 제3 방향(DR3)으로 왕복이동 시킬 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된I-I'선에 대한 마그넷 플레이트의 단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 마그넷 플레이트를 제3 방향에서 바라본 마그넷 플레이트의 하면의 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 마그넷 플레이트(SM)의 하면에는 복수개의 제1 함몰부들(MH1)이 정의될 수 있다. 마그넷 플레이트(SM)의 하면은 마스크들과 마주볼 수 있다. 제1 함몰부들(MH1)은 마그넷 플레이트(SM)의 하면부터 상면을 향해 제3 방향(DR3)으로 함몰되어 형성될 수 있다. 제1 함몰부들(MH1)은 오목한 형상을 가질 수 있다.
증착 장치(PDA)는 복수개의 회전부들(RP) 및 회전부들(RP)에 연결된 복수개의 마그넷 유닛들(MG)을 포함할 수 있다. 제1 함몰부들(MH1)에는 회전부들(RP)이 배치될 수 있다. 회전부들(RP)은 마그넷 플레이트(SM)의 하부에 배치될 수 있다. 회전부들(RP) 각각은 제1 회전 유닛(RU1), 제2 회전 유닛들(RU2), 및 복수개의 회전볼들(RSB)을 포함할 수 있다. 이하 어느 하나의 회전부(RP)에 대해 설명될 것이다.
회전부(RP)의 제1 회전 유닛(RU1)은 마그넷 플레이트(SM) 하면에 정의된 제1 함몰부(MH1)에 배치될 수 있다. 제1 회전 유닛(RU1)은 마그넷 플레이트(SM)의 상면을 향해 제3 방향(DR3)으로 볼록한 형상일 수 있다.
제1 회전 유닛(RU1)은 마그넷 플레이트(SM)에 연결될 수 있다. 제1 회전 유닛(RU1)은 마그넷 플레이트(SM)에 연결되어 제3 방향(DR3)과 평행한 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전할 수 있다. 제1 회전축(RX1)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의해 정의된 평면에 수직할 수 있다. 제1 회전 유닛(RU1)의 하면에는 제2 함몰부(MH2)가 정의될 수 있다. 제2 함몰부(MH2)는 마그넷 플레이트(SM)의 상면을 향해 제3 방향(DR3)으로 함몰되어 형성될 수 있다. 제2 함몰부(MH2)는 오목한 형상을 가질 수 잇다. 제2 함몰부(MH2)에는 마그넷 유닛들(MG) 중 대응하는 마그넷 유닛(MG)이 배치될 수 있다. 이하 하나의 마그넷 유닛(MG)의 구성이 설명된다.
평면 상에서 봤을 때, 마그넷 유닛들(MG)은 직사각형 형상을 가질 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)은 장변들이 제2 방향(DR2)에 평행하도록 배치될 수 있다. 마그넷 유닛(MG)은 자력을 갖는 자석 물질을 포함할 수 있다. 마그넷 유닛(MG)은 제1 극성을 갖는 제1 마그넷 유닛(MGU1) 및 제2 극성을 갖는 제2 마그넷 유닛(MGU2)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 극성은 N극이고, 제2 극성은 S극으로 정의될 수 있다.
도 3에는 마스크들(MM)과 마주보는 마그넷 유닛들(MG)이 도시되었다. 제1 마그넷 유닛(MGU1)과 제2 마그넷 유닛(MGU2)은 제3 방향으로 서로 접촉(또는 연결)될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG) 중 일부 마그넷 유닛들(MG)의 제1 마그넷 유닛들(MGU1)이 보다 아래에 배치되어 도 1의 마스크(MM)와 마주볼 수 있다. 마그넷 유닛들(MG) 중 일부 마그넷 유닛들(MG)의 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 보다 아래에 배치되어 도 1의 마스크(MM)와 마주볼 수 있다. 도 3을 기준으로, 홀수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG)에서는, 제1 마그넷 유닛들(MGU1)이 마스크들(MM)과 마주본다. 도 3을 기준으로, 홀수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG)에서는, 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 마그넷 플레이트(SM)를 향해 배치된다. 도 3을 기준으로, 짝수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG)에서는, 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 마스크들(MM)과 마주본다. 도 3을 기준으로, 짝수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG)에서는, 제1 마그넷 유닛들(MGU1)이 마그넷 플레이트(SM)를 향해 배치된다. 행은 제2 방향(DR2)에 대응될 수 있다.
제2 회전 유닛들(RU2)은 제2 방향(DR2)으로 연장할 수 있다. 한쌍의 제2 회전 유닛들(RU2)이 제2 함몰부(MH2)에 배치될 수 있다.
마그넷 유닛(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제1 회전 유닛(RU1)에 연결될 수 있다. 제2 회전 유닛들(RU2)은 제2 함몰부(MH2) 내에서 마그넷 유닛(MG)과 제1 회전 유닛(RU1) 사이에 배치되어 마그넷 유닛(MG)과 제1 회전 유닛(RU1)을 연결할 수 있다.
제2 방향(DR2)으로 서로 반대하는 마그넷 유닛(MG)의 양측들에 제2 회전 유닛들(RU2)이 연결될 수 있다. 제2 회전 유닛들(RU2)은 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전할 수 있다. 제2 회전축은 마스크들(MM)의 연장 방향에 따라 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)과 평행하게 정의될 수 있다. 예시적으로, 도 2 및 3에는 제2 방향(DR2)에 평행한 제2 회전축(RX2)이 도시되었다. 그러나, 마스크들(MM)의 연장 방향에 따라, 제2 회전축(RX2)은 제1 방향(DR1)에 평행하도록 정의될 수도 있다. 이러한 구성은 이하 상세히 설명될 것이다.
제1 회전 유닛(RU1) 및 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 마그넷 유닛(MG)은 제1 회전축(RX1) 및 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전될 수 있다. 구체적으로 제1 회전 유닛(RU1)이 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전할 때, 제2 회전 유닛들(RU2) 및 마그넷 유닛(MG)도 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전될 수 있다. 또한, 제2 회전 유닛들(RU2)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전할 때, 제2 회전 유닛들(RU2)에 연결된 마그넷 유닛(MG)도 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전될 수 있다.
제1 함몰부(MH1)가 정의된 마그넷 플레이트(SM)의 내면과 제1 회전 유닛(RU1) 사이에는 복수개의 회전볼들(RSB)이 배치될 수 있다. 회전볼들(RSB)은 제1 함몰부(MH1)에 배치될 수 있다. 회전볼들(RSB)은 구 형상일 수 있다. 회전볼들(RSB)은 제1 회전 유닛(RU1)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전할 때, 회전을 보조해 줄 수 있다.
도 3에 도시된 것처럼, 제1 함몰부들(MH1), 제2 함몰부들(MH2), 회전부들(RP), 및 마그넷 유닛들(MG)은 마그넷 플레이트(SM)의 하면에 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다.
도 4a 내지 도 4h는 도 1에 도시된 증착 장치를 이용한 기판의 증착 방법을 설명하기 위한 도면들이다. 예시적으로 도 4 a, 도 4c, 도 4e, 도 4h는 I-I'선의 단면도들로 도시되었다. 도 4b, 및 도 4g는 사시도로 도시되었다. 도 4d 및 도 4f는 평면도로 도시되었다.
도 4a 및 4b를 참조하면, 마스크 프레임(MFS) 상에 마스크들(MM)이 고정되고, 마스크들(MM) 상에 기판(SUB)이 배치될 수 있다. 기판(SUB)은 마스크들(MM)의 상면에 접촉할 수 있다. 기판(SUB)은 냉각 플레이트(CP)와 마스크들(MM) 사이에 배치되고, 냉각 플레이트(CP) 상에 마그넷 플레이트(SM) 및 마그넷 유닛들(MG)이 배치될 수 있다. 따라서, 냉각 플레이트(CP)는 마그넷 플레이트(SM)와 기판(SUB) 사이에 배치될 수 있다.
마스크 프레임(MFS) 상에 배치된 마스크들(MM)은 제2 방향(DR2)으로 연장되어, 제1 방향(DR1)으로 배열되므로, 전술한 바와 같이 제1 마스크들(MM1)로 정의될 수 있다.
