KR20240009877A - 반송 시스템 - Google Patents

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케이타 야마다
요스케 후지와라
유타 마니
히로요시 토바
마사시 카쿠마
나오야 토요시마
카즈야 나마즈에
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

효율적으로 반송 가능한 반송 시스템을 실현하기 위하여, 반송 시스템은 반송 대상물을 유지한 상태에서 제1 궤도를 주행하는 제1 반송차 및 적재부에 반송 대상물을 적재한 상태에서 제2 궤도를 주행하는 제2 반송차를 포함하고, 제1 반송차는 이동 적재부를 이용하여 제2 반송차의 적재부와의 사이에서 반송 대상물을 주고 받을 수 있다.

Description

반송 시스템{CONVEYANCE SYSTEM}
본 발명은 반송 대상물을 반송차로 반송하는 반송 시스템에 관한 것이다.
천정에 설치된 궤도를 따라 반송차를 주행시켜 반송 대상물을 반송하는 시스템이 알려져 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는 하단 궤도를 일방향으로 주행하는 제1 반송차 및 상단 궤도를 일방향으로 주행하는 제2 반송차를 구비하는 반송차 시스템이 기재되어 있다. 특허문헌 1에 기재된 반송차 시스템에서는 제1 이송부 및 제2 이송부를 통하여 제1 반송차와 제2 반송차 사이에서 반송 대상물을 주고 받을 수 있게 되어 있다.
국제 공개 제2017/029873호
상술한 종래 기술은 제1 이송부 또는 제2 이송부를 통하여 제1 반송차와 제2 반송차 사이에서 반송 대상물을 주고 받고 있어, 반송 효율화의 측면에서 개선의 여지가 있다.
본 발명의 일 양태는 상기의 과제를 감안한 것으로, 효율적으로 반송 가능한 반송 시스템을 실현하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 양태에 따른 반송 시스템은, 제1 궤도; 목적 지점과의 사이에서 반송 대상물의 주고 받는 이동 적재부를 가지며, 상기 반송 대상물을 유지시킨 상태에서 상기 제1 궤도를 주행하는 제1 반송차, 제2 궤도 및 상기 반송 대상물을 적재하기 위한 적재부를 가지며, 상기 적재부에 상기 반송 대상물을 적재한 상태에서 상기 제2 궤도를 주행하는 제2 반송차를 포함하고, 상기 제1 반송차는 상기 이동 적재부를 이용하여 상기 제2 반송차의 상기 적재부와의 사이에서 상기 반송 대상물을 주고 받는 것이 가능하다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 효율적으로 반송 대상물을 원하는 위치에 반송할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 따른 반송 시스템에서 궤도의 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 A-A선으로부터 바라본 정면도이다.
도 3은 도 2에서 반송 대상물을 제1 반송차로부터 제2 반송차(21)에 이동 적재하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 2에서 반송 대상물을 제2 반송차에 이동 적재한 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 2에서 반송 대상물을 장치 포트에 이동 적재하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태 2에 따른 반송 시스템에서 궤도의 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6의 B-B선으로부터 바라본 정면도이다.
도 8은 도 7에서 반송 대상물을 제1 반송차로부터 제2 반송차에 이동 적재하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 반송 시스템의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
〔실시 형태 1〕
〔전체 개요〕
이하, 본 발명의 일 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다. 우선, 도 1을 참조하여 반송 시스템(1)의 전체 개요에 대해 설명한다. 도 1은 반송 시스템(1)에서 반송차 궤도의 레이아웃을 나타내는 도면이다. 도 1에서는 반송 시스템(1)을 연직 방향의 상측으로부터 바라본 상태를 나타내고 있다. 한편, 도 1에서는 레이아웃의 파악이 용이해지도록 제1 궤도(10)와 제2 궤도(20)의 연직 방향의 위치가 어긋나도록 기재하고 있지만, 본 실시 형태에서는 제1 궤도(10)의 연직 방향의 바로 아래에 제2 궤도(20)가 배치되어 있다.