마스크 프레임(MFS) 및 제1 마스크들(MM1) 상에는 기판(SUB)이 배치될 수 있다. 기판(SUB)은 제1 마스크들(MM1)에 의해 지지될 수 있다. 마스크 프레임(MFS)의 틀이 기판(SUB) 및 제1 마스크들(MM1)을 지지할 때, 중력에 의해 마스크 프레임들(MFS) 및 기판(SUB)이 하부로 쳐질 수 있다.
도 4c를 참조하면, 기판(SUB)이 제1 마스크들(MM1) 상에 배치되면, 냉각 플레이트(CP)가 제3 방향(DR3)으로 이동하여 기판(SUB)에 인접하게 배치될수 있다. 도시하지 않았으나, 냉각 플레이트(CP)는 모터 등에 의해 제3 방향(DR3)으로 왕복 이동할 수 있다.
도 3, 도 4d 및 도 4e를 참조하면, 제1 마스크들(MM1)과 마주보는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2)이 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전할 수 있다. 냉각 플레이트(CP)가 제3 방향(DR3)으로 이동하여 기판(SUB)에 인접하게되면, 마그넷 유닛들(MG)은 회전부(RP)의 제1 회전 유닛(RU1)에 의해 회전될 수 있다. 구체적으로, 냉각 플레이트(CP)가 기판(SUB)에 인접하게 배치되기 전에, 도 3에 도시된 것처럼 마그넷 유닛들(MG)의 장변들이 제2 방향(DR2)에 평행하게 배열될 수 있다. 냉각 플레이트(CP)가 기판(SUB)에 인접하게 배치된 후, 제1 회전 유닛(RU1)은 제1 회전축(RX1)을 중심으로 90도 회전할 수 있다. 예시적으로 제1 회전 유닛(RU1)은 제1 회전축(RX1)을 중심으로 시계방향으로 회전할 수 있다.
제1 회전 유닛(RU1)이 회전하면, 제1 회전 유닛(RU1)에 연결되어 있던 제2 회전 유닛들(RU2) 및 마그넷 유닛들(MG)은 제1 회전축(RX1)을 중심으로 90도 회전될 수 있다. 제2 회전 유닛들(RU2) 및 마그넷 유닛들(MG)이 90도 회전되면, 도 4d 및 도 4e에 도시된 것처럼, 마그넷 유닛들(MG)의 장변들은 제1 방향(DR1)과 평행하게 배열 될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 단변들은 제2 방향(DR2)과 평행하게 배열될 수 있다.
홀수 번째 행들에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제1 극성을 갖는 제1 마그넷 유닛들(MGU1)이 제1 마스크들(MM1)과 마주보도록 배치될 수 있다. 짝수 번째 행들에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 극성을 갖는 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 제1 마스크들(MM1)과 마주보도록 배치될 수 있다. 따라서, 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향으로 동일 극성을 갖도록 제1 마그넷 유닛들(MGU1) 및 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 배열될 수 있다. 즉, 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향이 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향에 평행할 수 있다.
도 4f 및 도 4g를 참조하면, 제1 마스크들(MM1)과 마주보는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전할 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향과 제1 마스크들(MM1)의 연장방향이 교차하도록 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 회전될 수 있다. 예시적으로, 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전축(RX2)을 중심으로 시계방향으로 회전될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG) 중 일부 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전될 수 있다. 예를 들어, 홀수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG) 중, 짝수 번째 열에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제2 회전축(RX2)을 중심으로 180도 회전될 수 있다. 짝수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG) 중, 홀수 번째 열에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제2 회전축(RX2)을 중심으로 180도 회전될 수 있다. 예시적으로 점선 원으로 표시된 마그넷 유닛들(MG)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전된 마그넷 유닛들(MG)일 수 있다. 행은 제2 방향(DR2)에 대응되고, 열은 제1 방향(DR1)에 대응될 수 있다.
상기 동작에 따라, 제1 마스크들(MM1)과 마주보는 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향은 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향과 교차할 수 있다. 예를 들어, 제1 마스크들(MM1)과 마주보는 홀수 번째 열들에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제1 극성을 갖는 제1 마그넷 유닛들(MGU1)이 제1 마스크들(MM1)과 마주보도록 배치될 수 있다. 제1 마스크들(MM1)과 마주보는 짝수 번째 열들에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 극성을 갖는 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 제1 마스크들(MM1)과 마주보도록 배치될 수 있다. 따라서, 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향과 교차하는 방향으로 제1 마그넷 유닛들(MGU1) 및 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 배열될 수 있다. 즉, 제1 마그넷 유닛들(MGU1)은 제1 방향(DR1)과 평행한 방향으로 배열될 수 있다. 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제2 방향(DR2)으로 제1 마그넷 유닛들(MGU1)과 이격되어, 제1 방향(DR1)과 평행한 방향으로 배열될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)이 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전된 후 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전되는 것으로 설명하였지만, 이에 한정되지 않고 마그넷 유닛들(MG)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전 후 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전되거나, 제1 회전축(RX1) 및 제2 회전축(RX2)을 중심으로 동시에 회전될 수 있다.
제1 마스크들(MM1)의 제1 셀 영역들(CEA1)은 마그넷 유닛들(MG)과 중첩될 수 있다. 제1 셀 영역들(CEA1)의 각각의 테두리는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2) 중 일부 마그넷 유닛들의 중심부에 중첩될 수 있다.
도 4h를 참조하면, 제1 마스크들(MM1)과 마주보는 마그넷 유닛들(MG)의 극성이 제1 마스크들(MM1)의 연장방향과 교차하도록 배열되면, 마그넷 플레이트(SM)가 구동부(DU)에 의해 제3 방향(DR3)으로 이동될 수 있다. 마그넷 플레이트(SM)가 제3 방향(DR3)으로 이동되어 마그넷 플레이트(SM)가 기판(SUB) 및 제1 마스크들(MM1)과 인접할 수 있다.
마그넷 플레이트(SM)가 기판(SUB) 및 제1 마스크들(MM1)과 인접하게 되면, 마그넷 유닛들(MG)과 제1 마스크들(MM1) 사이에 인력이 발생할 수 있다. 이에 따라, 제1 마스크들(MM1)의 중앙부는 마그넷 유닛들(MG)을 향해 이동될 수 있다. 제1 마스크들(MM1) 및 마그넷 유닛들(MG) 사이에 배치된 기판(SUB)은 제1 마스크들(MM1)에 의해 냉각 플레이트(CP)의 하면에 접촉될 수 있다. 즉, 제1 마스크들(MM1) 및 기판(SUB)은 하부로 쳐지지 않고 평평하게 펼쳐질 수 있다. 이후, 증착 공정이 수행될 수 있다. 증착 공정은 이하 도 14에서 설명될 것이다.
도 5는 도 1의 마스크들의 배열 방향이 변경된 증착 장치의 사시도이다.
도 5의 마스크 프레임(MFS), 마그넷 플레이트(SM), 냉각 플레이트(CP), 회전부(RP), 마그넷 유닛들(MG) 및 구동부(CU)는 도 1의 마스크 프레임(MFS), 마그넷 플레이트(SM), 냉각 플레이트(CP), 회전부(RP), 마그넷 유닛들(MG) 및 구동부(CU)와 동일하므로 설명이 간략히 되거나 생략될 수 있다.
도 5를 참조하면, 마스크 프레임(MFS) 상에 마스크들(MM)이 배치될 수 있다. 마스크 프레임(MFS) 상에 배치된 마스크들(MM)은 제1 방향(DR1)으로 연장되어, 제2 방향(DR2)으로 배열되므로, 전술한 바와 같이 제2 마스크들(MM2)로 정의될 수 있다. 제2 마스크들(MM2)은 제1 방향(DR1)으로 장변들을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다.
제2 마스크들(MM2)의 상면에는 복수개의 제2 셀영역들(CEA2)이 정의될 수 있다. 들어 제2 마스크(MM2)의 상면에는 3개의 제2 셀 영역들(CEA2)이 정의될 수 있으나, 제2 셀 영역들(CEA2)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 셀 영역들(CEA2)은 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 제2 셀 영역들(CEA2)은 마스크 개구부(S_OP)에 중첩하도록 배치될 수 있다.