반송 시스템(1)은 동일 또는 동일에 가까운 처리를 행하는 복수의 처리 장치(50)가 배치된 반송 구역(본 실시 형태에서는 베이라고 부름) 사이에서, 반송 대상물(30)을 궤도(제1 궤도(10), 제2 궤도(20))를 따라 주행 가능한 반송차(제1 반송차(11), 제2 반송차(21))를 이용하여 반송하는 것이다.
도 1에 나타내는 예에서는 상기 반송 구역으로서 제1 베이 내지 제5 베이(101, 102, 103, 104, 105)의 5개의 베이가 나타나 있다. 제1 궤도(10) 및 제2 궤도(20)는 제1 베이 내지 제5 베이(101, 102, 103, 104, 105)의 사이에서 반송 대상물(30)을 반송 가능하게 배치되어 있다. 제1 궤도(10)를 따라 제1 반송차(11)가 주행하고, 제2 궤도(20)를 따라 제2 반송차(21)가 주행함으로써 반송 대상물(30)이 반송된다.
제1 베이 내지 제5 베이(101, 102, 103, 104, 105)의 각 베이에는 각각 복수의 처리 장치(50)가 포함된다. 또한, 처리 장치(50)에는 각각 장치 포트(51)가 하나 또는 복수 마련되어 있으며, 처리 장치(50)에서 처리되는 반송 대상물(30)이 상기 처리 장치(50)의 장치 포트(51)에 적재된다.
제1 궤도(10)는 천정을 따라 배치되어 있고, 제2 궤도(20)는 제1 궤도(10)보다 연직 방향에서 하측에 배치되어 있다. 따라서, 제1 궤도(10)를 따라 주행하는 제1 반송차(11)는 천정 반송차이다. 또한, 제1 궤도(10) 및 제2 궤도(20)는 주회 경로 및 이 주회 경로에서 분기하여 각 베이(제1 베이 내지 제5 베이(101, 102, 103, 104, 105)) 내의 처리 장치(50)를 돌아서 상기 주회 경로로 되돌아가는 경로를 포함한다. 주회 경로로 인해 복수의 제1 반송차(11) 및 제2 반송차(21)를 배치할 수 있다.
또한, 제1 반송차(11)는 제1 궤도(10)를 따라 일방향으로 주행하며, 제2 반송차(21)는 제2 궤도(20)를 따라 일방향으로 주행한다. 그리고, 제1 반송차(11)와 제2 반송차(21)는 주행 방향이 역방향으로 되어 있다. 즉, 예를 들면, 도 1에 나타낸 예로 설명하면, 제1 반송차(11)가 장치 포트(51X), 장치 포트(51Y) 순으로 주행하는 경우, 제2 반송차(21)는 장치 포트(51Y), 장치 포트(51X) 순으로 주행한다.
제1 반송차(11) 및 제2 반송차(21)가 역방향으로 주행함으로써, 제2 반송차(21)는 반송 대상물(30)을 제1 반송차(11)가 반송한 방향과 역방향으로 반송할 수 있게 되어, 반송 대상물(30)의 반송 효율을 높일 수 있다.
또한, 제1 반송차(11)는 반송 대상물(30)을 파지부(152)(후술함)로 파지한 상태에서 반송 대상물(30)을 반송한다. 제2 반송차(21)는 적재부(25)를 구비하고, 반송 대상물(30)을 적재부(25)에 적재하여 반송 대상물(30)을 반송한다.
또한, 반송 시스템(1)에는 컨트롤러(80)가 포함된다. 컨트롤러(80)는 반송 시스템(1) 전체에서의 각종 제어 처리를 실행하는 부분이며, 예를 들면, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 컨트롤러(80)는 제1 반송차(11)의 주행 제어, 제2 반송차(21)의 주행 제어, 제1 반송차(11)에서 제2 반송차(21)로의 반송 대상물(30)의 이동 적재, 제1 반송차(11)에서 장치 포트(51)로의 반송 대상물(30)의 이동 적재, 장치 포트(51)에서 제1 반송차(11)로의 반송 대상물(30)의 이동 적재 등의 제어를 행한다.
예를 들면, 컨트롤러(80)는 반송 대상물(30)의 반송이 요구될 때 적절한 제1 반송차(11)를 제어하여 적절한 위치에 주행시킨다.