제2 셀 영역들(CEA2)은 다각형 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 셀 영역들(CEA2)은 제1 방향(DR1)으로 장변들을 가지고, 제2 방향(DR2)으로 단변들을 가지는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 제2 셀 영역들(CEA2) 각각에는 복수개의 제2 셀 개구부들(M_OP2)이 정의될 수 있다. 제2 셀 개구부들(M_OP2)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 제2 셀 개구부들(M_OP2)은, 평면 상에서 봤을 때, 마스크 개구부(S_OP)에 중첩할 수 있다.
제2 마스크들(MM2)의 상부에는 기판(SUB)이 배치될 수 있다. 기판(SUB)은 제2 마스크들(MM2)에 의해 지지될 수 있다.
도 6a 내지 도 6g는 도 5에 도시된 증착 장치를 이용한 기판의 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
예시적으로, 도 6b, 도 6d, 도 6f, 및 도 6g는 도 5의 Ⅱ-Ⅱ'선의 단면들로 도시되었다. 도 6a, 도 6c, 도 6e는 평면도로 도시 되었다.
도 6a 내지 도 6g의 마스크 프레임(MFS), 기판(SUB), 및 냉각 플레이트(CP)가 서로 접촉하는 과정은 도 4a 내지 4C의 마스크 프레임(MFS), 기판(SUB), 및 냉각 플레이트(CP)가 서로 접촉하는 과정과 동일하므로 설명이 생략될것이다.
도 6a 및 6b를 참조하면, 냉각 플레이트(CP)가 기판(SUB)에 인접하게 배치되기 전에, 마그넷 유닛들(MG)은 도 6a에 도시된 것처럼 배열될 수 있다. 제1 마그넷 유닛들(MGU1)은 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다. 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 장변들은 제1 방향(DR1)과 평행하게 배열될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 단변들은 제2 방향(DR2)과 평행하게 배열될 수 있다.
도 5, 도 6c, 및 도 6d를 참조하면, 도 5의 냉각 플레이트(CP)가 기판(SUB)에 인접하게 배치된 후, 제1 회전 유닛(RU1)은 제1 회전축(RX1)을 중심으로 90도 회전할 수 있다. 예시적으로 제1 회전 유닛(RU1)은 반시계 방향으로 회전할 수 있다.
제1 회전 유닛(RU1)이 회전하면, 제1 회전 유닛(RU1)에 연결되어 있던 제2 회전 유닛들(RU2) 및 마그넷 유닛들(MG)은 제1 회전축(RX1)을 중심으로 90도 회전될 수 있다. 제2 회전 유닛들(RU2) 및 마그넷 유닛들(MG)이 90도 회전되면, 도 6c 및 도 6d에 도시된 것처럼, 마그넷 유닛들(MG)의 단변들은 제1 방향(DR1)과 평행하게 배열될 수 있다. 회전된 마그넷 유닛들(MG)의 장변들은 제2 방향(DR2)과 평행하게 배열될 수 있다.
홀수 번째 열들에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제1 마그넷 유닛들(MGU1)이 제2 마스크들(MM2)과 마주보도록 배치될 수 있다. 짝수 번째 열들에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 제2 마스크들(MM2)과 마주보도록 배치될 수 있다. 따라서, 제2 마스크들(MM2)의 연장 방향으로 동일 극성을 갖도록 제1 마그넷 유닛들(MGU1) 및 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 배열될 수 있다. 즉, 마그넷 유닛들(MG)의 극성 배열 방향이 제2 마스크들(MM2)의 연장 방향에 평행할 수 있다.
도 4g, 도 6e 및 도 6f를 참조하면, 제2 마스크들(MM2)과 마주보는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전할 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향과 제2 마스크들(MM2)의 연장방향이 교차하도록 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 회전될 수 있다. 예시적으로, 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전축(RX2)을 중심으로 시계방향으로 회전될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG) 중 일부 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전될 수 있다. 예를 들어, 홀수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG) 중, 짝수 번째 열에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제2 회전축(RX2)을 중심으로 180도 회전될 수 있다. 짝수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG) 중, 홀수 번째 열에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제2 회전축(RX2)을 중심으로 180도 회전될 수 있다. 예시적으로 점선 원으로 표시된 마그넷 유닛들(MG)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전된 마그넷 유닛들(MG)일 수 있다. 행은 제2 방향(DR2)에 대응되고, 열은 제1 방향(DR1)에 대응될 수 있다.
상기 동작에 따라, 제2 마스크들(MM2)과 마주보는 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향은 제2 마스크들(MM2)의 연장 방향과 교차할 수 있다. 예를 들어, 제2 마스크들(MM2)과 마주보는 홀수번째 행들에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제1 마그넷 유닛들(MGU1)이 제1 마스크들(MM1)과 마주보도록 배치될 수 있다. 제2 마스크들(MM2)과 마주보는 짝수번째 행들에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 제2 마스크들(MM2)과 마주보도록 배치될 수 있다. 즉, 제1 마그넷 유닛들(MGU1)은 제2 방향(DR2)과 평행한 방향으로 배열될 수 있다. 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제1 방향(DR1)으로 제1 마그넷 유닛들(MGU1)과 이격되어 제2 방향(DR2)과 평행한 방향으로 배열될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)이 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전된 후 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전되는 것으로 설명하였지만, 이에 한정되지 않고 마그넷 유닛들(MG)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전 후 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전되거나, 제1 회전축(RX1) 및 제2 회전축(RX2)을 중심으로 동시에 회전될 수 있다.
제2 마스크들(MM2)의 제2 셀 영역들(CEA2)은 마그넷 유닛들(MG)과 중첩될 수 있다. 제2 셀 영역들(CEA2)의 각각의 테두리는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2) 중 일부 마그넷 유닛들의 중심부에 중첩될 수 있다.
도 6g를 참조하면, 마그넷 플레이트(SM)가 제3 방향(DR3)으로 이동되어 마그넷 플레이트(SM)가 기판(SUB) 및 제2 마스크들(MM2)과 인접할 수 있다.
마그넷 플레이트(SM)가 기판(SUB) 및 제2 마스크들(MM2)과 인접하게 되면, 마그넷 유닛들(MG)과 제2 마스크들(MM2) 사이에 인력이 발생할 수 있다. 이에 따라, 제2 마스크들(MM2)의 중앙부는 마그넷 유닛들(MG)을 향해 이동될 수 있다. 제2 마스크들(MM2) 및 마그넷 유닛들(MG) 사이에 배치된 기판(SUB)은 제2 마스크들(MM2)에 의해 냉각 플레이트(CP)의 하면에 접촉될 수 있다. 즉, 제2 마스크들(MM2) 및 기판(SUB)은 하부로 쳐지지 않고 평평하게 펼쳐질 수 있다. 이후, 증착 공정이 수행될 수 있다. 증착 공정은 이하 도 14에서 설명될 것이다.
도 7a 내지 7c는 본발명의 다른 실시예에 따른 마그넷 유닛들 및 마그넷 플레이트를 제3 방향에서 바라본 하면의 평면도이다.
예시적으로 7a 내지 7c는 제1 필름들(MM1)이 마그넷 플레이트(SM) 하면에 배치된 것을 도시하였다. 도 7a 내지 도 7c의 회전부(RP), 마그넷 플레이트(SM), 마스크들(MM)은 도 1 내지 도 6f의 회전부(RP), 마그넷 플레이트(SM), 마스크들(MM)과 동일하므로 설명이 생략되거나 간략히 될 것이다.
도 4c 및 내지 도 7a 내지 도 7c를 참조하면, 도 7a는 본 발명의 마그넷 유닛들(MG)을 평면에서 바라본 형상을 달리하여 배치한 마그넷 플레이트(SM)를 도시한 것이다. 예시적으로 마그넷 유닛들(MG)을 평면에서 바라본 형상은 정사각형 일 수 있다.
제1 마그넷 유닛들(MGU1)은 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향으로 동일 극성을 갖도록 제1 마그넷 유닛들(MGU1) 및 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 배열될 수 있다. 즉, 마그넷 유닛들(MG)의 극성 배열 방향이 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향에 평행할 수 있다.
도 7b 및 도 4c를 참조하면, 냉각 플레이트(CP)가 도 4c 에 도시된 것과 같이 제3 방향(DR3)으로 이동되어 기판(SUB)에 인접하게 배치되면, 제1 회전 유닛(RU1)이 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전할 수 있다. 예시적으로, 제1 회전 유닛들(RU1)은 시계방향으로 회전할 수 있다.
제1 회전 유닛(RU1)이 회전됨에 따라, 제1 회전 유닛(RU1)에 연결되어 있던 마그넷 유닛들(MG) 및 제2 회전 유닛들(RU2)은 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전될 수 있다. 제2 회전 유닛들(RU2)은 제1 방향(DR1)과 평행하게 배열될 수 있다.
도 7c를 참조하면, 제1 마스크들(MM1)과 마주보는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2)이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향과 제2 마스크들(MM2)의 연장방향이 교차하도록 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 회전될 수 있다. 예시적으로, 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전축(RX2)을 중심으로 시계방향으로 회전될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG) 중 일부 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전될 수 있다. 예를 들어, 홀수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG) 중 짝수 번째 열에 배치된 마그넷 유닛들(MG), 및 짝수 번째 행에 배치된 마그넷 유닛들(MG) 중 홀수 번째 열에 배치된 마그넷 유닛들(MG)은 제2 회전 유닛들(RU2)에 의해 제2 회전축(RX2)을 중심으로 180도 회전될 수 있다.
상기 동작에 따라, 제1 마스크들(MM1)과 마주보는 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향은 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향과 교차할 수 있다. 즉 제1 마그넷 유닛들(MGU1) 및 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제1 방향(DR1)과 평행한 방향으로 배열될 수 있다.
제1 마스크들(MM1)의 제1 셀 영역들(CEA1)은 마그넷 유닛들(MG)과 중첩될 수 있다. 제1 셀 영역들(CEA1)의 각각의 테두리는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2) 중 일부 마그넷 유닛들의 중심부에 중첩될 수 있다.
제2 필름들(MM2)이 마그넷 플레이트(SM)의 하부에 배치된 경우, 마그넷 유닛들(MG)이 제1 회전축(RX1) 및 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전되어, 마그넷 유닛들(MG)의 극성이 제2 필름들(MM2)의 연장방향과 교차하도록 배열되는 것은 동일하므로 설명을 생략한다.
도 8a는 마그넷 유닛들의 극성의 방향과 마스크들의 연장 방향이 동일한 상태를 도시한 도면이다. 도 8b는 마그넷 유닛들(MG') 및 마스크들을 제2 방향(DR2)에서 바라봤을 때, 마그넷 유닛들(MG')의 극성의 방향과 마스크(MM)의 연장 방향이 동일한 상태에서, 마그넷 유닛들(MG')과 마스크들(MM) 사이의 자력을 보여주는 도면이다.
예시적으로, 도 8b에 도시된 마스크(MM)는 5개의 마그넷 유닛들(MG') 상에 배치되었으나, 이에 한정되지 않고 마스크(MM)의 크기는 다양할 수 있다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 마그넷 유닛들(MG')은 제1 방향(DR1)으로 배열되고 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 예시적 마스크들(MM)은 제1 방향(DR1)으로 배열되고 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG')의 장변들은 제2 방향(DR2)에 평행할 수 있다. 마그넷 유닛들(MG')의 극성 방향은 마스크들(MM)의 연장 방향과 평행할 수 있다.
도 4h와 달리, 도 8a의 마그넷 유닛들(MG')과 마스크들(MM)을 사용하여 증착 공정이 수행될 수 있다. 이러한 경우, 도 8b에 도시된 그래프와 같이 마그넷 유닛들(MG')의 끝단과 마스크들(MM)사이에 척력(예를 들어 자력이 마이너스인 상태)이 발생할 수 있다. 척력이 발생하게 되면 마스크들(MM)이 정상적으로 도 4h 및 도 6g의 기판(SUB)에 평평하게 흡착되지 않게 되고, 증착 공정시 불량이 발생할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따라, 마그넷 유닛들의 극성의 배열 방향과 마스크들의 연장 방향이 교차하는 상태에서 마그넷 유닛들과 마스크들 사이의 자력을 보여주는 도면이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 실시 예에서, 마스크들(MM)의 연장 방향에 따라 마그넷 유닛들(MG)이 회전부(RP)에 의해 회전될 수 있다. 회전부(RP)에 의해 마스크들(MM)과 마주보는 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향은 마스크들의 연장 방향과 교차할 수 있다. 이러한 경우, 도 9에 도시된 그래프와 같이 마그넷 유닛들(MG)과 마스크들(MM) 사이에 척력이 발생하지 않을 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)과 마스크들(MM) 사이에 척력 발생하지 않고, 자력에 따라 인력이 발생하므로, 증착 공정시, 기판(SUB)과 마스크들(MM)이 평평하게 펼쳐질 수 있다. 따라서, 증착 공정이 정상적으로 수행되어 불량 발생률이 감소될 수 있다.
도 10a 및 도 10c는 다른 실시 예에 따른 증착 장치를 이용하여 기판의 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
예시적으로 도 10a는 제1 마스크들(MM1)이 마스크 프레임(MFS) 상에 배치된 증착 장치(PDA)의 사시도이다. 도 10b 및 도 10c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 마그넷 플레이트(SM) 및 마그넷 유닛들(MG)을 제3 방향에서 바라본 하면의 평면도이다.
도 10a 내지 도 10c의 마스크 프레임(MFS), 제1 마스크들(MM1), 냉각 플레이트(CP), 마그넷 플레이트(SM), 및 회전부(RP)는 도 1 내지 도 4h의 마스크 프레임(MFS), 제1 마스크들(MM1), 냉각 플레이트(CP), 마그넷 플레이트(SM), 및 회전부(RP)와 동일하므로 설명이 간략히 되거나 생략될 수 있다.
도 10a를 참조하면, 제1 마스크들(MM1)은 제1 방향(DR1)으로 배열되고, 제2 방향(DR2)으로 연장되어 마스크 프레임(MFS) 상에 배치될 수 있다. 기판(SUB)은 냉각 플레이트(CP)와 제1 마스크들(MM1) 사이에 배치되고, 냉각 플레이트(CP) 상에 마그넷 플레이트(SM) 및 마그넷 유닛들(MG)이 배치될 수 있다.
도 4c, 및 도 10b를 참조하면, 제1 마그넷 유닛들(MGU1) 및 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제1 방향(DR1)으로 서로 접촉될 수 있다. 제1 마그넷 유닛들(MGU1)의 제 1방향(DR1)으로 마주하는 면들 중, 일측들에 제2 마그넷 유닛들(MGU2)이 연결될 수 있다.
제1 마그넷 유닛들(MGU1) 및 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제1 마스크들(MM1)과 마주보도록 배치될 수 있다. 제1 셀 영역들(CEA1)의 각각의 테두리는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2) 중 일부 마그넷 유닛들(MG)의 중심부에 중첩할 수 있다.
도 4c의 냉각 플레이트(CP)가 기판(SUB)에 인접하게 배치 되기 전에, 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향이 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향에 평행할 수 있다.
제2 회전 유닛들(RU2)의 연장 방향은 제1 마스크들(MM1)의 연장 방향과 평행할 수 있다. 제2 회전 유닛들(RU2)의 연장 방향은 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향과 평행할 수 있다.