또한, 컨트롤러(80)는 제1 반송차(11)에 의해 반송되고 있는 반송 대상물(30)을 적재하는 장치 포트(51)를 통과시킨 경우, 장치 포트(51)를 통과한 곳에서 상기 반송 대상물(30)을 제1 반송차(11)에서 제2 반송차(21)로 이동 적재시킨다. 그리고, 상기 반송 대상물(30)을 받은 제2 반송차(21)를 제1 반송차(11)와는 역방향으로 주행시켜, 원하는 장치 포트(51)를 통과시킨 후 반송 대상물(30)을 다른 제1 반송차(11)에 이동 적재시킨다. 그리고, 상기 반송 대상물(30)을 받은 제1 반송차(11)를 제2 반송차(21)와는 역방향으로 주행시켜, 반송 대상물(30)을 원하는 장치 포트(51)에 이동 적재시킨다.
또한, 컨트롤러(80)는 제1 반송차(11)에 의해 반송중인 반송 대상물(30)의 반송 장소인 장치 포트(51)에 다른 반송 대상물(30)이 적재되어 있는 경우, 일시적으로 제1 반송차(11)에서 제2 반송차(21)로 상기 반송 대상물(30)을 이동 적재킬 수 있다. 이에 따라, 제2 반송차(21)에 장치 포트(51)의 버퍼 역할을 수행시킬 수 있다.
〔제1 반송차(11), 제2 반송차(21)〕
도 2는 도 1의 A-A선에서 바라본 정면도이다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 반송차(11)는 이동 적재부(15)를 포함한다. 이동 적재부(15)에는 승강부(151) 및 파지부(152)가 포함된다. 이동 적재부(15)는 반송 대상물(30)을 파지부(152)로 파지하여 승강부(151)에 의해 승강시킴으로써, 반송 대상물(30)을 제2 반송차(21) 또는 장치 포트(51)에 이동 적재할 수 있다. 즉, 제1 반송차(11)는 반송 대상물(30)을 직접 제2 반송차(21)에 이동 적재할 수도 있고, 장치 포트(51)에 이동 적재할 수도 있다. 즉, 제1 반송차(11)는 목적 지점(예를 들면, 장치 포트(51))과의 사이에서 반송 대상물(30)을 주고 받는 이동 적재부(15)를 구비한다. 또한, 제1 반송차(11)는 이동 적재부(15)를 이용하여 제2 반송차(21)의 적재부(25)와의 사이에서 반송 대상물(30)을 주고 받는 것이 가능하다.
제1 반송차(11)와 제2 반송차(21) 사이에서 반송 대상물(30)을 주고 받을 때에는, 제1 반송차(11) 및 제2 반송차(21)은 정지하고 있다.
제2 반송차(21)는 적재부(25)를 구비한다. 제2 반송차(21)는 제1 반송차(11)와 같이 이동 적재부(15) 등이 마련되어 있지 않다. 따라서, 제2 반송차(21)는 제1 반송차(11)보다 경량화되는 것이 가능하고, 제1 반송차(11)보다 반송 속도를 빠르게 할 수 있다.
도 3 및 도 4는, 도 2에 나타내는 예에서 반송 대상물(30)을 제2 반송차(21)에 이동 적재하는 상태를 나타낸 도면이다. 제1 반송차(11)의 바로 아래에 제2 반송차(21)을 배치한 상태에서, 도 3에 나타낸 바와 같이 제1 반송차(11)의 파지부(152)에 파지된 반송 대상물(30)은 승강부(151)에 의해 연직 방향의 하방으로 하강하여 제2 반송차(21)의 적재부(25)에 적재된다. 그 후, 도 4에 나타낸 바와 같이, 파지부(152)는 제1 반송차(11)로 되돌아가고 반송 대상물(30)만이 제2 반송차(21)에 적재된 상태가 된다. 이 상태에서 제2 반송차(21)는 반송 대상물(30)을 반송한다.
도 5는 반송 대상물(30)을 장치 포트(51)에 적재하는 상태를 나타낸 도면이다. 반송 대상물(30)을 장치 포트(51)에 적재하는 경우, 제1 반송차(11)의 파지부(152)에 파지된 반송 대상물(30)은 승강부(151)에 의해 연직 방향의 하방으로 하강하여 상기 장치 포트(51)에 적재된다. 한편, 상술한 바와 같이, 이동 적재부(15)는 제1 반송차(11)에만 마련되어 있고, 제2 반송차(21)에는 마련되어 있지 않다. 따라서, 제2 반송차(21)에 적재된 반송 대상물(30)을 직접 장치 포트(51)에 이동 적재할 수 없다.
이상과 같이, 반송 시스템(1)은 제1 궤도(10)와 목적 지점 사이에 반송 대상물(30)을 주고 받는 이동 적재부(15)를 가지며, 반송 대상물(30)을 유지시킨 상태에서 제1 궤도(10)를 주행하는 제1 반송차(11)를 갖는다. 또한, 반송 시스템(1)은 제2 궤도(20), 및 반송 대상물(30)을 적재하기 위한 적재부(25)를 가지며, 적재부(25)에 반송 대상물(30)을 적재한 상태에서 제2 궤도(20)를 주행하는 제2 반송차(21)를 갖는다. 반송 시스템(1)에서 제1 반송차(11)는 이동 적재부(15)를 이용하여 제2 반송차(21)의 적재부(25)와의 사이에서 반송 대상물(30)을 주고 받는 것이 가능하다.
이에 따라, 직접 제1 반송차(11)와 제2 반송차(21) 사이에서 반송 대상물(30)을 주고 받는 것이 가능해져, 반송 대상물(30)의 반송 효율을 높일 수 있다.
〔실시 형태 2〕
본 발명의 다른 실시 형태에 대하여 이하에 설명한다. 한편, 설명의 편의상 상기 실시 형태에서 설명한 부재와 동일한 기능을 가지는 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 반복하지 않는다.
〔전체 개요〕
우선, 도 6을 참조하여 본 실시 형태에 따른 반송 시스템(1')의 전체 개요에 대하여 설명한다. 도 6은 반송 시스템(1＇)에서 반송차 궤도의 레이아웃을 나타내는 도면이다. 도 6은 반송 시스템(1＇)을 연직 방향의 상측으로부터 바라본 도면이다. 반송 시스템(1＇)의 제1 궤도(10)는 상술한 실시 형태 1에서의 궤도와 동일하다. 반송 시스템(1＇)에서는 반송 시스템(1)의 제2 궤도(20) 대신 제2 궤도(20A) 및 제2 궤도(20B)가 배치되어 있다. 제2 궤도(20A)는 제1 베이(101)와 제4 베이(104)를 잇는 주회 경로로 되어 있다. 또한, 제2 궤도(20B)는 제2 베이(102)와 제3 베이(103)를 잇는 주회 경로로 되어 있다.
또한, 제2 궤도(20A) 및 제2 궤도(20B)는 제1 궤도(10)의 연직 방향의 바로 아래가 아니라 연직 방향의 바로 아래에서 벗어난 위치에 배치되어 있다.
즉, 본 실시 형태에서는, 복수의 처리 장치(50)를 포함하는 베이(제1 베이(101), 제2 베이(102), 제3 베이(103), 제4 베이(104), 제5 베이(105))가 복수 존재하고, 제1 궤도(10)가 주회하는 베이의 조합(제1 베이(101), 제2 베이(102), 제3 베이(103), 제4 베이(104), 제5 베이(105))과 제2 궤도(20A) 및 제2 궤도(20B)가 주회하는 베이의 조합(제2 궤도(20A)는 제1 베이(101) 및 제4 베이(104), 제2 궤도(20B)는 제2 베이(102) 및 제3 베이(103))이 다르다.
예를 들면, 제1 베이(101)와 제4 베이(104) 사이의 반송이 많은 경우, 제2 궤도(20A)를 제1 베이와 제4 베이 사이만을 주회하는 경로로 함으로써, 제1 궤도(10)를 주행하는 경우와 비교하여 효율적으로 반송을 행할 수 있다. 또한, 제1 궤도(10)를 주행하는 제1 반송차(11)의 정체를 완화할 수 있다.
마찬가지로, 제2 베이(102)와 제3 베이(103) 사이의 반송이 많은 경우, 제2 궤도(20B)를 제2 베이(102)와 제3 베이(103) 사이만을 주회하는 경로로 함으로써, 제1 궤도(10)를 주행하는 경우와 비교하여 효율적으로 반송을 행할 수 있다. 또한, 제1 궤도(10)를 주행하는 제1 반송차(11)의 정체를 완화할 수 있다.