도 4c, 및 도 10c를 참조하면, 냉각 플레이트(CP)가 기판(SUB)에 인접하게 배치되면 마그넷 유닛들(MG)이 회전부(RP)에 의해 회전될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)은 제1 회전 유닛(RU1)에 의해 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전될 수 있다. 예시적으로 도 10c에는 4개의 마그넷 유닛들(MG)에만 제1 회전축(RX1)을 도시 하였으나, 마그넷 플레이트(SM)의 하면에 배치된 마그넷 유닛들(MG) 전부가 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)은 인접한 마그넷 유닛들(MG)과 서로 다른 방향으로 90도 회전될 수 있다. 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)의 순서로 h번째 한쌍의 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2)과 h+1번째 한쌍의 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2)은 서로 다른 방향으로 회전될 수 있다. 예시적으로, 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2) 순서로, 첫번째 마그넷 유닛들(MG)은 반시계 방향으로 회전되고, 첫번째 마그넷 유닛들(MG)의 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 인접한 마그넷 유닛들(MG)은 시계 방향으로 회전될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)이 제 1 회전 유닛(RU1)에 의해 회전되면, 제2 방향(DR2)의 순서로 h번째 마그넷 유닛들(MG)과 h+1 마그넷 유닛들(MG)은 동일한 극성들이 마주보도록 배치될 수 있다. 예시적으로, 첫번째 마그넷 유닛들(MG)의 제1 마그넷 유닛들(MGU1)은 제1 방향(DR1)을 기준으로 보다 좌측에 배치되고, 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 보다 우측에 배치될 수 있다. 두번째 마그넷 유닛들(MG)의 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제1 방향(DR1)을 기준으로 보다 좌측에 배치되고, 제1 마그넷 유닛들(MGU1)은 보다 우측에 배치될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)의 극성은 제1 마스크들(MM1)의 연장방향에 교차하도록 배열될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 극성은 제1 방향(DR1)과 평행한 방향으로 배열될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)의 하면의 형상은 예시적으로 한변의 길이가 10mm인 정사각형 일 수 있다. h 번째 마그넷 유닛의 일측과 h+1 번째 마그넷 유닛의 일측 사이의 거리는 14.2mm일 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 하면의 한변의 길이가 10mm이고, h 번째 마그넷 유닛의 일측과 h+1 번째 마그넷 유닛의 일측 사이의 거리는 14.2mm인 경우, 마그넷 유닛들(MG)이 회전 될 때, 인접한 마그넷 유닛(MG)의 간섭없이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전될 수 있다. h는 자연수이다.
제1 마스크들(MM1)의 제1 셀 영역들(CEA1)은 마그넷 유닛들(MG)과 중첩될 수 있다. 제1 셀 영역들(CEA1)의 각각의 테두리는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2) 중 일부 마그넷 유닛들의 중심부에 중첩될 수 있다.
도 11a 내지 도 11c는 다른 실시 예에 따른 증착 장치를 이용하여 기판의 증착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
예시적으로 제2 마스크들(MM2)이 마스크 프레임(MFS) 상에 배치된 경우를 도시하였다. 도 10a는 다른 실시 예에 따른 증착 장치의 사시도 이다. 도 11b 내지 도11c는 다른 실시예에 따른 증착 장치의 마그넷 플레이트(SM) 및 마그넷 유닛들(MG)을 제3 방향에서 바라본 하면의 평면도이다.
도 11a 내지 도 11c의 마스크 프레임(MFS), 제2 마스크들(MM2), 냉각 플레이트(CP), 마그넷 플레이트(SM), 및 회전부(RP)는 도 1 내지 도 3의 마스크 프레임(MFS), 제2 마스크들(MM2), 냉각 플레이트(CP), 마그넷 플레이트(SM), 및 회전부(RP)와 동일하므로 설명이 간략히 되거나 생략될 수 있다.
도 11a 내지 11c의 마그넷 유닛들(MG)은 도 10a 내지 도 10c의 마그넷 유닛들(MG)과 동일하므로 설명이 간략히 되거나 생략될 수 있다.
도 11a를 참조하면, 제2 마스크들(MM2)은 제1 방향(DR1)으로 연장되고, 제2 방향(DR2)으로 배열되어 마스크 프레임(MFS) 상에 배치될 수 있다. 기판(SUB)은 냉각 플레이트(CP)와 제2 마스크들(MM2) 사이에 배치되고, 냉각 플레이트(CP) 상에 마그넷 플레이트(SM) 및 마그넷 유닛들(MG)이 배치될 수 있다.
도 4c 및 도 11b를 참조하면, 도 4c의 냉각 플레이트(CP)가 기판(SUB)에 인접하게 배치되기 전에, 마그넷 유닛(MG)의 극성은 제1 방향(DR1)과 평행하게 배열될 수 있다. 제1 마그넷 유닛(MGU1)은 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다. 제2 마그넷 유닛(MGU2)은 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다. 극성의 배열 방향은 제2 마스크들(MM2)의 연장방향과 평행할 수 있다.
제2 회전 유닛들(RU2)의 연장 방향은 제2 마스크들(MM2)의 연장 방향과 평행할 수 있다. 제2 회전 유닛들(RU2)의 연장 방향은 마그넷 유닛들(MG)의 극성의 배열 방향과 평행할 수 있다.
도 4c 및 도 11c를 참조하면, 냉각 플레이트(CP)가 기판(SUB)에 접촉되면 마그넷 유닛들(MG)이 회전부(RP)에 의해 회전될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)은 제1 회전 유닛(RU1)에 의해 제1 회전축(RX1)을 중심으로 회전될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)은 인접한 마그넷 유닛들(MG)과 서로 다른 방향으로 90도 회전될 수 있다. 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)의 순서로 h번째 한쌍의 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2)과 h+1번째 한쌍의 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2)은 서로 다른 방향으로 회전될 수 있다. 예시적으로, 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2) 순서로, 첫번째 마그넷 유닛들(MG)은 시계 방향으로 회전되고, 첫번째 마그넷 유닛들(MG)의 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 인접한 마그넷 유닛들(MG)은 반시계 방향으로 회전될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)이 제 1 회전 유닛(RU1)에 의해 회전되면, 제1 방향(DR1)의 순서로 h번째 마그넷 유닛들(MG)과 h+1 마그넷 유닛들(MG)은 동일한 극성들이 마주보도록 배열될 수 있다. 예시적으로, 첫번째 마그넷 유닛들(MG)의 제2 마그넷 유닛들(MGU2)은 제2 방향(DR2)을 기준으로 제1 마그넷 유닛들(MGU1) 보다 아래에 배치될 수 있다. 두번째 마그넷 유닛들(MG)의 제1 마그넷 유닛들(MGU1)은 제2 방향(DR2)을 기준으로 제2 마그넷 유닛들(MGU2) 보다 아래에 배치될 수 있다.
마그넷 유닛들(MG)의 극성은 제2 마스크들(MM2)의 연장방향에 교차하도록 배열될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 극성은 제2 방향(DR2)과 평행한 방향으로 배열될 수 있다.
도 10c에서 설명하였듯이, 마그넷 유닛들(MG)의 하면의 형상은 예시적으로 한변의 길이가 10mm인 정사각형 일 수 있다. h 번째 마그넷 유닛의 일측과 h+1 번째 마그넷 유닛의 일측 사이의 거리는 14.2mm일 수 있다. 이에 따라. 마그넷 유닛들(MG)은 인접한 마그넷 유닛들(MG)의 간섭없이 제2 회전축(RX2)을 중심으로 회전될 수 있다. h는 자연수이다.
제2 마스크들(MM2)의 제2 셀 영역들(CEA2)은 마그넷 유닛들(MG)과 중첩될 수 있다. 제2 셀 영역들(CEA2)의 각각의 테두리는 제1 및 제2 마그넷 유닛들(MGU1, MGU2) 중 일부 마그넷 유닛들의 중심부에 중첩될 수 있다.
도 10a 내지 도 11c를 참조하면, 마스크들(MM)의 배치 방향 및 연장 방향에 따라, 마그넷 유닛들(MG)이 회전부(RP)에 의해 회전될 수 있다. 마그넷 유닛들(MG)의 극성 배열 방향은 마스크들(MM)의 연장 방향과 교차할 수 있다. 즉, 마스크들(MM)의 연장 방향이 변경되어도, 마그넷 유닛들(MG)을 회전하여 극성 배열 방향을 변경 할 수 있으므로, 마스크들(MM)과 마그넷 유닛들(MG) 사이에는 척력이 발생하지 않게 된다. 이에 따라, 마스크들(MM)이 기판(SUB)에 평평하게 흡착 될 수 있다. 따라서, 증착 물질을 기판(SUB)에 제공시 불량 발생률을 감소 시킬 수 있다.
도 12는 도 1 및 도 5에 도시된 마스크들을 이용해 제조된 표시 패널의 평면도이다.
도 12를 참조하면, 표시 패널(DP)은 제1 방향(DR1)으로 연장하는 단변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장하는 장변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있으나, 표시 패널(DP)의 형상이 이에 제한되는 것은 아니다. 표시 패널(DP)은 표시부(DA) 및 표시부(DA)를 둘러싸는 비표시부(NDA)를 포함할 수 있다.
표시 패널(DP)은 발광형 표시 패널일 수 있다. 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널 또는 퀀텀닷 발광 표시 패널일 수 있다. 유기 발광 표시 패널의 발광층은 유기 발광 물질을 포함할 수 있다. 퀀텀닷 발광 표시 패널의 발광층은 퀀텀닷, 및 퀀텀로드 등을 포함할 수 있다. 이하, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널로 설명된다.
표시 패널(DP)은 복수 개의 화소들(PX), 복수 개의 주사 라인들(SL1~SLm), 복수 개의 데이터 라인들(DL1~DLn), 복수 개의 발광 라인들(EL1~ELm), 제1 및 제2 제어 라인들(CSL1,CSL2), 제1 및 제2 전원 라인들(PL1,PL2), 연결 라인들(CNL), 및 복수 개의 패드들(PD)을 포함할 수 있다. m 및 n은 자연수이다.
화소들(PX)은 표시부(DA)에 배치될 수 있다. 주사 구동부(SDV) 및 발광 구동부(EDV)는 표시 패널(DP)의 장변들에 각각 인접한 비표시부(NDA)에 배치될 수 있다. 데이터 구동부(DDV)는 표시 패널(DP)의 단변들 중 어느 하나의 단변에 인접한 비표시부(NDA)에 배치될 수 있다. 평면상에서 봤을 때, 데이터 구동부(DDV)는 표시 패널(DP)의 하단에 인접할 수 있다.
주사 라인들(SL1~SLm)은 제1 방향(DR1)으로 연장되어 화소들(PX) 및 주사 구동부(SDV)에 연결될 수 있다. 데이터 라인들(DL1~DLn)은 제2 방향(DR2)으로 연장되어 화소들(PX) 및 데이터 구동부(DDV)에 연결될 수 있다. 발광 라인들(EL1~ELm)은 제1 방향(DR1)으로 연장되어 화소들(PX) 및 발광 구동부(EDV)에 연결될 수 있다.
제1 전원 라인(PL1)은 제2 방향(DR2)으로 연장하여 비표시부(NDA)에 배치될 수 있다. 제1 전원 라인(PL1)은 표시부(DA)와 발광 구동부(EDV) 사이에 배치될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 표시부(DA)와 주사 구동부(SDV) 사이에 배치될 수 있다.
연결 라인들(CNL)은 제1 방향(DR1)으로 연장하고 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 연결 라인들(CNL)은 제1 전원 라인(PL1) 및 화소들(PX)에 연결될 수 있다. 제1 전압이 서로 연결된 제1 전원 라인(PL1) 및 연결 라인들(CNL)을 통해 화소들(PX)에 인가될 수 있다.
제2 전원 라인(PL2)은 비표시부(NDA)에 배치될 수 있다. 제2 전원 라인(PL2)은 표시 패널(DP)의 장변들 및 데이터 구동부(DDV)가 배치되지 않은 표시 패널(DP)의 다른 하나의 단변을 따라 연장할 수 있다. 제2 전원 라인(PL2)은 주사 구동부(SDV) 및 발광 구동부(EDV)보다 외곽에 배치될 수 있다.
도시하지 않았으나, 제2 전원 라인(PL2)은 표시부(DA)를 향해 연장되어 화소들(PX)에 연결될 수 있다. 제1 전압보다 낮은 레벨을 갖는 제2 전압이 제2 전원 라인(PL2)을 통해 화소들(PX)에 인가될 수 있다.
제1 제어 라인(CSL1)은 주사 구동부(SDV)에 연결되고, 평면상에서 봤을 때, 표시 패널(DP)의 하단을 향해 연장될 수 있다. 제2 제어 라인(CSL2)은 발광 구동부(EDV)에 연결되고, 평면상에서 봤을 때, 표시 패널(DP)의 하단을 향해 연장될 수 있다. 데이터 구동부(DDV)는 제1 제어 라인(CSL1) 및 제2 제어 라인(CSL2) 사이에 배치될 수 있다.
패드들(PD)은 표시 패널(DP) 상에 배치될 수 있다. 패드들(PD)은 데이터 구동부(DDV)보다 표시 패널(DP)의 하단에 더 인접할 수 있다. 데이터 구동부(DDV), 제1 전원 라인(PL1), 제2 전원 라인(PL2), 제1 제어 라인(CSL1), 및 제2 제어 라인(CSL2)은 패드들(PD)에 연결될 수 있다. 데이터 라인들(DL1~DLn)은 데이터 구동부(DDV)에 연결되고, 데이터 구동부(DDV)는 데이터 라인들(DL1~DLn)에 대응하는 패드들(PD)에 연결될 수 있다.
도 1 및 도 5에 도시된 제1 및 제2 셀 영역들(CEA1, CEA2) 각각은 도 12에 도시된 표시 패널(DP)에 대응될 수 있다. 하나의 제1 또는 제2 셀 영역(CEA1, CEA2)에 의해 하나의 표시 패널(DP)의 발광 소자들이 형성될 수 있다.
전술한 기판(SUB)에는 이러한 표시 패널들(DP)에 대응하는 단위 영역들이 정의될 수 있다. 단위 영역들에 발광 소자들이 형성된 후, 단위 영역들은 절단될 수 있다. 따라서, 도 12에 도시된 표시 패널(DP)이 제조될 수 있다.
도시하지 않았으나, 주사 구동부(SDV), 데이터 구동부(DDV), 및 발광 구동부(EDV)의 동작을 제어하기 위한 타이밍 컨트롤러 및 제1 및 제2 전압들을 생성하기 위한 전압 생성부가 인쇄 회로 기판 상에 배치될 수 있다. 타이밍 컨트롤러 및 전압 생성부는 인쇄 회로 기판을 통해 대응하는 패드들(PD)에 연결될 수 있다.
주사 구동부(SDV)는 복수 개의 주사 신호들을 생성하고, 주사 신호들은 주사 라인들(SL1~SLm)을 통해 화소들(PX)에 인가될 수 있다. 데이터 구동부(DDV)는 복수 개의 데이터 전압들을 생성하고, 데이터 전압들은 데이터 라인들(DL1~DLn)을 통해 화소들(PX)에 인가될 수 있다. 발광 구동부(EDV)는 복수 개의 발광 신호들을 생성하고, 발광 신호들은 발광 라인들(EL1~ELm)을 통해 화소들(PX)에 인가될 수 있다.
화소들(PX)은 주사 신호들에 응답하여 데이터 전압들을 제공받을 수 있다. 화소들(PX)은 발광 신호들에 응답하여 데이터 전압들에 대응하는 휘도의 광을 발광함으로써 영상을 표시할 수 있다. 화소들(PX)의 발광 시간은 발광 신호들에 의해 제어될 수 있다.
전술한 배선들은, 데이터 라인들(DL1~DLn)을 포함할 수 있다. 전술한 배선들에 연결된 패드들은 도 12에 도시된 패드들(PD)을 포함할 수 있다. 화소들(PX)의 발광층들이 형성되지 않은 표시 패널(DP)이 전술한 기판(SUB)으로 정의될 수 있다.
발광층들이 형성되지 않은 기판(SUB)의 단면 구조는 이하 도 14에서 설명될 것이다. 기판(SUB)에는 패드들(PD)이 형성되고, 기판(SUB)은 인쇄 회로 기판이 연결되지 않은 상태로 정의될 수 있다. 패드들(PD)이 전술한 접지 단자(GND)에 연결되어 패드들(PD) 및 데이터 라인들(DL1~DLn)이 접지될 수 있다.
도 13은 도 12에 도시된 어느 한 화소의 단면을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 13을 참조하면, 화소(PX)는 베이스 기판(BS) 상에 배치되고, 트랜지스터(TR) 및 발광 소자(OLED)를 포함할 수 있다. 화소들(PX)의 트랜지스터들(TR) 및 발광 소자들(OLED)은 전술한 데이터 라인들(DL1~DLm) 및 제1 및 제2 전원 라인들(PL1,PL2)에 연결될 수 있다.