〔제1 반송차(11'), 제2 반송차(21)〕
도 7은 도 6의 B-B에서 바라본 정면도이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 제1 반송차(11')는 이동 적재부(15) 및 슬라이드 기구(16)를 포함한다. 이동 적재부(15)에는 승강부(151) 및 파지부(152)가 포함된다. 슬라이드 기구(16)는 이동 적재부(15)를 수평 방향으로 슬라이드(이동)시키는 기구이다. 제1 반송차(11')는 슬라이드 기구(16)를 구비함으로써, 반송 대상물(30)을 연직 방향의 바로 아래에 배치되어 있지 않은 제2 반송차(21)에 이동 적재할 수 있다. 보다 상세하게는, 도 8을 참조하여 설명한다.
도 8은 도 7에 나타내는 예에서, 반송 대상물(30)을 제2 반송차(21)에 이동 적재하는 상태를 나타낸 도면이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 제1 반송차(11')의 파지부(152)에 파지된 반송 대상물(30)은 슬라이드 기구(16)에 의해 제2 반송차(21)의 적재부(25) 바로 위로 이동한다. 그리고, 승강부(151)에 의해 연직 방향의 하방으로 하강하여 상기 제2 반송차(21)의 적재부(25)에 적재된다. 이에 따라, 제2 반송차(21)는 반송 대상물(30)을 반송할 수 있다.
〔실시 형태 1, 2에서의 작용 효과〕
상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 반송 시스템(1, 1＇)에서는 제1 반송차(11, 11')로부터 제2 반송차(21)에 반송 대상물(30)을 이동 적재하는 것이 가능하다. 또한, 제1 반송차(11, 11')와 제2 반송차(21)는 역방향으로 이동한다. 이에 따라, 효율적으로 반송 대상물(30)을 장치 포트(51)에 적재할 수 있다.
도 9를 참조하여 설명한다. 도 9는 반송 시스템(1, 1＇)의 효과를 설명하기 위한 도면이다. 도 9는 제1 반송차(11A, 11B) 및 제2 반송차(21)의 진행 방향의 옆에서 바라본 도면이며, 제1 반송차(11A, 11B), 제2 반송차(21) 및 장치 포트(51)(51A, 51B, 51C)의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 9의 901에 나타낸 바와 같이, 처리 장치(50)의 3개의 장치 포트(51A, 51B, 51C) 중 어느 하나에 반송 대상물(30C)을 적재하고자 하는 경우, 장치 포트(51A) 및 장치 포트(51B)에는 이미 반송 대상물(30)이 적재되어 있는 상태라고 해보자.
이 경우, 제1 반송차(11A)는 반송 대상물(30C)을 장치 포트(51C)에 적재할 필요가 있으나, 장치 포트(51C)를 지나간 경우, 통상적으로는 제1 궤도(10)의 주회 경로를 한바퀴 돌아 다시 장치 포트(51C)까지 도달할 필요가 있다.
그러나, 본 실시 형태에 따른 반송 시스템(1, 1')에서는 제1 반송차(11A)와 역방향으로 주행하는 제2 반송차(21)가 존재하므로, 제1 반송차(11A)는 장치 포트(51C)를 지나간 곳에서 제2 반송차(21)에 반송 대상물(30C)을 이동 적재할 수 있다(도 9의 902). 그리고, 반송 대상물(30C)이 이동 적재된 제2 반송차(21)는 제1 반송차(11A)와 역방향으로 주행하고(도 9의 903), 장치 포트(51C)를 지나간 후 제1 반송차(11A)와는 다른 제1 반송차(11B)에 의해 제1 반송차(11B)에 이동 적재된다(도 9의 904). 반송 대상물(30C)을 받은 제1 반송차(11B)는 장치 포트(51C) 방향으로 주행하고(도 9의 905), 장치 포트(51C)까지 도달했을 때(도 9의 906), 장치 포트(51C)에 반송 대상물(30C)을 적재한다(도 9의 907).