화소들(PX)의 트랜지스터들(TR) 및 발광 소자들(OLED)은 데이터 라인들(DL1~DLm) 및 제1 및 제2 전원 라인들(PL1,PL2)을 통해 전술한 패드들(PD)에 연결될 수 있다. 화소들(PX)의 트랜지스터들(TR)은 데이터 라인들(DL1~DLm)을 통해 패드들(PD)에 연결될 수 있다.
발광 소자(OLED)는 제1 전극(AE), 제2 전극(CE), 정공 제어층(HCL), 전자 제어층(ECL), 및 발광층(EML)을 포함할 수 있다. 제1 전극(AE)은 애노드 전극일 수 있으며, 제2 전극(CE)은 캐소드 전극일 수 있다.
트랜지스터(TR) 및 발광 소자(OLED)는 베이스 기판(BS) 상에 배치될 수 있다. 예시적으로 하나의 트랜지스터(TR)가 도시되었으나, 실질적으로, 화소(PX)는 발광 소자(OLED)를 구동하기 위한 복수 개의 트랜지스터들 및 적어도 하나의 커패시터를 포함할 수 있다.
표시부(DA)는 화소(PX)에 대응하는 발광부(PA) 및 발광부(PA) 주변의 비발광부(NPA)를 포함할 수 있다. 발광 소자(OLED)는 발광부(PA)에 배치될 수 있다.
베이스 기판(BS)은 가요성 플라스틱 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어,베이스 기판(BS)은 투명한 폴리 이미드(PI:polyimide)를 포함할 수 있다. 베이스 기판(BS) 상에 버퍼층(BFL)이 배치되며, 버퍼층(BFL)은 무기층일 수 있다.
버퍼층(BFL) 상에 반도체 패턴이 배치될 수 있다. 반도체 패턴은 폴리 실리콘을 포함할 수 있다. 그러나 이에 제한되지 않고, 반도체 패턴은 비정질 실리콘 또는 금속 산화물을 포함할 수도 있다.
반도체 패턴은 N형 도판트 또는 P형 도판트로 도핑될 수 있다. 반도체 패턴은 고 도핑 영역과 저 도핑 영역을 포함할 수 있다. 고 도핑 영역의 전도성은 저 도핑 영역보다 크고, 실질적으로 트랜지스터(TR)의 소스 전극 및 드레인 전극 역할을 할 수 있다. 저 도핑 영역은 실질적으로 트랜지스터의 액티브(또는 채널)에 해당할 수 있다.
트랜지스터(TR)의 소스(S), 액티브(A), 및 드레인(D)은 반도체 패턴으로부터 형성될 수 있다. 반도체 패턴 상에 제1 절연층(INS1)이 배치될 수 있다. 제1 절연층(INS1) 상에 트랜지스터(TR)의 게이트(G)가 배치될 수 있다. 게이트(G) 상에 제2 절연층(INS2)이 배치될 수 있다. 제2 절연층(INS2) 상에 제3 절연층(INS3)이 배치될 수 있다.
연결 전극(CNE)은 트랜지스터(TR)와 발광 소자(OLED) 사이에 배치되어 트랜지스터(TR)와 발광 소자(OLED)를 연결할 수 있다. 연결 전극(CNE)은 제1 연결 전극(CNE1) 및 제2 연결 전극(CNE2)을 포함할 수 있다.
제1 연결 전극(CNE1)은 제3 절연층(INS3) 상에 배치되고, 제1 내지 제3 절연층들(INS1~INS3)에 정의된 제1 컨택홀(CH1)을 통해 드레인(D)에 연결될 수 있다. 제4 절연층(INS4)은 제1 연결 전극(CNE1) 상에 배치될 수 있다. 제4 절연층(INS4)상에 제5 절연층(INS5)이 배치될 수 있다.
제2 연결 전극(CNE2)은 제5 절연층(INS5) 상에 배치될 수 있다. 제2 연결 전극(CNE2)은 제5 절연층(INS5)에 정의된 제2 컨택홀(CH2)을 통해 제1 연결 전극(CNE1)에 연결될 수 있다. 제2 연결 전극(CNE2) 상에 제6 절연층(INS6)이 배치될 수 있다. 제1 절연층(INS1) 내지 제6 절연층(INS6)은 무기층 또는 유기층일 수 있다.
제6 절연층(INS6) 상에 제1 전극(AE)이 배치될 수 있다. 제1 전극(AE)은 제6 절연층(INS6)에 정의된 제3 컨택홀(CH3)을 통해 제2 연결 전극(CNE2)에 연결될 수 있다. 제1 전극(AE) 및 제6 절연층(INS6) 상에 제1 전극(AE)의 소정의 부분을 노출시키는 화소 정의막(PDL)이 배치될 수 있다. 화소 정의막(PDL)에는 제1 전극(AE)의 소정의 부분을 노출시키기 위한 개구부(PX_OP)가 정의될 수 있다.
정공 제어층(HCL)은 제1 전극(AE) 및 화소 정의막(PDL) 상에 배치될 수 있다. 정공 제어층(HCL)은 발광부(PA)와 비발광부(NPA)에 공통으로 배치될 수 있다. 정공 제어층(HCL)은 정공 수송층 및 정공 주입층을 포함할 수 있다.
발광층(EML)은 정공 제어층(HCL) 상에 배치될 수 있다. 발광층(EML)은 개구부(PX_OP)에 대응하는 영역에 배치될 수 있다. 발광층(EML)은 유기 물질 및/또는 무기 물질을 포함할 수 있다. 발광층(EML)은 적색, 녹색, 및 청색 중 어느 하나의 광을 생성할 수 있다.
전자 제어층(ECL)은 발광층(EML) 및 정공 제어층(HCL) 상에 배치될 수 있다. 전자 제어층(ECL)은 발광부(PA)와 비발광부(NPA)에 공통으로 배치될 수 있다. 전자 제어층(ECL)은 전자 수송층 및 전자 주입층을 포함할 수 있다.
제2 전극(CE)은 전자 제어층(ECL) 상에 배치될 수 있다. 제2 전극(CE)은 화소들(PX)에 공통으로 배치될 수 있다. 버퍼층(BFL)부터 발광 소자(OLED)까지의 층은 화소층(PXL)으로 정의될 수 있다.
박막 봉지층(TFE)은 발광 소자(OLED) 상에 배치될 수 있다. 박막 봉지층(TFE)은 제2 전극(CE) 상에 배치되어 화소(PX)를 덮을 수 있다. 박막 봉지층(TFE)은 적어도 2개의 무기층들 및 무기층들 사이의 유기층을 포함할 수 있다. 무기층은 수분/산소로부터 화소(PX)를 보호할 수 있다. 유기층은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 화소(PX)를 보호할 수 있다.
제1 전압이 트랜지스터(TR)를 통해 제1 전극(AE)에 인가되고, 제1 전압보다 낮은 레벨을 갖는 제2 전압이 제2 전극(CE)에 인가될 수 있다. 발광층(EML)에 주입된 정공과 전자가 결합하여 여기자(exciton)가 형성되고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서, 발광 소자(OLED)가 발광할 수 있다.
도 14는 도 4h에 도시된 증착 공정을 설명하기 위한 도면이다.
설명의 편의를 위하여 도 4h에 도시된 기판(SUB)과 제1 마스크들(MM1)을 도 14에서 상하 반대로 도시하였다.
도 14 및 도 4h를 참조하면, 예시적으로 제1 마스크들(MM1)을 통해 증착되는 공정을 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 제2 마스크들(MM2)을 통해 동일하게 증착 물질이 기판(SUB)에 증착될 수 있다.
베이스 기판(BS)부터 제1 전극(AE)이 배치된 층까지 기판(SUB)으로 정의될 수 있다. 전술한 바와 같이, 트랜지스터(TR)는 데이터 라인들(DL1~DLm)을 통해 패드들(PD)에 연결될 수 있다. 즉, 기판(SUB)은 전술한 배선들로 정의되는 데이터 라인들(DL1~DLm) 및 데이터 라인들(DL1~DLm)에 연결된 패드들(PD)을 포함할 수 있다.
기판(SUB)과 마주보도록 마스크들(MM)이 배치될 수 있다. 마스크들(MM)은 기판(SUB)과 근접하게 배치될 수 있다. 증착 물질(DPM)이 마스크들(MM)의 상면에 정의된 제1 및 제2 셀 개구부들(M_OP1, M_OP2)을 통해 기판(SUB) 상에 제공될 수 있다. 도 14는 예시적으로 제1 셀 개구부들(M_OP1)이 도시 되었다. 증착 물질(DPM)에 의해 기판(SUB) 상에 발광층(EML)이 형성될 수 있다.
이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
MFS: 마스크 프레임 MM: 마스크
SUB: 기판 CP: 냉각 플레이트 SM: 마그넷 플레이트 DU: 구동부
RP: 회전부 RU1, RU2: 제1 회전 유닛, 제2 회전 유닛
MG: 마그넷 유닛 MH1: 제1 함몰부
MH2: 제2 함몰부 RSB: 회전볼

Claims (21)

  1. 틀 형상을 갖는 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수개의 마스크들;
    상기 마스크들 상에 배치된 마그넷 플레이트;
    상기 마그넷 플레이트의 하부에 연결된 복수개의 회전부들; 및
    상기 회전부들에 연결되어 상기 회전부들에 의해 회전하는 복수개의 마그넷 유닛들을 포함하고,
    상기 마그넷 유닛들의 극성들이 상기 마스크들의 연장 방향과 교차하는 방향으로 배열되도록 상기 마그넷 유닛들은 상기 회전부들에 의해 회전되는 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마그넷 유닛들은,
    제1 극성을 갖는 복수개의 제1 마그넷 유닛들; 및
    상기 제1 극성과 다른 제2 극성을 갖는 복수개의 제2 마그넷 유닛들을 포함하는 증착 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 마그넷 유닛들은 상기 제1 마그넷 유닛들 상에 각각 배치되어 상기 제1 마그넷 유닛들에 연결되는 증착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 마그넷 유닛들 중 일부 제1 마그넷 유닛들 및 상기 제2 마그넷 유닛들 중 일부 제2 마그넷 유닛들은 상기 회전부들에 의해 회전되어, 상기 마스크들과 마주보도록 배치되는 증착 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 마스크들이 제1 방향으로 배열되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장될 때,
    상기 회전부들에 의해, 상기 마스크들과 마주보도록 배치되는 상기 제1 마그넷 유닛들은 상기 제1 방향으로 배열되고, 상기 마스크들과 마주보도록 배치되는 상기 제2 마그넷 유닛들은 상기 제2 방향으로 상기 제1 마그넷 유닛들과 이격되어 상기 제1 방향으로 배열되는 증착 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 마스크들이 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열될 때,
    상기 회전부들에 의해, 상기 마스크들과 마주보도록 배치되는 상기 제1 마그넷 유닛들은 상기 제2 방향으로 배열되고, 상기 마스크들과 마주보도록 배치되는 상기 제2 마그넷 유닛들은 상기 제1 방향으로 상기 제1 마그넷 유닛들과 이격되어 상기 제2 방향으로 배열되는 증착 장치.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 회전부들 각각은 서로 적층된 한쌍의 상기 제1 마그넷 유닛 및 상기 제2 마그넷 유닛을 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 의해 정의된 평면에 수직하게 연장하는 제1 회전축을 중심으로 회전시키는 증착 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 회전부들 각각은 상기 한쌍의 상기 제1 마그넷 유닛 및 상기 제2 마그넷 유닛을 상기 평면에 수평한 어느 일 방향으로 연장하는 제2 회전축을 중심으로 회전시키는 증착 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 회전부는,
    상기 마그넷 플레이트에 연결되어 상기 한쌍의 상기 제1 및 제2 마그넷 유닛들을 상기 제1 회전축을 중심으로 회전시키는 제1 회전 유닛; 및
    상기 제1 회전 유닛에 연결되어 상기 한쌍의 상기 제1 및 제2 마그넷 유닛들을 상기 제2 회전축을 중심으로 회전시키는 제2 회전 유닛들을 포함하는 증착 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 회전 유닛은, 상기 마그넷 플레이트의 하면에 정의된 제1 함몰부에 배치되어 상기 마그넷 플레이트에 연결되고,
    상기 한쌍의 상기 제1 및 제2 마그넷 유닛들은 상기 제1 회전 유닛의 하면에 정의된 제2 함몰부에 배치되고,
    상기 제2 회전 유닛들은 상기 제1 회전 유닛의 양측들 및 상기 한쌍의 상기 제1 및 제2 마그넷 유닛들의 양측들에 연결된 증착 장치.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 마스크들은 셀 영역들을 포함하고,
    상기 셀 영역들 각각의 테두리는 상기 제1 및 제2 마그넷 유닛들 중 일부 마그넷 유닛들의 중심부에 중첩하는 증착 장치.
  12. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 마그넷 유닛들은 상기 제1 마그넷 유닛들의 일측들에 각각 연결되고,
    상기 제1 마그넷 유닛들과 상기 제2 마그넷 유닛들은 마스크들과 마주보도록 배치되는 증착 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 마스크들이 제1 방향으로 배열되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장될 때,
    상기 회전부에 의해, 상기 제1 마그넷 유닛들 및 상기 제2 마그넷 유닛들은 상기 제1 방향으로 배열되는 증착 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 마스크들이 제2 방향으로 배열되고, 상기 제2 방향과 교차하는 제1 방향으로 연장될 때,
    상기 회전부에 의해, 상기 제1 마그넷 유닛들 및 상기 제2 마그넷 유닛들은 상기 제2 방향으로 배열되는 증착 장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 회전부들은 서로 연결된 한쌍의 상기 제1 마그넷 유닛 및 상기 제2 마그넷 유닛을 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 의해 정의된 평면과 수직하게 교차하는 회전축을 중심으로 회전시키는 증착 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향의 순서로, 서로 연결된 h 번째 한쌍의 상기 제1 및 제2 마그넷 유닛들과 서로 연결된 h+1 번째 한쌍의 상기 제1 및 제2 마그넷 유닛들은 서로 다른 방향으로 회전하고, h는 자연수인 증착 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 h 번째 상기 한쌍의 상기 제1 및 제2 마그넷 유닛들과 상기 h+1 번째 상기 한쌍의 제1 및 제2 마그넷 유닛들은 동일 극성의 마그넷 유닛들이 마주보도록 배치되는 증착 장치.
  18. 제 1 항에 있어서,
    마그넷 유닛들 각각은 한 변이 10mm 인 정사각형 형상을 갖고, 제1 방향 또는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 h 번째 마그넷 유닛의 일측과 h+1 번째 마그넷 유닛의 일측 사이의 거리는 14.2mm인 증착 장치.
  19. 틀 형상을 갖는 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수개의 마스크들;
    상기 마스크들 상에 배치된 마그넷 플레이트;
    상기 마그넷 플레이트의 하부에 연결된 회전부; 및
    상기 회전부에 연결되어 상기 회전부에 의해 회전하는 복수개의 마그넷 유닛들을 포함하고,
    상기 회전부는 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 의해 정의된 평면 상에서, 상기 평면에 수직하게 연장하는 제1 회전축 및 수평한 어느 일 방향으로 연장하는 제2 회전축을 중심으로 상기 마그넷 유닛들을 회전시키는 증착 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 마그넷 유닛들의 극성들이 상기 마스크들의 연장 방향과 교차하는 방향으로 배열되도록 상기 마그넷 유닛들은 상기 회전부에 의해 회전되는 증착 장치.
  21. 틀 형상을 갖는 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임 상에 배치된 복수개의 마스크들;
    상기 마스크들 상에 배치된 마그넷 플레이트;
    상기 마그넷 플레이트의 하부에 연결된 회전부; 및
    상기 회전부에 연결되어 상기 회전부에 의해 회전하는 복수개의 마그넷 유닛들을 포함하고,
    상기 회전부는 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 의해 정의된 평면에 수직하게 연장하는 회전축을 중심으로 상기 마그넷 유닛들을 회전시키고,
    상기 회전부는 상기 마그넷 유닛들의 극성들이 상기 마스크들의 연장 방향과 교차하는 방향으로 배열되도록 상기 마그넷 유닛들을 회전시키는 증착 장치.


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