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 반송 시스템(1, 1＇)에 의하면, 원하는 적재 지점을 지나간 경우라도 그대로 제1 궤도(10)를 주회하지 않고 반송 대상물(30)을 효율적으로 적재 지점에 적재할 수 있다.
또한, 예를 들면, 원하는 장치 포트(51C)에 반송 대상물(30)이 적재되어 있어 바로 반송 대상물(30C)의 적재를 할 수 없는 경우, 일단 제2 반송차(21)에 반송 대상물(30C)를 적재하고, 장치 포트(51C)가 비워지는 것을 기다릴 수도 있다. 다시 말하면, 제2 반송차(21)는 장치 포트(51)의 버퍼 역할을 수행할 수 있다. 특히, 제2 궤도(20A), 제2 궤도(20B)와 같이 제1 궤도(10)보다 주회 경로가 짧은 경우, 제2 반송차(21)에 적재된 반송 대상물(30)은 단시간에 원하는 장치 포트(51)로 되돌아올 수 있으므로 유용하다.
〔정리〕
본 발명의 양태 1에 따른 반송 시스템은, 제1 궤도; 목적 지점과의 사이에 반송 대상물을 주고 받는 이동 적재부를 가지며, 상기 반송 대상물을 유지시킨 상태에서 상기 제1 궤도를 주행하는 제1 반송차; 제2 궤도; 및 상기 반송 대상물을 적재하기 위한 적재부를 가지며, 상기 적재부에 상기 반송 대상물을 적재한 상태에서 상기 제2 궤도를 주행하는 제2 반송차;를 포함하고, 상기 제1 반송차는 상기 이동 적재부를 이용하여 상기 제2 반송차의 상기 적재부와의 사이에서 상기 반송 대상물을 주고 받는 것이 가능하다.
상기의 구성에 의하면, 제1 반송차와 제2 반송차 사이에 직접 반송 대상물을 주고 받을 수 있게 되므로, 반송 대상물의 반송을 효율적으로 행할 수 있다.
본 발명의 양태 2에 따른 반송 시스템은, 상기 양태 1에서, 상기 제1 궤도는 주회 경로이고, 상기 제2 궤도는 주회 경로를 포함하며, 상기 제1 반송차와 상기 제2 반송차는 서로 역방향으로 진행할 수 있다.
상기의 구성에 의하면, 제1 반송차와 제2 반송차가 역방향으로 주행하므로, 제1 반송차와 제2 반송차의 사이에서 반송 대상물을 주고 받음으로써 반송 대상물을 역방향으로 반송할 수 있어, 반송 효율을 높일 수 있다.
본 발명의 양태 3에 따른 반송 시스템은, 상기 양태 1 또는 2에서, 상기 제1 반송차는 상기 제1 궤도가 천정 근방에 배치된 천정 반송차일 수 있다.
상기의 구성에 의하면, 제1 반송차를 천정 반송차로 할 수 있다.
본 발명의 양태 4에 따른 반송 시스템은, 상기 양태 3에서, 상기 제2 궤도는 상기 제1 궤도보다 연직 방향에서 하측에 배치되어 있을 수 있다.
상기 구성에 의하면, 제1 반송차와 제2 반송차 사이에서 용이하게 반송 대상물을 주고 받을 수 있다.
본 발명의 양태 5에 따른 반송 시스템은, 상기 양태 1 내지 4의 어느 하나에서, 상기 제1 반송차에 의해 반송중인 반송 대상물의 반송 장소에 해당하는 상기 목적 지점에 다른 반송 대상물이 적재되어 있는 경우, 상기 제1 반송차는 일시적으로 상기 제2 반송차에 상기 반송 대상물을 이동 적재할 수 있다.
상기 구성에 의하면, 제1 반송차가 반송 대상물을 목적 지점에 내릴 수 없는 상태에서 대기하는 경우와 비교하여 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다. 따라서, 제1 반송차를 효율적으로 운용하면서 반송 대상물을 목적 지점에 반송할 수 있다.
본 발명의 양태 6에 따른 반송 시스템은, 상기 양태 1 내지 5 중 어느 하나에서, 상기 제2 궤도는 상기 제1 궤도의 연직 방향의 바로 아래 위치에서 벗어난 위치에 배치될 수 있다.
상기의 구성에 의하면, 제1 궤도와 제2 궤도의 레이아웃을 자유롭게 할 수 있어 반송 공간을 효율적으로 이용하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 궤도가 제1 궤도의 바로 아래에서 벗어난 위치에 있으므로, 제1 궤도를 주행하는 제1 반송차로부터 직접, 목적 지점(예를 들면, 장치 포트)에 반송 대상물을 용이하게 이동 적재할 수 있다.
본 발명의 양태 7에 따른 반송 시스템은, 상기 양태 1 내지 6 중 어느 하나에서, 상기 이동 적재부는 상기 반송 대상물을 수평 방향으로 이동 가능한 슬라이드 기구를 가질 수 있다.
상기 구성에 의하면, 제1 반송차로부터 반송 대상물을 이동 적재하는 경우, 바로 아래 이외의 장소에도 이동 적재하는 것이 가능해진다.
본 발명의 양태 8에 따른 반송 시스템은, 상기 양태 1 내지 7 중 어느 하나에서, 복수의 처리 장치를 포함하는 반송 구역이 복수 존재하고, 상기 제1 궤도가 주회하는 상기 반송 구역의 조합과 상기 제2 궤도가 주회하는 상기 반송 구역의 조합이 다를 수 있다.
상기 구성에 의하면, 제1 궤도와 제2 궤도를 이용함으로써 효율적으로 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다.
본 발명은 상술한 각 실시 형태에 한정되지 않으며, 청구항에 나타낸 범위에서 여러 가지 변경이 가능하고, 다른 실시 형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절히 조합하여 얻어지는 실시 형태 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. 또한, 각 실시 형태에 각각 개시된 기술적 수단을 조합함으로써 새로운 기술적 특징을 형성할 수 있다.
1: 반송 시스템
10: 제1 궤도
11: 제1 반송차
15: 이동 적재부
151: 승강부
152: 파지부
16: 슬라이드 기구
20: 제2 궤도
21: 제2 반송차
25: 적재부
30: 반송 대상물
50: 처리 장치
51: 장치 포트
80: 컨트롤러
101: 제1 베이
102: 제2 베이
103: 제3 베이
104: 제4 베이
105: 제5 베이

Claims (8)

  1. 제1 궤도;
    목적 지점과의 사이에서 반송 대상물을 주고 받는 이동 적재부를 가지며, 상기 반송 대상물을 유지한 상태에서 상기 제1 궤도를 주행하는 제1 반송차;
    제2 궤도; 및
    상기 반송 대상물을 적재하기 위한 적재부를 가지며, 상기 적재부에 상기 반송 대상물을 적재한 상태에서 상기 제2 궤도를 주행하는 제2 반송차를 포함하고,
    상기 제1 반송차는 상기 이동 적재부를 이용하여 상기 제2 반송차의 상기 적재부와의 사이에서 상기 반송 대상물을 주고 받는 것이 가능한 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 궤도는 주회 경로이고,
    상기 제2 궤도는 주회 경로를 포함하며,
    상기 제1 반송차와 상기 제2 반송차는 서로 역방향으로 진행하는 반송 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 반송차는 상기 제1 궤도가 천정 근방에 배치된 천정 반송차인 반송 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 궤도는 상기 제1 궤도보다 연직 방향에서 하측에 배치되어 있는 반송 시스템.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 반송차에 의해 반송중인 반송 대상물의 반송 장소에 해당하는 상기 목적 지점에 다른 반송 대상물이 적재되어 있는 경우, 상기 제1 반송차는 일시적으로 상기 제2 반송차에 상기 반송 대상물을 이동 적재하는 반송 시스템.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제2 궤도는 상기 제1 궤도의 연직 방향의 바로 아래 위치에서 벗어난 위치에 배치되어 있는 반송 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 이동 적재부는 상기 반송 대상물을 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 슬라이드 기구를 가지는 반송 시스템.
  8. 제2항에 있어서,
    복수의 처리 장치를 포함하는 반송 구역이 복수 존재하고,
    상기 제1 궤도가 주회하는 상기 반송 구역의 조합과 상기 제2 궤도가 주회 하는 상기 반송 구역의 조합이 다른 반송 시스템.
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